JPH0214853A - Production of glass based optical fiber and quartz glass based multiple fiber - Google Patents

Production of glass based optical fiber and quartz glass based multiple fiber

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JPH0214853A
JPH0214853A JP63162231A JP16223188A JPH0214853A JP H0214853 A JPH0214853 A JP H0214853A JP 63162231 A JP63162231 A JP 63162231A JP 16223188 A JP16223188 A JP 16223188A JP H0214853 A JPH0214853 A JP H0214853A
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JP
Japan
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polyimide
optical fiber
polyimide varnish
loop
varnish
Prior art date
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Application number
JP63162231A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Hayamizu
速水 弘之
Hidetaka Kuroki
黒木 英隆
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Mitsubishi Cable Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Cable Industries Ltd
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Publication date
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  • Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable efficient production of an optical fiber having a desired insulation layer thickness without causing problem of foaming in baking by applying and baking a polyimide varnish to the optical fiber in specific conditions. CONSTITUTION:Both ends of an optical fiber 1 having a definite length are joined to form a loop 9 and the loop 9 is successively passed and circulated into a polyimide bath 6 having low concentration, e.g., about 5-50wt.% concentration and capable of forming a film by surface tension, film 7 of polyimide varnish having low concentration and further baking furnace 8 over many times.

Description

【発明の詳細な説明】 童呈上9上月遣豆 本発明は、ポリイミドからなるコート層、特にプライマ
リ−コート層を有するガラス系光ファイバ、たとえば通
信用光ファイバ、イメージスコープ用マルチプルファイ
バ、照明用ライトガイドなど、就中イメージスコープ用
の石英ガラス系マルチプルファイバの製造に好適な新規
製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to glass optical fibers having a polyimide coating layer, particularly a primary coating layer, such as optical fibers for communication, multiple fibers for image scopes, and illumination. The present invention relates to a new manufacturing method suitable for manufacturing silica glass-based multiple fibers for use in image scopes, such as light guides.

征」明l支専 ガラス系光ファイバは、可撓性を良好にするために、通
常少なくとも線引き後に有機高分子のプライマリ−コー
ト層を施されて実用に供される。
In order to improve flexibility, glass-based optical fibers are usually coated with a primary coat layer of an organic polymer at least after drawing, and are put into practical use.

有機高分子の中ではポリイミドが耐熱性や耐放射線性に
優れていることが知られているので、それら特性に優れ
た光ファイバを得るために該ファイバの」二にポリイミ
ドのプライマリ−コート層を施すことが課題となってい
る。
Among organic polymers, polyimide is known to have excellent heat resistance and radiation resistance, so in order to obtain an optical fiber with excellent heat resistance and radiation resistance, a primary coating layer of polyimide is added to the second layer of the fiber. The challenge is to implement it.

ところでポリイミドワニスは、1次硬化した後の2次硬
化の際に特に発泡し易くて表面平滑にして可撓性や機械
的特性に優れた厚肉皮膜を形成し難い問題がある。この
ために、未だポリイミドプライマリ−層を有する高品質
の光ファイバが商業ヘースで生産されていないのが実情
である。
However, polyimide varnishes have a problem in that they are particularly prone to foaming during secondary curing after primary curing, making it difficult to form a thick film with a smooth surface and excellent flexibility and mechanical properties. For this reason, the reality is that high quality optical fibers having polyimide primary layers have not yet been commercially produced.

ポリイミド絶縁のマグネットワイヤーの商業生産におい
ては、裸銅導体を送り出しボビンより連続的に送り出し
、ついで多数本の焼付炉中を順次通過させて巻き取りボ
ビンに巻き取り、その問答焼付炉の人口でポリイミドワ
ニスを極く薄く塗布する方法が採用されている。このよ
うにすると、l焼付炉、中で焼付られるポリイミドワニ
ス層を極(薄くすることができて発泡の問題なしに40
0℃あるいはそれ以上の高温度で焼付けて所望の絶縁層
厚を有するポリイミド絶縁マグネットワイヤーを連続生
産することが可能になる。
In the commercial production of polyimide-insulated magnet wire, bare copper conductors are continuously fed out from a feeding bobbin, then passed through multiple baking furnaces and wound onto a winding bobbin. The method used is to apply a very thin layer of varnish. In this way, the polyimide varnish layer baked in the baking furnace can be made extremely thin (40 mm) without the problem of foaming.
It becomes possible to continuously produce polyimide insulated magnet wires having a desired insulation layer thickness by baking at a high temperature of 0° C. or higher.

”ンを すべきロ 占 しかしながら、上記の連続生産方法では、裸銅導体の先
端および後端の合計焼付炉長にあたる部分は無駄となる
。単位長単価が安く、しかも再生可能な裸銅導体の場合
には、かかる無駄はさしたる問題にはならないが、単位
長単価が高くて不良品の再生困難なガラス系光ファイバ
、特に石英ガラス系のマルチプルファイバの場合にはそ
の無駄が大きな問題となる。以上の理由から、石英ガラ
ス系のマルチプルファイバのような光ファイバに対して
も表面平滑にして可撓性、機械的特性に優れた高品質の
ポリイミド層を商業ベースで形成する技術の開発が要求
されている。
However, in the continuous production method described above, the tip and rear ends of the bare copper conductor, which correspond to the total baking furnace length, are wasted. In some cases, such waste is not a big problem, but in the case of glass-based optical fibers, especially quartz glass-based multiple fibers, where the unit length unit price is high and it is difficult to recycle defective products, the waste becomes a big problem. For the above reasons, there is a need to develop a technology to commercially form a high-quality polyimide layer with a smooth surface and excellent flexibility and mechanical properties for optical fibers such as silica glass-based multiple fibers. has been done.

占を °するための 本発明は、上記の問題点を解決するための手段として、
fl+一定長の光ファイバの両端同士を結合してループ
を形成し、該ループを低濃度のポリイミドワニス浴、低
濃度ポリイミドワニスの膜、および焼き付け炉中を多数
回にわたって順次通過循環させることを特徴とするガラ
ス系光ファイバの製造方法、および(2)多数本の石英
ガラス系光ファイバの束を線引して得た外径が少なくと
も200μmの石英ガラス系マルチプルファイバの上に
連続的にポリイミドワニスを塗布し硬化して後、その一
定長の両端同士を結合してループを形成し、該ループを
低濃度のポリイミドワニス浴、低濃度ポリイミドワニス
の膜、および焼き付け炉中を多数回にわたって順次通過
循環させることを特徴とする石英ガラス系マルチプルフ
ァイバの製造方法を提供する。
The present invention for divination has the following features as a means for solving the above problems:
The two ends of an optical fiber of a certain length are connected to form a loop, and the loop is circulated through a low-concentration polyimide varnish bath, a low-concentration polyimide varnish film, and a baking oven many times. and (2) continuously applying polyimide varnish on a quartz glass multiple fiber having an outer diameter of at least 200 μm obtained by drawing a bundle of a large number of silica glass optical fibers. After coating and curing, both ends of a certain length are joined to form a loop, and the loop is sequentially passed through a low-concentration polyimide varnish bath, a film of low-concentration polyimide varnish, and a baking oven many times. Provided is a method for manufacturing silica glass-based multiple fibers characterized by circulation.

■の  並びにt 一定長の光ファイバの両端同士を結合してループを形成
して閉回路とし、その閉回路内の光ファイバにつきポリ
イミドの塗布・焼付を繰り返して行うので、ループ内の
光フアイバ全長が商品として得られる。本発明において
は、ワニスとして低濃度のポリイミドワニス浴を使用し
、また絞りダイスに代わるものとして低濃度ポリイミド
ワニスの膜を使用する。低濃度ポリイミドワニスは、そ
の表面張力により、たとえば直径5〜lQmm程度の穴
を開けた板の該穴に薄い膜を形成することができる。ま
た光フアイバ上に塗布されたポリイミドワニスは、低濃
度の故に易流動性であるので上記のポリイミドワニス膜
を貫通通過するとき、酸ワニス膜の表面張力によって過
剰に塗布された部分のワニスは絞られ、一方ワニス塗布
が不足する部分は逆にやはり表面張力の作用によってワ
ニスが追加され、かくして薄いが均一化されたポリイミ
ドワニス層が光フアイバ上に形成される。1回で焼付ら
れるポリイミドワニス層を極く薄く且つ均一に塗布する
ことができるので、400℃あるいはそれ以上の高温度
で焼付けても発泡の問題なしにポリイミド焼付け層を形
成することができる。ポリイミドワニスの塗布・焼付を
繰り返す毎に被塗布体の外径が漸次増大する。絞り径が
一定の従来の金属ダイスを使用する場合には、忽ち穴づ
まりのために断線事故が生じるが、本発明においては、
金属ダイスに代わるものとして被塗布体りる光ファイバ
の外径より温かに大きい貫通可能面積を有するポリイミ
ドワニス膜を使用するので穴づまりによる断線事故が如
き事故は生じない。
■ and t Both ends of a certain length of optical fiber are joined to form a loop to form a closed circuit, and polyimide is coated and baked repeatedly on each optical fiber in the closed circuit, so the total length of the optical fiber in the loop is can be obtained as a product. In the present invention, a low concentration polyimide varnish bath is used as the varnish, and a film of low concentration polyimide varnish is used in place of the drawing die. Due to its surface tension, the low-concentration polyimide varnish can form a thin film in the holes of a plate having holes of about 5 to 1Q mm in diameter, for example. In addition, the polyimide varnish coated on the optical fiber is easy-flowing due to its low concentration, so when it passes through the polyimide varnish film, the excess varnish is squeezed by the surface tension of the acid varnish film. On the other hand, varnish is added to the areas where varnish is insufficiently coated due to the action of surface tension, thus forming a thin but uniform polyimide varnish layer on the optical fiber. Since the polyimide varnish layer that is baked in one step can be applied extremely thinly and uniformly, the baked polyimide layer can be formed without the problem of foaming even if it is baked at a high temperature of 400° C. or higher. Each time the application and baking of polyimide varnish is repeated, the outer diameter of the object to be coated gradually increases. When using conventional metal dies with a fixed aperture diameter, wire breakage accidents occur due to hole clogging, but in the present invention,
Since a polyimide varnish film having a penetrable area that is warmer and larger than the outer diameter of the optical fiber to be coated is used in place of the metal die, accidents such as wire breakage due to hole clogging do not occur.

かくしてポリイミドワニスの塗布・焼付を所望回数繰り
返すことができ、その結果所望の絶縁層厚を有する光フ
ァイバを生産することができる。
In this way, the application and baking of the polyimide varnish can be repeated a desired number of times, and as a result, an optical fiber having a desired insulating layer thickness can be produced.

光ファイバの中でも、多数本の石英ガラス系光ファイバ
の束を線引して得た外径が少なくとも200μm1就中
少なくとも500μ暖の太い石英ガラス系マルチプルフ
ァイバにポリイミドプライマリ−層を施して可撓性の優
れた製品を歩留まりよく製造することは、従来において
は特に困難であった。その理由は太い石英ガラス系マル
チプルファイバは、特に折れ易いこと、および一般に線
引き後の外径変動が大きいことなどである。このような
光ファイバを従来のように一定絞り径ダイスを使用して
ポリイミド塗布を行う場合には、マファイバの外径バラ
ツキ最大部の外径に合わせてダイスを選定使用する必要
があり、この結果外径バラツキ最小部においては過大塗
布となって発泡し易くなる。本発明の第一発明により、
かかるマルチプルファイバを対象としてもポリイミド層
施与が可能となったが、本発明の第二発明のように多数
本の石英ガラス系光ファイバの束を線引して得た直後の
ファイバの上に連続的にポリイミドワニスを塗布し硬化
して後、その一定長の両端同士を結合してループを形成
し、以F第一発明と同様にしてポリイミドワニスを多数
回塗布・焼付すると高品質製品をしかも安定して生産す
ることができる。
Among optical fibers, thick silica glass multiple fibers with an outer diameter of at least 200 μm and at least 500 μm obtained by drawing a bundle of a large number of silica glass optical fibers are coated with a polyimide primary layer to make them flexible. In the past, it has been particularly difficult to manufacture products with high quality and high yield. The reason for this is that thick silica glass-based multiple fibers are particularly easy to break, and generally have a large variation in outer diameter after drawing. When coating such optical fibers with polyimide using a conventional die with a constant aperture diameter, it is necessary to select and use the die according to the outer diameter of the mafiber with the maximum variation in outer diameter. In the area where the outside diameter variation is minimal, excessive coating occurs and foaming tends to occur. According to the first invention of the present invention,
It has become possible to apply a polyimide layer even to such multiple fibers, but as in the second invention of the present invention, it is possible to apply a polyimide layer on the fiber immediately after drawing a bundle of a large number of silica glass optical fibers. After continuous application of polyimide varnish and curing, both ends of a certain length are joined to form a loop, and then the polyimide varnish is applied and baked multiple times in the same manner as in the first invention, resulting in a high quality product. Moreover, it can be produced stably.

l庄Q且卦−鶴里 本発明においては、種々のガラス系光ファイバをポリイ
ミド被覆の対象とすることができるが、就中、多数本の
石英ガラス系光ファイバの束を線引して得た石英ガラス
系マルチプルファイバ、特に外径200μm以上のもの
が好対象とされる。
In the present invention, various glass-based optical fibers can be coated with polyimide. Quartz glass-based multiple fibers, especially those with an outer diameter of 200 μm or more, are preferred.

また上記マルチプルファイバの製造に使用される石英ガ
ラス系光ファイバとしては、コアおよびクラッド層、お
よび必要の応じてクラッド層上に設けられるサボー!・
層のいずれもが純石英ガラス、ドープド石英ガラスなど
の石英系ガラスにて構成されているものが好適に用いら
れ、就中、純石英ガラスコアの上にBおよび/またはF
にてドープされた純石英ガラスのクラッド層を有する光
ファイバ、あるいは該光ファイバのクラッド層上にさら
に線引き温度が少なくとも1800℃の石英ガラスのサ
ポート層を有する光ファイバなどが好ましい。
The silica glass optical fiber used to manufacture the above-mentioned multiple fibers includes a core, a cladding layer, and, if necessary, a sabot! provided on the cladding layer.・
A layer in which all of the layers are made of silica-based glass such as pure silica glass or doped quartz glass is preferably used, and in particular, B and/or F are formed on a pure silica glass core.
Optical fibers having a cladding layer of pure silica glass doped with , or optical fibers having a support layer of quartz glass having a drawing temperature of at least 1800° C. on the cladding layer of the optical fiber are preferred.

ポリイミドワニスとしては、デュポン社製バイラリンP
I−2525、バイラリンPI−2574、東し社製 
5P−7eoなどのポリイミド前駆体をN−メチルピロ
リドンなどの有機媒体にたとえば5〜50重量%濃度で
溶解した、表面張力によるnり形成が可能な低濃度のも
のが用いられる。
As a polyimide varnish, Bilarin P manufactured by DuPont
I-2525, Bailarin PI-2574, manufactured by Toshisha
A polyimide precursor such as 5P-7eo is dissolved in an organic medium such as N-methylpyrrolidone at a concentration of, for example, 5 to 50% by weight, and is used at a low concentration that allows the formation of n-glue due to surface tension.

第1図は、第一発明の詳細な説明図であって、一定長の
光ファイバ1は、ガイドロール2.3.4、および駆動
ロール5を経由し、またワニス浴6、絞りダイスの作用
をなすポリイミドワニスの1197 、および焼き付け
炉8中を順次通過した状態でその両端が溶接にて接続さ
れてループ9形成している。ポリイミドワニスの膜7は
、金属製、木製などの膜形成板71に明けられた適当な
直径、たとえば5〜10mmの穴に表面張力により形成
されている。また[7を形成するポリ・イミドワニスは
、ワニス浴6に入れるワニスと別ものであってもよいが
、同一ものものであることが好ましい。
FIG. 1 is a detailed explanatory diagram of the first invention, in which an optical fiber 1 of a certain length passes through a guide roll 2.3.4 and a drive roll 5, and also through the action of a varnish bath 6 and a drawing die. 1197 of polyimide varnish forming a polyimide varnish, and after successively passing through a baking furnace 8, both ends thereof are connected by welding to form a loop 9. The polyimide varnish film 7 is formed by surface tension in a hole of a suitable diameter, for example, 5 to 10 mm, made in a film forming plate 71 made of metal, wood, or the like. Further, the polyimide varnish forming [7] may be different from the varnish added to the varnish bath 6, but it is preferably the same one.

駆動ロール5を運転してループ9を矢印の方向に回転す
ると、ワニス浴6において光ファイバ1の上ポリイミド
ワニスが塗布され、塗布されたりニスは膜7を貫通する
際に該膜により絞られて光フアイバ上で薄い層に形成さ
れ、ついで焼き付け炉8中を通過する間に加熱硬化され
る。この工程(ループの回転)は、ポリイミド層が所望
の厚さに積層されるまで繰り返し行われる。
When the drive roll 5 is driven to rotate the loop 9 in the direction of the arrow, polyimide varnish is applied onto the optical fiber 1 in the varnish bath 6, and the varnish is squeezed by the film 7 when it passes through the film. It is formed in a thin layer on the optical fiber and then heated and hardened during passage through the baking oven 8. This process (loop rotation) is repeated until the polyimide layer is laminated to the desired thickness.

焼き付け炉8中での焼き付け温度、時間条件などは、ボ
リイミ1′絶縁マグネットワイヤーの製造において採用
されている条件、たとえば400〜600°Cで5〜1
20秒間の加熱、と同じでよい。
The baking temperature and time conditions in the baking furnace 8 are the same as those used in the production of Boliimi 1' insulated magnet wire, for example, 400 to 600°C, 5 to 1
It may be the same as heating for 20 seconds.

また1回の塗布・焼付で形成するポリイミド層の厚さは
、T 、、/ T −l 比(ここに′rRは第n回目
の工程後におけるポリイミドコート層の外径、Tよ、は
第n−1回目の工程後におけるポリイミドコート層の外
径、但しToはポリイミド塗布11;iの光ファイバ1
の外径Dt)で1.3以下、特に1.25以下とするの
が好ましく、また合計ポリイミド層層の厚さがDm/l
)l比(ここにDmはポリイミドコート層の最終仕上が
り外径)で少なくとも1.05となる厚肉とするのが好
ましい。
In addition, the thickness of the polyimide layer formed by one coating and baking process is T, , / T -l ratio (where 'rR is the outer diameter of the polyimide coat layer after the nth process, T is the outer diameter of the polyimide coat layer after the nth process, The outer diameter of the polyimide coating layer after the n-1th step, where To is the optical fiber 1 of polyimide coating 11; i
The outer diameter Dt) of the polyimide layer is preferably 1.3 or less, particularly 1.25 or less, and the total thickness of the polyimide layer is Dm/l.
)l ratio (where Dm is the final finished outer diameter of the polyimide coat layer) is preferably at least 1.05.

第2図は、第二発明で使用する石英ガラス径マルチプル
ファイバを得る方法の説明図であって、石英ガラス系光
ファイバ10の束を内蔵する石英ガラス製のスキンバイ
ブ11を加熱炉12にて2200℃前後の高温度に加熱
して線引きし、マルチプルファイバ13を得て、その後
ただちにポリイミドワニス14を収容したワニス槽15
中を通過してポリイミドワニスを塗布し、ついで焼き付
け炉16中で焼き付けてボビン17に巻き取る。
FIG. 2 is an explanatory diagram of a method for obtaining a quartz glass multiple diameter fiber used in the second invention, in which a quartz glass skin vibe 11 containing a bundle of silica glass optical fibers 10 is heated in a heating furnace 12. The multiple fibers 13 are obtained by heating to a high temperature of around 2200° C. and drawing, and then immediately transferred to a varnish tank 15 containing polyimide varnish 14.
It passes through the inside and is coated with polyimide varnish, then is baked in a baking furnace 16 and wound onto a bobbin 17.

焼き付け炉16中では、ポリイミドワニス層を必ずしも
Cステージに至るまで焼き付ける必要はなく、ボビン1
7に巻き取れる程度の軽度焼き付けで充分である。また
その焼き付け厚さもT1/Di比で0.01〜0.15
となる薄層で充分である。ついでボビン17に巻き取れ
たマルチプルファイバの一定長を第1図に示す通りに両
端接続され、ループ化されて第1図につき説明した方法
と同じ方法でポリイミドワニスを多数回塗布・焼付され
る。
In the baking furnace 16, it is not necessary to bake the polyimide varnish layer up to the C stage;
A light burn that can be rolled up to a size 7 is sufficient. Also, the baking thickness is 0.01 to 0.15 in terms of T1/Di ratio.
A thin layer of . The fixed length of the multiple fiber wound around the bobbin 17 is then connected at both ends as shown in FIG. 1, looped, and coated with polyimide varnish many times and baked in the same manner as described in connection with FIG.

なお、第一発明で使用する光ファイバ1としては、ポリ
イミドワニス未塗布のものを使用してもよいが、第2図
の方法で得られるもの、すなわち光フアイバ線引き直後
にポリイミドの薄層を施与されたものを使用してもよい
The optical fiber 1 used in the first invention may be one not coated with polyimide varnish, but the optical fiber 1 obtained by the method shown in FIG. You may use what is provided.

衾肌免苅来 本発明の方法により、ガラス系光ファイバ、特に外径2
00μm以上もの太い石英ガラス系マルチプルファイバ
の上にでも、従来困難とされていた厚肉のポリイミド層
をコーティングすることが可能となった。したがって本
発明により、耐熱性並びに耐放射線性に優れ、しかも可
撓性にも優れた石英ガラス系マルチプルファイバを商業
ベースで製造することができる。
By the method of the present invention, glass optical fibers, especially those with an outer diameter of 2
It has now become possible to coat a thick polyimide layer, which was previously considered difficult, even on silica glass multiple fibers as thick as 00 μm or more. Therefore, according to the present invention, it is possible to commercially produce a silica glass-based multiple fiber having excellent heat resistance, radiation resistance, and flexibility.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、第一発明の詳細な説明図である。lは一定長
の光ファイバl:2.3.4はガイドロール=5は駆動
ロール:6はワニス浴ニアはポリイミドワニス膜ニア1
は膜を形成するための板:8は焼き付け炉:9は光ファ
イバlにて形成されたループ9゜ 第2図は、第二発明で使用する石英ガラス径マルチプル
ファイバを得る方法の説明図である。 10は石英ガラス系光ファイバ:11は石英ガラス系光
ファイバ10の束を内蔵する石英ガラス製のスキンパイ
プ=12は加熱炉j13はマルチプルファイバ=14は
ポリイミドワニス:15はワニス槽15:16は焼き付
け炉:17はボビン。
FIG. 1 is a detailed explanatory diagram of the first invention. l is an optical fiber of constant length l: 2.3.4 is a guide roll = 5 is a drive roll: 6 is a varnish bath near is a polyimide varnish film near 1
is a plate for forming a film; 8 is a baking furnace; 9 is a loop 9 formed with optical fibers 1; FIG. be. 10 is a quartz glass optical fiber; 11 is a quartz glass skin pipe containing a bundle of silica glass optical fibers 10; 12 is a heating furnace; 13 is a multiple fiber; 14 is a polyimide varnish; 15 is a varnish tank 15; Baking furnace: 17 is the bobbin.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、一定長の光ファイバの両端同士を結合してループを
形成し、該ループを低濃度のポリイミドワニス浴、低濃
度ポリイミドワニスの膜および焼き付け炉中を多数回に
わたって順次通過循環させることを特徴とするガラス系
光ファイバの製造方法。 2、多数本の石英ガラス系光ファイバの束を線引して得
た外径が少なくとも200μmの石英ガラス系マルチプ
ルファイバの上に連続的にポリイミドワニスを塗布し硬
化して後、その一定長の両端同士を結合してループを形
成し、該ループを低濃度のポリイミドワニス浴、低濃度
ポリイミドワニスの膜、および焼き付け炉中を多数回に
わたって順次通過循環させることを特徴とする石英ガラ
ス系マルチプルファイバの製造方法。
[Claims] 1. Both ends of a certain length of optical fiber are joined to form a loop, and the loop is sequentially passed through a low-concentration polyimide varnish bath, a low-concentration polyimide varnish film, and a baking furnace many times. A method for producing a glass-based optical fiber, characterized by passing and circulating it. 2. Continuously apply polyimide varnish on the quartz glass multiple fibers with an outer diameter of at least 200 μm obtained by drawing a bundle of a large number of silica glass optical fibers, harden it, and then apply it to a certain length. A quartz glass-based multiple fiber characterized in that both ends are joined to form a loop, and the loop is circulated through a low-concentration polyimide varnish bath, a low-concentration polyimide varnish film, and a baking furnace many times in sequence. manufacturing method.
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