JPH02129987A - Pulse laser oscillator - Google Patents
Pulse laser oscillatorInfo
- Publication number
- JPH02129987A JPH02129987A JP28244788A JP28244788A JPH02129987A JP H02129987 A JPH02129987 A JP H02129987A JP 28244788 A JP28244788 A JP 28244788A JP 28244788 A JP28244788 A JP 28244788A JP H02129987 A JPH02129987 A JP H02129987A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- child
- laser beam
- power supply
- oscillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 28
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 28
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 11
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 10
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 6
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 6
- 230000004323 axial length Effects 0.000 claims description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 abstract description 3
- 229940090044 injection Drugs 0.000 abstract 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000010009 beating Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 2
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000002789 length control Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/10084—Frequency control by seeding
- H01S3/10092—Coherent seed, e.g. injection locking
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、パルスレーザ発振装置に係り、特にインジェ
クションロック方式によるパルスレーザ発振装置に関す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a pulsed laser oscillation device, and particularly to a pulsed laser oscillation device using an injection lock method.
（従来の技術）
従来より、高品質のレーザ光を得る方法として学術分野
ではインジェクションロックによる方法が知られている
。(Prior Art) Conventionally, a method using an injection lock has been known in the academic field as a method for obtaining high-quality laser light.
これは、親となるレーザと子となるレーザを組合せ、こ
の親となるレーザから弱い種となるレーザ光を子となる
レーザに導入し、子となるレーザの強力なレーザ励起領
域のゲインを用いて、親となるレーザ光と同質の強力な
レーザ光を得る方法である。This combines a parent laser and a child laser, introduces a weak seed laser beam from the parent laser into the child laser, and uses the gain of the strong laser excitation region of the child laser. This is a method to obtain a powerful laser beam of the same quality as the parent laser beam.
ここで、学術用語として親となるレーザをマスターレー
ザ、またその発振器をマスターオシレータと呼ぶ。そこ
で、以後はマスターレーザ、また。Here, in academic terms, the parent laser is called a master laser, and its oscillator is called a master oscillator. So, from now on, I will use the master laser again.
その発振器をマスターオシレータと呼ぶ。そこで。This oscillator is called the master oscillator. Therefore.
以後はマスターレーザ、マスターオシレータと呼ぶこと
にする。そして、同様に子となるレーザは、スレーブレ
ーザ、スレーブオシレータと呼ぶこととする。From now on, they will be called master laser and master oscillator. Similarly, child lasers are called slave lasers and slave oscillators.
第３図に、従来の学術研究の分野で用いられてきたイン
ジェクションロック方式によるレーザ発振器を示す。FIG. 3 shows an injection lock type laser oscillator that has been conventionally used in the field of academic research.
図において、構成を説明する。マスターオシレータ１か
ら出射したレーザ光はインジェクションミラー５を介し
てスレーブオシレータ２の共振器長制御に導入される。The configuration will be explained with reference to the figure. Laser light emitted from the master oscillator 1 is introduced into the slave oscillator 2 for cavity length control via the injection mirror 5.
インジェクションミラー５から導入されたマスターレー
ザ光はスレーブオシレータ２の内部にある強力なレーザ
励起領域を通過する。The master laser beam introduced from the injection mirror 5 passes through a strong laser excitation region inside the slave oscillator 2.
このスレーブオシレータ２はこのインジェクションミラ
ー５と励起領域を挟んで出力ミラー３とリアミラー４か
らなる共振器を持っている。またこの出力ミラー３また
はりアミラー４には導入したマスターオシレータ１のレ
ーザ光とスレーブオシレータ２の共振器長との縦モード
の同調のための共振器長制御のためピエゾ素子７が設け
られている。This slave oscillator 2 has a resonator consisting of an output mirror 3 and a rear mirror 4 with an excitation region sandwiched between the injection mirror 5 and the injection mirror 5. Further, the output mirror 3 or the rear mirror 4 is provided with a piezo element 7 for controlling the resonator length for tuning the longitudinal mode between the introduced laser beam of the master oscillator 1 and the resonator length of the slave oscillator 2. .
出力ミラー３から発振したレーザ光の軸上にはレーザ光
を二分割にするビームスプリッタ８があり、ビームスプ
リッタ８がら洩れ出るレーザ光の波形を高速光センサー
９でモニターする。On the axis of the laser beam oscillated from the output mirror 3 is a beam splitter 8 that splits the laser beam into two, and a high-speed optical sensor 9 monitors the waveform of the laser beam leaking from the beam splitter 8.
次に動作について説明する。マスタレーザ１においては
グレーティングを用いる、エタロンを用いる等、種々の
方法により微弱ではあるが、非常に高品質のレーザ光が
作り出される。しかし、ここでは非常に微妙な光学素子
が用いられ、それらは大出力なレーザ光に対する耐力が
ないため、大きな出力を得ることが出来ない。Next, the operation will be explained. In the master laser 1, weak but very high quality laser light is produced by various methods such as using a grating or an etalon. However, very delicate optical elements are used here, and they cannot withstand high-output laser light, so it is not possible to obtain a large output.
そこで、この微弱なレーザ光を強力な励起領域を持つス
レーブオシレータ２に導入し、スレーブオシレータ２の
共振器中でその励起領域のゲインを用いて成長させ、強
力なレーザ光を得るものである。Therefore, this weak laser beam is introduced into the slave oscillator 2 having a strong excitation region, and is grown in the resonator of the slave oscillator 2 using the gain of the excitation region to obtain a strong laser beam.
（発明が解決しようとする課題）
マスターオシレータからの微弱なレーザ光をスレーブオ
シレータに導入し、スレーブオシレータを発振させると
、マスターオシレータ光とスレーブオシレータの発振光
と縦モードは通常合わず、わずかにずれて、ビーティン
グ波形となって、発振する。この波形はビームスプリッ
タから洩れ出るレーザ光を高速光センサーでモニターす
ることによって得られる。ビーティング波形からインジ
ェクションロックのかかった波形にするためには、スレ
ーブオシレータの共振器長制御のためのピエゾ素子に電
圧を印加し、マスターオシレータとスレーブオシレータ
の縦モードが合うように、共振器長を動かす。ところが
、室温の変化やスレーブオシレータの熱的影響によって
、マスターオシレータの共振器長が動き、マスターオシ
レータとスレーブオシレータの縦モードがずれてくると
、再とビーティング波形となる。インジェクションロッ
ク波形を得るためにはピエゾ素子に電圧をがけて、共振
器長を動かす。この間、得られる出方波形はビーティン
グ波形であり、インジェクションロックのかかった波形
は得られない。(Problem to be Solved by the Invention) When a weak laser beam from the master oscillator is introduced into the slave oscillator and the slave oscillator is caused to oscillate, the master oscillator light and the slave oscillator's oscillation light and the longitudinal mode usually do not match, and a slight difference occurs. The signal deviates, becomes a beating waveform, and oscillates. This waveform is obtained by monitoring the laser light leaking from the beam splitter with a high-speed optical sensor. To change the beating waveform to an injection-locked waveform, apply a voltage to the piezo element for controlling the resonator length of the slave oscillator, and adjust the resonator length so that the longitudinal modes of the master oscillator and slave oscillator match. move. However, if the master oscillator's resonator length moves due to changes in room temperature or the thermal effects of the slave oscillator, and the longitudinal modes of the master oscillator and slave oscillator become misaligned, a beating waveform occurs again. To obtain an injection lock waveform, apply voltage to the piezo element and move the resonator length. During this time, the output waveform obtained is a beating waveform, and a waveform with injection lock cannot be obtained.
本発明は、上記のような課題を解消し、一般工業レベル
で用いることの出来るインジェクション方式によるパル
スレーザ発振装置を得ることを目的とする。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to obtain an injection-type pulse laser oscillation device that can be used at a general industrial level.
（課題を解決するための手段）
本発明によるインジェクション方式によるパルスレーザ
発振装置は、マスターオシレータから出射したレーザ光
はインジェクションミラーを介してスレーブオシレータ
の共振器光軸上に導入される。インジェクションミラー
から導入されたマスターレーザ光はスレーブオシレータ
の内部にある強力なレーザ励起領域を通過する。(Means for Solving the Problems) In the injection type pulse laser oscillation device according to the present invention, laser light emitted from a master oscillator is introduced onto the optical axis of a resonator of a slave oscillator via an injection mirror. The master laser beam introduced from the injection mirror passes through a strong laser excitation region inside the slave oscillator.
このスレーブオシレータはこのインジェクションミラー
と励起領域を挟んで出力ミラーと＋４アミラーからなる
共振器を持っている。またこの出力ミラーまたはりアミ
ラーには導入したマスターオシレータのレーザ光とスレ
ーブオシレータの共振器長との縦モードの同調のための
共振器長制御のためピエゾ素子が設けられている。ピエ
ゾ素子はピエゾドライバに接続し、更に、Ｄ／Ａコンバ
ータを介して、コンピュータに接続している。This slave oscillator has a resonator consisting of an output mirror and a +4 mirror, sandwiching the injection mirror and the excitation region therebetween. Further, this output mirror or rear mirror is provided with a piezo element for controlling the resonator length for tuning the longitudinal mode between the introduced laser beam of the master oscillator and the resonator length of the slave oscillator. The piezo element is connected to a piezo driver and further connected to a computer via a D/A converter.
スレーブオシレータからのレーザ光を出力ミラーから発
振し、スレーブオシレータの共振器の軸上に、レーザ光
を二分割するビームスプリッタをおき、ビームスプリッ
タから洩れ出るレーザ光は高速光センサーによるモニタ
ー信号が得られること。Laser light from the slave oscillator is oscillated from an output mirror, and a beam splitter that splits the laser light into two is placed on the axis of the slave oscillator's resonator.The laser light leaking from the beam splitter can be monitored by a high-speed optical sensor. To be done.
スレーブオシレータの電源装置は磁気圧縮回路からかっ
ており、その回路部品には可飽和リアクトルがあり、可
飽和リアクトルには発振によって磁化したコイルに逆向
きに電流を流して残留磁束密度を一定に保つ役目を持っ
たリセット電源が備わっている。このリセット電源電流
値をモニターする信号が得られること。The slave oscillator's power supply device consists of a magnetic compression circuit, and its circuit components include a saturable reactor.The saturable reactor has the role of keeping the residual magnetic flux density constant by flowing current in the opposite direction to the coil magnetized by oscillation. It has a reset power supply. A signal to monitor this reset power supply current value must be obtained.
更に、スレーブオシレータの電源装置の設定電圧値のモ
ニター信号が得られること。Furthermore, a monitor signal for the set voltage value of the slave oscillator's power supply device must be obtained.
（作 用）
以上のような構成を有する本発明のパルスレーザ発振装
置は、高速光センサーから得られるモニター信号で次の
状態が得られる。■インジェクションロックになると、
スレーブオシレータにはマスターオシレータからのレー
ザ光の種が常にあるため、スレーブオシレータの励起領
域でのレーザ光の立ち上がりが速くなる。■インジェク
ションロックがはずれ、ビーティング波形になると、マ
スターオシレータからのレーザ光の種と異なる縦モード
になるため、スレーブオシレータの励起領域でのレーザ
光の立ち上がりがインジェクションロックの状態よりも
遅くなる。この条件をコンピュータ等のデータにいれて
おく。(Function) The pulsed laser oscillation device of the present invention having the above configuration can obtain the following states using a monitor signal obtained from a high-speed optical sensor. ■When it comes to injection lock,
Since the slave oscillator always has a seed of laser light from the master oscillator, the rise of the laser light in the excitation region of the slave oscillator becomes faster. ■When the injection lock is removed and a beating waveform occurs, the laser beam in the slave oscillator's excitation region will rise later than in the injection lock state because the laser beam will have a different longitudinal mode than the one from the master oscillator. This condition is entered into the data of a computer, etc.
リセット電源の電流値が少なくなってくると、スレーブ
オシレータのレーザ光の立ち上がりが速くなってくる。As the current value of the reset power supply decreases, the rise of the laser beam of the slave oscillator becomes faster.
この条件をコンピュータ等のデータにいれておく。This condition is entered into the data of a computer, etc.
スレーブオシレータの電源の設定電圧を高くすると、ス
レーブオシレータのレーザ光の立ち上がりが速くなる。When the set voltage of the slave oscillator's power supply is increased, the rise of the laser beam of the slave oscillator becomes faster.
この条件をコンピュータ等のデータにいれておく。This condition is entered into the data of a computer, etc.
ピエゾ素子に印加する電圧はマスターオシレータから発
振するレーザ波長のλ／２以上にスキャンするように、
コンピュータ等から制御できるようにする。The voltage applied to the piezo element is set so that it scans over λ/2 of the laser wavelength oscillated from the master oscillator.
Allows control from a computer, etc.
（実施例）
本発明の実施例を図を用いて説明する。第１図は本発明
の一実施例によるインジェクションロツタ方式によるパ
ルスレーザ発振装置である。(Example) An example of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows an injection rotor type pulse laser oscillation device according to an embodiment of the present invention.
ここでは、マスターオシレータ１として連続発振のＣＯ
□ レーザ、スレーブオシレータ２としてＴＥＡＣＯ２
レーザが用いられている。Here, continuous oscillation CO is used as master oscillator 1.
□ Laser, TEACO2 as slave oscillator 2
A laser is used.
スレーブオシレータの電源回路として、磁気圧縮回路の
概略図を第２図に示す。磁気圧縮回路の回路構成部品と
して、可飽和リアクトル１８とリセット電′ｇ１９を磁
気圧縮回路構成部品として、可飽和リアクトル１８とリ
セット電源１９をそれぞれ示す。FIG. 2 shows a schematic diagram of a magnetic compression circuit as a power supply circuit for the slave oscillator. A saturable reactor 18 and a reset power supply 19 are shown as circuit components of the magnetic compression circuit, and a saturable reactor 18 and a reset power supply 19 are shown, respectively.
マスターオシレータ１は内部にグレーティングをもち波
長選択が行われる。さらに発振縦モードはシングルであ
り縦モードの安定化機悔としてスタビライザ６が設けら
れている。The master oscillator 1 has an internal grating and performs wavelength selection. Further, since the oscillation longitudinal mode is single, a stabilizer 6 is provided to stabilize the longitudinal mode.
スレーブオシレータ２の共振器は平面のりアミラー４と
曲率をもった出力ミラー３とから構成され、リアミラー
４にはピエゾ素子７が設けられており、ピエゾドライバ
１０により駆動される。ピエゾドライバＩＯはＤ／Ａコ
ンバータ１１と接続し、更にコンピュータ１２と接続し
ている。The resonator of the slave oscillator 2 is composed of a flat rear mirror 4 and a curved output mirror 3, and the rear mirror 4 is provided with a piezo element 7, which is driven by a piezo driver 10. The piezo driver IO is connected to the D/A converter 11 and further connected to the computer 12.
スレーブオシレータ光の高速光センサーのモ二ター信号
１３とリセット電源電流値のモニター信号１４とスレー
ブオシレータの電源装置の設定電圧値のモニター信号１
５とをコンピュータ等１２に入力し。Slave oscillator light high-speed optical sensor monitor signal 13, reset power supply current value monitor signal 14, and slave oscillator power supply device set voltage value monitor signal 1
5 into the computer etc. 12.
コンピュータ等はそのデータを基にして、Ｄ／Ａコンバ
タータ１１に接続しているピエゾドライバ１０を介して
、ピエゾ素子７に信号を送り、共振器の軸上の長さを変
える。Based on the data, a computer or the like sends a signal to the piezo element 7 via the piezo driver 10 connected to the D/A converter 11 to change the axial length of the resonator.
ピエゾ素子は印加する電圧を変化させることによって、
スレーブオシレータの共振器長を変化させることができ
る。共振器長が変化する割合は、ピエゾ素子の印加電圧
がＯから１０ｋＶまで変化させると、０から１０／ｆｆ
ｉまでリニアーに変化する。By changing the applied voltage, piezo elements
The resonator length of the slave oscillator can be changed. The rate at which the resonator length changes is from 0 to 10/ff when the voltage applied to the piezo element is changed from O to 10 kV.
It changes linearly up to i.
スレーブオシレータから発振したレーザ光をビームスプ
リッタから洩れ出た光を高速光センサーで計測し、スレ
ーブオシレータの電源回路の構成部品であるＧＴＯ（ゲ
ートターンオフ）素子のトリガー信号からレーザ光が立
ち上がるまでの時間を計測する。この時間はスレーブオ
シレータの電源電圧値やリセット電源の電流値によって
も変化するのでこの条件を取り込んでおく、リセット電
流が少なくなると、スレーブオシレータのレーザの立ち
上がりが早くなる。また、スレーブオシレータの電源電
圧はパルス発振の繰返し数が多くなると、電源電圧は下
がってくるので、レーザ光の立ち上がり時間は遅れてく
る。これらの条件をコンピュータで計算し、インジェク
ションロックのかかったときの立ち上がり時間と比較す
る。この比較した時間より遅れていれば、ピエゾ素子の
印加電圧を増加させる。この時更に遅れると共振器長の
ずらす方向が逆と判断し、ピエゾ素子の印加電圧を減少
するようにコンピュータから信号がくる。そうする。そ
うすると、レーザ光の立ち上がり時間が早くなってくる
。更にピエゾ素子の印加電圧を減少させると、レーザ光
の立ち上がり時間が更に早くなり、予め設定しておいた
レーザ光の立ち上がり時間になったところで、ピエゾへ
の印加電圧を固定すると、スレーブオシレータのレーザ
光の波形はインジェクションロックのかかった波形が得
られた。共振器長が熱等の外部の影響によって動いても
、上記の方法でインジェクションロックの常にかかった
波形が得られた。A high-speed optical sensor measures the laser light oscillated from the slave oscillator and the light leaking from the beam splitter, and the time from the trigger signal of the GTO (gate turn-off) element, which is a component of the slave oscillator's power supply circuit, until the laser light rises. Measure. This time also changes depending on the power supply voltage value of the slave oscillator and the current value of the reset power supply, so take this condition into consideration.As the reset current decreases, the slave oscillator's laser starts up faster. Furthermore, as the number of repetitions of pulse oscillation increases, the power supply voltage of the slave oscillator decreases, so that the rise time of the laser beam becomes delayed. These conditions are calculated by computer and compared with the rise time when the injection lock is engaged. If the comparison time is delayed, the voltage applied to the piezo element is increased. At this time, if there is a further delay, the computer determines that the direction in which the resonator length is being shifted is in the opposite direction, and a signal is sent from the computer to reduce the voltage applied to the piezo element. I'll do that. This will speed up the rise time of the laser beam. If the voltage applied to the piezo element is further reduced, the rise time of the laser beam becomes even faster, and when the preset rise time of the laser beam is reached, when the voltage applied to the piezo element is fixed, the slave oscillator's laser A light waveform with injection lock was obtained. Even if the resonator length moved due to external influences such as heat, a waveform with constant injection lock was obtained using the above method.
なお、前記実施例においては、スレーブオシレータの軸
上にビームスプリッタをおいている構成となっているが
、インジェクションミラーの所でスレーブオシレータの
レーザ光の波形を計測しても良い。またピエゾ素子をリ
アミラーに設置したがこ出力ミラーに設置しても良い。In the above embodiment, the beam splitter is placed on the axis of the slave oscillator, but the waveform of the laser beam of the slave oscillator may be measured at the injection mirror. Although the piezo element is installed in the rear mirror, it may also be installed in the output mirror.
以上のよう、に本発明によると、インジェクションロッ
クが安定してかかったレーザ波形のパルスレーザ発振装
置を得ることができる。As described above, according to the present invention, it is possible to obtain a pulsed laser oscillation device with a laser waveform in which injection lock is stably applied.
第１図心は本発明によるパルスレーザ発振装置の回路図
、第２図へはそのスレーブオシレータ側の磁気圧縮回路
図、第３図は従来から用いられてきたインジェクション
方式のパルスレーザ発振装置の回路図である。
１・・・マスターオシレータ ２・・・スレーブオ
シレータ３・・・出力ミラー ４・・・リ
アミラー５・・・インジェクションミラー ６・・・ス
タビライザ７・・・ピエゾ素子
９・・・高速光センサー
１１・・・Ｄ／Ａコンバータ
１３・・・Ａ／Ｄ変換器
１５・・・磁気圧縮回路の設定電圧値
１６・・・充電電源
１８．１８’・・・可飽和リアクトル
８・・・ビームスプリッタ
１０・・・ピエゾドライバ
１２・・・コンピュータ
１４・・・リセット電源電流値
１７・・・ＧＴＯトリガー電源
１９．１９’ ・・・リセット電源
代理人 弁理士 則 近 憲 佑
同 第子丸 健The first centroid is a circuit diagram of a pulsed laser oscillation device according to the present invention, FIG. 2 is a magnetic compression circuit diagram on the slave oscillator side, and FIG. 3 is a circuit diagram of a conventionally used injection type pulsed laser oscillation device. It is a diagram. 1... Master oscillator 2... Slave oscillator 3... Output mirror 4... Rear mirror 5... Injection mirror 6... Stabilizer 7... Piezo element 9... High speed optical sensor 11...・D/A converter 13...A/D converter 15...Setting voltage value of magnetic compression circuit 16...Charging power source 18.18'...Saturable reactor 8...Beam splitter 10...・Piezo driver 12...Computer 14...Reset power supply current value 17...GTO trigger power supply 19.19'...Reset power supply agent Patent attorney Noriyoshi Chika Yudo Ken Daishimaru
Claims (1)
ザから弱い種となるレーザ光を子となるレーザに導入し
、子となるレーザの強力なレーザ励起領域のゲインを用
いて、親となるレーザ光と同質の強力なレーザ光を得る
インジェクション方式によるパルスレーザ発振装置にお
いて、 子となるレーザ光を子となる出力ミラーから発振し、子
となる共振器の軸上に、レーザ光を二分割するビームス
プリッタミラーをおき、子となるレーザ光の高速光セン
サーによるモニター信号が得られること、 子となるレーザの電源装置は磁気圧縮回路からなってお
り、その回路部品には可飽和リアクトルがあり、可飽和
リアクトルには発振によって磁化したコイルに、逆向き
に電流を流して残留磁束密度を一定に保つ役目を持った
リセット電源が備わっている、このリセット電源電流を
モニターする信号が得られること、 子となるレーザの電源装置の設定電圧のモニター信号が
得られること。 子となるレーザ共振器には外部信号によってその軸上の
長さを変えることのできる装置が備えられていること、 子となるレーザ光の高速光センサーのモニター信号とリ
セット電源電流のモニター信号と子となるレーザの電源
装置の設定電圧のモニター信号とをコンピュータ等に入
力し、コンピュータ等はそのデータを基にして、共振器
の軸上の長さを変えることのできる装置に出力すること
を特徴としたパルスレーザ発振装置。[Claims] It has a parent laser and a child laser, and a weak seed laser beam is introduced from the parent laser to the child laser, and the gain of the strong laser excitation region of the child laser is In an injection-based pulsed laser oscillation device that uses a laser beam to generate a powerful laser beam of the same quality as the parent laser beam, the child laser beam is oscillated from the child output mirror, and is placed on the axis of the child resonator. A beam splitter mirror is installed to split the laser beam into two, and a high-speed optical sensor monitors the child laser beam to obtain a monitor signal.The power supply for the child laser consists of a magnetic compression circuit, and its circuit components has a saturable reactor, and the saturable reactor is equipped with a reset power supply that keeps the residual magnetic flux density constant by flowing current in the opposite direction to the coil magnetized by oscillation. A signal to monitor can be obtained, and a signal to monitor the voltage setting of the power supply of the child laser can be obtained. The slave laser resonator is equipped with a device that can change its axial length by an external signal, and a monitor signal for the high-speed optical sensor of the slave laser beam and a reset power supply current monitor signal are provided. A monitor signal for the set voltage of the power supply device of the child laser is input to a computer, etc., and the computer, etc. uses that data to output to a device that can change the axial length of the resonator. Characteristic pulse laser oscillation device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28244788A JPH0644650B2 (en) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | Pulse laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28244788A JPH0644650B2 (en) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | Pulse laser oscillator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02129987A true JPH02129987A (en) | 1990-05-18 |
| JPH0644650B2 JPH0644650B2 (en) | 1994-06-08 |
Family
ID=17652543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28244788A Expired - Lifetime JPH0644650B2 (en) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | Pulse laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0644650B2 (en) |
-
1988
- 1988-11-10 JP JP28244788A patent/JPH0644650B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0644650B2 (en) | 1994-06-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3646468A (en) | Servo aided injection phase-locked laser oscillator | |
| Schell et al. | Jitter and dynamics of self-seeded Fabry-Perot laser diodes | |
| EP0689725B1 (en) | A laser | |
| JPH1074996A (en) | Electromagnetic wave resonator having stabilizer and method for stabilizing resonator length | |
| JPH02129987A (en) | Pulse laser oscillator | |
| US4455657A (en) | Stable single axial mode Q switched laser oscillator with injection locking | |
| US3713032A (en) | Q-switching laser system having electronically controlled output coupling | |
| US6785309B2 (en) | Method for frequency and mode stabilisation of a tuneable laser that has at least three sections | |
| JP2001127366A (en) | Solid-state laser device, method for controlling output thereof and power supply device for solid-state laser | |
| JP2002151773A (en) | Laser and method for material processing | |
| JPH077858B2 (en) | Laser oscillator by injection method | |
| JP2697640B2 (en) | Optical clock generator | |
| JPH0534746A (en) | Optical wavelength conversion device | |
| JP2554893B2 (en) | High repetition pulse laser stabilizer | |
| JP4077059B2 (en) | Optical pulse generation method | |
| JP4408246B2 (en) | Mode-locked semiconductor laser | |
| JPH0399483A (en) | Pulse laser device | |
| JPH05121814A (en) | Laser oscillator using injection method | |
| JPH02218189A (en) | Frequency stabilization of gas laser | |
| JPH04260385A (en) | Injection lock tuning controller | |
| Krüger et al. | Resonance‐tracking servo for an acousto‐optic modulator | |
| Duvillier et al. | Simple numerical control loop for stabilizing Nd: YAG and Nd: YLF single-mode oscillators | |
| JPS6289378A (en) | Semiconductor laser device with stabilized frequency | |
| JPH06169124A (en) | Short optical pulse generating device | |
| Sasaki et al. | Pulse injection-locked TEA CO2 laser for long pulse operation with feedback stabilization |