JPH02124654U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02124654U JPH02124654U JP3406289U JP3406289U JPH02124654U JP H02124654 U JPH02124654 U JP H02124654U JP 3406289 U JP3406289 U JP 3406289U JP 3406289 U JP3406289 U JP 3406289U JP H02124654 U JPH02124654 U JP H02124654U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bracket
- shaft
- target
- holding part
- insulator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の一実施例のビーム・スリツ
ト装置の部分側断面図、第２図は従来のビーム・
スリツト装置の部分断面図、第３図は第２図のタ
ーゲツトの配置図である。 １……ターゲツト、２……ターゲツト保持部、
３……シヤフト、４……ブラケツト、４ａ……雄
ねじ部、５……シンブル、５ｃ……雌ねじ部、６
……固定部、７……ベロー部、８……第１の絶縁
体、１０……第２の絶縁体、１１……電流検出端
子。
ト装置の部分側断面図、第２図は従来のビーム・
スリツト装置の部分断面図、第３図は第２図のタ
ーゲツトの配置図である。 １……ターゲツト、２……ターゲツト保持部、
３……シヤフト、４……ブラケツト、４ａ……雄
ねじ部、５……シンブル、５ｃ……雌ねじ部、６
……固定部、７……ベロー部、８……第１の絶縁
体、１０……第２の絶縁体、１１……電流検出端
子。
Claims (1)
- イオンビームのビーム径を絞るためのターゲツ
トと、このターゲツトを固定保持したターゲツト
保持部と、一端に前記ターゲツト保持部を固定し
他端に電流検出端子を設けたシヤフトと、筒状に
形成され前記シヤフトを挿通して前記シヤフトを
前記シヤフトの長軸方向にスライド自在に保持し
外周面に雄ねじ部を有したブラケツトと、このブ
ラケツトに外嵌され前記シヤフトの他端を回転自
在に保持し前記ブラケツトの雄ねじ部と螺合した
雌ねじ部を内周面に有したシンブルと、前記ブラ
ケツトを第１の絶縁体を介して固定した固定部と
、前記ターゲツト保持部と前記固定部との間に第
２の絶縁体を介して設けられ前記シヤフトの移動
に応じて伸縮する伸縮自在のベロー部とを備えた
ビーム・スリツト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3406289U JPH02124654U (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3406289U JPH02124654U (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02124654U true JPH02124654U (ja) | 1990-10-15 |
Family
ID=31538209
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3406289U Pending JPH02124654U (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02124654U (ja) |
-
1989
- 1989-03-24 JP JP3406289U patent/JPH02124654U/ja active Pending