JPH02131163A - Coating device - Google Patents

Coating device

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Publication number
JPH02131163A
JPH02131163A JP28202588A JP28202588A JPH02131163A JP H02131163 A JPH02131163 A JP H02131163A JP 28202588 A JP28202588 A JP 28202588A JP 28202588 A JP28202588 A JP 28202588A JP H02131163 A JPH02131163 A JP H02131163A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
shaft
disk
liquid
liquid level
holding member
Prior art date
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Pending
Application number
JP28202588A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yukitoshi Uemura
植村 幸利
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KOOTEKU KK
Original Assignee
KOOTEKU KK
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Filing date
Publication date
Application filed by KOOTEKU KK filed Critical KOOTEKU KK
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Publication of JPH02131163A publication Critical patent/JPH02131163A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To prevent the occurrence of defects due to the dripping of liquid on the coated layer of a disk by providing a holding member for holding the disk vertically which is immersible in a liquid and forming a specific protruding part and a sharply pointed part on the holding member. CONSTITUTION:When a lubrication layer is formed on a disk by application, for instance, first a disk 4 connected to a shaft 3 is immersed in a mixed liquid such as lubricant, and the shaft 3 rises. The liquid level of the mixed liquid moves downward as a shaft 3 ascends, reaching a sharply pointed part 3a on the lower surface of the shaft 3 soon. The sharply pointed part 3a inclines toward a supporting block 10a, and a crossing point between the liquid level and the sharply pointed part 3a moves from the tip of the shaft 3 to the supporting block 10a side. In addition, the sharply pointed part 3a consists of flat surfaces 3b, 3c and moves between a disk 4a and a clearance. Therefore the mixed liquid does not drip on the surface of the disk 4. The shaft 3 further rises and the crossing point moves to a protruding member 12. Even when the shaft 3 is exposed above the liquid level, the liquid neither shakes nor drips.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野J 本発明は、液体に浸漬したディスクを引き上げる際に、
液揺れ及び液垂れが生じることを防止した塗布装置に関
するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Field of Application J] The present invention provides a method for pulling up a disk immersed in a liquid.
The present invention relates to a coating device that prevents liquid shaking and dripping from occurring.

[従来の技術と発明が解決しようとする課題」近年、電
子機器の発達に伴い、表面に磁気層や保護層、それに潤
滑層等がオングストローム単位の精度で形成されたディ
スクが記録媒体として広く使用されている。
[Prior art and problems to be solved by the invention] In recent years, with the development of electronic devices, disks with magnetic layers, protective layers, and lubricant layers formed on the surface with angstrom precision have become widely used as recording media. has been done.

このディスク表面の例えば潤滑層は、該ディスクをフロ
ン液,潤滑剤等が混合された液体に浸漬させる一方、所
定時間の経過後に、このディスクを再び引上げて乾燥さ
せることにより形成されることが一般的である。なおこ
の場合、ディスクの表面を把持すると、この把持された
部位に潤滑層の欠落部が形成されるため、ディスクの中
央に形成された孔に水平に設けられたシャフト等の保持
部材を挿通することにより該ディスクを縦方向に保持す
る手段が取られている。
For example, the lubricating layer on the surface of the disk is generally formed by immersing the disk in a liquid containing a mixture of fluorocarbon liquid, lubricant, etc., and then pulling the disk out again after a predetermined period of time and drying it. It is true. In this case, when the surface of the disk is gripped, a missing portion of the lubricant layer is formed in the gripped area, so a holding member such as a shaft provided horizontally is inserted into the hole formed in the center of the disk. Accordingly, means are taken to hold the disk vertically.

この保持部材が上記液体の液面に浸漬される際には、該
保持部材による液面の乱れ、所謂液揺れが生じても、そ
の後ディスクが液体中に浸漬されてしまうため該ディス
クに悪影響が及ぶことはない。
When this holding member is immersed in the liquid surface, even if the holding member causes disturbance of the liquid level, so-called liquid shaking, the disk will be immersed in the liquid afterwards, which will have an adverse effect on the disk. It will never reach you.

しかし、上記液揺れは保持部材が液面より上昇する際に
も生じ易く、この液揺れにより発生した波が上記ディス
クのすでに液面より露呈されている部位に達する可能性
がある。
However, the liquid shaking is likely to occur when the holding member rises above the liquid level, and there is a possibility that waves generated by this liquid shaking may reach a portion of the disk that is already exposed above the liquid level.

また、上記保持部材が液面より完全に引き上げられた後
にも、該保持部材の表面に付着している液体が上記ディ
スクに滴下する、所謂液垂れが発生して、このディスク
の液体より露呈ざれた部位にかかる可能性もある。
Further, even after the holding member is completely lifted above the liquid level, the liquid adhering to the surface of the holding member drips onto the disk, so-called dripping occurs, and the liquid on the disk is exposed. There is also a possibility that it may affect the affected areas.

ディスク表面の液体より露早された部位に液揺れや液垂
れなどにより新たな液体がかかると、この新たな液体が
かかった部位の潤滑層の厚みが他の部位よりも厚くなり
、該潤滑層の精度を保持することが不可能となってしま
う。
When new liquid is applied to areas on the disk surface that have been exposed faster than the liquid due to liquid shaking or dripping, the thickness of the lubricant layer at the area where this new liquid has been applied becomes thicker than other areas, and the lubricant layer is It becomes impossible to maintain the accuracy of

[発明の目的] 本発明はこれらの事情に鑑みてなされたものであり、デ
ィスクの保持部材が液面より上昇される際に、該液面に
液揺れが発生ずることを防止すると共に、上記保持部材
からディスクへの液垂れが発生することを防止した塗布
装置を提供することを目的としている。
[Object of the Invention] The present invention has been made in view of these circumstances, and is intended to prevent the liquid from shaking at the liquid level when the disk holding member is raised above the liquid level, and to solve the above-mentioned problems. It is an object of the present invention to provide a coating device that prevents liquid from dripping from a holding member onto a disk.

[iIll題を解決するための手段及び作用]本発明に
よる塗布装置は、ディスクを縦方向に保持する保持部材
を液体に浸漬可能に設け、この保持部材に、上記ディス
クの下端部よりも下方へ突出する突出部を配設すると共
に、上記保持部材の下面に、上記突出部へ向けて下方へ
傾斜する連続した尖鋭部を形成したものである。
[Means and operations for solving the problem] The coating device according to the present invention is provided with a holding member that holds the disk in the vertical direction so as to be immersed in liquid, and in which the holding member is provided with a portion below the lower end of the disk. A protruding portion is provided, and a continuous sharp portion is formed on the lower surface of the holding member to incline downward toward the protruding portion.

かかる構成により、保持部材が液面より離間する際には
該液面と尖鋭部とが交差する部位が相対的に突出部方向
へ移動することにより液面の乱れ及び液の滴下が防止さ
れると共に、ディスクが液面より離間された後に突出部
が液面より離間ずることにより、該突出部の液面からの
離間時に生じる液面の乱れが上記ディスクに及ぶことが
防止される。
With this configuration, when the holding member is separated from the liquid surface, the portion where the liquid surface intersects with the sharp portion moves relatively toward the protrusion, thereby preventing disturbance of the liquid surface and dripping of the liquid. At the same time, by moving the protrusion away from the liquid surface after the disk is separated from the liquid surface, disturbances in the liquid level that occur when the protrusion is separated from the liquid surface are prevented from reaching the disk.

[発明の実施例] 以下、図面を参照して本発明にJ;る塗布装置の実施例
を説明する。
[Embodiments of the Invention] Hereinafter, embodiments of a coating apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図乃至第9図は本発明の一実施例に係り、第1図は
保持部材の正面図、第2図は同側面図、第3図は塗布装
置の正面図、第4図は同側面図、第5図は保持部材と液
面との相対的な移動状態を示す正面図、第6図は同正面
図、第7図は突出部材と液面との相対的な移動状態を示
す正面図、第8図はディスクの設置距離の説明図、第9
図はディスク設置距離が及ぼす潤滑層への影響を示す比
較表である。
1 to 9 relate to one embodiment of the present invention, in which FIG. 1 is a front view of the holding member, FIG. 2 is a side view of the same, FIG. 3 is a front view of the coating device, and FIG. 4 is the same. A side view, FIG. 5 is a front view showing the relative movement between the holding member and the liquid level, FIG. 6 is a front view of the same, and FIG. 7 is a front view showing the relative movement between the protruding member and the liquid level. Front view, Figure 8 is an explanatory diagram of the installation distance of the disk, Figure 9
The figure is a comparison table showing the influence of disk installation distance on the lubrication layer.

本実施例の塗布装置は、第3図及・び第4図に示ずJ;
うに、移動可能なフレーム1の下部に浸漬室1aとタン
ク室1bとが左右に振り分番ノで区画形成され、これら
浸漬室1aとタンク室1bとの上方に、ガラス等の透明
部材1Cにて開閉可能に閉塞ざれた設置室1dが設(プ
られて構成されている。
The coating device of this embodiment is not shown in FIGS. 3 and 4.
In the lower part of the movable frame 1, an immersion chamber 1a and a tank chamber 1b are partitioned from side to side with division numbers, and above the immersion chamber 1a and tank chamber 1b, a transparent member 1C such as glass is formed. An installation chamber 1d is provided which can be opened and closed.

上記浸漬室1a内には上方に開口された浸漬槽2が移動
可能に配設されている一方、上記タンク室1b内にはフ
ロン液,潤滑剤等の混合液が所定量貯留ざれた図示しな
いタンクが収納されておいる。上記混合液は任意の温磨
に設定することが可能となっていて、この温度が設定さ
れた混合液がタンクと上記浸漬槽2との間を循環される
と共に、この浸漬槽2内におりる液面を任意のレベルを
一定で保つことができるようになっている。
A dipping tank 2 with an upward opening is movably disposed in the dipping chamber 1a, while a predetermined amount of mixed liquid such as fluorocarbon liquid and lubricant is stored in the tank chamber 1b (not shown). The tank is stored. The above-mentioned mixed liquid can be set to any desired temperature, and the mixed liquid at this temperature is circulated between the tank and the above-mentioned immersion tank 2, and is also stored in this immersion tank 2. The liquid level can be maintained at any desired level.

また、上記設置室1dのタンク2上方に相当1−る部位
には移動部材の一例であるシャフト3が水平に設けられ
ていると共に、このシャフト3に対向して複数のディス
ク4を保持するマガジン5が左右移動可能に配設されて
いる。そして、デイスク4を設置してこのマガジン5を
シャフト3方向へ移動させると該シャフト3がディスク
4の孔4aに挿通ざれることにより、このディスク4が
シレフト3に保持されるようになっている。
Further, a shaft 3, which is an example of a moving member, is provided horizontally in a portion corresponding to above the tank 2 in the installation chamber 1d, and a magazine holding a plurality of disks 4 faces the shaft 3. 5 is arranged so as to be movable left and right. When the disk 4 is installed and the magazine 5 is moved in the direction of the shaft 3, the shaft 3 is inserted into the hole 4a of the disk 4, so that the disk 4 is held on the shaft 3. .

該シャフト3は、上記フレーム1の背面側に設けられた
昇降装置7に連設されており、この昇降装置7にてシャ
フト3が下降ざれると、上記デイスク4が浸漬槽2の混
合液に浸漬されるようになっている。
The shaft 3 is connected to an elevating device 7 provided on the back side of the frame 1, and when the shaft 3 is lowered by the elevating device 7, the disk 4 is immersed in the mixed liquid in the immersion tank 2. It is meant to be immersed.

即ち、上記昇降装置7に、図示しないモータ等により設
定した回転数にて回動されるねじ軸8が立設され、この
ねじ軸8に、一対の水平なアーム9の一端が螺合されて
いる。また、このアーム9のねじ軸8ど反対側の端部に
は、下端部に支持ブロツク10aが形成ざれた支持シャ
フト10が吊設されている。これら支持シャフト10と
支持ブロツク10aとの間は、垂直に対して30’の斜
面を右ずる円錘部14にCなだらかに連続ざれている。
That is, a screw shaft 8 that is rotated at a set rotation speed by a motor or the like (not shown) is erected on the lifting device 7, and one end of a pair of horizontal arms 9 is screwed onto the screw shaft 8. There is. A support shaft 10 having a support block 10a formed at its lower end is suspended from the end of the arm 9 opposite to the screw shaft 8. The space between the support shaft 10 and the support block 10a is continuous with a conical part 14 that is inclined at 30' to the right with respect to the vertical.

また、上記支持ブロック10aには、図示しない孔が貫
通して形成され、該孔に上記シャフト3の一端が挿通さ
れている。そして、このシャフト3は、上記支持ブロッ
ク10aの左右に配設された円錘台形状の固定部U11
a.11bにて固定されている。第1図乃至第2図に示
す如く、上記シャフト3の上面及び下面はこの固定部材
11a,11bの斜面を介して上記支持ブロック11a
の外周になだらかに連続されている。
Further, a hole (not shown) is formed through the support block 10a, and one end of the shaft 3 is inserted through the hole. This shaft 3 is connected to a truncated cone-shaped fixing portion U11 disposed on the left and right sides of the support block 10a.
a. 11b. As shown in FIGS. 1 and 2, the upper and lower surfaces of the shaft 3 are connected to the support block 11a through the slopes of the fixing members 11a and 11b.
It is gently continuous around the outer periphery.

また、上記支持ブロックの下部には、上記シャフト3に
保持されたディスク4の下端部よりも下方へ突出する突
出部12が設けられている。
Furthermore, a protrusion 12 is provided at the lower part of the support block, and the protrusion 12 protrudes downward from the lower end of the disk 4 held by the shaft 3.

第1図乃至第2図に示す如く、この突出部12の前後は
、上記シャフト3の軸心と平行で且つ水平に対して50
゜の角度を有して形成ざれた平而12b,12cにて構
成ざれており、そのため、上記突出部12の下端部が直
線状の尖鋭部12aとなっている。該尖鋭部12aは上
記シャフト3と#1間するに従って水平に対して5゜の
角度で下方へ傾斜されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the front and rear of this protrusion 12 are parallel to the axis of the shaft 3 and 50 degrees from the horizontal.
It is composed of flat parts 12b and 12c formed at an angle of .degree., so that the lower end of the protruding part 12 forms a linear sharp part 12a. The sharp portion 12a is inclined downwardly at an angle of 5° with respect to the horizontal as it approaches the shaft 3 and #1.

また、上記突出部12のシャフト3側の側面12dも該
シャフト3より離間するに従って下方へ傾斜されており
、その角度は水平面に対して45゜に設定されている。
Further, the side surface 12d of the protruding portion 12 on the shaft 3 side is also inclined downward as the distance from the shaft 3 increases, and the angle thereof is set at 45 degrees with respect to the horizontal plane.

一方、上記シャフト3の上面には例えば15配間隔で複
数の凹部13が形成されていて、この凹部13に上記デ
ィスク4の孔4a内周が係止されるようになっている。
On the other hand, a plurality of recesses 13 are formed on the upper surface of the shaft 3 at intervals of, for example, 15, and the inner periphery of the hole 4a of the disk 4 is engaged with the recesses 13.

そのため、上記マガシン5も、この凹部13の間隔に応
じてディスク4をセットすることができるようになって
いる。またディスク4が上記凹部13に係止された際に
は、このディスク4の孔4a内周とシャフト3の下面と
の間に間隙が形成されるように該シャフト3の径は設定
されている。
Therefore, the magazine 5 can also set the disc 4 according to the spacing between the recesses 13. Further, the diameter of the shaft 3 is set so that when the disk 4 is locked in the recess 13, a gap is formed between the inner periphery of the hole 4a of the disk 4 and the lower surface of the shaft 3. .

また、上記シャフト3の上面は断面が円弧形に形成され
ている一方、下面は下方に向かって収束する一対の斜面
3b,3cにて形成されており、これらの斜面3b,3
cが収束した下端部に直線状の尖鋭部3aが構成されて
いる。上記斜而3b,3Cとで形成される尖鋭部3aの
角度は、シャフト3の先畑部で1206、支持ブロック
10a側で90゜に設定されており、上記尖鋭部3aは
土記支持ブロック10a向かって、水平に対して1.1
゜の角度で下方へ傾斜されている。
Further, the upper surface of the shaft 3 has an arcuate cross section, while the lower surface is formed by a pair of slopes 3b, 3c that converge downward.
A linear sharp portion 3a is formed at the lower end where c converges. The angle of the sharp portion 3a formed by the above-mentioned angles 3b and 3C is set to 1206 degrees at the front end of the shaft 3 and 90 degrees at the side of the support block 10a. towards, horizontally 1.1
It is slanted downward at an angle of .

次に、前述の構成による実施例の作用を説明づる。Next, the operation of the embodiment with the above-described configuration will be explained.

磁気層及び保護層がJでに形成ざれでいるディスク4の
表面に潤滑層を形成する場合、設置部1dの透明部材1
Cを開き、この設置部1dに、ディスク4が所定の間隔
で並べられているマガジン5を設置する。そして、上記
透明部材1Cにて設置部1dを閉塞ずる一方、タンク室
1bのタンクに温度が制御ざれた状態で貯留されている
混合液を浸漬室1aの浸漬槽2に送り、該浸漬槽2内に
おける液面を所定の高さに設定すると共に、該混合液を
この浸漬槽2と上記タンクとの間を循環させる。
When forming a lubricating layer on the surface of the disk 4 on which the magnetic layer and protective layer have not yet been formed, the transparent member 1 of the installation part 1d
C is opened, and a magazine 5 in which disks 4 are arranged at predetermined intervals is installed in this installation section 1d. Then, while closing the installation part 1d with the transparent member 1C, the mixed liquid stored in the tank in the tank chamber 1b in an uncontrolled temperature state is sent to the dipping tank 2 in the dipping chamber 1a. The liquid level in the immersion tank 2 is set to a predetermined height, and the mixed liquid is circulated between the immersion tank 2 and the tank.

次いで上記マガジン5を上記浸漬室1aの上方へ移動さ
けると、上記ディスク4の孔4aにシャフト3が挿通さ
れる。このシャフト3に形成ざれている凹部13と上記
ディスク4の孔4a内周とが対応された状態で上記マガ
ジン5を停止し、昇降装置7を介してシャフト3を僅か
に上昇させると、上記凹部13に孔4aの内周が係止さ
れてディスク4がシャフト3に係止されると共に、該シ
ャフト3の下面と上記ディスク4の孔4a内周との間に
所定の間隙が形成される。そして、上記マガジン5は再
び上記タンク室1bの上方へ移動することにより浸漬室
1aの上方から退避される。
Next, when the magazine 5 is moved above the immersion chamber 1a, the shaft 3 is inserted into the hole 4a of the disk 4. When the magazine 5 is stopped with the recess 13 formed in the shaft 3 aligned with the inner periphery of the hole 4a of the disk 4, and the shaft 3 is slightly raised via the lifting device 7, the recess The inner circumference of the hole 4a is engaged with the inner circumference of the hole 4a, and the disc 4 is engaged with the shaft 3, and a predetermined gap is formed between the lower surface of the shaft 3 and the inner circumference of the hole 4a of the disk 4. Then, the magazine 5 is moved again above the tank chamber 1b, thereby being evacuated from above the immersion chamber 1a.

次に、上記昇降装置7の作用にてねじ軸8が回動される
ことによりアーム9及び支持シャフト10が下降ざれ、
この支持シャフト10の支持ブロック10aに挿通され
ている上記シャフト3が、例えば毎秒1 mmの設定さ
れた速度にて浸漬槽2内へ下降される。このシャフト3
に係止されているディスク4が上記混合液の液面に接触
しても上記アーム9は更に下降され、やがてディスク4
の全体が混合液に完全に浸漬される。
Next, the screw shaft 8 is rotated by the action of the lifting device 7, so that the arm 9 and the support shaft 10 are lowered,
The shaft 3, which is inserted through the support block 10a of the support shaft 10, is lowered into the immersion bath 2 at a set speed of, for example, 1 mm per second. This shaft 3
Even when the disk 4, which is locked on the disk 4, comes into contact with the surface of the mixed liquid, the arm 9 is further lowered, and eventually the disk 4
completely immersed in the mixture.

この場合、上記シャフト3の上面は断面が円弧形に形成
されていると共に、支持ブロック10aと支持シャフト
10との間は円錘部14の有ずる斜面にてなだらかに連
続されているため、これらのシャフト3及び支持ブロッ
ク10aが混合液に水没される際に該混合液の液面に波
立が生じる所謂液揺れが発生ずることが極ノノ防止ざれ
ると共に、たとえ液揺れが生じても、小さくて僅かな時
間にて沈静化される。また、前述のように上記ディスク
4はこの後完全に水没されるものであり、シ1Iフト3
等が水没される際に液揺れが発生することがあっても、
この液揺れはディスク4表面の潤滑層形成になんら影響
を及ぼすものではない。
In this case, the upper surface of the shaft 3 has an arcuate cross section, and the support block 10a and the support shaft 10 are gently continuous on the slope of the conical part 14. When the shaft 3 and the support block 10a are submerged in the mixed liquid, the occurrence of so-called liquid shaking, which causes ripples on the liquid surface of the mixed liquid, is extremely prevented, and even if liquid shaking occurs, It is small and subsides in a short amount of time. Further, as mentioned above, the disk 4 is completely submerged in water after that, and the shaft 3
Even if liquid shaking may occur when the item is submerged in water,
This liquid shaking has no effect on the formation of a lubricant layer on the surface of the disk 4.

ディスク4が完全に水没して所定時間が経過すると、昇
降装置7によりねじ軸8が前述と逆の方向へ回転される
ことにより設定された速痕による上記シャフト3の上昇
が開始される。
When the disk 4 is completely submerged in water and a predetermined period of time has elapsed, the screw shaft 8 is rotated by the elevating device 7 in the opposite direction to that described above, so that the shaft 3 starts to rise according to the set speed mark.

すると、まず上記ディスク4の上端部が液面上に露呈さ
れ、次いで円錘部14及びシャフト3の上面が露呈され
る。ディスク4の上端部は円弧に形成されているため、
シャフト3の上昇速度が適当なものであるかぎりこの上
端部が露呈ざれる際に液面が波立つことはなく、また、
上記支持ブロック10a.シャフト3の上面が露呈され
る際にも前述と同様の理由により液揺れが生じることは
ない。
Then, first, the upper end of the disk 4 is exposed above the liquid level, and then the conical portion 14 and the upper surface of the shaft 3 are exposed. Since the upper end of the disk 4 is formed into an arc,
As long as the rising speed of the shaft 3 is appropriate, the liquid level will not ripple when this upper end is exposed, and
The support block 10a. Even when the upper surface of the shaft 3 is exposed, no liquid shaking occurs for the same reason as described above.

なお、水没から上昇開始までの時間が短いものであって
、且つこの水没の際に液揺れが発生したとしても、この
液揺れは前述の如くすでに沈静化しており、上記ディス
ク4の液面より露呈した部位に影響を及ぼすことはない
Note that even if the time from submersion to the start of rising is short and liquid shaking occurs during submergence, this liquid shaking has already subsided as described above, and the liquid level is lower than that of the disk 4. It will not affect exposed areas.

上記混合液の液面はシャフト3の上昇に従って相対的に
下方へ移動され、やがて該シャフト3の下面に形成され
ている尖鋭部3aに達する。この場合、該尖鋭部3aは
支持ブロック10aの方向に向かうに従って下方へ傾斜
されているため、まずシャフト3の先端部側の尖鋭部3
aが液面より露呈される。
The liquid level of the liquid mixture is moved relatively downward as the shaft 3 rises, and eventually reaches the sharp portion 3a formed on the lower surface of the shaft 3. In this case, since the sharp portion 3a is inclined downward toward the support block 10a, first, the sharp portion 3a on the distal end side of the shaft 3
a is exposed from the liquid surface.

そして、第5図及び第6図に示す如く、液面と尖鋭部3
aとが交差する交点Cは、シャフト3が上昇ざれるに従
って該シャフト3の先端部から上記支持ブロック10a
側に移動ざれる。そのため、上記シャフト3と液面との
離間に際して混合液に液揺れが発生することはない。
Then, as shown in FIGS. 5 and 6, the liquid level and the sharp part 3
As the shaft 3 rises, the intersection point C intersects with the support block 10a extends from the tip of the shaft 3
Move to the side. Therefore, no vibration occurs in the mixed liquid when the shaft 3 and the liquid surface are separated from each other.

また、上記尖鋭部3aは平而3b,3cにて構成されて
いて、この部位における混合液の残留は極力防止ざれる
と共に、液面より露呈された平面3b,3cに混合液が
残留することがあっても、上記交点Cにおける表面張力
にて引張されて、該尖鋭部3aの有する傾斜に沿って交
点Cと共にシャフト3の下面と上記ディスク4の孔4a
内周との間に形成された所定の間隙を介して支持ブロッ
ク10a方向へ移動されるため、尖鋭部3aの液面より
露呈されている部位より液面やディスク4の表面へ混合
液が滴下することはない。
Further, the sharp portion 3a is composed of flat parts 3b and 3c, and the remaining of the mixed liquid in this part is prevented as much as possible, and the mixed liquid is prevented from remaining on the flat surfaces 3b and 3c exposed from the liquid surface. Even if there is, the lower surface of the shaft 3 and the hole 4a of the disk 4 are pulled together by the surface tension at the intersection C, along with the intersection C along the slope of the sharp portion 3a.
Since the mixed liquid is moved toward the support block 10a through a predetermined gap formed between the tip and the inner periphery, the mixed liquid drips from the portion of the sharp portion 3a that is exposed from the liquid surface to the liquid surface and the surface of the disk 4. There's nothing to do.

シャフト3が更に上昇されと、やがて上記交点Cは固定
部材11bの表面を介して突出部材12へ移動される。
As the shaft 3 is further raised, the intersection point C is eventually moved to the protruding member 12 via the surface of the fixing member 11b.

そのため、上記シャフト3が完全に液面より露呈される
際にも液揺れ及び液垂れが発生ずることがない。
Therefore, even when the shaft 3 is completely exposed from the liquid surface, the liquid does not shake or drip.

上記交点Cが突出部12の更に下方へ移動されると、こ
の突出部材12が液面より露呈される前にディスク4の
下端部が液面より露呈される。
When the intersection C is moved further below the protrusion 12, the lower end of the disk 4 is exposed from the liquid surface before the protrusion 12 is exposed from the liquid surface.

この場合、第8図に示す如く、該ディスク4の表面と上
記液面との間にも僅かながら表面張力が存在しており、
このディスク4の下端部と液面とが離間する際に僅かな
がらも液揺れが発生する可能性がある。更にこの場合、
もし上記ディスク4間の間隔が狭いものであると、第8
図(a)に示す如く、これらのディスク4間の液面が双
方のディスク4の表面張力にて互いに拡張されるため上
記液揺れが大きなものとなる。
In this case, as shown in FIG. 8, there is a slight surface tension between the surface of the disk 4 and the liquid level.
When the lower end of the disk 4 and the liquid surface are separated from each other, there is a possibility that liquid shaking may occur, albeit slightly. Furthermore, in this case,
If the distance between the discs 4 is narrow, the 8th disc
As shown in Figure (a), the liquid level between these disks 4 is expanded by the surface tension of both disks 4, so that the liquid fluctuation becomes large.

これに対して第8図(b)に示す如く、ディスク4間の
距離が一定以上離間して保持されていると、ディスク4
間の表面張力は無視することができるほど小さく、また
、各ディスク4の下端部が液面より離間する際に発生す
る液揺れが隣接するディスク4に達づるまでにある程度
沈静化され、この隣接するディスク4への影響を極めて
小さくすることが可能となる。
On the other hand, as shown in FIG. 8(b), if the distance between the disks 4 is kept at a certain distance or more, the disks 4
The surface tension between the disks is so small that it can be ignored, and the liquid shaking that occurs when the lower end of each disk 4 separates from the liquid surface is subsided to some extent by the time it reaches the adjacent disk 4, This makes it possible to extremely minimize the influence on the disk 4.

参考までに、ディスク4の設置間隔とこのディスク4の
表面に形成される潤滑層の精度との関係を示す実験の結
果を第9図に挙げる。
For reference, FIG. 9 shows the results of an experiment showing the relationship between the installation interval of the disks 4 and the accuracy of the lubricant layer formed on the surface of the disks 4.

この図に示す如く、ディスク4と液面との相対速度が1
m毎秒で、上記ディスク4の直径が5インチと通称され
る5.25インチの場合、ディスク4の設置間隔が12
.5#lmであると上記潤滑層の厚みには10オングス
トローム以上のばらつきが発生1るのに対し、ピッチが
15調であると5オングストローム以内の精度に保持す
ることが可能である。
As shown in this figure, the relative velocity between the disk 4 and the liquid level is 1.
m per second, if the diameter of the disk 4 is 5.25 inches, commonly called 5 inches, the installation interval of the disks 4 is 12
.. If the pitch is 5 #lm, the thickness of the lubricating layer will vary by 10 angstroms or more, whereas if the pitch is 15, it is possible to maintain the accuracy within 5 angstroms.

また、ディスク4の径が3.5インチである場合、ピッ
チを10.5mに設定すると10オングストローム以上
のばらつきが出るのに対し、12.5mに設定すると5
オングストローム以内のばらつきに抑えることが可能と
なる。
Furthermore, if the diameter of the disk 4 is 3.5 inches, if the pitch is set to 10.5 m, there will be a variation of more than 10 angstroms, but if it is set to 12.5 m, the pitch will vary by 50 angstroms or more.
It is possible to suppress the variation to within angstroms.

前述の如く、本実施例では各ディスク4を係止する凹部
13の間隔が例えば15厘間隔で形成されているため、
シャフト3に保持ざれるディスク4の直径が3.5イン
チであっても5.25インチであっても潤滑層の厚み精
瓜は実用上差し支えない5オングストローム以内に保持
することが可能である。
As mentioned above, in this embodiment, the intervals between the recesses 13 that lock the respective disks 4 are, for example, 15 cm, so that
Regardless of whether the diameter of the disk 4 held by the shaft 3 is 3.5 inches or 5.25 inches, the thickness of the lubricating layer can be kept within 5 angstroms, which is practically acceptable.

かくしてディスク4が液面より完全に露呈されると、次
に、該突出部材12のシャフト3側端部が液面上に露呈
され、第5図及び第7図に示す如く、この突出部材12
と液面との交点Cが尖鋭部12を上記シャフト3と反対
方向へ移動する。この場合も上記シャフト3の尖鋭部3
aにて説明したのと同様の作用により液揺れの発生が防
止される。
When the disk 4 is completely exposed above the liquid level, the end of the protruding member 12 on the shaft 3 side is exposed above the liquid level, and as shown in FIGS. 5 and 7, the protruding member 12
The intersection point C between and the liquid level moves the sharp portion 12 in the opposite direction to the shaft 3. In this case as well, the sharp portion 3 of the shaft 3
The occurrence of liquid shaking is prevented by the same effect as explained in section a.

そして、上記尖鋭部12aのシャフト3と反対側の端部
が上記液面より離間覆る際に僅かな液揺れが発生する可
能性があるが、すでにディスク4は液面上に移動されて
おり、この液揺れが該ディスク4の表面に悪影響を及ぼ
す可能性はない。また、この突出部12の下端と液面と
は点接触態で離間されるため、液揺れが発生したとして
もこの液揺れはごく小さなものであり、すぐに沈静化さ
れる。そのため、次のディスク4の水没までには完全に
おさまり、次工程にて浸漬されるディスク4になんら影
響をおよぼすことはない。
When the end of the sharp portion 12a opposite to the shaft 3 moves away from the liquid surface, a slight liquid shaking may occur, but the disk 4 has already been moved above the liquid surface. There is no possibility that this liquid shaking will have an adverse effect on the surface of the disk 4. Further, since the lower end of the protruding portion 12 and the liquid surface are separated from each other in point contact, even if liquid shaking occurs, this liquid shaking is very small and quickly subsides. Therefore, the water will be completely submerged by the time the next disk 4 is immersed in water, and will not have any effect on the disk 4 that will be immersed in the next process.

上記シャフト3が設置室1dに上昇され、所定の高さで
停止されると、マガジン5が浸漬槽2上へ移動して上記
ディスク4を保持し、再びタンク室1b上方へ移動され
る。このマガジン5はディスク4を保持したまま乾燥室
へ運ばれる一方、上記設置室1Cには新たなディスク4
を保持する他のマガジン5が設置され、次工程が開始ざ
れる。
When the shaft 3 is raised to the installation chamber 1d and stopped at a predetermined height, the magazine 5 moves onto the immersion tank 2, holds the disk 4, and is again moved above the tank chamber 1b. This magazine 5 is transported to the drying room while holding the disks 4, while new disks 4 are placed in the installation chamber 1C.
Another magazine 5 holding the is installed, and the next process begins.

なお、本実施例では突出部材12の下端にも傾斜した尖
鋭部12aが設けられているため、該突出部材12が液
面より離間される際にも液揺れ及び液垂れの発生が極力
防止されるという効果を有1る。
In this embodiment, since the inclined sharp portion 12a is also provided at the lower end of the protrusion member 12, the occurrence of liquid shaking and dripping is prevented as much as possible even when the protrusion member 12 is separated from the liquid surface. It has the effect of

また本実施例では保持部材の一例として着脱可能なシレ
フト3が使用されているため、多数のディスク4を同時
に保持すること可能であると共に、保持されるディスク
4の大きさや枚数などが変化してもシャフト3を交換サ
ることにJ;り容易に対応することが可能であるという
効果を右ずるが、この保持部材はシャフトに限らず他の
構成に覆るこども可能であり、更に、上記シャフト3の
保持及び突出部材12の位置は該シャフト3の一端に限
定されるものではない。
Furthermore, in this embodiment, since the removable shaft 3 is used as an example of the holding member, it is possible to hold a large number of disks 4 at the same time, and the size and number of the held disks 4 can be changed. However, this holding member can be used not only for the shaft but also for other configurations, and furthermore, the above-mentioned shaft 3 can be easily replaced. The position of the holding and protruding member 12 of 3 is not limited to one end of the shaft 3.

更にこの突出部材12の尖鋭部12aと上記シャフト3
の尖鋭部3aとを連続して形成すると共に、上記尖鋭部
12aと固定部材11aとの間にも連続する尖鋭部を形
成しておくと更なる効果を奏することが可能である。
Further, the sharp portion 12a of this protruding member 12 and the shaft 3
Further effects can be obtained by forming a continuous sharp part 3a and also forming a continuous sharp part between the sharp part 12a and the fixing member 11a.

また本実施例では、尖鋭部3aを斜面3a,3bにて構
成したが、この尖鋭部3aは例えば板状部材を上記シャ
フト3の下面に固定覆るなど、他の構成にて設Ijるこ
とも可能である。
Further, in this embodiment, the sharp portion 3a is configured with slopes 3a and 3b, but the sharp portion 3a may be configured in other configurations, such as by fixing and covering a plate-like member to the lower surface of the shaft 3. It is possible.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明の塗布装置によると、ディ
スクの保持部材が液面より上昇される際に、該液面に液
揺れが発生することが防止されると共に、上記保持部材
からの液垂れが防止されるという効果を有する。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the coating device of the present invention, when the disk holding member is raised above the liquid level, occurrence of liquid shaking on the liquid level is prevented, and the above-mentioned effect is achieved. This has the effect of preventing liquid dripping from the holding member.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図乃至第9図は本発明の一実施例に係り、第1図は
保持部月の正面図、第2図は同側面図、第3図は塗布装
置の正面図、第4図は同側面図、第5図は保持部材と液
面との相対的な移動状態を示す正面図、第6図は同正面
図、第7図は突出部材と液面との相対的な移動状態を示
づ正面図、第8図はディスクの設置距離の説明図、第9
図はディスクの設置距離が及ばず潤滑層への影響を示す
比較表である。 3・・・保持部材 3a・・尖鋭部 4・・・ディスク 12・・突出部
1 to 9 relate to an embodiment of the present invention, in which FIG. 1 is a front view of the holding part, FIG. 2 is a side view of the same, FIG. 3 is a front view of the coating device, and FIG. 5 is a front view showing the relative movement between the holding member and the liquid level, FIG. 6 is a front view of the same, and FIG. 7 is a front view showing the relative movement between the protruding member and the liquid level. Figure 8 is an explanatory diagram of the installation distance of the disk, Figure 9 is a front view.
The figure is a comparison table showing the effect on the lubrication layer due to the short installation distance of the disk. 3...Holding member 3a...Sharp portion 4...Disk 12...Protrusion part

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] ディスクを縦方向に保持する保持部材を液体に浸漬可能
に設け、この保持部材に、上記ディスクの下端部よりも
下方へ突出する突出部を配設すると共に、上記保持部材
の下面に、上記突出部へ向けて下方へ傾斜する連続した
尖鋭部を形成したことを特徴とする塗布装置。
A holding member that holds the disk in the vertical direction is provided so as to be immersible in liquid, and the holding member is provided with a protrusion that protrudes downward from the lower end of the disk. A coating device characterized in that a continuous sharp portion is formed that slopes downward toward the top.
JP28202588A 1988-11-08 1988-11-08 Coating device Pending JPH02131163A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28202588A JPH02131163A (en) 1988-11-08 1988-11-08 Coating device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28202588A JPH02131163A (en) 1988-11-08 1988-11-08 Coating device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02131163A true JPH02131163A (en) 1990-05-18

Family

ID=17647187

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28202588A Pending JPH02131163A (en) 1988-11-08 1988-11-08 Coating device

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Country Link
JP (1) JPH02131163A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001293397A (en) * 2000-04-13 2001-10-23 Sumitomo Precision Prod Co Ltd Rotary substrate treatment apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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