JPH0212583Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 この考案は、気密度に高い信頼性が要求される
部品に行われるグロスリークテストに用いられる
液浸形のリークテスト装置の改良に関するもので
ある。

(ロ) 従来技術 気密度に高い信頼性が要求される部品、たとえ
ば集積回路（IC）をプラスチツクにてモールド
し、パツケージしたフラツトパツケージ型IC（以
下ICデバイスと称する）にリークテストを実施
し、そのモールド部分に存在する微細なピンホー
ル、ヒビ割れなどの欠陥の有無を検査するのに、
第１図にその要部を模式的に示した液浸形のリー
クテスト装置が使用されている。

この従来の装置は、耐熱ガラスの透明な角形の
テスト槽１と、このテスト槽１に充填したテスト
液２を必要に応じて吸上げ、テスト液２内に混入
した微細な塵埃３を過して除去し、浄化された
テスト液２をテスト槽１へ戻すためのポンプＰお
よびフイルタ４を備えた循環管路５とから要部が
構成されているものである。そしてテスト液２に
はフツ素系不活性液、たとえば大気圧のもとでの
沸点が150℃のフロロカーボン液が用いられる。
被検部品、たとえばICデバイス６を、テスト槽
１に設けられたヒータ、温度調節装置（いずれも
図示せず）によつて一定温度、たとえば125℃に
保持されているフロロカーボン液２内に投入し、
有孔上げ底板７上に沈められたICデバイス６の
状態を観察し、リークテストを行うのであるが、
それに先立つてこのICデバイス６にボンビング
装置によつて所定の前処理、すなわちボンビング
処理が施される。

このボンビング装置は、前記フロロカーボン液
２に比してはるかに低い沸点（たとえば大気圧に
て56℃）を有する同系のフロロカーボン液をいれ
た耐圧容器にたとえばICデバイス６を投入して
から密閉し、加圧不活性ガスを介してたとえば４
〜５Kg／cm²Ｇ程度に加圧し、ICデバイス６のモ
ールド部分に前記した欠陥がある場合に、この欠
陥箇所に前記低沸点のフロロカーボン液を圧入含
浸させるようにした前処理用装置である。

このような装置で前処理を施したICデバイス
６がテスト槽１の温度が125℃に保持されている
フロロカーボン液２に浸漬されるのであるから、
このICデバイス６に前記した欠陥がある場合に
は、その欠陥箇所に微少含浸している低沸点のフ
ロロカーボン液がテスト液２によつて加熱される
ため沸騰し、気泡となる。したがつて太い矢印で
示すように側方から照明が施されたテスト槽１を
正面から見ると、ICデバイス６から気泡が発生
する状態が観察される。このように気泡の発生の
有無によりICデバイス６の不良品と良品との判
別を行うのが液浸形のリークテスト装置である。

ところで、テスト槽１は、テスト時にはICデ
バイス６を投入するため上方が少くとも部分的に
開放されるので、大気中の細い塵埃や、ICデバ
イス６に付着している塵埃などが混入し、テスト
液２中に浮遊する。そのために前記した気泡が見
にくくなつたり、気泡が微小な場合には両者の区
別が困難となり、ICデバイス６の良否の判定に
ミスを生ずるおそれがある。

このようなミスの発生を防止するために、従来
の装置においては、テスト前に、ドレンバルブ８
を開き、テスト液２を捨て去り、新しいテスト液
と取替え充填するか、ポンプＰを運転してテスト
液２を循環管路５を介して矢印方向に循環させ、
その間にテスト液２中に含まれた微細な塵埃をフ
イルタ４によつて除去するかいずれかの処置がと
られていた。

しかし、前者の処置はテスト液２を不経済に消
費することになるし、後者の処置は、完全を期す
るのにかなりの時間を要するばかりでなく、昇温
してからテスト間に浮遊している沈澱塵埃をとる
ためポンプＰは、たとえば125℃といつたかなり
高温のテスト液２に対して耐久性を有するもので
あることが要求される。

これらのことは従来の液浸形リークテスト装置
における操作ならびに製作上の問題点であつた。

(ハ) 目的 この考案の目的は、前記した従来の装置におけ
る問題点を解消するために、テスト液を不経済に
消費することなく、テスト開始に先立つて通常の
ポンプで送出されたテスト液に対して短時間にて
過を完全に行い、テスト液を良好な状態に保持
することができるリークテスト装置を提供するこ
とである。

(ニ) 構成 この考案にかかるリークテスト装置は、テスト
液２が充填されるテスト槽１と、テスト液２の液
面がつねにテスト槽１の底面より下方に保たれる
リザーバタンク１０とを設け、テスト槽１とリザ
ーバタンク１０との両者を、テスト槽１の底部と
リザーバタンクの上部との間に設けた開閉弁９を
有する管路１１、リザーバタンク１０の底部とテ
スト槽１の上部との間に設けたポンプＰおよびフ
イルタ４を有する管路１２を介してそれぞれ流路
的に接続するとともに、リザーバタンク１０に、
一定量のテスト液２をつねに残留せしめるに必要
なレベルスイツチ１４を取付けたものである。

(ホ) 実施例 第２図はこの考案にかかる実施装置の模式説明
図である。テスト槽１は、透明な耐熱ガラスから
なる上方が開放された角形容器で、有孔上げ底板
７が底部近傍に取付けられており、その下方にテ
スト槽１より容量の大きいすなわち注入されたテ
スト液２の液位がつねにテスト槽１の底面より下
方に保たれるリザーバタンク１０が設けられてい
る。リザーバタンク１０には、外部から塵埃が侵
入しないように蓋１０′が取付けられ、この蓋１
０′にエアベント１３が取付けられている。

テスト槽１には、その底板に開閉弁９を有する
管路１１が接続されており、この管路１１はリザ
ーバタンク１０の上部に開口するようにされてい
る。一方リザーバタンク１０には、その底板に、
ポンプＰおよびフイルタ４を有し、テスト槽１の
上部に開口する管路１２が接続されているととも
に、ドレンバルブ８およびレベルスイツチ１４が
取付けられている。さらにテスト槽１には、大気
圧にて沸点がたとえば150℃のフロロカーボン液
のテスト液２がいれられるのであるが、このテス
ト液２を一定温度たとえば125℃に保持するため、
図示されていないがヒータ、温度調節装置が設け
られている。

さて、この装置においてリークテストを開始す
るには、リザーバタンクの蓋１０′を外してテス
ト液２を２点鎖線の高さまで入れる。そして開閉
弁９を閉じ、ポンプＰを運転してテスト槽１にテ
スト液２を実線で示した液位まで注入する。つい
で前記ヒータ、温度調節装置により液温を一定温
度、たとえば125℃に保持させる。そして前記し
たように被検部品のリークテストが実施される。

テストが終了すると、開閉弁９を開き、テスト
槽１内の温度125℃のテスト液２を、リザーバタ
ンク１０に流下させ、タンク１０内の常温のテス
ト液２と混合させ、テスト液２をすべてリザーバ
タンク１０に集める。その際液位は２点鎖線で示
すように上昇する。

このようにテスト時以外には、テスト液２は、
蓋１０′のあるリザーバタンク１０に常温、もし
くは常温よりあまり高くない温度にて貯められて
いることから、外部から塵埃が持込まれるおそれ
は少く、また自然蒸発によるテスト液２の減耗も
少い。

さて、次回のテスト開始時には、ポンプＰを運
転して、リザーバタンク１０内のテスト液２をフ
イルタ４にて過しながら管路１２をへてテスト
槽１に実線にて示した液位に達するまで送り込
む。したがつてテスト槽１に充填されたテスト液
２は、すべてフイルタ４をとおされているので、
前回のテスト時に外部からテスト液２に塵埃が持
込まれたとしてもその塵埃は完全に取除かれ、テ
スト時に支障を来たすことにならない。

また、前回のテストからさほど時間をおかずに
テストが再開されたとしても、リザーバタンク１
０に集められたテスト液２は、テスト槽１の高温
のテスト液２とそれよりは量の多い常温のタンク
１０内残留テスト液２との混合液であるので、そ
の温度はたとえば65℃程度とあまり高くない。し
たがつてポンプＰには通常のものを用いることが
でき、またその寿命がテスト液２によつて短縮さ
せられるおそれがない。

リザーバタンク１０には、テスト槽１に前記し
たとおりテスト液２をポンプＰにより送り込んだ
後においても、送り込んだ量と少くとも同量のテ
スト液２が残留していることが望ましいことか
ら、前記したようにレベルスイツチ１４が取付け
られ、リザーバタンク１０の前記した残留テスト
液２の液位が一定の高さ位置以下に低下した場合
にはレベルスイツチ１４の作動によつて警報が出
されるようにしてある。

(ヘ) 効果 この考案にかかるリークテスト装置において
は、テスト槽には、リザーバタンクに蓄えられて
いるテスト液をテスト開始に先立つてフイルタに
よつて過しながら所定量だけ送り込むようにさ
れていることから、テストをつねに塵埃の混入さ
れていない良好なテスト液を用いしかも経済的に
行うことができるとともに、リザーバタンクには
一定量の常温のテスト液が残留するようにされて
いるので、リザーバタンクからテスト槽へポンプ
によつて送られるテスト液は、その温度をテスト
時の温度よりかなり低下させることが可能とな
り、そのためポンプには通常のものを使用するこ
とができ、またテスト液によつてその寿命が短縮
させられるおそれがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置の要部を示す模式説明図、第
２図はこの考案にかかる実施例装置の同じく模式
説明図である。 １……テスト槽、２……テスト液、４……フイ
ルタ、９……開閉弁、１０……リザーバタンク、
１１，１２……管路、１３……エアベント、１４
……レベルスイツチ、Ｐ……ポンプ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. テスト液が充填されるテスト槽と、液面が前記
   テスト槽の底面より常に下方に位置するように設
   置されたリザーバタンクと、前記テスト槽の底部
   と前記リザーバタンクの槽内空間とを連通し、開
   閉弁を介在させた管路と、前記リザーバタンクと
   前記テスト槽の槽内空間とを連通し、ポンプおよ
   びフイルタを介在させた管路と、前記リザーバタ
   ンクに取付けたレベルスイツチとからなるリーク
   テスト装置。