JPH02145072A - Charge transfer device - Google Patents

Charge transfer device

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JPH02145072A
JPH02145072A JP63298852A JP29885288A JPH02145072A JP H02145072 A JPH02145072 A JP H02145072A JP 63298852 A JP63298852 A JP 63298852A JP 29885288 A JP29885288 A JP 29885288A JP H02145072 A JPH02145072 A JP H02145072A
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JP
Japan
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charge
charge transfer
line
ccd light
ccd
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JP63298852A
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Japanese (ja)
Inventor
Akira Honma
本間 明
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Victor Company of Japan Ltd
Original Assignee
Victor Company of Japan Ltd
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Abstract

PURPOSE:To reduce the capacity of a memory means by allowing a line sensor to apply photoelectric conversion of an incident light in itself, employing a charge transfer means transferring a stored charge unidirectionally mainly and forming the charge transfer means in parallel closely on a chip. CONSTITUTION:Line sensors 12, 14, 16 are arranged on one and same chip in parallel without any interval. Then CCD light shielding sections 24, 26, 28 are provided and the initial charge stored in CCD light receiving sections 18, 20, 22 is stored once in the CCD light shielding sections 24, 26, 28 and then read out. Thus, the readout has only to be implemented till the next charge from the CCD light receiving sections 18, 20, 22 exists to the CCD light shielding sections 24, 26, 28. Thus, even when the operating frequency of the devices after the readout circuit is low and the operation is slow, the stored charge is read without being affected.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野1 本発明は、CCD、BHDなどの電荷転送装置にかかる
ものであり、特に、カラー画像読み取り装置の入力手段
として好適な電荷転送装置に関するものである。
Detailed Description of the Invention [Industrial Application Field 1] The present invention relates to charge transfer devices such as CCDs and BHDs, and particularly relates to charge transfer devices suitable as input means for color image reading devices. be.

[従来の技術] カラー画像読み取り用の電荷転送装置としては、例えば
、電子通信学会、昭和60年全国大会、情報システム部
門予稿集1−232に開示された「三色一体化ラインセ
ンサを用いた読取装置」がある。
[Prior Art] As a charge transfer device for color image reading, for example, there is a device using a three-color integrated line sensor disclosed in Proceedings of the Information Systems Division of the Institute of Electronics and Communication Engineers, 1985 National Convention, Proceedings 1-232. There is a reading device.

この読取装置における電荷転送装置は、有効画素数34
56画素のラインセンサをウェハ段階で三列一体に形成
し、それぞれのラインにR(レッド)、G(グリーン)
、B(ブルー)の色フィルタを積層したものである。
The charge transfer device in this reading device has an effective pixel count of 34.
Line sensors with 56 pixels are formed in three rows at the wafer stage, and each line has R (red) and G (green).
, B (blue) color filters are stacked.

第3図には、このような電荷転送装置の従来における半
導体チップ上の配置構成が示されている。同図において
、ラインセンサ50.52゜54は、フォトダイオード
列56.58.60、電荷結合素子−ないしCCD62
.64.66、読出回路68.70.72を各々有して
いる。
FIG. 3 shows a conventional arrangement of such a charge transfer device on a semiconductor chip. In the figure, line sensors 50, 52, 54 include photodiode arrays 56, 58, 60, charge-coupled devices or CCDs 62.
.. 64, 66, and readout circuits 68, 70, and 72, respectively.

これらのうち、フォトダイオード列56゜58.60は
、例えばPN接合タイプ、MOSりイブの多数のフォト
ダイオードによって構成されている。そして、各フォト
ダイオード列56゜58.60には、R,G、Hの色フ
ィルタが各々設けられており、これによってカラー画像
の読み取りが行なわれるようになっている。
Among these, the photodiode array 56.degree. 58.60 is constituted by a large number of photodiodes of, for example, a PN junction type or a MOS ribbon. Each photodiode row 56.degree. 58.60 is provided with R, G, and H color filters, so that color images can be read.

このようなラインセンサ50.52.54は、所定間隔
ΔStをおいて並列に同一チップ内に各々形成されてい
る。
Such line sensors 50, 52, and 54 are formed in parallel on the same chip at a predetermined interval ΔSt.

次に、以上のような電荷転送装置の動作について、第4
図を参照しながら説明する。ラインセンサ50.52.
54は、例えば、同図(Alに示すように、読み取り対
象の原稿74上を矢印F1方向に進行して、原稿74上
に描かれている画像の読み取りが行なわれる1図中、二
点鎖線はラインセンサ50.52.54の読み取りライ
ンを示すもので、それらの間隔が移動ピッチに相当する
Next, we will discuss the operation of the charge transfer device as described above in the fourth section.
This will be explained with reference to the figures. Line sensor 50.52.
54 is, for example, a dashed-double line in FIG. indicates the lines read by the line sensors 50, 52, and 54, and the interval between them corresponds to the movement pitch.

ラインセンサ50.52.54では、フォトダイオード
列56,58.60に各々入射したR2O,Bの各光が
電気信号に変換され、各素子から第3図に矢印F2で示
すようにC0D62゜64.66に電荷が人力される。
In the line sensor 50, 52, 54, each of the R2O and B lights incident on the photodiode arrays 56, 58, 60 is converted into an electrical signal, and from each element as shown by the arrow F2 in FIG. The charge is manually applied to .66.

CCD62.64.66に入力された電荷は、矢印F3
で示すように順に続出回路68.70゜72に各々移送
出力され、更に図示しないメモリ手段に一時格納される
。その後、同一の読み取りラインにおける各ラインセン
サ50,52゜54のR,G、B信号出力の組み合わせ
が行なわれ、これによってカラ7出力が得られることと
なる。
The charge input to CCD 62, 64, 66 is shown by arrow F3.
As shown in , the signals are sequentially transferred and outputted to successive circuits 68, 70, 72, and further temporarily stored in a memory means (not shown). Thereafter, the R, G, and B signal outputs of the respective line sensors 50, 52, and 54 on the same reading line are combined, thereby obtaining the color 7 output.

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、以上のような従来の電荷転送装置では、
ラインセンサ50,52.54のチップ上の間隔ΔSl
をあまり狭くすることができないため、次のような不都
合がある。
[Problem to be solved by the invention] However, in the conventional charge transfer device as described above,
Distance ΔSl on the chip of line sensors 50, 52, 54
cannot be made very narrow, which causes the following disadvantages.

詳述すると、ラインセンサ50.52.54のフォトダ
イ、オード列56.58.60とCCD62.64.6
6とは、第3図に示したように交互に配列されている。
In detail, the photodiode of the line sensor 50.52.54, the ode array 56.58.60 and the CCD 62.64.6
6 are arranged alternately as shown in FIG.

すなわち、前記間隔Δsi中にC0D62.64等々が
各々1ケ形成されるので、これらのスペースを確保する
必要があり、このため前記間隔ΔS1を所定値以下とす
ることはできない。
That is, since one C0D62.64, etc. are each formed in the interval Δsi, it is necessary to secure these spaces, and therefore the interval ΔS1 cannot be made less than a predetermined value.

ここで、前記間隔ΔS1の1/6がラインセンサ50.
52.54の読み取りピッチであると仮定する。今、第
4図(Alに示すように、読み取りラインLが最初のラ
インセンサ50によって読み取られているとすると、次
のラインセンサ52によって読み取りラインLが読み取
られるまでには、6ピッチ分の矢印F1方向のセンサ移
動が必要である。そして、最後のラインセンサ54によ
って読み取りラインLが読み取られるまでには、更に6
ピッチ分の矢印F1方向のセンサ移動が必要である。
Here, 1/6 of the interval ΔS1 is the line sensor 50.
Assume a reading pitch of 52.54. Assuming that the reading line L is read by the first line sensor 50 as shown in FIG. It is necessary to move the sensor in the F1 direction.Then, until the reading line L is read by the last line sensor 54, it is necessary to move the sensor in the F1 direction.
It is necessary to move the sensor in the direction of arrow F1 by the pitch.

すなわち、読み取りラインLについて、R2O,Hの読
み取り信号を各々得るためには、第4図fB)に示すよ
うに、ラインセンサ54が読み取りラインLの画像読み
取りを行なうまで、合計12ピッチ分のセンサ移動を行
なう必要がある。
That is, in order to obtain the read signals R2O and H for the read line L, as shown in FIG. It is necessary to move.

他方、読み取りラインLにおけるカラー信号出力は、上
述したように、各ラインセンサ50゜52.54の読み
取りラインLの信号出力がないと得ることができない。
On the other hand, the color signal output on the reading line L cannot be obtained without the signal output of the reading line L of each line sensor 50.degree. 52.54, as described above.

従って、カラー信号出力を得るためには、ラインセンサ
50の出力は12ピッチ分保持する必要があり、ライン
センサ52の出力は6ピッチ分保持する必要がある。別
言すれば、ラインセンサ50の信号出力を12ライン分
格納するメモリ手段と、ラインセンサ52の信号出力を
6ライン分格納するメモリ手段とが、従来装置では必要
となる。
Therefore, in order to obtain a color signal output, the output of the line sensor 50 needs to be held for 12 pitches, and the output of the line sensor 52 needs to be held for 6 pitches. In other words, the conventional device requires memory means for storing 12 lines of signal output from the line sensor 50 and memory means for storing 6 lines of signal output from the line sensor 52.

このようなメモリ手段の容量を低減するためには、上述
したラインセンサ50.52.54ないしフォトダイオ
ード列56,58.60の間隔ΔS1を狭(すればよい
のであるが、上述したようにCCD621.64が存在
するため、かかる間隔を狭くすることができない。
In order to reduce the capacity of such a memory means, the interval ΔS1 between the line sensor 50, 52, 54 or photodiode array 56, 58, 60 described above should be narrowed. .64 exists, such an interval cannot be narrowed.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたもので、カラー信
号を得るための読取信号の一時的な格納を行なうメモリ
手段の容量の低減を図ることができる電荷転送装置を提
供することを、その目的とするものである。
The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a charge transfer device capable of reducing the capacity of a memory means for temporarily storing read signals for obtaining color signals. This is the purpose.

[課題を解決するための手段] 本発明は、所望の読み取り信号を得るために読み取りラ
イン毎に合成される光電変換信号を得るためのラインセ
ンサが、同一チップ上に少なくとも二組形成された電荷
転送装置において:前記ラインセンサは、それ自体で入
射光の光電変換を行なうとともに、蓄積された電荷の移
送を一方向に行なう電荷移送手段と;独立して電荷の読
み出しを行なう読み出し手段とを各々備え:各うインセ
ンサの電荷移送手段は、前記チップ上で密接して並列に
配列されたことを特徴とするものである。
[Means for Solving the Problems] The present invention provides a line sensor for obtaining a photoelectric conversion signal that is synthesized for each reading line in order to obtain a desired reading signal. In the transfer device: The line sensor performs photoelectric conversion of incident light by itself, and has a charge transfer means that transfers accumulated charges in one direction; and a readout means that independently reads charges. Features: The charge transfer means of each cell sensor are closely arranged in parallel on the chip.

[作用] 本発明によれば、ライセンサは、それ自体で入射光の光
電変換を行なうとともに、蓄積された電荷の移送を一方
向に行なう電荷移送手段を中心として構成される。この
電荷移送手段は、チップ上で並列に密接して形成される
。これによって、ラインセンサの間隔が小さくなり、各
ラインセンサにおける読み取りライン間隔も狭(なる。
[Function] According to the present invention, the licensor is configured around a charge transfer means that performs photoelectric conversion of incident light by itself and transfers accumulated charges in one direction. The charge transfer means are formed in parallel and closely spaced on the chip. As a result, the spacing between the line sensors becomes smaller, and the reading line spacing in each line sensor also becomes narrower.

[実施例] 以下、本発明の実施例について、添付図面を参照しなが
ら説明する。第1図には、本発明の一実施例にかかる電
荷転送装置10が示されている。
[Examples] Examples of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows a charge transfer device 10 according to an embodiment of the present invention.

同図において、電荷転送装置10は、R,G。In the figure, the charge transfer device 10 has R, G.

B用のラインセンサ12,14.16を各々有している
。これらのラインセンサ12.14゜16は、CCD受
光部1B、20.22 (電荷移送手段)と、CCDC
D遮光部上46.28と、読み出し回路30.32.3
4 (読み出し手段)とを各々有している。CCD受光
部18.20゜22には、R,G、B用のフィルタ(図
示せず)が各々設けられている。各ラインセンサ12゜
14.16は同一の構成となっているので、ラインセン
サ12を代表して以下に説明する。
It has line sensors 12, 14, and 16 for B, respectively. These line sensors 12.14゜16 include CCD light receiving sections 1B, 20.22 (charge transfer means), and CCD light receiving sections 1B, 20.22 (charge transfer means),
D light shielding part top 46.28 and readout circuit 30.32.3
4 (reading means). The CCD light receiving section 18.20.degree. 22 is provided with R, G, and B filters (not shown), respectively. Since each of the line sensors 12, 14, and 16 has the same configuration, the line sensor 12 will be described below as a representative.

まず、CCD受光部18は、外部から入射した光を直接
受光して相当量の電荷に変換する機能を有しており、こ
れの電荷移送出力側に連続して、遮光膜が各々設けられ
たCOD遮光部24が配置されている。CCD受光部1
8と、CCDCD遮光部上4、同数の画素の電荷移送が
できるように、同数段の素子を各々有している。移送さ
れた電荷は、CCDCD遮光部上4号出力端側に接続さ
れている読み出し回路30から外部に、シリアルに出力
されるようになっている。
First, the CCD light receiving section 18 has a function of directly receiving light incident from the outside and converting it into a considerable amount of charge, and a light shielding film is provided continuously on the charge transfer output side of the CCD light receiving section 18. A COD light shielding section 24 is arranged. CCD light receiving section 1
8 and CCDCD light-shielding portion 4, each having the same number of stages of elements so that charge transfer for the same number of pixels can be performed. The transferred charges are serially output to the outside from a readout circuit 30 connected to the No. 4 output end side of the upper CCDCD light shielding section.

すなわち、−本の長いCODが受光部と遮光部とに分割
されており、このCCDの電荷移送出力側に、独立した
信号読み出し回路が接続された構成となっている0以上
のようなラインセンサ12.14.16は、間隔を離す
ことなく並列に同一チップ上に配置形成される。
In other words, a line sensor such as 0 or more in which a long COD is divided into a light receiving part and a light shielding part, and an independent signal readout circuit is connected to the charge transfer output side of this CCD. 12, 14, and 16 are arranged and formed in parallel on the same chip without any separation.

次に、上記実施例の作用について説明する。まず、ライ
ンセンサ]、2.14.16は、第4図に示したように
して読み取り対象の原稿上を所定方向に所定ピッチで移
動する。そして、CCD受光部18,20.22により
R,G、Bの光像の読み取りが各々行なわれ、各素子に
おいて画素毎に入射光量に相当する電荷の蓄積が各々行
なわれる。
Next, the operation of the above embodiment will be explained. First, the line sensors], 2, 14, and 16 move in a predetermined direction at a predetermined pitch over a document to be read as shown in FIG. The R, G, and B optical images are then read by the CCD light receiving sections 18, 20.22, and charges corresponding to the amount of incident light are accumulated for each pixel in each element.

次に、CCD受光部18.20.22の各素子に蓄積さ
れた電荷は、同図に矢印FAで示すように、順にシリア
ルにCOD遮光部24.26゜28に高速で移送され、
それらに−旦蓄積される。そして、その後、読み出し回
路30.32゜34、によって、同図に矢印FBで示す
ように逐次蓄積電荷の読み出しが各々行なわれ、R,G
Next, the charges accumulated in each element of the CCD light receiving section 18, 20, 22 are serially transferred at high speed to the COD light shielding section 24, 26, 28, as shown by the arrow FA in the figure.
They are accumulated once. Thereafter, the readout circuits 30, 32, and 34 sequentially read out the accumulated charges as shown by arrows FB in the same figure.
.

Bの光像に相当する光電変換信号がシリアルに各々出力
されることとなる。
Photoelectric conversion signals corresponding to the B optical images are serially output.

この場合において、本実施例ではCCDCD遮光部上4
6.28が各々設けられており、CCD受光部18.2
0.22において蓄積された初期の電荷は、−旦CCD
遮光部24.26゜28に蓄積さ、れてから読み出され
る。このため、かかる読み出しは、COD遮光部24.
26゜28に対するCCD受光部18.20.22から
の次回の電荷の移送があるまでに行なえばよい。
In this case, in this embodiment, the upper 4
6.28 are provided respectively, and the CCD light receiving section 18.2
The initial charge accumulated at 0.22 is -dan CCD
The light is stored in the light shielding portion 24.26°28 and then read out. Therefore, such reading is performed by the COD light shielding section 24.
It is only necessary to carry out this operation before the next charge transfer from the CCD light receiving section 18, 20, 22 to 26°28.

従って、読み出し回路以後の装置の動作周波数が低く、
その動作が遅い場合であっても、その影響を受けること
なく蓄積電荷の読み出しを行なうことができる。
Therefore, the operating frequency of the device after the readout circuit is low,
Even if the operation is slow, the accumulated charges can be read without being affected by it.

なお、上述した通りであるから、仮に読み出し回路以後
の装置の動作が高速である場合には、第2図に示すよう
にしてもよい、すなわち、ラインセンサ40.42.4
4を、CCD遮光部24゜26.28を除いたCCD受
光部18,20゜22及び読み出し回路30.32.3
4によって各々構成する。
As described above, if the operation of the device after the readout circuit is fast, it may be configured as shown in FIG. 2, that is, the line sensor 40.42.4
4, CCD light receiving section 18, 20° 22 and readout circuit 30.32.3 excluding CCD light shielding section 24.26.28
4 respectively.

読み出された光電変換信号は、必要に応じてメモリ手段
(図示せず)に−旦格納され、更に読み出しライン毎に
R,G、Hの信号の組合せが行なわれて、上述したよう
にカラー信号が得られる。
The read photoelectric conversion signals are temporarily stored in a memory means (not shown) as required, and furthermore, the R, G, and H signals are combined for each read line, and the color is converted as described above. I get a signal.

この場合において、本実施例では、R,G。In this case, in this embodiment, R, G.

Bの各ラインセンサのチップ上における配置間隔を狭く
することができるので、光電変換信号の格納を行なうメ
モリ手段の容量の低減を図ることが可能となる。
Since the arrangement interval of each line sensor B on the chip can be narrowed, it is possible to reduce the capacity of the memory means for storing photoelectric conversion signals.

例えば、CCD受光部1B、20.22の間隔ΔS2が
読み取りピッチと同一であれば、CCD受光部18の出
力については2ライン分。
For example, if the interval ΔS2 between the CCD light receiving sections 1B and 20.22 is the same as the reading pitch, the output of the CCD light receiving section 18 is for two lines.

CCD受光部20の出力については1ライン分のメモリ
手段があれば十分である。
For the output of the CCD light receiving section 20, a memory means for one line is sufficient.

更に、製造プロセスにおいて各部のパターンを一層微細
化し、ラインセンサないしCCD受光部18.20.2
2の間隔ΔS2を読み取りピッチより−も狭い間隔に集
積すれば、各読み取り回路からの出力をそのまま組み合
わせてカラー信号を得ることができる。従って、この場
合には、光電変換信号を一時的に格納するメモリ手段を
必要としない。
Furthermore, in the manufacturing process, the patterns of each part are made even finer, and the line sensor or CCD light receiving part 18.20.2
If the two reading circuits are integrated at an interval ΔS2 that is narrower than the reading pitch, a color signal can be obtained by directly combining the outputs from each reading circuit. Therefore, in this case, a memory means for temporarily storing the photoelectric conversion signal is not required.

以上のように、本実施例によれば、ラインセンサが密接
して同一チップ上に配置されるので、信号の一時記憶、
を行なうメモリ手段の容量の低減を図ることができ、場
合によってはその必要がなくなることとなる。また、製
造プロセス時におけるラインセンサの製造条件が均一化
されるので、それらの特性のばらつきが少なくなり、チ
ップの面積も小さくなる。また、従来装置と比較して構
成が簡易なため製造時の歩留まりが向上し、CCDに蓄
積された電荷を転送するのみであるから、残像も生じな
いという効果がある。
As described above, according to this embodiment, since the line sensors are closely arranged on the same chip, temporary storage of signals,
It is possible to reduce the capacity of the memory means that performs this, and in some cases, it becomes unnecessary. Furthermore, since the manufacturing conditions of the line sensor during the manufacturing process are made uniform, variations in their characteristics are reduced and the area of the chip is also reduced. Furthermore, since the structure is simpler than conventional devices, the manufacturing yield is improved, and since only the charges accumulated in the CCD are transferred, there is no afterimage.

なお、本発明は、何ら上記実施例に限定されるものでは
な(、例えば、上記実施例では電荷移送手段としてCC
Dを用いたが、BBDなと他のものを使用してもよい、
また、上記実施例では、R,G、Bに各々対応してライ
ンセンサを設けたが、ラインセンサの数は必要に応じて
増減してよい。
Note that the present invention is not limited to the above embodiments (for example, in the above embodiments, CC is used as the charge transfer means).
I used D, but you can use other ones such as BBD.
Further, in the above embodiment, line sensors were provided for each of R, G, and B, but the number of line sensors may be increased or decreased as necessary.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、読取信号の一時
的な格納を行なうメモリ手段の容量の低減を図ることが
でき、場合によってはメモリ手段を必要としないという
効果がある。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, it is possible to reduce the capacity of the memory means for temporarily storing read signals, and in some cases, there is an effect that the memory means is not required. be.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例を示す構成図、第2図は本発
明の他の実施例を示す構成図、第3図は従来装置の例を
示す構成図、第4図は従来装置の作用を示す説明図であ
る。 10・・・電荷転送装置、12.14.16゜40.4
2.44・・・ラインセンサ、18.20゜22・・・
CCD受光部、24.26.28・・・COD遮光部、
30.32.34・・・読み出し回路、ΔSt、ΔS2
・・・間隔。 特許出願人  日本ビクター株式会社 代表者  垣 木 邦 夫
Fig. 1 is a block diagram showing one embodiment of the present invention, Fig. 2 is a block diagram showing another embodiment of the present invention, Fig. 3 is a block diagram showing an example of a conventional device, and Fig. 4 is a block diagram showing a conventional device. It is an explanatory diagram showing the effect of. 10... Charge transfer device, 12.14.16°40.4
2.44...Line sensor, 18.20°22...
CCD light receiving section, 24.26.28... COD light shielding section,
30.32.34...Readout circuit, ΔSt, ΔS2
···interval. Patent applicant Kunio Kakiki, Representative of Victor Japan Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 所望の読み取り信号を得るために読み取りライン毎に合
成される光電変換信号を得るためのラインセンサが、同
一チップ上に少なくとも二組形成された電荷転送装置に
おいて、 前記ラインセンサは、それ自体で入射光の光電変換を行
なうとともに、蓄積された電荷の移送を一方向に行なう
電荷移送手段と、独立して電荷の読み出しを行なう読み
出し手段とを各々備え、各ラインセンサの電荷移送手段
は、前記チップ上で密接して並列に配列されたことを特
徴とする電荷転送装置。
[Scope of Claims] A charge transfer device in which at least two sets of line sensors are formed on the same chip to obtain photoelectric conversion signals that are combined for each read line to obtain a desired read signal, the line sensor The sensor performs photoelectric conversion of incident light by itself, and is equipped with a charge transfer means that transfers the accumulated charge in one direction, and a readout means that independently reads out the charge. A charge transfer device, wherein the transfer means are closely arranged in parallel on the chip.
JP63298852A 1988-11-26 1988-11-26 Charge transfer device Pending JPH02145072A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63298852A JPH02145072A (en) 1988-11-26 1988-11-26 Charge transfer device

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JPH02145072A true JPH02145072A (en) 1990-06-04

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JP63298852A Pending JPH02145072A (en) 1988-11-26 1988-11-26 Charge transfer device

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JP (1) JPH02145072A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000032215A (en) * 1998-07-14 2000-01-28 Toshiba Microelectronics Corp Solid-state image pickup device

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JP2000032215A (en) * 1998-07-14 2000-01-28 Toshiba Microelectronics Corp Solid-state image pickup device

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