JPH0213902A - Uv light reflecting plate - Google Patents
Uv light reflecting plateInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、紫外光反射板、特に真空紫外光を発生する
光源装置における紫外光反射板に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an ultraviolet light reflecting plate, particularly to an ultraviolet light reflecting plate in a light source device that generates vacuum ultraviolet light.
第４図は、たとえばヨーロッパ特許公開０２１２９２４
号公報’Ｐｌａｓｍａ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ａｐｐ
ａｒａｔｕｓ」に示されたマイクロ波放電光源装置を示
す断面図であり、１はマイクロ波を伝送する導波管、２
はマイクロ波を発生するマグネトロン、３は発生したマ
イクロ波、４はガスの封入された無電極放電管、５は発
生した紫外光、６は発生した紫外光を所定の方向に取り
出すための反射板、７は紫外光を用いて加工を行うため
の反応室、８は反応室と光源部との間の光取り出し窓で
ある。Figure 4 shows, for example, European patent publication 0212924.
Publication 'Plasma processing app
aratus" is a cross-sectional view showing a microwave discharge light source device shown in "Aratus", 1 is a waveguide for transmitting microwaves, 2 is a sectional view showing a microwave discharge light source device shown in
is a magnetron that generates microwaves, 3 is a generated microwave, 4 is an electrodeless discharge tube filled with gas, 5 is a generated ultraviolet light, and 6 is a reflector for extracting the generated ultraviolet light in a predetermined direction. , 7 is a reaction chamber for processing using ultraviolet light, and 8 is a light extraction window between the reaction chamber and the light source section.
次にこの装置の動作について説明する。マグネトロン２
によって発生し、導波管１中を伝送されたマイクロ波３
′により無電極放電管４内に封入されたガスが放電、励
起され発光する。この紫外光５の一部は反射板６により
反射され、一部は直接光重り出し窓８を通して反応室７
へ導がれる。Next, the operation of this device will be explained. magnetron 2
Microwave 3 generated by and transmitted through waveguide 1
', the gas sealed in the electrodeless discharge tube 4 is discharged and excited to emit light. A part of this ultraviolet light 5 is reflected by a reflection plate 6, and a part passes directly through a light-weighting window 8 into a reaction chamber 7.
be led to.
（発明が解決しようとする課題）
以上のような、従来の光源装置の反射板は、ＡＩのよう
な金属塊をワイヤカット放電加工などの機械加工により
、一定の曲率を有する形状の金属型を鏡面積度で作り、
その型に金属膜や誘電体膜を形成する方法で作成してい
たので、一定の曲率を有するような、３次元形状のもの
に、しかも大面積の膜を形成することは困難であった。(Problem to be Solved by the Invention) The reflector plate of the conventional light source device as described above is made by machining a metal block such as AI by wire cut electric discharge machining or the like to form a metal mold with a certain curvature. Made with mirror surface area,
Since the method used was to form a metal film or dielectric film on the mold, it was difficult to form a large-area film in a three-dimensional shape with a certain curvature.
さらに、光源から発せられた紫外光によって損傷を受け
た場合や経年変化により反射率が低下した場合、及び曲
率を変更するなどの場合には、反射板を取り外し、交換
する必要があり、このような移動時の取り扱いが金属型
のような大きいものでは不便であり、また大型の反射板
になると質量が大きくなってしまうなどの問題があった
。なお、反射板の紫外光による損傷や反射板の経年変化
については、Ｊ、Ｏｐｔ、Ｓｏｃ、Ａ１１１．４９．６
（＋９５９） ｐ、５９３−６０２のＦｉｇ、８ 、
Ｔａｂｌｅ ＩＩ （それぞれ第５図、第１表）に示
されているようであり、光の反射率を維持するように定
期的に交換するのが通常である。Furthermore, the reflector must be removed and replaced if it is damaged by the ultraviolet light emitted by the light source, if its reflectance decreases due to aging, or if the curvature is changed, etc. A large metal type reflector is inconvenient to handle during transportation, and a large reflector increases its mass. Regarding damage to the reflector due to ultraviolet light and aging of the reflector, please refer to J, Opt, Soc, A111.49.6.
(+959) p, 593-602 Fig, 8,
These are shown in Table II (FIG. 5 and Table 1, respectively), and it is normal to replace them periodically to maintain the light reflectance.
この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、信頼性の高い、しかも軽量の反射板を簡便な
方法で提供することを目的とじている。This invention was made to solve the above-mentioned problems, and aims to provide a highly reliable and lightweight reflector using a simple method.
この発明に係る紫外光反射板は、金属及び前記金属上に
誘電性物質をコーティングした可撓性の反射板を、所定
の曲率を有する反射板の支持体に固定して構成したこと
により、前記目的を達成しようとするものである。The ultraviolet light reflecting plate according to the present invention is constructed by fixing a flexible reflecting plate made of a metal and a dielectric substance coated on the metal to a support of the reflecting plate having a predetermined curvature. It is an attempt to achieve a goal.
この発明においては、反射板は可撓性であるので、金属
膜、誘電体膜を形成する際には、平板として扱うことが
でき、この反射板は所定の曲率を有する支持体にならう
ように支持体に固定された構造をもつ。この反射板上に
コーティングされた金属は紫外光を効率よく反射し、さ
らにその上にコーティングされた誘電性物質は下の金属
膜を保護するとともに反射効率を高めるように作用する
。In this invention, since the reflecting plate is flexible, it can be treated as a flat plate when forming a metal film or a dielectric film, and the reflecting plate is designed to follow the support having a predetermined curvature. It has a structure fixed to a support. The metal coated on the reflector reflects ultraviolet light efficiently, and the dielectric material coated thereon serves to protect the underlying metal film and increase reflection efficiency.
（実施例）
以下に、この発明の一実施例について、図に基づいて説
明する。第１図はこの発明の一実施例による紫外光反射
板を搭載したマイクロ波放電光源装置の側断面を示す模
式図、第２図は第１図のＡ−Ｂ線に沿って裁断した紫外
光反射板を示す断面図である。図において、１１はマイ
クロ波を発生するマグネトロン、１２はこのマグネトロ
ン１１で発生したマイクロ波を伝送する導波管、１３は
アルミナ材などからなる真空隔壁窓、１４は前記マイク
ロ波を閉じ込め、光を通過させる金属からなるメツシュ
キャビティ、１５はマイクロ波放電により真空紫外光を
発する無電極放電管でありこの無電極放電管１５を図示
されない支持体により設置するようになっている。１６
は光源チャンバ、１７はこの光源チャンバ１６に設けた
真空紫外光取り出し窓、１８はこの真空紫外光取り出し
窓１７から取り出される真空紫外光の反射板である真空
紫外光反射板、１９は支持体、２０はこの支持体１９に
取り付けられる可撓性の反射板本体で、たとえばポリカ
ーボネート製のもの、２０ａは紫外光を反射するために
ポリカーボネート製の反射板本体２０の上に真空蒸着あ
るいはスパッタなどで形成された金属膜、たとえばＡ１
．ＺｎＳ膜、２０ｂは紫外光を透過し、反射゛ 板の反
射率を向上させ、しかも紫外光による損傷からＡ１やＺ
ｎＳのような金属膜２０ａを保護するＭｇＦ２などの誘
電性物質の膜である。２１はこの誘電性物質の膜２０ｂ
を、ポリカーボネート製の反射板本体２０の上に形成し
た金属膜２０ａ上に形成することにより構成される反射
板、２２は反射板２１を固定するとめ具である。なお、
反射板２１にコーティングする材料としては、文献Ｊ、
Ｏｐｔ、Ｓｏｃ、＾ｍ、４９．６（１９５９）ｐ、５９
３−６０２や＾ｐｔ、ｏｐｔ。(Example) An example of the present invention will be described below based on the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram showing a side cross section of a microwave discharge light source device equipped with an ultraviolet light reflecting plate according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an ultraviolet light cut along line A-B in FIG. It is a sectional view showing a reflector. In the figure, 11 is a magnetron that generates microwaves, 12 is a waveguide that transmits the microwaves generated by this magnetron 11, 13 is a vacuum partition window made of alumina material, etc., and 14 is a window that confines the microwaves and transmits light. The mesh cavity 15 made of metal to be passed through is an electrodeless discharge tube that emits vacuum ultraviolet light by microwave discharge, and this electrodeless discharge tube 15 is installed by a support (not shown). 16
17 is a light source chamber, 17 is a vacuum ultraviolet light extraction window provided in this vacuum ultraviolet light extraction window 16, 18 is a vacuum ultraviolet light reflection plate that is a reflection plate for vacuum ultraviolet light extracted from this vacuum ultraviolet light extraction window 17, 19 is a support, Reference numeral 20 denotes a flexible reflector body attached to this support 19, which is made of polycarbonate, for example, and 20a is formed by vacuum deposition or sputtering on the reflector body 20 made of polycarbonate in order to reflect ultraviolet light. metal film, for example A1
．． The ZnS film 20b transmits ultraviolet light, improves the reflectance of the reflector, and protects A1 and Z from damage caused by ultraviolet light.
It is a film of dielectric material such as MgF2 that protects the metal film 20a such as nS. 21 is a film 20b of this dielectric material.
A reflector plate 22 is a fastener for fixing the reflector plate 21 on a metal film 20a formed on a reflector body 20 made of polycarbonate. In addition,
Materials to be coated on the reflection plate 21 include Document J,
Opt, Soc, ^m, 49.6 (1959) p, 59
3-602, ^pt, opt.
２６．４ （１９８７）Ｉ）、６θ５−ｐ、６０６に示
されるような２００ｎｍ （２０ｏｏ人）以下の真空紫
外光に対してＡＩ上にＭｇＦ、をコーティングする材料
系が、ＬａＦ、またはＬｉＹＦ４をコーティングする材
料よりもが高反射率であることがわかる。（たとえば、
第３図にＡｐｌ、Ｏｐｔ、２６．４ （＋９８７）ｐ、
６０５−ｐ、６０６中のＦｉｇ、１を示す、）
次に、動作について説明する。可撓性の反射板本体２０
は平板として、片面に真空蒸着などの成順方法で金属膜
（ＡＩ、ＺｎＳなど）を形成し、その上に同様にしてＭ
ｇＦ２の膜を形成する。この反射板本体２０を支持体１
９にそわして、反射板２１をとめ具２２で固定する。こ
の場合、反射板２１はポリカーボネート板の弾力性によ
り支持体１９にすきまなく密着して取り付けられること
になる。一方、光源チャンバ１６内を真空ポンプ（図示
せず）で真空排気したのち、マグネトロン１１で発生し
たマイクロ波を導波管内１２に伝ばんさせ、メツシュキ
ャビティ１４に給電する。このマイクロ波により、放電
管内部のプラズマ媒体が放電・励起され、発光する。発
せられた光は、支持体１９によって固定された反射板２
１により、集光・反射されて、所望する方向へ光取り出
し窓１７から取り出される。26.4 (1987) I), 6θ5-p, 606, a material system that coats MgF on AI for vacuum ultraviolet light of 200 nm (200 nm) or less is coated with LaF or LiYF4. It can be seen that this material has a higher reflectance than other materials. (for example,
Figure 3 shows Apl, Opt, 26.4 (+987)p,
605-p and FIG. 1 in 606) Next, the operation will be described. Flexible reflector body 20
is a flat plate, a metal film (AI, ZnS, etc.) is formed on one side by a deposition method such as vacuum evaporation, and M is deposited on it in the same manner.
Form a film of gF2. This reflector main body 20 is attached to the support 1
9 and fix the reflecting plate 21 with the fasteners 22. In this case, the reflection plate 21 is attached to the support body 19 in close contact with it without any gaps due to the elasticity of the polycarbonate plate. On the other hand, after the inside of the light source chamber 16 is evacuated by a vacuum pump (not shown), microwaves generated by the magnetron 11 are propagated into the waveguide 12 to supply power to the mesh cavity 14 . The microwave discharges and excites the plasma medium inside the discharge tube to emit light. The emitted light is reflected by a reflector 2 fixed by a support 19.
1, the light is focused and reflected, and is taken out from the light extraction window 17 in a desired direction.
前記のようにこの発明の一実施例によれば、紫外光源か
らの光を反射、集光する光学系において、所定の曲率を
有する反射板本体２０の支持体１９に、金属膜２０ａ及
び該金属膜２０ａ上に誘電性物質の膜２０ｂをコーティ
ングした可撓性の反射板本体２０を保持・固定すること
により真空紫外光の反射板１８を構成したので、従来の
反射板において、ＡＩのような金属塊をワイヤカット放
電加工などの機械加工により一定の曲率を有する形状の
金属型を鏡面積度で作り、その型に金属膜や誘電体膜を
形成する方法で作成していたことと比較して反射板の製
作及び交換が容易になり、反射板及び紫外光源の信頼性
を高めるとともに製作コストを低減できる。As described above, according to one embodiment of the present invention, in an optical system that reflects and focuses light from an ultraviolet light source, the metal film 20a and the metal The vacuum ultraviolet light reflector 18 is constructed by holding and fixing the flexible reflector main body 20, which is coated with a dielectric film 20b on the film 20a. This compares to the method of creating a metal mold with a certain curvature using mirror surface area by machining a metal block using wire-cut electrical discharge machining, etc., and then forming a metal film or dielectric film on that mold. This makes it easier to manufacture and replace the reflector, improves the reliability of the reflector and the ultraviolet light source, and reduces manufacturing costs.
また、反射板の経年変化に対しても簡単に処理できるよ
うになり、さらに反射板に金属膜、誘電性膜を形成する
ときも平板として取り扱うことができるため、大面積に
均一に成膜が可能で反応室の大面積に対応できる。In addition, it is now possible to easily deal with changes in the reflector over time, and when forming metal and dielectric films on the reflector, it can be handled as a flat plate, allowing uniform film formation over a large area. It is possible to accommodate a large area of the reaction chamber.
さらに、強度の強い光を得るために、マイクロ波の電力
を増加すると反射板２１自身も損傷を受けたり、経年変
化による反射率低下などで交換が必要になるが、とめ具
２２をはずすだけで簡単に取り換えることができる。Furthermore, if the power of the microwave is increased in order to obtain strong light, the reflector 21 itself may be damaged, or the reflectance may decrease due to aging, making it necessary to replace it. Can be easily replaced.
さらに、また、反射板本体２０に蒸着させる金属膜の種
類、厚さを変えたものをいくつか用意しておけば、取り
出す光の波長域に応じて、適当な反射板を選択すること
により、効率よく所望の真空紫外光を選択することがで
きる。Furthermore, if you prepare several metal films with different types and thicknesses to be deposited on the reflector body 20, you can select an appropriate reflector according to the wavelength range of the light to be extracted. Desired vacuum ultraviolet light can be efficiently selected.
当然のことながら、反射板の製作に要する費用は、安価
な樹脂材と蒸着のみであり、前述した従来の反射板の一
体物からの鏡面加工に比べて経済的であることはいうま
でもない。Naturally, the cost required to manufacture the reflector is only the inexpensive resin material and vapor deposition, and it goes without saying that it is more economical than the conventional mirror-finishing of an integrated reflector as described above. .
なお、上記実施例では反射板２１にポリカーボネートか
らなる樹脂材を用いたが、弾力性を存するリン青銅など
の金属板を用いると、付着性のよいＡＩ蒸着膜をコーテ
ィングした真空紫外光反射板が得られる。In the above embodiment, a resin material made of polycarbonate was used for the reflecting plate 21, but if a metal plate such as phosphor bronze, which has elasticity, is used, a vacuum ultraviolet light reflecting plate coated with an AI vapor deposited film with good adhesion can be formed. can get.
以上に、説明してきたように、こ°の発明によれば、紫
外光特に真空紫外光を発生する光源装置における紫外光
反射板を、金属及び金属上に誘電性物質のコーティング
された可撓性の反射板とそれを固定する所定の曲率を有
する反射板の支持体とで構成したことにより、反射板の
交換、移動の操作性が向上し、反射板の経年変化に対し
ても簡単に処理できるようになる。また、反射板に金属
膜、誘電性膜を形成する際も平板として取り扱うことが
できるので、大面積に均一に成膜可能で、反応室の大面
積化にも対応でき、信頼性が高く、軽量の紫外光反射板
を簡単な方法で提供できるという効果を有する。As described above, according to the present invention, the ultraviolet light reflecting plate in a light source device that generates ultraviolet light, particularly vacuum ultraviolet light, is made of metal and a flexible material coated with a dielectric substance on the metal. The structure consists of a reflector and a reflector support with a predetermined curvature that fixes the reflector, which improves the operability of replacing and moving the reflector, and makes it easy to deal with changes in the reflector over time. become able to. In addition, when forming metal films and dielectric films on the reflective plate, it can be handled as a flat plate, so it is possible to form films uniformly over a large area, and it can also be used for large-area reaction chambers, resulting in high reliability. This has the effect that a lightweight ultraviolet light reflecting plate can be provided by a simple method.
第１図はこの発明の一実施例による紫外光反射板を搭載
したマイクロ波放電光源装置の側断面を示す模式図、第
２図は第１図のＡ−Ｂ線に沿って裁断した紫外光反射板
を示す断面図、第３図はＡＩ上にＭｇＦ２をコーティン
グしたときの反射率を示す図、第４図は従来のマイクロ
波放電光源装置を示す断面図、第５図は反射板の紫外光
による損傷を示す説明用図、第１表は反射板の経年変化
を示す表である。
１１はマグネトロン、１２は導波管、１３は真空隔壁窓
、１４はメツシュキャビティ、１５は無電極放電管、１
６は光源チャンバ、１７は真空紫外光取り出し窓、１８
は真空紫外光の反射板、１９は支持体、２０は可撓性の
反射板本体、２０ａは金属膜、２０ｂは誘電性物質の膜
、２１は反射板、２２はとめ具である。
なお、図中、同一符号は同一部分または相当部分を示す
。FIG. 1 is a schematic diagram showing a side cross section of a microwave discharge light source device equipped with an ultraviolet light reflecting plate according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an ultraviolet light cut along line A-B in FIG. A cross-sectional view showing the reflector, Fig. 3 is a view showing the reflectance when MgF2 is coated on AI, Fig. 4 is a cross-sectional view showing a conventional microwave discharge light source device, and Fig. 5 is a view showing the ultraviolet light of the reflector. An explanatory diagram showing damage caused by light, and Table 1 is a table showing changes over time of the reflector. 11 is a magnetron, 12 is a waveguide, 13 is a vacuum partition window, 14 is a mesh cavity, 15 is an electrodeless discharge tube, 1
6 is a light source chamber, 17 is a vacuum ultraviolet light extraction window, 18
19 is a reflecting plate for vacuum ultraviolet light, 19 is a support, 20 is a flexible reflecting plate main body, 20a is a metal film, 20b is a dielectric material film, 21 is a reflecting plate, and 22 is a fastener. In addition, in the figures, the same reference numerals indicate the same or equivalent parts.
Claims (1)
定の曲率を有する反射板の支持体に、金属及び該金属上
に誘電性物質をコーティングした可撓性の反射板を保持
・固定して構成したことを特徴とする紫外光反射板。In an optical system that reflects and focuses light from an ultraviolet light source, a metal and a flexible reflector coated with a dielectric substance are held and fixed to a reflector support having a predetermined curvature. An ultraviolet light reflecting plate characterized by comprising:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16438988A JPH0213902A (en) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | Uv light reflecting plate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16438988A JPH0213902A (en) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | Uv light reflecting plate |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0213902A true JPH0213902A (en) | 1990-01-18 |
Family
ID=15792194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16438988A Pending JPH0213902A (en) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | Uv light reflecting plate |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0213902A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE42338E1 (en) | 1999-07-02 | 2011-05-10 | Asml Netherlands B.V. | Capping layer for EUV optical elements |
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