JPH02150727A - Device for measuring output of laser - Google Patents
Device for measuring output of laserInfo
- Publication number
- JPH02150727A JPH02150727A JP30220988A JP30220988A JPH02150727A JP H02150727 A JPH02150727 A JP H02150727A JP 30220988 A JP30220988 A JP 30220988A JP 30220988 A JP30220988 A JP 30220988A JP H02150727 A JPH02150727 A JP H02150727A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrating sphere
- laser
- output
- laser beam
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は比較的小型のレーザの出力測定装置に関する。[Detailed description of the invention] [Purpose of the invention] (Industrial application field) The present invention relates to a relatively small laser output measuring device.
（従来の技術）
例えば板金の切断等を目的とするレーザ加工においては
放電励起炭酸ガスレーザが使用される。(Prior Art) For example, in laser processing for the purpose of cutting sheet metal, a discharge excited carbon dioxide laser is used.
上記レーザ加工を適切に行うためには、板金の厚さ、種
類、ガス圧、切断速度に応じてレーザの出力を制御する
必要があり、実際のレーザの出力を測定しながら放電注
入電流によってレーザの出力を閉ループ制御していた。In order to properly perform the above laser processing, it is necessary to control the laser output according to the thickness, type, gas pressure, and cutting speed of the sheet metal. The output was controlled in a closed loop.
実際のレーザの出力を測定する方法としては、（２）、
熱的方法、（ω、光電的方法、（Ｃ）、放射的方法があ
るが、例えば熱的方法を用いた場合として、従来はサー
モパイルセンサをレーザの出力測定装置として用いてい
た。As a method to measure the actual laser output, (2)
There are thermal methods, (ω), photoelectric methods, (C), and radiation methods. For example, when using the thermal method, a thermopile sensor has conventionally been used as a laser output measuring device.
すなわち、上記サーモパイルセンサは、熱伝導の良い円
盤上の金属からなる受光体に、複数の熱伝導を直列に配
置した構成である。したがって、レーザ光を受光体の受
光面に当てることにより、レーザの出力を受光体に吸収
させてレーザの出力に応じた熱容量に変換して、更に複
数の熱伝導によりこの熱容量をレーザの出力に応じた電
気信号に変換してレーザの出力を測定するものである。That is, the thermopile sensor has a configuration in which a plurality of heat conductors are arranged in series on a photoreceptor made of a disc-shaped metal with good heat conduction. Therefore, by applying laser light to the light-receiving surface of the photoreceptor, the laser output is absorbed by the photoreceptor and converted into a heat capacity corresponding to the laser output, and then this heat capacity is converted into laser output through multiple heat conductions. The output of the laser is measured by converting it into a corresponding electrical signal.
しかし、光軸に垂直なレーザ光の断面は所定の強度分布
を・有しており、このような状態下においてレーザの出
力を正確に測定するためには、前記サーモパイルセンサ
の受光体の径をレーザ光の径以下にすることができない
。したがって、受光体の径が大きくなり、熱時定数を小
さくすることができず、レーザ光が受光体の受光面に当
ってからレーザの出力に応じた電気信号を検出するまで
の応答速度が遅くなり、レーザの出力が熱容量に変換さ
れて更に電気信号に換えられるまでに通常１秒から１０
９秒の時間を要する。そのために、レーザ加工において
は、レーザの出力を適切に制御できず適切なレーザ加工
を行い得ないという問題点があった。However, the cross section of the laser beam perpendicular to the optical axis has a predetermined intensity distribution, and in order to accurately measure the laser output under such conditions, it is necessary to adjust the diameter of the photoreceptor of the thermopile sensor. It cannot be made smaller than the diameter of the laser beam. Therefore, the diameter of the photoreceptor becomes large, making it impossible to reduce the thermal time constant, and the response speed from when the laser beam hits the light receiving surface of the photoreceptor to when an electrical signal corresponding to the laser output is detected is slow. It usually takes from 1 second to 10 seconds for the laser output to be converted to heat capacity and then to an electrical signal.
It takes 9 seconds. Therefore, in laser processing, there has been a problem in that the output of the laser cannot be properly controlled and appropriate laser processing cannot be performed.
そこで、上記問題点を解決するために、レーザ光の強度
分布を均一にして受光体の受光面積をできるだけ小さく
すべく積分球を備えたレーザの出力測定装置を開発した
。Therefore, in order to solve the above-mentioned problems, we developed a laser output measuring device equipped with an integrating sphere in order to make the intensity distribution of the laser beam uniform and to minimize the light-receiving area of the photoreceptor.
上記レーザの出力測定装置については、レーザ光が入射
するための入射部を備えた積分球の適宜位置には、セン
サポートが形成しであると共に、このセンサポートを透
過したレーザ光の出力を検出するために、適宜位置には
センサポートの径とほぼ等しい径を有した受光体を備え
たサーモバイルセンサが設けである。上記積分球は中空
の球であり、内壁面が高い反射率でコーティングされた
拡散反射面となっている。Regarding the laser output measurement device mentioned above, a sensor port is formed at an appropriate position on an integrating sphere equipped with an incident part for laser light to enter, and the output of the laser light transmitted through this sensor port is detected. In order to do this, a thermomobile sensor equipped with a photoreceptor having a diameter approximately equal to the diameter of the sensor port is provided at an appropriate position. The above-mentioned integrating sphere is a hollow sphere, and the inner wall surface is coated with a high reflectance to form a diffuse reflection surface.
したがって、所定の強度分布をもって入射部から入射し
てくるレーザ光は、積分球の内壁面内において多数回反
射を繰り返えすことにより、積分球の内のレーザ光の強
度は比較的均一になってくる。これによって、レーザ光
の出力を測定するために、レーザ光の径とほぼ同−又は
それ以上の径をした受光体を用いる必要はなく、面積の
小さな受光体を用いるだけでよいものである。Therefore, the laser beam that enters from the entrance with a predetermined intensity distribution is reflected many times within the inner wall surface of the integrating sphere, so that the intensity of the laser beam within the integrating sphere becomes relatively uniform. It's coming. Accordingly, in order to measure the output of the laser beam, it is not necessary to use a photoreceptor with a diameter that is approximately the same as or larger than the diameter of the laser beam, and it is sufficient to use a photoreceptor with a small area.
（発明が解決しようとする課題）
しかし、前述のごとき積分球を備えたレーザの出力測定
装置においては、入射部から入射してきたレーザ光を積
分球内で多数回拡散反射させて、レーザ光の強度を均一
にするためには、入射してくるレーザ光の径に比べて積
分球の内径をかなり大きくする必要があり、積分球、換
言すればレーザの出力装置が大型化するという問題点が
あった。(Problem to be Solved by the Invention) However, in the laser output measurement device equipped with an integrating sphere as described above, the laser beam entering from the input part is diffusely reflected many times within the integrating sphere, and the laser beam is In order to make the intensity uniform, it is necessary to make the inner diameter of the integrating sphere considerably larger than the diameter of the incident laser beam, which poses the problem of increasing the size of the integrating sphere, or in other words, the laser output device. there were.
そこで、本発明は上記の問題点を解決すべく、比較的小
型のレーザの出力装置を提供することを目的とする。Therefore, an object of the present invention is to provide a relatively small-sized laser output device in order to solve the above-mentioned problems.
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
前述のごとき従来の問題点を解決するために、本発明に
おいては、積分球に入射部を設け、レーザ光が透過自在
に小孔を多数設け、上記積分球の適宜位置に、レーザ光
の出力を検出する出力検出センサを設けてなるものであ
る。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) In order to solve the conventional problems as described above, in the present invention, an input part is provided in the integrating sphere, and a large number of small holes are formed so that the laser beam can freely pass through. An output detection sensor for detecting the output of the laser beam is provided at an appropriate position on the integrating sphere.
（作用）
前記の構成において、所定の強度分布をもったレーザ光
が入射部に設けた多数の小孔を透過する。このときにレ
ーザ光は多数のかなり細いレーザ光に細分化される。(Function) In the above configuration, laser light having a predetermined intensity distribution is transmitted through a large number of small holes provided in the entrance portion. At this time, the laser beam is subdivided into a large number of fairly narrow laser beams.
上記多数のかなり細いレーザ光が積分球内で多数回反射
を繰り返す。これによって、積分球内のレーザ光の強度
は平均化されてほぼ均一なものとなる。そして、はぼ均
一になったレーザ光の出力を出力検出センサにより検出
する。The large number of fairly narrow laser beams described above are reflected many times within the integrating sphere. As a result, the intensity of the laser light within the integrating sphere is averaged and becomes approximately uniform. Then, the output of the laser beam, which has become more or less uniform, is detected by an output detection sensor.
（実施例） 以下、本発明に係る実施例を図面に基づいて説明する。(Example) Embodiments according to the present invention will be described below based on the drawings.
第１図、第２図を参照するに、レーザの出力測定装置１
における第１積分球ベース３の前側（第１図において左
側、第２図において紙面に向って表側）中央部には半球
状の溝５が形成しである。Referring to FIGS. 1 and 2, a laser output measuring device 1
A hemispherical groove 5 is formed in the center of the front side (left side in FIG. 1, front side facing the paper in FIG. 2) of the first integrating sphere base 3.
後側（第１図において右側、第２図において紙面に向っ
て裏側）に半球状の溝７を形成した第２積分球ベース部
材９が、第１積分球ベース３の前面に固定して設けであ
る。上記半球状の溝５．７によって積分球１１が形成さ
れ、また、この積分球１１の内壁面は高い反射率でコー
ティングされた拡散反射面となっている。゛
上記第２積分球ベース９の前部にはレーザ光ＬＢが入射
してくるための入射部１３が形成してあり、この入射部
１３には積分球１１に連通した小孔１５が第２図に示す
ように所定間隔に亘って多数形成しである。なお、上記
入射部′１３の周縁部には筒状部材１７が設けである。A second integrating sphere base member 9 having a hemispherical groove 7 formed on the rear side (the right side in FIG. 1, the back side toward the paper surface in FIG. 2) is fixedly provided on the front surface of the first integrating sphere base 3. It is. An integrating sphere 11 is formed by the hemispherical groove 5.7, and the inner wall surface of the integrating sphere 11 is a diffuse reflection surface coated with a high reflectance.゛An entrance part 13 for the laser beam LB to enter is formed in the front part of the second integrating sphere base 9, and this entrance part 13 has a second small hole 15 communicating with the integrating sphere 11. As shown in the figure, a large number of them are formed at predetermined intervals. It should be noted that a cylindrical member 17 is provided at the peripheral edge of the incident portion '13.
上記積分球１１の適宜位置にはレーザ光ＬＢの径に比較
してかなり小さい径のセンサポート１９が形成してあり
、このセンサポート１９は第１積分球ベース３に形成し
た孔２１に連通しである。A sensor port 19 having a diameter considerably smaller than the diameter of the laser beam LB is formed at an appropriate position on the integrating sphere 11, and this sensor port 19 communicates with a hole 21 formed in the first integrating sphere base 3. It is.
上記センサポート１９に入射してきたレーザ光ＬＢの出
力を検出するために、孔２１にはサーモバイルセンサ２
３が設けである。A thermomobile sensor 2 is provided in the hole 21 to detect the output of the laser beam LB that has entered the sensor port 19.
3 is a provision.
より詳細には、孔２１には支持部材２５が設けてあり、
この支持部材２５にはセンサポート１９に入射してきた
レーザ光ＬＢの出力を熱容量に変換するために熱伝導の
良い金属からなる受光体２７が設けである。ここで、上
記受光体２７はその径は比較的小さく、受光面積は小さ
いものである。More specifically, the hole 21 is provided with a support member 25,
This support member 25 is provided with a photoreceptor 27 made of a metal with good thermal conductivity in order to convert the output of the laser beam LB incident on the sensor port 19 into heat capacity. Here, the photoreceptor 27 has a relatively small diameter and a small light-receiving area.
また、受光体２７には複数の熱伝導（図示省略）が直列
に配置してあり、サーモバイルセンサ２３に設けた出力
コード２９．３１は、前記第１積分球ベース３の適宜位
置に取付けたコネクタ３３に接続しである。Further, a plurality of heat conductors (not shown) are arranged in series on the photoreceptor 27, and output cords 29 and 31 provided on the thermomobile sensor 23 are attached to appropriate positions on the first integrating sphere base 3. It is connected to the connector 33.
上記第１．第２積分球ベース３，９に吸収された熱を冷
却するために、第２積分球ベース９の適宜位置には冷却
管３５が設けである。Above 1. In order to cool down the heat absorbed by the second integrating sphere bases 3 and 9, cooling pipes 35 are provided at appropriate positions on the second integrating sphere base 9.
前述の本実施例の構成に基づき作用について第１図、第
２図、第３図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を参照しながら説
明する。The operation based on the configuration of this embodiment described above will be explained with reference to FIGS. 1, 2, 3 (A), (B), and (C).
第３図（Ａ）に示すような所定の強度分布をもったレー
ザ光ＬＢが、入射部１３に形成した多数の小孔１５を貫
通して積分球１１内に入射する。Laser light LB having a predetermined intensity distribution as shown in FIG. 3(A) passes through a large number of small holes 15 formed in the entrance portion 13 and enters the integrating sphere 11.
このときに、レーザ光ＬＢは小孔１３の径と同一の径を
有する多数のレーザ光ＬＢに細分化されて、レーザ光の
強度分布は第３図（Ｂ）に示すようになる。また、小孔
１３を貫通しなかったレーザ光ＬＢは入射部１３に熱と
して変換され、この熱は冷却水路３５により放熱される
。At this time, the laser beam LB is subdivided into a large number of laser beams LB having the same diameter as the diameter of the small hole 13, and the intensity distribution of the laser beam becomes as shown in FIG. 3(B). Further, the laser beam LB that has not passed through the small hole 13 is converted into heat by the incident part 13, and this heat is radiated by the cooling water channel 35.
小孔１３により細分化された上記多数のレーザ光［Ｂは
、積分球１１の内壁面において多数回反射を繰り返すこ
とになる。これによって、積分球１１内のレーザ光１Ｂ
の強度はほぼ均一になるものである。The large number of laser beams [B] segmented by the small holes 13 are reflected many times on the inner wall surface of the integrating sphere 11. As a result, the laser beam 1B inside the integrating sphere 11
The strength of is almost uniform.
そして、はぼ均一な強度をもつレーザ光ＬＢは、センサ
ポート１９を経由してサーモバイルセンサ２３の受光体
２７の受光面に当たる。これによって、受光体２７によ
ってレーザの出力に応じた熱に変換されて、この熱容量
はレーザの出力に応じた電気信号に変換される。The laser beam LB having a nearly uniform intensity passes through the sensor port 19 and hits the light receiving surface of the photoreceptor 27 of the thermomobile sensor 23 . Thereby, the photoreceptor 27 converts the heat into heat corresponding to the output of the laser, and this heat capacity is converted into an electric signal corresponding to the output of the laser.
以上のごとき本実施例によれば、所定の強度分布をもつ
レーザ光ＬＢが積分球１１内で多数回反射を繰り返して
、レーザ光ＬＢの強度はほぼ均一となることにより、レ
ーザの出力を検出覆るだめの受光体２７の面積を小さく
することができると共に、受光体２７の熱時定数を小さ
くすることができる。したがって、レーザの出力測定装
置１の応答速度が速くなるものである。また、例えばレ
ーザ加工にレーザの出力測定装置１を用いてレーザの出
力を検出し制御する場合においても、応答速度が速いた
めに適切にレーザ加工を行うことができるものであ。According to this embodiment as described above, the laser beam LB having a predetermined intensity distribution is reflected many times within the integrating sphere 11, and the intensity of the laser beam LB becomes almost uniform, thereby detecting the laser output. The area of the photoreceptor 27 to be covered can be reduced, and the thermal time constant of the photoreceptor 27 can be reduced. Therefore, the response speed of the laser output measuring device 1 becomes faster. Further, even when the laser output measurement device 1 is used for laser processing, for example, to detect and control the laser output, the response speed is fast, so that the laser processing can be performed appropriately.
また、所定の径を有したレーザ光ＬＢが多数の小孔１５
を透過し、レーザ光１Ｂが多数の径の小さいレーザ光Ｌ
Ｂに細分化されて積分球１１内に人！）１するものであ
るから、積分球１１の内径を小さくすることができると
共に積分球１１を小さくすることができ、ひいてはレー
ザの出力装置１を小さくすることができるものである。Further, the laser beam LB having a predetermined diameter is emitted through a large number of small holes 15.
, the laser beam 1B passes through a large number of small diameter laser beams L
It is subdivided into B and there are people inside the integrating sphere 11! )1, the inner diameter of the integrating sphere 11 can be made smaller, and the integrating sphere 11 can also be made smaller, which in turn allows the laser output device 1 to be made smaller.
なお、本発明は前述の実施例の説明に限ることなく、サ
ーモバイルセンサ２３の代わりに光電スイッチを設けた
りする等適宜の変更を行うことにより、その他種々の態
様で実施可能である。Note that the present invention is not limited to the description of the above-described embodiments, and can be implemented in various other forms by making appropriate changes such as providing a photoelectric switch in place of the thermomobile sensor 23.
［発明の効果］
以上のごとき実施例の説明により理解されるように、本
発明によれば所定の径を有したレーザ光が多数の小孔を
透過し、レーザ光が多数の細いレーザ光に細分化されて
積分球内に入射するものであるから、積分球の内径を小
さくすることができると共に積分球を小さくすることが
でき、ひいてはレーザの出力測定装置を比較的小さくす
ることができるものである。[Effects of the Invention] As understood from the description of the embodiments above, according to the present invention, a laser beam having a predetermined diameter is transmitted through a large number of small holes, and the laser beam is divided into a large number of narrow laser beams. Since the light is segmented and incident on the integrating sphere, the inner diameter of the integrating sphere can be made smaller, and the integrating sphere can also be made smaller, which in turn allows the laser output measuring device to be made relatively smaller. It is.
図面は本発明に係る実施例を説明するものであり、第１
図はレーザの出力測定装置の側断面図である。第２図は
レーザの出力測定の正面図である。
第３図（Ａ）は第１図における△−Ａ線に沿ったレーザ
光の強度分布図である。第３図（Ｂ）は第１図における
Ｂ−Ｂ線に沿ったレーザ光の強度分重囲である。第３図
（Ｃ）
は第１図におけるＣ−
Ｃ線に沿ったレーザ光の強度分布図である。
１・・・レーザの出力測定装置
１・・・積分球
３・・・入射部
５・・・小孔The drawings are for explaining embodiments according to the present invention.
The figure is a side sectional view of a laser output measuring device. FIG. 2 is a front view of laser output measurement. FIG. 3(A) is an intensity distribution diagram of the laser beam along the Δ-A line in FIG. 1. FIG. 3(B) shows the intensity distribution of the laser beam along the line BB in FIG. 1. FIG. 3(C) is an intensity distribution diagram of the laser beam along line C--C in FIG. 1. 1...Laser output measuring device 1...Integrating sphere 3...Incidence part 5...Small hole
Claims (1)
多数設け、上記積分球の適宜位置に、レーザ光の出力を
検出する出力検出センサを設けてなることを特徴とする
レーザの出力測定装置。A laser output characterized in that an integrating sphere is provided with an entrance part, a large number of small holes are provided through which the laser beam can freely pass, and an output detection sensor for detecting the output of the laser beam is provided at an appropriate position on the integrating sphere. measuring device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30220988A JP2677845B2 (en) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | Laser output measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30220988A JP2677845B2 (en) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | Laser output measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02150727A true JPH02150727A (en) | 1990-06-11 |
| JP2677845B2 JP2677845B2 (en) | 1997-11-17 |
Family
ID=17906267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30220988A Expired - Fee Related JP2677845B2 (en) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | Laser output measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2677845B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11099061B2 (en) | 2018-06-11 | 2021-08-24 | Nichia Corporation | Measurement device for light-emitting device and method for measuring light-emitting device |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6370766B2 (en) | 2015-11-13 | 2018-08-08 | ファナック株式会社 | Laser power sensor |
-
1988
- 1988-12-01 JP JP30220988A patent/JP2677845B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11099061B2 (en) | 2018-06-11 | 2021-08-24 | Nichia Corporation | Measurement device for light-emitting device and method for measuring light-emitting device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2677845B2 (en) | 1997-11-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5318362A (en) | Non-contact techniques for measuring temperature of radiation-heated objects | |
| US4262198A (en) | Broadband optical radiation detector | |
| US4263585A (en) | Intrusion detection system with a segmented radiation sensing mirror | |
| GB1474191A (en) | Measurement of surface roughness | |
| US5130543A (en) | Direction sensitive energy detecting apparatus | |
| JPH10137195A (en) | Radiation clinical thermometer | |
| US4865446A (en) | Laser power and energy meter | |
| US4728196A (en) | Arrangement for determining a surface structure, especially for roughness | |
| EP0054353B1 (en) | Apparatus for reception and radiation of electromagnetic energy in predetermined fields of view | |
| US6456383B1 (en) | Method and apparatus for making absolute range measurements | |
| JPH02150727A (en) | Device for measuring output of laser | |
| US4627722A (en) | Method and apparatus for optically measuring three-dimensional coordinates | |
| ITMI970505A1 (en) | DEVICE FOR DETECTION OF OPTICAL PARAMETERS OF A LASER BEAM | |
| JPS58113839A (en) | Detector for dew point | |
| JPS58106413A (en) | Light reflecting sensor | |
| JP3259815B2 (en) | Method and apparatus for measuring emissivity and temperature of an object, and rod-shaped radiation source | |
| IT9020824A1 (en) | OPTICAL SENSOR DEVICE | |
| JPH08184556A (en) | Optical gas detector | |
| US4077723A (en) | Method of measuring thickness | |
| JPS5948324B2 (en) | Inclination detection roughness measurement method using light reflection | |
| JPS59157512A (en) | Optical position detector | |
| JPH0433379B2 (en) | ||
| JPS5750606A (en) | Solar sensor | |
| JPS60146112A (en) | Light reflection type detector | |
| JPH0351725A (en) | Emissivity measuring apparatus |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |