JPS59200519A - Surface acoustic wave resonator - Google Patents

Surface acoustic wave resonator

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JPS59200519A
JPS59200519A JP7378083A JP7378083A JPS59200519A JP S59200519 A JPS59200519 A JP S59200519A JP 7378083 A JP7378083 A JP 7378083A JP 7378083 A JP7378083 A JP 7378083A JP S59200519 A JPS59200519 A JP S59200519A
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JP
Japan
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acoustic wave
surface acoustic
surface wave
wave resonator
envelope
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Application number
JP7378083A
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Japanese (ja)
Inventor
Masayoshi Etsuno
越野　昌芳
Nobuki Yamaji
山路　信機
Kiyobumi Yamashita
山下　清文
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves

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Abstract

PURPOSE:To reduce high-order lateral-mode spurious response by specifying the shape of envelopes which connect respective electrode finger tips of an electrode finger array forming a surface wave reflector. CONSTITUTION:The surface wave reflector 3 consisting of electrode fingers arrayed in parallel at specific intervals l, e.g. an array of metallic strips 302. The envelope connecting neutral points 306 of respective tip parts 305 of this array of the strips 302 is formed nonlinearly of a combination of straight lines slanting to a reference direction X nearly perpendicular to the lengthwise direction Y of the strips 302. Consequently, a wave 22 in high-order lateral mode among waves arriving from radiation electrodes is diffused and reflected by the envelope 307, so high-order lateral-mode spurious response is reduced. Further, the same effect is obtained even when the envelope has a non-linear form which consists of straight lines and curved lines in combination.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は高次横モードスプリアスを軽減させた弾性表面
波共振器に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a surface acoustic wave resonator that reduces high-order transverse mode spurious.

〔発明の技術的背景とその問題点〕[Technical background of the invention and its problems]

一般に、弾性表面波共振器は第１図に示すような構成を
とることが多い。Generally, a surface acoustic wave resonator often has a configuration as shown in FIG.

すなわち圧電基板（１）の一方の主面上に配置され所定
の間隔（３０１）で平行に配列されたたとえばアルミニ
ウムからなるストリップ（３０２）列を挾み対向して、
このストリップ（３０２）列を電気的に短絡するブスバ
ー（３０３）より表面波反射器（３）が構成されている
。この表面波反射器（３）と表面波反射器（３）との間
に配置された櫛形電極（４）が相互に差し込まれ形成さ
れて電気−機械変換器、即ち放射電極（２）を構成して
いる。また表面波反射器（３）は放射電極（２）からの
弾性表面波伝播路上に配置されている。That is, a row of strips (302) made of aluminum, for example, which are placed on one main surface of the piezoelectric substrate (1) and arranged in parallel at a predetermined interval (301), are sandwiched therebetween.
A surface wave reflector (3) is constituted by a bus bar (303) that electrically shorts this row of strips (302). A comb-shaped electrode (4) placed between the surface wave reflector (3) and the surface wave reflector (3) is inserted into each other to form an electro-mechanical converter, that is, a radiation electrode (2). are doing. Further, the surface wave reflector (3) is placed on the surface acoustic wave propagation path from the radiation electrode (2).

符号（５）は表面波の伝播方向を示す。Symbol (5) indicates the propagation direction of the surface wave.

そして、この２つの表面波反射器（３）の間に〉いて、
放射電極（２）から励振放射された表面波の定在波を起
こして共振させ、Ｑの高い共振器として作用させている
。And between these two surface wave reflectors (3),
A standing wave of surface waves excited and radiated from the radiation electrode (2) is caused to resonate and act as a high Q resonator.

また弾性表面波共振器には、第２図に示すように、略等
しい長さの令聞ストリップ（３０２）列よりなる表面波
反射器（３）を備えているが、各金属ストリップ（３０
２）列を電気的に短絡するブスバーをもたないタイプの
ものもある。さらに弾性表面波共振器によっては、第２
図において、金属ストリップ（３０２）列の部分が圧電
基板（１）の−主面に凹部を形成して、表面波反射器（
３）を形成してなるタイプのものもある。Further, as shown in FIG. 2, the surface acoustic wave resonator is equipped with a surface wave reflector (3) consisting of a row of metal strips (302) of approximately equal length.
2) There is also a type that does not have a busbar that electrically shorts the columns. Furthermore, depending on the surface acoustic wave resonator, the second
In the figure, the row of metal strips (302) forms a recess in the main surface of the piezoelectric substrate (1), and the surface wave reflector (
There is also a type formed by forming 3).

しかしながらこのような構成の弾性表面波共振器は、放
射電極（２）が表面波の伝播方向（５）Ｋ沿った相互に
等しい長さのくし形電極指（４）を交さして形成され、
その交さ長りの一定な正規形電極構造のものが多かった
。However, in a surface acoustic wave resonator having such a configuration, the radiation electrode (2) is formed by intersecting comb-shaped electrode fingers (4) of equal length along the surface wave propagation direction (5)K.
Many of them had a regular electrode structure with a constant length of intersection.

そのため第３図の共振レスポンス特性図に示すように、
主共振Ｐのほかに、高次横モードスプリアスとよばれる
スプリアス共振Ｐ１　ｅ　Ｐ＊が生じる欠点がある。Therefore, as shown in the resonance response characteristic diagram in Figure 3,
In addition to the main resonance P, there is a drawback that spurious resonance P1 e P* called high-order transverse mode spurious occurs.

この原因は主に次のように考えられる。The main reasons for this are considered to be as follows.

すなわち、放射電極（２）を第４図Ａに示すような正規
形電極とした場合、表面波の伝搬方向（５）と直角な方
向における表面波のエネルギー分布は、同図Ｂに示すよ
うに、矩形波状（６）となり、これを７一リエ級数展開
すれが同図Ｃ−Ｅに示すような複数の正弦波状の等位相
面を有する波（力、　（８１、（９）、−・に分解する
ことができる。このうち、（力が基本モードと呼ばれ、
（８１、（９１、・　が高次横モードと呼ばれる。In other words, when the radiation electrode (2) is a normal electrode as shown in Figure 4A, the energy distribution of the surface wave in the direction perpendicular to the propagation direction (5) of the surface wave is as shown in Figure 4B. , it becomes a rectangular wave (6), and when this is expanded into a 7-Lier series, it becomes a wave (force) having multiple sinusoidal equiphase fronts as shown in the same figure C-E, (81, (9), -. Among these, (force is called the fundamental mode,
(81, (91, ·) are called higher-order transverse modes.

ここで基本モード（７）の位相速度に対し高次横モード
（８）　、　（９）　、・・のそれはわずかに早い。Here, the phase velocity of the higher-order transverse modes (8), (9), etc. is slightly faster than that of the fundamental mode (7).

又、伝搬方向についても第九図に示すように基本モード
（７）の伝搬方向（５）に対して、高次横モードの伝搬
方向α１は、ある角度をもつ。Regarding the propagation direction, as shown in FIG. 9, the propagation direction α1 of the higher-order transverse mode has a certain angle with respect to the propagation direction (5) of the fundamental mode (7).

そしてまた表面波反射器（３）の内側と外側とでは質量
付加効果、電界短絡効果等により表面波の伝搬速度が異
るため、高次横モードの波（８）の一部は第６図の矢印
αυで示すように表面波反射器（３）の端部で順次反射
され、表面波反射器（３）内に高次横モードの波がとじ
こめられて基本モード（７）に比べて高い共振周波数を
有する一種の共振モードを生ずることになる。Furthermore, since the propagation speed of the surface wave differs between the inside and outside of the surface wave reflector (3) due to the mass addition effect, electric field short circuit effect, etc., some of the higher-order transverse mode waves (8) are As shown by the arrow αυ, the wave of the higher-order transverse mode is reflected sequentially at the end of the surface wave reflector (3), and the higher-order transverse mode wave is confined within the surface wave reflector (3), resulting in a wave higher than that of the fundamental mode (7). This will result in a kind of resonant mode with a resonant frequency.

これが高次横モードスプリアスと呼ばれるもので、第３
図に示すようなスプリアスＰＩ　＋　Ｐ＊を生ずる原因
となると考えられる。This is called a higher-order transverse mode spurious, and the third
This is thought to be the cause of spurious PI + P* as shown in the figure.

以上の原因を考えると、第１図及び第２図に示す表面波
放射電極（２）から放射される表面波の高次横モードの
波が表面波反射器（３）内にとじこめられても、共振モ
ードを生じない様にすれば、高次横モードスプリアスを
抑圧させることができると考えられる。Considering the above causes, even if the higher-order transverse mode waves of the surface waves emitted from the surface wave emitting electrode (2) shown in Figs. 1 and 2 are confined within the surface wave reflector (3), It is considered that high-order transverse mode spurious can be suppressed by preventing resonance modes from occurring.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は以上の点に鑑みてなされたものであり、高次横
モードが原因となって生ずる高次横モードスプリアスを
軽減させた弾性表面波共振器の提供を目的とする。The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a surface acoustic wave resonator that reduces high-order transverse mode spurious caused by high-order transverse modes.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本発明はこの目的を達成するために、圧電基板上に配置
され所定の間隔で略平行に配列された電極指または矩形
孔またはその両者からなる列で構成された複数の表面波
反射器と、この表面波反射器の間に配置された櫛形電極
よりなる電気−機械変換器とから構成されている弾性表
面波共振器において、この′４極指または矩形孔の先端
部を結ばれてなる包絡線の少なくとも一方は各電極指ま
たは各矩形孔の長手方向と略垂直な方向を基準としゾ この基準に対して傾きをもった直線及びこの基準に対し
て傾きをもった接線を有する曲線、またはこの直線及び
この曲線の組み合せからなる非線からなることを特徴と
し、高次横モードスプリアスを軽減させた弾性表面波共
振器の実現を図るものである。To achieve this object, the present invention includes a plurality of surface wave reflectors arranged on a piezoelectric substrate and configured with rows of electrode fingers and/or rectangular holes arranged substantially parallel at predetermined intervals; In a surface acoustic wave resonator composed of an electro-mechanical transducer made of comb-shaped electrodes arranged between the surface wave reflectors, an envelope formed by connecting the tips of these four-pole fingers or rectangular holes. At least one of the lines is a curved line having a direction substantially perpendicular to the longitudinal direction of each electrode finger or each rectangular hole as a reference, and having a straight line inclined with respect to this reference and a tangent line inclined with respect to this reference, or The present invention is characterized by a non-linear structure consisting of a combination of straight lines and curved lines, and aims to realize a surface acoustic wave resonator in which high-order transverse mode spuriousness is reduced.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

以下本発明の弾性表面波共振器の詳細を説明する。まお
従来例と共通する部分には同一符号を付す。弾性表面波
共振器の概略構造は、第１図に示すように表面波の伝播
基板たる圧電基板（１）の−主面上に、電気−機械変換
器から構成される放射電極（２）とこれを挾んで一対の
表面波反射器（３）を伝播路上に互いに所定間隔をおい
て形成されてなるので、詳細な説明は省略する。The details of the surface acoustic wave resonator of the present invention will be explained below. Also, parts common to the conventional example are given the same reference numerals. As shown in Fig. 1, the general structure of a surface acoustic wave resonator is that a radiation electrode (2) consisting of an electro-mechanical transducer is placed on the main surface of a piezoelectric substrate (1) which is a surface wave propagation substrate. A pair of surface wave reflectors (3) are formed on the propagation path at a predetermined distance from each other between them, so a detailed explanation will be omitted.

第７図（ａｌ及び（ｂ）は本発明の弾性表面波共振器に
おける特徴部分である表面波反射器（３）の一実施例を
示したものである。FIGS. 7A and 7B show an embodiment of the surface acoustic wave reflector (3) which is a characteristic part of the surface acoustic wave resonator of the present invention.

第７図（ａｌにおいて、表面波反射器（３）は所定の間
隔ｌで平行に配列され同じ長さで構成された電極指例え
ば金属性のス）　ＩＪツブ（３０２）列の先端部（３０
５）の端辺の中点を結ぶ包絡線（３０７）の形状は、非
直線である。即ち基本モードの表面波伝搬方向（２Ｉ）
に所定の間隔ｌをへてならんだ例えばアルミニウムから
なるス）　ＩＪツブ（３０２）列から表面波反射器（３
）は構成されている。そしてストリップ（３０２）列の
各先端部（３０５）の端辺の中点（３０６）を結ぶ包絡
線は、ス）　ＩＪツブ（３０２）の長手方向ｍと略垂直
な方向（３）を基準とし、この基準に対して傾きをもっ
た直線の組み合せからなる非直線からなっている。In FIG. 7 (al), the surface wave reflectors (3) are arranged in parallel at a predetermined interval 1 and have the same length, for example, electrode fingers made of metal.
5) The shape of the envelope (307) connecting the midpoints of the edges is non-linear. That is, the fundamental mode surface wave propagation direction (2I)
Surface wave reflectors (302) are arranged at a predetermined distance l from
) is configured. The envelope connecting the midpoints (306) of the ends of the tips (305) of the rows of strips (302) is , consists of a non-straight line consisting of a combination of straight lines that have an inclination with respect to this reference.

この表面波反射器（３）の包絡線（３０７）を境界とし
て、一方の側は圧電基板上に何もないが、他方の側には
圧電基板上にストリップ（３０２）が構成されている。With the envelope (307) of this surface wave reflector (3) as a boundary, there is nothing on the piezoelectric substrate on one side, and a strip (302) is formed on the piezoelectric substrate on the other side.

この為、包絡線（３０７）を境界として表面波の伝搬速
度に相異が生じ、放射電極から入射する波のうち高次横
モードの波（ハ）は包絡線（３０７）で乱反射（２２１
）するため、第１図の表面波放射電極（２）から放射さ
れる表面波の高次横モードの波が表面波反射器（３）内
にとじこめられても、共振モードが生じにくくなる。従
って高次横モードスプリアスを抑圧させることができる
。For this reason, a difference occurs in the propagation speed of the surface waves with the envelope (307) as a boundary, and among the waves incident from the radiation electrode, the higher-order transverse mode wave (C) is diffusely reflected (221) at the envelope (307).
) Therefore, even if the higher-order transverse mode wave of the surface wave emitted from the surface wave emitting electrode (2) in FIG. 1 is confined within the surface wave reflector (3), a resonance mode is less likely to occur. Therefore, high-order transverse mode spurious can be suppressed.

第７図（ｂ）においては、第７図（ａ）に示したストリ
ップ（３０２）の先端部が三角形状となっている表面波
反射器（３）を示す。包絡線（３０７）はス）　ＩＪツ
ブ（３０２）の最先端部（３０９）を結んだ非直線から
なる。FIG. 7(b) shows a surface wave reflector (3) in which the tip of the strip (302) shown in FIG. 7(a) has a triangular shape. The envelope (307) consists of a non-straight line connecting the leading edge (309) of the IJ tube (302).

この表面波反射器（３）は第７図（ａ）に示したものに
比べ、ストリップ（３０２）の先端部がストリップ（３
０２）の長手方向（１）に略垂直となる方向（３）を基
準として、この基準に対して傾きをもった直線となって
いる。In this surface wave reflector (3), compared to the one shown in FIG. 7(a), the tip of the strip (302) is
With reference to the direction (3) substantially perpendicular to the longitudinal direction (1) of 02), the straight line is inclined with respect to this reference.

従って、この傾きをもった傾斜面（３０８）に放射電極
から入射する波のうち高次横モードの波器は、包絡線（
３０７）で乱反射（２２１）する以゛外に、傾斜面（３
０８）で乱反射（２２２）をおこす。このため第７図（
ｂ）に示す表面波反射器（３）は、第１図の表面波放射
電極（２）から放射される表面波の高次横モードの波が
表面波反射器（３）内にとじこめられた場合、第７図（
ａ）に示したものよりも共振モードが生じに〈〈なる。Therefore, among the waves incident on the inclined surface (308) with this inclination from the radiation electrode, the waves of higher-order transverse modes have an envelope (
In addition to the diffuse reflection (221) on the inclined surface (307),
08) causes diffuse reflection (222). For this reason, Figure 7 (
In the surface wave reflector (3) shown in b), the higher-order transverse mode wave of the surface wave emitted from the surface wave emitting electrode (2) in Fig. 1 is confined within the surface wave reflector (3). In this case, Fig. 7 (
Resonant modes are more likely to occur than those shown in a).

即ち、第７図（ｂ）に示す表面波反射電極（３）は、第
７図（ａ）に示したものよりも高次横モードスプリアス
を抑圧させることができる。また、第７図（ｂ）におい
て傾斜面（３０８）はストリップ（３０２）の長手方向
（Ｙｌに略垂直となる方向（３）を基準として、この基
準に対して傾きをもった微細な直線の組み合せからなる
非直線例えばギザギザ状のもの、さらに曲線でも同等の
効果はある。That is, the surface wave reflecting electrode (3) shown in FIG. 7(b) can suppress higher-order transverse mode spurious than that shown in FIG. 7(a). In addition, in FIG. 7(b), the inclined surface (308) is a fine straight line inclined with respect to the longitudinal direction of the strip (302) (direction (3) substantially perpendicular to Yl) as a reference. A non-straight line made of a combination, such as a jagged line, or even a curved line will have the same effect.

第８図（ａ）に示す表面波反射器（３）は、第７図Ｔａ
ｌに示すものと異なり各ストリップ（３０２）の長さが
互いに異なるようにしたものである。第８図（ａ）に示
す表面波反射器（３）と異なり定められたスペースで包
絡線（３０７）の起伏を激しく出来るので、表面波の高
次横モードの波の乱反射を行ないやすくなる。The surface wave reflector (3) shown in FIG. 8(a) is shown in FIG.
Unlike the one shown in FIG. 1, each strip (302) has a different length. Unlike the surface wave reflector (3) shown in FIG. 8(a), the envelope (307) can be made to have large undulations in a defined space, making it easier to diffusely reflect higher-order transverse mode waves of the surface wave.

また、第８図（ｂ）　Ｋ示す表面波反射器（３）は、ス
トリップ列の先端が一方は一直線上に並んだものである
。この表面波反射器（３）は、一方の側のみ包絡線（３
０７）が形成されているだけだが、高次横モードスプリ
アスをある程度抑圧させることができる。In addition, in the surface wave reflector (3) shown in FIG. 8(b) K, one end of the strip row is arranged in a straight line. This surface wave reflector (3) has an envelope (3) on only one side.
07) is formed, but the higher-order transverse mode spurious can be suppressed to some extent.

第９図（ａ）に示す表面波反射器（３）は、第８図（ａ
）に示す表面波反射器（３）の一方の包絡線（３０７）
の形状と略同じ釦前記ストリップ（３０２）列を電気的
に短絡するブスバー（３０３）を形成したものである。The surface wave reflector (3) shown in FIG. 9(a) is
) One envelope (307) of the surface wave reflector (3) shown in
A bus bar (303) that electrically shorts the strip (302) row is formed.

この表面波反射器（３）では、放射電極から入射する波
のうち高次横モードの波（２３は包絡線（３０７）で乱
反射（２２１）すると共にブスバー（３０３）で乱反射
（２２３）を起こす。従って、第１図の表面波放射電極
（２）から放射される表面波の高次横モードの波が表面
波反射器（３）内にとじこめられても共振モードが生じ
にくくなる。即ち、第９図（ａ）に示す表面波反射器（
３）を用いると高次横モードスプリアスを抑圧させるこ
とができる。In this surface wave reflector (3), among the waves incident from the radiation electrode, higher-order transverse mode waves (23) are diffusely reflected (221) by the envelope (307) and diffusely reflected (223) by the bus bar (303). Therefore, even if the higher-order transverse mode wave of the surface wave emitted from the surface wave radiation electrode (2) in FIG. 1 is confined within the surface wave reflector (3), a resonance mode is less likely to occur. The surface wave reflector (
By using 3), higher-order transverse mode spurious can be suppressed.

また第９図（ｂ）に示す表面波反射器（３）は第８図（
ｂ）に示す表面波反射器（３）の包絡線（３０７）の形
状と略同じにストリップ（３０２）列を電気的に短絡す
るブスバー（３０３）を形成したものである。この表面
波反射器（３）を用いると高次横モードスプリアスを抑
圧させることは自明である。また、ブスバーは第７図（
ａ）　、　（ｂ）に示す表面波反射器（３）に設けても
良い。In addition, the surface wave reflector (3) shown in FIG. 9(b) is similar to the surface wave reflector (3) shown in FIG.
A bus bar (303) is formed to electrically short-circuit the strip (302) array in substantially the same shape as the envelope (307) of the surface wave reflector (3) shown in b). It is obvious that using this surface wave reflector (3) suppresses higher-order transverse mode spurious. In addition, the bus bar is shown in Figure 7 (
It may also be provided in the surface wave reflector (3) shown in a) and (b).

第１０図（ａ）と第１０図（１））とに示す表面波反射
器（３）において、前者は第９図（ａ）に示した表面波
反射器（３）の包絡線（３０７）の形状と略同じにスト
リップ（３０２）列を電気的に短絡するブスバー（３０
２）を形成したものであり、後者は第９図（ｂ）に示し
た表面波反射器（３）の各ス）　ＩＪツブ（３０３）の
先端が一直線上に並んだストリップ（３０２）列を電気
的に短絡するブス／（−（３０３）を形成したものであ
る。これら表面波反射器（３）を用いると高次横モード
スプリアスを抑圧させることは明らかである。In the surface wave reflector (3) shown in FIG. 10(a) and FIG. 10(1)), the former is the envelope (307) of the surface wave reflector (3) shown in FIG. 9(a). A bus bar (30
2), the latter is a row of strips (302) in which the tips of the IJ tubes (303) are aligned in a straight line. An electrically short-circuited bus /(-(303)) is formed.It is clear that the use of these surface wave reflectors (3) suppresses higher-order transverse mode spurious.

なお、第９図ｆａ）　、　（ｂｌ、第１０図（ａ）　、
　（ｂ）Ｋ示した表面波反射器（３）の傾斜面Ｇ１）と
、第１０図（ｂ）　Ｋ示した表面波反射器（３）の平行
面（３擾とは、ストリップ（３０２）の長手方向（１）
に略垂直な方向内を基準として、この基準に対して傾き
をもった微細な直線の組み合せや曲線からなる非直線か
ら構成されれば高次横モードの波をより完全圧乱反射し
、共振モードが生じにくくなるのは言うまでもない。In addition, Fig. 9 fa), (bl, Fig. 10 (a),
(b) The inclined surface G1) of the surface wave reflector (3) shown in K and the parallel surface (3) of the surface wave reflector (3) shown in FIG. Longitudinal direction (1)
If it is composed of a non-straight line consisting of a combination of fine straight lines or a curved line with a direction approximately perpendicular to this reference, it will reflect the higher-order transverse mode waves more completely, and the resonant mode Needless to say, it becomes less likely to occur.

次に第１１図（ａ）を参照して本発明の他の実施例を説
明する。第１１図（ａ）Ｋおｈて、例えばアルミニウム
からなる金属膜（４１）Ｋ所定の間隔で平行に配列され
た矩形孔即ち長方形開孔（４１１）列が形成されて、表
面波反射器（３）は構成されている。この長方形開孔（
４１１）の各先端部（４１２）の端辺の中点を結ぶ包絡
線（３０７）の形状は直線の組み合せからなり非直線で
ある。即ち長方形開孔（４］１）の長手方向ｍに略垂直
な方向（３）を基準として、この基準に対して傾きをも
った直線の組み合せからなる非直線から包絡線（３０７
）は構成されている。Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 11(a). In FIG. 11(a), a metal film (41) made of, for example, aluminum is formed with rows of rectangular holes (411) arranged in parallel at predetermined intervals, and a surface wave reflector (411) is formed. 3) is configured. This rectangular opening (
The shape of the envelope (307) connecting the midpoints of the end sides of each tip (412) of 411) is a non-linear shape consisting of a combination of straight lines. In other words, the envelope (307
) is configured.

この表面波反射器（３）の包絡線（３０７）を境界とし
て、一方の側はアルミニウムが一面に被着されているが
、他方の側にはアルミニウムに矩形孔即ち長方形開孔（
４１１）が構成されている。従って包絡線（３０７）を
境界として表面波の伝搬速度に相異が生じ、放射電極か
ら入射する波のうち高次横モードの波は、非直線な包絡
線（３０７）で乱反射するため、第１図に示した表面波
放射電極（２）から放射される表面波の高次横モードの
波が表面波反射器（３）内にとじこめられても、共振モ
ードが生じにくくなる。従って高次横モードスプリアス
を抑圧させることができる。なお、長方形開孔（４１１
）の開孔長の長さは全て同じ長さでも良いのは言うまで
もない。With the envelope (307) of this surface wave reflector (3) as the boundary, one side is coated with aluminum, and the other side has a rectangular hole (a rectangular opening) in the aluminum.
411) is configured. Therefore, there is a difference in the propagation speed of the surface waves with the envelope (307) as a boundary, and among the waves incident from the radiation electrode, higher-order transverse mode waves are diffusely reflected by the non-linear envelope (307). Even if the higher-order transverse mode waves of the surface waves radiated from the surface wave radiation electrode (2) shown in FIG. 1 are confined within the surface wave reflector (3), resonance modes are less likely to occur. Therefore, high-order transverse mode spurious can be suppressed. In addition, a rectangular opening (411
) may all have the same length.

また、第１１図（ｂ）に示す表面波反射器（３）は、第
１１図１ａ）に示したものと異なり包絡線（３０７）が
一本しかないものである。換言すれば、長方形開孔（４
１１）列の一方の先端部（４１４）は−直線上に並んで
いる。この表面波反射器（３）でも高次横モードスプリ
アスを抑圧させることはできる。Further, the surface wave reflector (3) shown in FIG. 11(b) has only one envelope (307), unlike the surface wave reflector (3) shown in FIG. 11(a). In other words, a rectangular opening (4
11) One tip (414) of the row is aligned on a straight line. This surface wave reflector (3) can also suppress high-order transverse mode spurious.

次に第１２図（ａ）を参照して本発明の他の実施例を説
明する。圧電基板そのものに所定の間隔で矩形孔即ちグ
ループ（５１）を平行に配列し、表面波反射器（３）を
構成している。このグループ（５１）の各先端部（５１
１）の端辺の中点を結ぶ包絡線（３０７）の形状は直線
の組み合せからなり非直線である。即ちグループ（５１
）の長手方向（１）と略垂直な方向（３）を基準として
、この基準に対して傾きをもった直線の組み合せからな
る非直線からなっている。Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 12(a). Rectangular holes or groups (51) are arranged in parallel at predetermined intervals on the piezoelectric substrate itself, forming a surface wave reflector (3). Each tip (51) of this group (51)
The shape of the envelope (307) connecting the midpoints of the end sides in 1) is a non-linear shape consisting of a combination of straight lines. That is, the group (51
) is made up of a non-straight line consisting of a combination of straight lines inclined with respect to the direction (3) substantially perpendicular to the longitudinal direction (1) of ).

この表面波反射器（３）の包絡線（３０７）を境界とし
て、一方の側は圧電基板の一生面であるが他方の側には
圧電基板に矩形孔即ちグループ（５１）が構成されてい
る。従って包絡線（３０７）を境界として表面波の伝搬
速度に相異が生じ、放射電極から入射する波のうち高次
横モードの波は非直線な包絡線（３０７）で乱反射する
。よって、第１図に示した表面波放射電極（２）から放
射される表面波の高次横モードの波が表面波反射器（３
）内にとじこめられても、共振モードが生じにくくなる
。即ち高次横モードスプリアスを抑圧させることができ
る。なお、グループ（５１）の開孔長の長さは全て同じ
長さでも良い。またこのグループ（５１）の先端部（５
１１）の端辺の形状が基本モードの表面波伝搬方向ＯＢ
を基準として、この基準に対して傾きをもった微細な直
線の組み合せからなる非直線からなると、より一層高次
横モードスプリアスを抑圧させることができる。With the envelope (307) of this surface wave reflector (3) as the boundary, one side is the whole surface of the piezoelectric substrate, and the other side is formed with rectangular holes or groups (51) in the piezoelectric substrate. . Therefore, a difference occurs in the propagation speed of the surface waves with the envelope (307) as a boundary, and higher-order transverse mode waves among the waves incident from the radiation electrode are diffusely reflected by the non-linear envelope (307). Therefore, the higher-order transverse mode waves of the surface waves radiated from the surface wave emitting electrode (2) shown in FIG.
), resonance modes are less likely to occur. That is, high-order transverse mode spurious can be suppressed. Note that the lengths of the openings in the group (51) may all be the same length. Also, the tip (5) of this group (51)
11) The shape of the edge is the fundamental mode surface wave propagation direction OB
If the line is made up of a non-linear combination of fine straight lines having an inclination with respect to the reference, higher-order transverse mode spurious can be further suppressed.

また、第１２図（ｂ）に示す表面波反射器（３）は、グ
ループ（５１）の先端の並びの片側を一直線上に並べ、
他方のみに包絡線（３０７）を設けたものである。第１
２図（ａ）に示した表面波反射器（３）よりも劣るが、
高次横モードスプリアスを抑圧させることができる。In addition, the surface wave reflector (3) shown in FIG. 12(b) has one side of the group (51) arranged in a straight line,
An envelope (307) is provided only on the other side. 1st
Although it is inferior to the surface wave reflector (3) shown in Figure 2(a),
High-order transverse mode spurious can be suppressed.

次に第１３図を参照して本発明の他の実施例を説明する
。表面波反射器（３）は所定の間隔で平行に配列された
ストリップ（６１）列をブスバー（６２）が電気的に短
絡している。この時、ストリップ（６１）列の先端部の
並びの少なくとも一方はストリップ（６１）の長手方向
（Ｙ）と略垂直な方向（３）を基準としこの基準に対し
て傾きをもった直線からなる。これにより、高次横モー
ドの波が表面波反射器（３）内にとじこめられても傾斜
面（６１１）で乱反射（２２１）するので共振モードが
生じＫ＜くなる。従って高次横モードスプリアスを抑圧
させることができる。Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the surface wave reflector (3), a bus bar (62) electrically shorts a row of strips (61) arranged in parallel at a predetermined interval. At this time, at least one of the tips of the rows of strips (61) is a straight line that is inclined with respect to the direction (3) substantially perpendicular to the longitudinal direction (Y) of the strips (61). . As a result, even if a high-order transverse mode wave is confined within the surface wave reflector (3), it is diffusely reflected (221) on the inclined surface (611), so a resonance mode is generated and K<. Therefore, high-order transverse mode spurious can be suppressed.

また、第１３１’４に示す表面波反射器（３）はブスバ
ー（６２）を形成していなくても同等の効果が得られる
のは言うまでもない。さらに、ストリップ（６１）列の
先端部の並びの少なくとも一方は基本モードの表面波伝
搬方向（２Ｄを基準としこの基準に対して傾きをもった
接線を有する曲線から構成しても良いのは明白である。Furthermore, it goes without saying that the same effect can be obtained even if the surface wave reflector (3) shown in No. 131'4 does not include the bus bar (62). Furthermore, it is obvious that at least one of the arrays of the tips of the strips (61) may be composed of a curved line with the fundamental mode surface wave propagation direction (2D as a reference) and a tangent line with an inclination to this reference. It is.

その上、一部は曲線で構成し他の一部は直線で構成して
も良い。Moreover, some parts may be constructed with curved lines and other parts may be constructed with straight lines.

またさらに表面波反射器には、電極指例えばストリップ
と矩形孔例えばグループまたは金属膜に開孔形状を設け
たものを組み合せて、構成してもよい。この表面波反射
器において、電極指と矩形孔とのそれぞれ先端部が結ば
れてなる包絡線の少なくとも一方は各電極指と各矩形孔
との長手方向と略垂直な方向を基準とし、この基準に対
して傾きをもった直線とこの基準に対して傾きをもった
接線を有する曲線とこの直線及びこの曲線の組み合せか
らなる非直線のいずれからなれば、第７図（ａ）乃至第
１３図とに示した表面波反射器と同じく高次横モードス
プリアスを抑圧させることができるのは言うまでもない
。Furthermore, the surface wave reflector may be constructed by combining electrode fingers such as strips and rectangular holes such as groups or apertures formed in a metal film. In this surface wave reflector, at least one of the envelopes formed by connecting the tips of the electrode fingers and the rectangular holes is based on a direction substantially perpendicular to the longitudinal direction of each electrode finger and each rectangular hole, and this reference 7 (a) to 13. Needless to say, it can suppress high-order transverse mode spurious as well as the surface wave reflector shown in .

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のような構成をとることにより本発明は、表面波反
射器側面での弾性表面波の伝搬速度の差によって生ずる
反射が乱れる。これにより放射電極から放射される表面
波の高次横モードの波が表面波反射器内で横モード共振
が生じにくくなる。By employing the above configuration, the present invention disrupts the reflection caused by the difference in the propagation speed of the surface acoustic wave on the side surface of the surface wave reflector. This makes it difficult for higher-order transverse mode waves of the surface waves radiated from the radiation electrode to cause transverse mode resonance within the surface wave reflector.

従って高次横モードスプリアスを抑圧することができる
。Therefore, high-order transverse mode spurious can be suppressed.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は従来の弾性表面波共振器を示す平面図、は第１
図及び第２図に示す弾性表面波共振器において横モード
スプリアスが発生する理由を説明する図、第７図（ａ）
及び（ｂｌは本発明の弾性表面波共振器の一実施例の要
部を示す図、第８図（ａ）及び（ｂ）は本発明の他の実
施例の要部を示す図、第９図（ａ）及び（ｂ）は本発明
の他の実施例の要部を示す図、第１０図（８）及び（ｂ
）は本発明の他の実施例の要部を示す図、第１１図（ａ
）及び（ｂ）は本発明の他の実施例の要部を示す図、第
１２図Ｔ８）及び（ｂ）は本発明の他の実施例の要部を
示す図、第１３図は本発明の他の実施例の要部を示す図
でちる。Figure 1 is a plan view showing a conventional surface acoustic wave resonator;
Figure 7(a) is a diagram explaining the reason why transverse mode spurious occurs in the surface acoustic wave resonator shown in Figure 2 and Figure 2.
and (bl is a diagram showing the main part of one embodiment of the surface acoustic wave resonator of the present invention, FIGS. 8(a) and (b) are diagrams showing the main part of another embodiment of the present invention, FIG. 9 Figures (a) and (b) are diagrams showing main parts of other embodiments of the present invention, and Figures 10 (8) and (b).
) is a diagram showing the main part of another embodiment of the present invention, and FIG.
) and (b) are diagrams showing the main parts of another embodiment of the present invention, FIG. 12 T8) and (b) are diagrams showing the main parts of another embodiment of the invention, and FIG. This is a diagram showing the main part of another embodiment.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 （１）圧電基板上に配置され所定の間隔で略平行に配列
された電極指列で構成された複数の表面波反射器と、複
数の前記表面波反射器の間に配置された櫛形電極よりな
る電気−機械変換器とから構成されている弾性表面波共
振器において、前記電極指列の各電極指先端部が結ばれ
てなる包絡線の少なくとも一方６ｓ極指の長手方向と略
垂直な方向を基準としこの基準に対して傾きをもった直
線と九の基準に対して傾きをもった接線を有する゛曲線
と外の直線及びこの曲線の組み合せからなる非直線との
いずれからなることを特徴とする弾性表面波共振器。 （２）前記′電極指列の電極指は、金属からなるストリ
ップ列であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の弾性表面波共振器。 （３）　　前記ストリップ列の各ストリップ先端部を結
んでなる包絡線の少なくとも一方にこの包絡線の形状と
略同じに前記ストリップ列を電気的に短絡するブスバー
が形成されてなることを特徴とする特許請求の範囲第１
項及び第２項記載の弾性表面波共振器。 （４］　　圧電基板上に配置され所定の間隔で略平行に
配列された矩形孔列で構成された複数の表面波反射器と
、複数の前記表面波反射器の間に配置された櫛形電極よ
りなる電気−機械変換器とから構成されている弾性表面
波共振器において、前記矩形孔列の各電極指先端部が結
ばれてなる包絡線の少なくとも一方はζ矩形孔の長手方
向と略垂直な方向を基準としこの基準に対して傾きをも
った直゛線と覧の基準に対して傾きをもった接線を有す
る曲線と外の直線及びこの曲線の組み合せからなる非直
線とのいずれからなることを特徴とする弾性表面波共振
器。 （５」　　前記矩形孔列の各矩形孔は金属膜に開孔部が
形成されてなることを特徴とする特許請求の範囲第４項
記載の弾性表面波共振器。 （６）前記矩形孔列の各矩形孔は、前記圧電基板の一主
面に凹部が形成されてなることを特徴とする特許請′求
の範囲第４項記載の弾性表面波共振器。 （７）　　圧電基板上に配列され所定の間隔で略平行に
配列された電極指と矩形孔とから構成された複数の表面
波反射器と、複数の前記表面波反射器の間に配置された
櫛形電極よりなる電気−機械変換器とから構成されてい
る弾性表面波共振器において、前記電極指と矩形孔との
それぞれ先端部が結ばれてなる包絡線の少なくとも一方
＆　′ｔｘ極指と各矩形孔との長手方向と略垂直な方向
を基準としこの基準に対して傾きをもった直線力（の基
準に対して傾きをもった接線を有する曲線ジこの直線及
びこの曲線の組み合せからなる非直線のいずれからなる
ことを特徴とする弾性表面波共振器。[Scope of Claims] (1) Between a plurality of surface wave reflectors arranged on a piezoelectric substrate and constituted by rows of electrode fingers arranged substantially in parallel at predetermined intervals, and a plurality of surface wave reflectors. In a surface acoustic wave resonator constituted by an electro-mechanical transducer made of arranged comb-shaped electrodes, at least one 6s pole finger length of an envelope formed by connecting the tips of each electrode finger of the electrode finger array. A straight line that has a direction substantially perpendicular to the direction as a reference and has a straight line that has an inclination to this reference and a tangent line that has an inclination to the nine reference points. A surface acoustic wave resonator comprising any of the following. (2) The surface acoustic wave resonator according to claim 1, wherein the electrode fingers of the 'electrode finger row' are strip rows made of metal. (3) A bus bar electrically short-circuiting the strip row is formed on at least one of the envelopes connecting the tip ends of the strips in the strip row, the shape of which is substantially the same as that of the envelope. Claim 1
The surface acoustic wave resonator according to Items 1 and 2. (4) A plurality of surface wave reflectors arranged on a piezoelectric substrate and configured with rows of rectangular holes arranged substantially in parallel at predetermined intervals, and a comb-shaped electrode arranged between the plurality of surface wave reflectors. In the surface acoustic wave resonator, at least one of the envelopes formed by connecting the tips of the electrode fingers of the rectangular hole array is approximately perpendicular to the longitudinal direction of the ζ rectangular hole. Consisting of either a straight line that has a direction as a reference and has an inclination to this reference, a curve that has a tangent line that has an inclination to the viewing reference, or a non-straight line that is a combination of an outside straight line and this curve. A surface acoustic wave resonator characterized by: (5) The surface acoustic wave resonator according to claim 4, wherein each rectangular hole in the rectangular hole array is formed by forming an opening in a metal film. Resonator. (6) The surface acoustic wave resonance according to claim 4, wherein each rectangular hole in the rectangular hole array is formed by forming a recess in one principal surface of the piezoelectric substrate. (7) A plurality of surface wave reflectors arranged on a piezoelectric substrate and constituted by electrode fingers and rectangular holes arranged substantially in parallel at predetermined intervals, and arranged between the plurality of surface wave reflectors. In a surface acoustic wave resonator comprising an electro-mechanical transducer made of comb-shaped electrodes, at least one of the envelopes formed by connecting the tips of the electrode fingers and the rectangular holes, respectively &'tx pole fingers; A linear force with a direction approximately perpendicular to the longitudinal direction of each rectangular hole as a reference and a tangent line with an inclination to the reference. From the combination of this straight line and this curve, A surface acoustic wave resonator characterized in that it consists of a non-linear line.
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