JPH02126442A - Magneto-optical disk - Google Patents
Magneto-optical diskInfo
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Landscapes
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は光磁気ディスクに係り、特に、記録特性の優れ
た高品位な光磁気ディスクに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical disk, and more particularly to a high-quality magneto-optical disk with excellent recording characteristics.
従来の技術
ディスク基板上に保護膜が形成されているとともに、そ
の保護膜上に磁気光学効果を有する光磁気記録媒体層が
設けられている光磁気ディスクが知られている。かかる
光磁気ディスクは、光の照射による局部加熱によって上
記光磁気記録媒体層を局部磁化して情報を記録し、また
、このようにして記録された情報を磁気光学効果を利用
して光学的に読み出すことができるものである。そして
、前記ディスク基板には、一般に渦巻状若しくは同心円
状に凹凸が形成され、情報を記録するトラックが規定さ
れるようになっており、前記保護膜や光磁気記録媒体層
もその凹凸に倣った凹凸形状を成しているのが普通であ
る。2. Description of the Related Art Magneto-optical disks are known in which a protective film is formed on a disk substrate, and a magneto-optical recording medium layer having a magneto-optic effect is provided on the protective film. Such magneto-optical disks record information by locally magnetizing the above-mentioned magneto-optical recording medium layer by local heating by irradiation with light, and optically record information using the magneto-optic effect. It is something that can be read out. The disk substrate generally has concavities and convexities formed in a spiral or concentric pattern to define tracks for recording information, and the protective film and magneto-optical recording medium layer also follow the concavities and convexities. It usually has an uneven shape.
発明が解決しようとする課題
しかしながら、光磁気記録媒体層が凹凸形状を成してい
ると、その段差部分で膜厚が不均一になるとともに、段
差部分と平坦部分とで磁気特性の方向が異なるため、均
一な垂直磁気異方性が得られなくなって記録特性が損な
われるという問題があった。Problems to be Solved by the Invention However, when a magneto-optical recording medium layer has an uneven shape, the film thickness becomes non-uniform at the stepped portions, and the direction of magnetic properties differs between the stepped portions and the flat portions. Therefore, there was a problem that uniform perpendicular magnetic anisotropy could not be obtained and recording characteristics were impaired.
本発明は以上の事情を背景として為されたもので、その
目的とするところは、記録特性の優れた高品位な光磁気
ディスクを提供することにある。The present invention has been made against the background of the above circumstances, and its object is to provide a high-quality magneto-optical disk with excellent recording characteristics.
課題を解決するための手段
かかる目的を達成するために、本発明は、ディスク基板
上に保護膜が形成されているとともに、その保護膜上に
磁気光学効果を有する光磁気記録媒体層が設けられてい
る光磁気ディスクであって、前記保護膜の前記光磁気記
録媒体層側の表面が平坦に形成され、その光磁気記録媒
体層が略均一の厚さで平坦に設けられていることを特徴
とする。Means for Solving the Problems In order to achieve the object, the present invention provides a disk substrate in which a protective film is formed, and a magneto-optical recording medium layer having a magneto-optic effect is provided on the protective film. The magneto-optical disk is characterized in that the surface of the protective film on the side of the magneto-optical recording medium layer is formed flat, and the magneto-optical recording medium layer is provided flat with a substantially uniform thickness. shall be.
なお、上記保護膜の光磁気記録媒体層側の表面は必ずし
も厳密に平坦である必要はなく、急峻な凹凸がなくなる
程度であっても差支えない。また、かかる保護膜は、例
えば回転塗布法により液体ガラスをディスク基板上に塗
布して固化したものによって構成される。It should be noted that the surface of the protective film on the magneto-optical recording medium layer side does not necessarily have to be strictly flat, and may be flat without any steep irregularities. Further, such a protective film is formed by applying liquid glass onto the disk substrate and solidifying it, for example, by a spin coating method.
作用および発明の効果
このような光磁気ディスクによれば、光磁気記録媒体層
が略均一の厚さで平坦であるため、安定な磁気特性を存
する均一な垂直磁気異方性が得られ、その記録特性が大
幅に向上する。Operation and Effects of the Invention According to such a magneto-optical disk, since the magneto-optical recording medium layer is flat and has a substantially uniform thickness, uniform perpendicular magnetic anisotropy with stable magnetic properties can be obtained. Recording characteristics are greatly improved.
実施例
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。EXAMPLE Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail based on the drawings.
第１図は、本発明の一実施例である光磁気ディスク１０
の要部断面図であり、この光磁気ディスク１０は、ディ
スク基板１２上（図では下側）に干渉膜１４．光磁気記
録媒体層１６．および保護膜上８を順次積層したもので
ある。FIG. 1 shows a magneto-optical disk 10 which is an embodiment of the present invention.
This magneto-optical disk 10 has an interference film 14 on a disk substrate 12 (lower side in the figure). Magneto-optical recording medium layer 16. and protective film 8 are sequentially laminated.
ディスク基板１２は、ガラス基板２ｏに金属製反射材２
２を渦巻状若しくは同心円状に固着したもので、例えば
第２図に示されているようにして作製される。すなわち
、先ず第２図の（ａ）に示されているように平坦なガラ
ス基板２ｏを用意し、その−面に、Φ）に示されている
ように上記反射材２２を構成する金属８２４をスパッタ
リングや蒸着等の手段で形成し、更にレジスト２６をそ
の金属膜２４上に塗布する。次に、レーザ露光法等によ
り、（Ｃ）に示されているように上記レジスト２６を渦
巻状若しくは同心円状に取り除いた後、エツチングによ
って（ｄ）に示されているように金属膜２４を除去する
ことにより、その金属Ｂ、２４の一部が前記反射材２２
としてガラス基板２ｏ上に残される。そして、その反射
材２２上に残されたレジスト２６を除去することにより
、（ｅ）に示されているディスク基板１２が作製される
。上記反射材２２は、ガラス基板２０側から照射される
レーザ光を反射して情報を記録すべきトラックを規定す
るものである。The disk substrate 12 has a metal reflective material 2 on a glass substrate 2o.
2 are fixed in a spiral or concentric shape, and is manufactured, for example, as shown in FIG. That is, first, a flat glass substrate 2o is prepared as shown in FIG. It is formed by means such as sputtering or vapor deposition, and a resist 26 is further applied on the metal film 24. Next, the resist 26 is removed in a spiral or concentric manner as shown in (C) using a laser exposure method or the like, and then the metal film 24 is removed by etching as shown in (d). By doing so, a part of the metal B, 24 becomes the reflective material 22.
is left on the glass substrate 2o. Then, by removing the resist 26 left on the reflective material 22, the disk substrate 12 shown in (e) is manufactured. The reflective material 22 reflects the laser light irradiated from the glass substrate 20 side to define a track on which information is to be recorded.
また、上記ディスク基板１２上に設けられる干渉膜工４
は、特許請求の範囲における保護膜と相当するもので、
化学変化から光磁気記録媒体層１６を保護するとともに
、光磁気記録媒体層１６において反射される反射光のカ
ー回転角を増大させ、且つ光の干渉により干渉膜１４の
両面で反射する反射光を打ち消す作用を為すものであり
、Ｓｉｎ。Further, an interference film 4 provided on the disk substrate 12
corresponds to the protective film in the claims,
It protects the magneto-optical recording medium layer 16 from chemical changes, increases the Kerr rotation angle of the reflected light reflected at the magneto-optical recording medium layer 16, and reduces the reflected light reflected on both surfaces of the interference film 14 due to light interference. It has the effect of canceling out Sin.
（二酸化珪素）等の化学的に安定な透明の酸化物にて構
成される。かかる干渉膜１４は、本実施例ではその作製
手段により第１膜１４ａおよび第２膜１４ｂから構成さ
れており、第１膜１４ａは、回転塗布法によりディスク
基板１２の反射材２２側を上向きにして回転させつつ液
体ガラスを用いた酸化物を供給して塗布し、これを４０
０ ’Ｃ程度の高温ベータを用いて固化させたものであ
る。これにより、反射材２２間の隙間が埋められ、第１
膜１４ａのディスク基板１２と反対側の面は、ディスク
基板１２の凹凸に拘らず略平坦となる。また、第２膜１
４ｂは、スパッタリング、真空蒸着等の物理的″ｉｊｌ
膜作製膜作製−はＣＶ Ｄ （Ｃｈｅｍｉｃａｌνａｐ
ｏｒ Ｄｅρｏｓｉｔｉｏｎ）法等の化学的薄膜作製法
により、上記第１膜１４ａと同じ物質をその第１膜１４
ａ上に形成したもので、干渉膜１４が予め定められた所
定の厚さとなるように調整される。Constructed of chemically stable transparent oxides such as (silicon dioxide). In this embodiment, the interference film 14 is made up of a first film 14a and a second film 14b, and the first film 14a is formed by coating the disk substrate 12 with the reflective material 22 side facing upward by a spin coating method. Apply the oxide using liquid glass while rotating it, and apply it for 40 minutes.
It is solidified using high temperature beta of about 0'C. As a result, the gaps between the reflective materials 22 are filled, and the first
The surface of the film 14a opposite to the disk substrate 12 is substantially flat regardless of the unevenness of the disk substrate 12. In addition, the second film 1
4b is a physical process such as sputtering, vacuum deposition, etc.
Membrane Preparation Membrane Preparation - CV D (Chemical νap
The same substance as the first film 14a is formed into the first film 14 by a chemical thin film manufacturing method such as
The interference film 14 is adjusted to have a predetermined thickness.
光磁気記録媒体層】６は、希土類と遷移金属とを主成分
とするアモルファス金属である光磁気材料、例えばテル
ビ鉄コバルトＣＴｅＦｅＣｏ）等を用いて、スパッタリ
ングや真空蒸着等により０゜１／／ＩＩ以下の厚さで上
記干渉膜Ｉ４上に形成されている。本実施例では、干渉
膜１４のディスク基板１２と反対側の表面が略平坦に形
成されているところから、この光磁気記録媒体層１６は
、略均一な厚さで平坦に設けられる。The magneto-optical recording medium layer 6 is made of a magneto-optical material which is an amorphous metal mainly composed of rare earth elements and transition metals, such as terbitiron cobalt (CTeFeCo), and is formed by sputtering or vacuum deposition at 0°1//II. It is formed on the interference film I4 with the following thickness. In this embodiment, since the surface of the interference film 14 opposite to the disk substrate 12 is formed substantially flat, the magneto-optical recording medium layer 16 is provided flat with a substantially uniform thickness.
保護膜１日は、上記光磁気記録媒体層１６を化学変化か
ら保護し且つカー回転角を増加させる反射効果を顕著と
するためのもので、前記干渉膜１４と同様にＳｉＯ□等
の化学的に安定な透明の酸化物にて構成される。かかる
保護膜１日も、その作製手段により第１膜１８ａおよび
第２膜１８ｂから構成されており、第１膜１８ａは、ス
パッタリング、真空蒸着等の物理的薄膜作製法、或いは
ＣＶＤ法等の化学的薄膜作製法によって作製されている
。また、第２膜１８ｂは、回転塗布法によって上記第１
膜１８ａと同じ物質をその第１膜１日ａ上に上乗せし、
高温ベータを用いて固化させたもので、保護膜１８が予
め定められた所定の厚さとなるように調整される。この
膜厚は、例えば１μｍ以下に定められる。The protective film is used to protect the magneto-optical recording medium layer 16 from chemical changes and to make the reflection effect that increases the Kerr rotation angle more noticeable. Composed of stable transparent oxide. The protective film 18 is also composed of a first film 18a and a second film 18b depending on its manufacturing method, and the first film 18a is formed by a physical thin film manufacturing method such as sputtering or vacuum deposition, or a chemical method such as CVD method It is fabricated using a conventional thin film fabrication method. Further, the second film 18b is applied to the first film by a spin coating method.
The same substance as the film 18a is placed on the first film 1a,
It is solidified using high-temperature beta, and is adjusted so that the protective film 18 has a predetermined thickness. This film thickness is set to, for example, 1 μm or less.
なお、前記干渉膜１４の第２膜１４ｂ、光磁気記録媒体
層１６．および保護膜１日の第１膜１８ａは、真空中か
ら取り出すことなく連続して作製される。Note that the second film 14b of the interference film 14, the magneto-optical recording medium layer 16. And the first film 18a of the protective film on the first day is continuously produced without being taken out from the vacuum.
そして、かかる光磁気ディスク１０は、そのディスク基
板１２を通してレーザ光が光磁気記録媒体層１６に照射
されると、磁気光学効果により光磁気記録媒体層１６に
おける局部磁化方向に関連して反射光のカー回転角が変
化させられ、この反射光のカー回転角に基づいて情報が
読み出される。In this magneto-optical disk 10, when the magneto-optical recording medium layer 16 is irradiated with laser light through the disk substrate 12, the magneto-optic effect causes the reflected light to change in relation to the local magnetization direction in the magneto-optical recording medium layer 16. The Kerr rotation angle is changed, and information is read out based on the Kerr rotation angle of this reflected light.
また、情報の書込みに際しては、レーザ光の照射に基づ
いてキュリー点まで局部加熱し、この局部の冷却時に外
部磁界の方向を所望する方向へ制御することにより磁化
方向に対応した情報を記録する。In addition, when writing information, local heating is performed to the Curie point based on laser beam irradiation, and information corresponding to the magnetization direction is recorded by controlling the direction of the external magnetic field in a desired direction while cooling this local area.
ここで、本実施例の光磁気ディスク１０は、光磁気記録
媒体層１６が略均一の厚さで平坦であるため、安定な磁
気特性を有する均一な垂直磁気異方性が得られ、その記
録特性が大幅に向上する。Here, in the magneto-optical disk 10 of this embodiment, since the magneto-optical recording medium layer 16 is flat with a substantially uniform thickness, uniform perpendicular magnetic anisotropy with stable magnetic properties is obtained, and the recording Characteristics are greatly improved.
因に、従来の光磁気ディスクは第３図に示されているよ
うに、光磁気記録媒体層１６がディスク基板１２′の凹
凸に対応した凹凸形状を成していたため、均一な垂直磁
気異方性が得られなくなって記録特性が損なわれるとい
う問題があったのである。なお、第３図のディスク基板
１２′には一体に凹凸が設けられている一方、干渉膜１
４′、保護膜１８′は、それぞれスパッタリング、−真
空蒸着等の単一の薄膜作製法により作製されている。Incidentally, in the conventional magneto-optical disk, as shown in FIG. 3, the magneto-optical recording medium layer 16 had an uneven shape corresponding to the unevenness of the disk substrate 12', so that uniform perpendicular magnetic anisotropy was achieved. However, there was a problem in that the recording properties were impaired due to the inability to obtain the desired performance. Note that while the disk substrate 12' in FIG. 3 is integrally provided with unevenness, the interference film 1
4' and the protective film 18' are each manufactured by a single thin film manufacturing method such as sputtering or vacuum evaporation.
また、本実施例の製造方法においては、光磁気記録媒体
層１６．およびその両面に位置する干渉膜１４の第２膜
１４ｂ、保護膜１８の第１膜１８ａが、真空中から取り
出すことなく連続して作製されるため、光磁気記録媒体
層１６の化学変化が良好に防止されるとともに、光磁気
ディスクｌＯを能率的に製造できる利点がある。Further, in the manufacturing method of this embodiment, the magneto-optical recording medium layer 16. Since the second film 14b of the interference film 14 and the first film 18a of the protective film 18 located on both sides of the interference film 14 are continuously fabricated without being taken out of the vacuum, the chemical change of the magneto-optical recording medium layer 16 is good. This has the advantage that the magneto-optical disk 10 can be manufactured efficiently.
以上、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明し
たが、本発明は他の態様で実施することもできる。Although one embodiment of the present invention has been described above in detail based on the drawings, the present invention can also be implemented in other embodiments.
例えば、前記実施例ではディスク基板１２がガラス基板
２０と反射材２２とから構成されているが、反射材２２
を設ける替わりにガラス基板２０に溝を形成したり、ガ
ラス基板２０の替わりにアクリル樹脂、ポリカーボネー
ト樹脂２ポリオレフイン樹脂等の合成樹脂などを用いた
りすることも可能である。For example, in the embodiment described above, the disk substrate 12 is composed of the glass substrate 20 and the reflective material 22, but the reflective material 22
It is also possible to form grooves in the glass substrate 20 instead of providing the glass substrate 20, or to use synthetic resin such as acrylic resin, polycarbonate resin 2 polyolefin resin, etc. instead of the glass substrate 20.
また、上記反射材２２は金属製であるが、窒化物等の金
属以外の物質を用いることもできる。Furthermore, although the reflective material 22 is made of metal, it is also possible to use a substance other than metal, such as nitride.
また、前記干渉膜１４．保ｉＩ膜１８は、その作製手段
によりそれぞれ第１Ｄ１１４ａ、１８ａおよび第２膜１
４ｂ、１８ｂから構成されているが、それぞれ単一の薄
膜作製法により１回で干渉膜１４、保護膜１８を作製す
るようにしても、或いは複数の薄膜作製法により３層以
上に分けて作製するようにしても差支えない。Further, the interference film 14. The II film 18 is formed into the first D114a, 18a and the second film 1, respectively, by its manufacturing method.
4b and 18b, the interference film 14 and the protective film 18 can be fabricated in one step using a single thin film fabrication method, or they can be fabricated in three or more layers using multiple thin film fabrication methods. There is no harm in doing so.
また、上記干渉膜１４．保護膜１８の材質は必要に応じ
て適宜変更され得る。Further, the interference film 14. The material of the protective film 18 may be changed as necessary.
また、前述した光磁気ディスクＩＯの製造方法はあくま
でも一例であり、他の種々の製造方法を採用することが
できる。要するに、干渉膜１４の光磁気記録媒体層１６
側の表面に急峻な凹凸がなく、光磁気記録媒体層１６が
略均一の厚さで平坦に設けられれば良いのである。Further, the method for manufacturing the magneto-optical disk IO described above is just an example, and various other manufacturing methods can be adopted. In short, the magneto-optical recording medium layer 16 of the interference film 14
It is sufficient that the side surface has no steep irregularities and that the magneto-optical recording medium layer 16 is provided flat with a substantially uniform thickness.
また、前記実施例の光磁気ディスク１０はディスク基板
１２側からレーザ光が照射されるようになっているが、
ディスク基板１２と反対側からレーザ光が入射される形
式の光磁気ディスクにも本発明は同様に適用され得る。Further, although the magneto-optical disk 10 of the above embodiment is configured to be irradiated with laser light from the disk substrate 12 side,
The present invention can be similarly applied to a magneto-optical disk in which a laser beam is incident from the side opposite to the disk substrate 12.
その場合には、例えば、ディスク基板１２上には、前記
保護膜１８と同様に光磁気記録媒体層１６を化学変化か
ら保護し且つカー回転角を増加させる反射効果を顕著と
するための保護膜が設けられ、その保護膜の上に光磁気
記録媒体層１６が設けられるとともに、その光磁気記録
媒体層１６上には更に、前記干渉膜１４と同様に化学変
化から光磁気記録媒体層１６を保護するとともに、光磁
気記録媒体層１６において反射される反射光のカー回転
角を増大させ、且つ光の干渉によりその両面で反射する
反射光を打ち消す作用を為す保護膜（干渉膜）が設けら
れる。また、その光磁気記録媒体層１６上に設けられる
上記保護膜等にはトラックを規定するための凹凸などが
形成され、ディスク基板１２には必ずしも凹凸を形成す
る必要がない。In that case, for example, a protective film may be provided on the disk substrate 12 to protect the magneto-optical recording medium layer 16 from chemical changes and to enhance the reflection effect that increases the Kerr rotation angle, similar to the protective film 18. is provided, and a magneto-optical recording medium layer 16 is provided on the protective film, and a magneto-optical recording medium layer 16 is further formed on the magneto-optical recording medium layer 16 from a chemical change similar to the interference film 14. A protective film (interference film) is provided that serves to protect the magneto-optical recording medium layer 16, increase the Kerr rotation angle of the reflected light reflected on the magneto-optical recording medium layer 16, and cancel the reflected light reflected on both surfaces due to light interference. . Moreover, the protective film and the like provided on the magneto-optical recording medium layer 16 are provided with unevenness for defining tracks, and it is not necessarily necessary to form unevenness on the disk substrate 12.
なお、前記実施例における干渉膜１４．保護膜１８の作
製方法、すなわち干渉膜１４．保護膜１８のうち光磁気
記録媒体層１６に接する部分は、物理的または化学的な
薄膜作製法によって作製し、磁気記録媒体層１６から離
間する部分は回転塗布法によって作製する方法は、必ず
しも光磁気記録媒体層１６が平坦となる本発明による光
磁気ディスクの製造に適用されるのみならず、光磁気記
録媒体層がディスク基板１２の凹凸に対応した凹凸形状
を成す従来の光磁気ディスクの製造にも同様に適用され
得る。Note that the interference film 14 in the above embodiment. Method for manufacturing the protective film 18, that is, the interference film 14. The portion of the protective film 18 that is in contact with the magneto-optical recording medium layer 16 is manufactured by a physical or chemical thin film manufacturing method, and the portion separated from the magnetic recording medium layer 16 is manufactured by a spin coating method. It is applicable not only to manufacturing a magneto-optical disk according to the present invention in which the magnetic recording medium layer 16 is flat, but also to manufacturing a conventional magneto-optical disk in which the magneto-optical recording medium layer has an uneven shape corresponding to the unevenness of the disk substrate 12. The same applies to
その他−々例示はしないが、本発明は当業者の知識に基
づいて種々の変更、改良を加えた態様で実施することが
できる。Although other examples are not provided, the present invention can be implemented with various modifications and improvements based on the knowledge of those skilled in the art.
第１図は本発明の一実施例である光磁気ディスクの要部
断面図である。第２図は第１図の光磁気ディスクにおけ
るディスク基板の作製方法の一例を説明する図である。
第３図は従来の光磁気ディスクの一例を示す要部断面図
である。
１０：光磁気ディスク １２：ディスク基板：干渉膜（
保護膜）
：光磁気記録媒体層FIG. 1 is a sectional view of a main part of a magneto-optical disk which is an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a method for manufacturing a disk substrate in the magneto-optical disk of FIG. 1. FIG. FIG. 3 is a sectional view of a main part of an example of a conventional magneto-optical disk. 10: Magneto-optical disk 12: Disk substrate: Interference film (
Protective film): Magneto-optical recording medium layer
Claims (1)
保護膜上に磁気光学効果を有する光磁気記録媒体層が設
けられている光磁気ディスクであって、 前記保護膜の前記光磁気記録媒体層側の表面が平坦に形
成され、該光磁気記録媒体層が略均一の厚さで平坦に設
けられていることを特徴とする光磁気ディスク。[Scope of Claims] A magneto-optical disk in which a protective film is formed on a disk substrate, and a magneto-optical recording medium layer having a magneto-optic effect is provided on the protective film, comprising: A magneto-optical disk characterized in that the surface on the side of the magneto-optical recording medium layer is formed flat, and the magneto-optical recording medium layer is provided flat with a substantially uniform thickness.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63279910A JP2669003B2 (en) | 1988-11-05 | 1988-11-05 | Magneto-optical disk |
| US07/432,457 US5089358A (en) | 1988-11-05 | 1989-11-06 | Optical recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63279910A JP2669003B2 (en) | 1988-11-05 | 1988-11-05 | Magneto-optical disk |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02126442A true JPH02126442A (en) | 1990-05-15 |
| JP2669003B2 JP2669003B2 (en) | 1997-10-27 |
Family
ID=17617620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63279910A Expired - Fee Related JP2669003B2 (en) | 1988-11-05 | 1988-11-05 | Magneto-optical disk |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2669003B2 (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61153133U (en) * | 1985-03-13 | 1986-09-22 |
-
1988
- 1988-11-05 JP JP63279910A patent/JP2669003B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61153133U (en) * | 1985-03-13 | 1986-09-22 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2669003B2 (en) | 1997-10-27 |
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