JPH02123476A - Pattern reader - Google Patents
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- JPH02123476A JPH02123476A JP27770288A JP27770288A JPH02123476A JP H02123476 A JPH02123476 A JP H02123476A JP 27770288 A JP27770288 A JP 27770288A JP 27770288 A JP27770288 A JP 27770288A JP H02123476 A JPH02123476 A JP H02123476A
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Landscapes
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Input (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、パターン読取装置に関するものであり、例え
ばプリント回路基板の配線パターンの欠陥を検査するパ
ターン検査装置に用いられる。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a pattern reading device, and is used, for example, in a pattern inspection device for inspecting defects in wiring patterns of printed circuit boards.
〈従来の技術〉
プリント回路基板の配線パターンを検査する方法として
、配線パターンをイメージセンサで読み取り、この読み
取った配線パターンと標準パターンとを比較して欠陥を
検出するという方法がとられている。<Prior Art> A method of inspecting the wiring pattern of a printed circuit board is to read the wiring pattern with an image sensor and compare the read wiring pattern with a standard pattern to detect defects.
この方法において、従来では、パターン読み取りの分解
能が固定であるのが一般的であった。また、分解能を変
える場合には、イメージセンサによるパターンの読み取
りに先立って、光学系(例えばレンズなど)を調整ある
いは交換することにより、検査対象とする配線パターン
の線幅に対して必要な分解能が得られるようにしていた
。Conventionally, in this method, the resolution of pattern reading has generally been fixed. In addition, when changing the resolution, the required resolution for the line width of the wiring pattern to be inspected can be achieved by adjusting or replacing the optical system (for example, a lens, etc.) before reading the pattern with the image sensor. I was trying to get it.
これらの方法は、配線パターンの最小線幅が200ミク
ロン程度で基板の材質がガラスエポキシのような硬質の
プリント回路基板に対して適用されるものであった。These methods were applied to printed circuit boards in which the minimum line width of the wiring pattern was about 200 microns and the substrate material was hard, such as glass epoxy.
〈発明が解決しようとする課題〉
最近、高密度実装を可能とする配線基板として、ポリイ
ミドやポリエステル等の軟質材料を基材としたフレキシ
ブル配線基板が用いられつつある。<Problems to be Solved by the Invention> Recently, flexible wiring boards made of soft materials such as polyimide and polyester have been used as wiring boards that enable high-density packaging.
このフレキシブル配線基板は、その用途に応じて配線の
線幅が大きく異なり、例えば線幅が51m程度のものか
ら、細いものでは50ミクロン程度のものまである。The line width of the wiring in this flexible wiring board varies greatly depending on its use, and ranges from, for example, a line width of about 51 m to a thin one of about 50 microns.
1−かる(1こ、このように様々な線幅のフレキシブル
配線)I8板の配線パターンを従来の固定した分解能で
読め取って検査する方法では、線幅が大である場合に検
査速度を不必要に遅くし、また、線幅が小である場合に
検査精度が低下するという問題があった。In the conventional method of inspecting the wiring pattern of an I8 board by reading it with a fixed resolution (flexible wiring with various line widths like this), it is difficult to reduce the inspection speed when the line width is large. There are problems in that it is unnecessarily slow and the inspection accuracy decreases when the line width is small.
一方1.光学系の調整や交換等によって分解能を変える
方法においては、調整や交換等の作業に熟練を要し、ま
た、作業に長時間を要するという問題があった。さらに
、手作業で行なうため、読み取り精度の点でも問題があ
った。On the other hand 1. In the method of changing the resolution by adjusting or replacing the optical system, there is a problem that the adjustment or replacement requires skill and takes a long time. Furthermore, since it was done manually, there was also a problem in reading accuracy.
本発明は、」1記事情に鑑みてなされたものであり、そ
の目的は、分解能を容易に変更できるようにしたパター
ン読取装置を提供することである。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a pattern reading device whose resolution can be easily changed.
〈課題を解決するだめの手段〉
」−記目的を達成するために、本発明によるパターン読
取装置においては、画像読取素子のアづ」コグ出力をデ
ィジタル化するときのサンプリング周波数をパターン読
み取りの分解能に応じて変更するサンプリング周波数変
更手段と、変更されたサンプリング周波数にしたがって
アナログ出力をディジタル化してパターンデータを作成
するパターンデータ作成手段とを備える。<Means for Solving the Problems> In order to achieve the purpose described above, in the pattern reading device according to the present invention, the sampling frequency when digitizing the azucog output of the image reading element is adjusted to the pattern reading resolution. The apparatus includes a sampling frequency changing means for changing the sampling frequency according to the changed sampling frequency, and a pattern data creating means for creating pattern data by digitizing the analog output according to the changed sampling frequency.
〈作用〉
本発明によるパターン読取装置は、画像読取素子のアナ
ログ出力をディジタル化するときのサンプリング周波数
をパターン読め取りの分解能の設定に応じて変えること
により、パターンデータのデータ量を変え、パターンに
対応した分解能で読み取る。<Operation> The pattern reading device according to the present invention changes the amount of pattern data by changing the sampling frequency when digitizing the analog output of the image reading element according to the pattern reading resolution setting. Read with the corresponding resolution.
〈実施例〉
第1図は本実施例のパターン読取装置が適用されたプリ
ント基板検査装置の構成を示している。<Embodiment> FIG. 1 shows the configuration of a printed circuit board inspection device to which a pattern reading device of this embodiment is applied.
図において、1はプリント配線基板、2ば配線パターン
、3ばCCDラインセンサ、4ばラインセンサドライバ
、5は2値化回路、6はメモリ、7は欠陥検出回路、8
は周波数変調回路、9はテーブルト゛ライパ、10は標
準データ格納メモリ、11は制御部である。In the figure, 1 is a printed wiring board, 2 is a wiring pattern, 3 is a CCD line sensor, 4 is a line sensor driver, 5 is a binarization circuit, 6 is a memory, 7 is a defect detection circuit, 8
1 is a frequency modulation circuit, 9 is a table wiper, 10 is a standard data storage memory, and 11 is a control section.
プリント配線基板1は、検査対象となる配線パターン2
が形成されている。配線パターン2ば、例えば第2図に
示すよ・うな形状である。このプリント配線基板1は、
矢印方向へ移動可能なテーブル(図示せず)トに固定さ
れる。A printed wiring board 1 has a wiring pattern 2 to be inspected.
is formed. The wiring pattern 2 has a shape as shown in FIG. 2, for example. This printed wiring board 1 is
It is fixed to a table (not shown) movable in the direction of the arrow.
CCDラインセンサ3は、プリント配線基板1が矢印方
向ヘー・定距離移動する毎に、配線パターン2を読み取
る。ラインセンサドライバ4は、定周波数のシフトパル
スに応じた電荷蓄積時間で画像データを読み取るように
ラインセンサ3を駆動する。ラインセンサドライバ4は
、さらに、読み取られたパターンデータを2値化回路5
へ転送する。The CCD line sensor 3 reads the wiring pattern 2 every time the printed wiring board 1 moves a fixed distance in the direction of the arrow. The line sensor driver 4 drives the line sensor 3 to read image data in a charge accumulation time corresponding to a constant frequency shift pulse. The line sensor driver 4 further converts the read pattern data into a binarization circuit 5.
Transfer to.
2値化回路5ば、周波数変調回路8から与えられるサン
プリングパルスにしたがって、ラインセンサドライバ4
を介して与えられるCCDラインセンサ3からの画像信
号を2値化する。画像メモす6は、2値化されたパター
ンデータを記憶する。The binarization circuit 5 operates the line sensor driver 4 according to the sampling pulse given from the frequency modulation circuit 8.
The image signal from the CCD line sensor 3 provided via the CCD line sensor 3 is binarized. The image memo 6 stores binarized pattern data.
欠陥検出回路7は、画像メモリ6に記憶された検査対象
のパターンデータと標準データメモリ10に記憶された
標準パターンデータとを比較し、検査対象パターン2の
欠陥を検出する。The defect detection circuit 7 compares the pattern data to be inspected stored in the image memory 6 with the standard pattern data stored in the standard data memory 10, and detects defects in the pattern to be inspected 2.
周波数変調回路8は、あらかじめ制御部11に設定され
たパターン読み取りの分解能に対応した周波数のサンプ
リングパルスを2値化回路5−・与える。The frequency modulation circuit 8 provides the binarization circuit 5 with a sampling pulse having a frequency corresponding to the pattern reading resolution set in the control section 11 in advance.
テーブルドライバ9は、CCDラインセンサ3による配
線パターン2の1ライン分の読み取りが完了するごとに
、プリント配線基板1を載せたテーブルを上記1ライン
分の読み取り幅に対応した距離ずつ矢印方向へ駆動する
。(なお、CCDラインセンサの読み取り中にテーブル
が分解脂分の長さ移動してもかまわない。)標準データ
メモリ10は、比較の基準となる配線パターンのデータ
を記憶する。制御部11は、パターン読み取りの分解能
に対応したサンプリング周波数の制御を含むこのシステ
ム全体の制御を実行する。The table driver 9 drives the table on which the printed wiring board 1 is placed in the direction of the arrow by a distance corresponding to the reading width of one line each time the CCD line sensor 3 completes reading one line of the wiring pattern 2. do. (Note that the table may move by the length of the decomposed fat while the CCD line sensor is reading.) The standard data memory 10 stores wiring pattern data that serves as a reference for comparison. The control unit 11 executes control of the entire system including control of the sampling frequency corresponding to the resolution of pattern reading.
以下、パターン読み取りの処理手順について説明する。The pattern reading processing procedure will be described below.
第3図(alは、パターンを読み取ったCCDラインセ
ンサ3のアナログ出力を示しており、領域Aはパターン
部であり、領域Bは非パターン部である。(b)はサン
プリングパルス、(C)は2値化されたパターンデータ
、(dlはパターンデータを“1”、“O”の2進数に
変換したデータである。画像メモリ6には、この(dl
のデータが書き込まれる。FIG. 3 (al shows the analog output of the CCD line sensor 3 that read the pattern, area A is the pattern part and area B is the non-pattern part. (b) is the sampling pulse, (C) is the binary pattern data, (dl is the data obtained by converting the pattern data into binary numbers of “1” and “O”. The image memory 6 contains this (dl)
data is written.
2値化回路5へ与えられるサンプリングパルスの周波数
をfとすると、2値化回路5は周期1/fでCCDライ
ンセンサ3のアナログ出力をサンプリングし、第3図(
C)に示すパターンデータに変換する。この場合、2値
化回路5から出力されるパターンデータ(第3図(d)
)の各ビットの幅は、1/fに等しい。したがって、分
解能は1/fとなる。Assuming that the frequency of the sampling pulse given to the binarization circuit 5 is f, the binarization circuit 5 samples the analog output of the CCD line sensor 3 at a period of 1/f, as shown in FIG.
Convert to the pattern data shown in C). In this case, the pattern data output from the binarization circuit 5 (FIG. 3(d))
) is equal to 1/f. Therefore, the resolution is 1/f.
第4図はサンプリング周波数を第3図の場合の1/2と
した例を示している。第4図(alは、CCDラインセ
ンサ3のアナログ出力であり、これは第3図(a)と同
じである。第4図(b)はサンプリングパルスであり、
周期2/fのこのサンプリングパルスによって2値化回
路5では(a)のアナログ出力をサンプリングして2値
化する。第4図(C)は2値化されたパターンデータで
あり、第4図fd)は(C)のパターンデータを“1″
、“0”の2進数に変換したデータである。FIG. 4 shows an example in which the sampling frequency is set to 1/2 of that in FIG. 3. Fig. 4 (al is the analog output of the CCD line sensor 3, which is the same as Fig. 3 (a). Fig. 4 (b) is the sampling pulse,
The binarization circuit 5 samples and binarizes the analog output (a) using this sampling pulse with a period of 2/f. Figure 4 (C) is the binarized pattern data, and Figure 4 (fd) shows the pattern data in (C) as "1".
, is data converted into a binary number of "0".
この場合、2値化回路5は、周期2/fでCCDライン
センサ3のアナログ出力をサンプリングし、第4図(C
1,(d)のパターンデータに変換する。In this case, the binarization circuit 5 samples the analog output of the CCD line sensor 3 at a period of 2/f, and
1.Convert to pattern data of (d).
(d)のパターンデータの各ビットの幅すなわち分解能
は2/fに等しい。したがって、サンプリング周波数を
1/2とすることによって、分解能が1/2となる。The width or resolution of each bit of the pattern data in (d) is equal to 2/f. Therefore, by reducing the sampling frequency to 1/2, the resolution becomes 1/2.
なお、上記実施例ではプリント配線基板に対して−様な
分解能でパターンを読み取る場合について説明したが、
プリント配線基板の部分毎に分解能を変えて読み取るこ
ともできる。Note that in the above embodiment, a case was explained in which a pattern is read on a printed wiring board with a resolution of -.
It is also possible to read the printed wiring board by changing the resolution for each part.
また、読み取りの対象とするプリント配線基板を第5図
に示すようなロールツーロール方式T: 供給する方法
を用いることもできる。Further, it is also possible to use a roll-to-roll method T: supplying a printed wiring board to be read as shown in FIG.
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明においては、画像信号のデ
ィジタル化におけるサンプリング周波数を変えることに
よりパターン読み取りの分解能を変えるようにしたので
、分解能の変更を容易に行なうことができ、パターン検
査においてパターンに応じて検査速度を最適化すること
ができるとともに、検査精度を高めることができる。ま
た、光学系の調整や交換といった熟練を要する煩雑な作
業が不要であり、多種類のフレキシブル配線基板の読み
取り等において自動化を可能とする。<Effects of the Invention> As explained above, in the present invention, the resolution of pattern reading is changed by changing the sampling frequency in digitizing the image signal, so the resolution can be easily changed. In pattern inspection, inspection speed can be optimized according to the pattern, and inspection accuracy can be improved. Further, there is no need for complicated work that requires skill, such as adjusting or replacing the optical system, and it is possible to automate the reading of many types of flexible wiring boards.
第1図、第5図は本発明実施例の構成を示すブロック図
、
第2図は本発明実施例の配線パターンを示す図、第3図
と第4図は本発明実施例のパターンデータの波形を示す
図である。
1・・・プリント配線基板
2・・・配線パターン
・CCDラインセンサ
・ラインセンサドライバ
・2値化回路
・画像メモリー
・欠陥検出回路
・周波数変調回路
・テーブルドライバ
・標準データメモリ
・制御部1 and 5 are block diagrams showing the configuration of the embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing the wiring pattern of the embodiment of the present invention, and FIGS. 3 and 4 are diagrams showing the pattern data of the embodiment of the present invention. It is a figure which shows a waveform. 1... Printed wiring board 2... Wiring pattern, CCD line sensor, line sensor driver, binarization circuit, image memory, defect detection circuit, frequency modulation circuit, table driver, standard data memory, control section
Claims (1)
のアナログ出力をディジタル化してパターンデータを作
成するパターン読取装置において、パターン読み取りの
分解能の設定に応じて上記アナログ出力のサンプリング
周波数を変更するサンプリング周波数変更手段と、上記
サンプリング周波数にしたがって上記アナログ出力をデ
ィジタル化してパターンデータを作成するパターンデー
タ作成手段とを備えたことを特徴とするパターン読取装
置。In a pattern reading device that reads a pattern with an image reading element and digitizes the analog output of the image reading element to create pattern data, a sampling frequency changing means changes the sampling frequency of the analog output according to a setting of pattern reading resolution. and pattern data creation means for creating pattern data by digitizing the analog output according to the sampling frequency.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP27770288A JPH02123476A (en) | 1988-11-02 | 1988-11-02 | Pattern reader |
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JPH02123476A true JPH02123476A (en) | 1990-05-10 |
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JP27770288A Pending JPH02123476A (en) | 1988-11-02 | 1988-11-02 | Pattern reader |
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1988
- 1988-11-02 JP JP27770288A patent/JPH02123476A/en active Pending
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