JPH02137036U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02137036U JPH02137036U JP4314889U JP4314889U JPH02137036U JP H02137036 U JPH02137036 U JP H02137036U JP 4314889 U JP4314889 U JP 4314889U JP 4314889 U JP4314889 U JP 4314889U JP H02137036 U JPH02137036 U JP H02137036U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulator
- sample
- support
- sample stage
- soldering
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 5
- 238000005476 soldering Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案に係る試料台の模式的縦断面図
、第２図は絶縁体と支持体との半田付け部分を示
す模式的断面図、第３図はＥＣＲ装置における本
実施例及び従来の試料台夫々の試料温度低減効果
を示すグラフ、第４図は従来用いられている試料
台の模式的縦断面図である。 １……支持体、２……半田付け材料、３……絶
縁体、４……電極、５……電極棒、８……空洞部
、８１……導入管、８２……導出管、９……試料
。
、第２図は絶縁体と支持体との半田付け部分を示
す模式的断面図、第３図はＥＣＲ装置における本
実施例及び従来の試料台夫々の試料温度低減効果
を示すグラフ、第４図は従来用いられている試料
台の模式的縦断面図である。 １……支持体、２……半田付け材料、３……絶
縁体、４……電極、５……電極棒、８……空洞部
、８１……導入管、８２……導出管、９……試料
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 支持体上に設けられ、絶縁体及び導体を備えた
静電チヤツクにより、前記絶縁体の表面に試料を
保持すべくなしてある試料台において、 前記絶縁体は、所定の半田付け材料を用いた半
田付けにより、前記支持体に支持されていること
を特徴とする試料台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4314889U JPH02137036U (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4314889U JPH02137036U (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02137036U true JPH02137036U (ja) | 1990-11-15 |
Family
ID=31555315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4314889U Pending JPH02137036U (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02137036U (ja) |
-
1989
- 1989-04-13 JP JP4314889U patent/JPH02137036U/ja active Pending