JPH02119278A - Bimorph-type piezoelectric actuator - Google Patents
Bimorph-type piezoelectric actuatorInfo
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 241001442234 Cosa Species 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光記録装置における光ピツクアップ用アクチ
ュエータとして用いられるバイモルフ型圧電アクチュエ
ータに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a bimorph piezoelectric actuator used as an optical pickup actuator in an optical recording device.
従来の技術
従来のバイモルフ型圧電アクチュエータとしては特開昭
６０−５７５４７号、特開昭６２−２０５５４２号公報
に開示されているものがある。これらは１例えば第８図
に示すように、一端がクランプ材１に固定された上下２
枚の三角形状をした圧電バイモルフ２の他端側にレンズ
３を保持したレンズホルダー４が取付けられた構造にな
っている。また、前記圧電バイモルフ２は、共通電極５
を上下両面から圧電材６により挟んだ構造となっており
、それら圧電材６の表面には表面電極７が形成されてい
る。この場合、第９図（ａ）に示すように１次の共振振
動モードを用いて光ピツクアップ系の制御を行っている
。2. Description of the Related Art Conventional bimorph piezoelectric actuators are disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 60-57547 and Japanese Patent Laid-Open No. 62-205542. These are 1, for example, as shown in FIG.
It has a structure in which a lens holder 4 holding a lens 3 is attached to the other end side of a piezoelectric bimorph 2 having a triangular shape. Further, the piezoelectric bimorph 2 has a common electrode 5
is sandwiched between piezoelectric materials 6 from both upper and lower surfaces, and surface electrodes 7 are formed on the surfaces of the piezoelectric materials 6. In this case, as shown in FIG. 9(a), the optical pickup system is controlled using the first-order resonance vibration mode.
発明が解決しようとする課題
上述したようなバイモルフ型圧電アクチュエータを光ピ
ツクアップ用のアクチュエータとして用いる場合には１
次共振振動モードを使用しているわけであるが、この他
に第９図（ｂ）（ｃ）に示すように２次、３次の高次の
使用されない余分な共振振動モードも含まれている。こ
の関係を第７図のようなグラフで示すと、さらに高次の
４次、５次といった共振振動モードまで含んでいること
がわかる。Problems to be Solved by the Invention When using a bimorph piezoelectric actuator as described above as an actuator for optical pickup,
In addition to this, as shown in Fig. 9(b) and (c), the second-order and third-order higher-order resonance vibration modes that are not used are also included. There is. If this relationship is shown in a graph as shown in FIG. 7, it can be seen that even higher-order resonant vibration modes such as 4th and 5th orders are included.
そこで、このような２次以上の高次な共振振動モードを
抑圧する方法としては、例えば、日本音響学会講演論文
集１−１−１． Ｐ、２１．１９７２年、５月、日本音
響学会誌３３巻、１２号、Ｐ、６５７．１９７７年、日
本音響学会講演論文集１−２−２１． Ｐ、７５５．１
９８７年、１０月 などに記載されているものがある。Therefore, as a method for suppressing such high-order resonance vibration modes of the second order or higher, for example, see Proceedings of the Acoustical Society of Japan 1-1-1. P, 21. May 1972, Journal of the Acoustical Society of Japan, Volume 33, No. 12, P, 657. 1977, Proceedings of the Acoustical Society of Japan 1-2-21. P, 755.1
There are some written in October 1987.
これらは、圧電バイモルフ２の表面に形成される電極形
状を共振振動モードを表わす規準関数の２階微分のパタ
ーン形状により形成することによってそれら高次の共振
振動モードを抑圧している。このことを、第１１図（ａ
）（ｂ）に基づいて説明する。今、バイモルフ型圧電ア
クチュエータのｎ次の共振振動モードを表わすｎ次規準
関数をφｎ（ｘ） 、そのバイモルフ型アクチュエータ
に発生する電荷の総量をＱ、共振振動により誘起される
電荷をＱｂ 、共振振動に関係なく誘起される電荷をＱ
ｏとすると、Ｑ＝Ｑｂ＋Ｑ、 ・・・（１
）Ｑ ｂ ＝ ２ Ｎ ｆｊ ｆ （ｘ ） ・ｄ”φ
ｎ（ｘ）／ｄｘ２・ｄ ｘで表わせる。These higher-order resonance vibration modes are suppressed by forming the electrode shape formed on the surface of the piezoelectric bimorph 2 into a pattern shape of the second order differential of the standard function representing the resonance vibration mode. This is shown in Figure 11 (a
) (b). Now, the n-th standard function representing the n-th resonant vibration mode of the bimorph piezoelectric actuator is φn(x), the total amount of charge generated in the bimorph actuator is Q, the charge induced by resonance vibration is Qb, and the resonance vibration The induced charge regardless of Q
If o, then Q=Qb+Q, ...(1
) Q b = 2 N fj f (x) ・d”φ
It can be expressed as n(x)/dx2・dx.
ただし、Ｎ：定数 Ｑ：バイモルフ型アクチュエータの 屈曲部分の長さ ｆ （ｘ） ：電極形状 とする。However, N: constant Q: Bimorph type actuator Length of bent part f (x): Electrode shape shall be.
この時、ｆ（ｘ）の電極形状を、例えば１次の共振振動
モードを表わす規準関数φ１（ｘ）の２階微分ｄ２φ１
（ｘ）／ｄｘ”の形に形成すれば（２）式は２階微分さ
れた規準関数が直交性を示すことから。At this time, the electrode shape of f (
(x)/dx'', the second-order differentiated standard function of equation (2) shows orthogonality.
１次の共振振動モード以外の高次の共振振動モードは発
生しないことになる。しかし、このような計算方法では
、バイモルフ型の圧電アクチュエータの先端に「負荷質
量」を有した状態での計算を行っていない。従って、負
荷質量としてレンズ等の光学系を負荷質量としてもつよ
うな実際のバイモルフ型の圧電アクチュエータには適用
することができないという問題がある。Higher-order resonance vibration modes other than the first-order resonance vibration mode will not occur. However, such calculation methods do not perform calculations with a "load mass" at the tip of the bimorph piezoelectric actuator. Therefore, there is a problem in that it cannot be applied to an actual bimorph piezoelectric actuator that has an optical system such as a lens as a load mass.
課題を解決するための手段
そこで、このような問題点を解決するために、本発明は
、圧電バイモルフの表裏両面に形成される電極形状ｆ（
ｘ）を、負荷質量を有した状態における圧電バイモルフ
の１次共振振動モードを表わす１次規準関数φ、（Ｘ）
をその圧電バイモルフの長手方向の座標軸Ｘにて２階微
分ｄ２φ１（ｘ）／ｄｘ”してなる形状によりその圧電
バイモルフの表裏両面に対称に形成した。Means for Solving the Problems Therefore, in order to solve such problems, the present invention provides an electrode shape f (
x) is a first-order criterion function φ, (X) representing the first-order resonant vibration mode of the piezoelectric bimorph in a state with a loaded mass.
was formed symmetrically on both the front and back surfaces of the piezoelectric bimorph in a shape obtained by second-order differential d2φ1(x)/dx'' with respect to the coordinate axis X in the longitudinal direction of the piezoelectric bimorph.
作用
従って、負荷質量を考慮した状態で電極形状を圧電バイ
モルフの表裏両面に形成することができるため、１次共
振振動モード以外の高次の共振振動モードが発生するよ
うなことがなくなり、これにより、光ピツクアップ系の
駆動用アクチュエータに用いた場合に高速アクセスが可
能となり、しかも、従来の光ピツクアップ系の電磁力駆
動用のアクチュエータに比ベコイル、マグネット、及び
。Effect: Therefore, since the electrode shape can be formed on both the front and back sides of the piezoelectric bimorph while taking into account the load mass, higher-order resonance vibration modes other than the primary resonance vibration mode will not occur. When used as an actuator for driving an optical pickup system, high-speed access is possible, and moreover, compared to actuators for driving electromagnetic force for conventional optical pickup systems, it is possible to use coils, magnets, and the like.
それらを支えるヨーク等のハウジングを必要としなくな
るため一段と小型で軽量な光ピツクアップ用のアクチュ
エータを得ることが可能となる。Since there is no need for a housing such as a yoke to support them, it becomes possible to obtain an actuator for optical pickup that is smaller and lighter in weight.
実施例
本発明の第一の実施例を第１図及び第２図、第６図に基
づいて説明する。Embodiment A first embodiment of the present invention will be explained based on FIGS. 1, 2, and 6.
圧電バイモルフ８は、共通電極９をその上下両面から圧
電材１０により挾持してなっており、この圧電バイモル
フ８の一端は固定端Ａとされ、これと反対側の位置は自
由端Ｂとされている。この自由端Ｂには負荷質量１１が
取付けられるようになっている。また、上下２枚の圧電
材１０の表面にはそれぞれ電極１２が形成されている。The piezoelectric bimorph 8 has a common electrode 9 sandwiched between piezoelectric materials 10 from its upper and lower surfaces, one end of the piezoelectric bimorph 8 is a fixed end A, and the opposite position is a free end B. There is. A load mass 11 is attached to this free end B. Furthermore, electrodes 12 are formed on the surfaces of the two piezoelectric materials 10, the upper and lower ones.
このような構成において、圧電バイモルフ８の圧電材１
０の表面に電極１２を形成する方法について説明する。In such a configuration, the piezoelectric material 1 of the piezoelectric bimorph 8
A method of forming the electrode 12 on the surface of 0 will be explained.
今、圧電バイモルフ８の共振振動により屈曲する部分の
質量をｍ。、負荷質量をｍｂ、圧電バイモルフ８の長手
方向の座標軸をＸとする。Now, the mass of the part of the piezoelectric bimorph 8 that bends due to resonance vibration is m. , the load mass is mb, and the longitudinal coordinate axis of the piezoelectric bimorph 8 is X.
この時、圧電バイモルフ８の１次共振振動モードを表わ
す１次規準関数φ□（Ｘ）をＸにて２階微分ｄ２φ１（
ｘ） ／ ｄｘ” Ｌ／て得られる電極形状ｆ （ｘ）
は、ｆ （ｘ）＝（ｓｉｎｃｚ１＋５ｉｎｈα１Ｍｃｏ
ｓ（ａ ｔ／ｕ） ｘ ＋ｃｏｓｈ （ａ 、／ａ）
ｘ ）−（ｃｏｓａ、＋ｃｏｓｈｃ、）（ｓｉｎ（ａｉ
／ｕ） ｘ＋５ｉｎｈ（α、／Ｑ）Ｘ）・・・（３）
ただし、α１は。At this time, the second-order differential d2φ1(
x) / dx” L/ electrode shape obtained by f (x)
is f (x)=(sincz1+5inhα1Mco
s(a t/u) x + cosh (a, /a)
x )−(cosa,+coshc,)(sin(ai
/u) x+5inh(α, /Q)X)...(3) However, α1 is.
１ ＋ｃｏｓ ａｌｃｏｓｈ ａ□＋ （ｍｂ／ｍ、
） ａｘ （ｃｏｓ ａ、５ｉｎｈ ａｌ−ｓｉｎ ａ
□ｃｏｓｈ ａ、）＝０ ・・・（４）
の解であり、質量比ｍｂ／ｍ、が例えば、０．５の時は
ａ１勾１．４１９９６ （ｒ ａ ｄ） 、ｍｂ／ｍ、
が１．０の時はα、＃１．２４７９２ （ｒａｄ）など
の値となる。1 +cos alcosh a□+ (mb/m,
) ax (cos a, 5inh al-sin a
□cosh a, )=0 (4) is the solution, and when the mass ratio mb/m is, for example, 0.5, the a1 slope is 1.41996 (ra d), mb/m,
When is 1.0, the value is α, #1.24792 (rad), etc.
そして、この（４）式からα、の値を決定し、これを（
３）式に入れることにより決定された電極形状ｆ（ｘ）
の様子を第１図に示す。このように電極形状ｆ（ｘ）を
圧電バイモルフ８の上下２枚の圧電材ｌＯの表面に形成
することにより、その振動特性は第６図に示すように１
次共振振動モードのみ発生し、それ以外の余分な高次の
共振振動モードは発生しない、このように１００ Ｈｚ
から１０ＫＨｚ以上の高域まで直線的に一気に落ちるカ
ーブとなるため、従来、光ピツクアップ用のアクチュエ
ータに用いられるボイスコイル型アクチュエータと同様
の仕様で小型、軽量なアクチュエータで構成することが
できる。Then, determine the value of α from this equation (4) and convert it into (
3) Electrode shape f(x) determined by entering the equation
The situation is shown in Figure 1. By forming the electrode shape f(x) on the surfaces of the upper and lower piezoelectric materials 1O of the piezoelectric bimorph 8 in this way, the vibration characteristics are changed to 1 as shown in FIG.
In this way, only the next resonance vibration mode occurs, and no other extra high-order resonance vibration modes occur.In this way, at 100 Hz
Since the curve drops straight and at once from 1 to 10 KHz or higher, it is possible to construct a small, lightweight actuator with the same specifications as the voice coil actuator conventionally used in optical pickup actuators.
次に、本発明の第二の実施例を第３図及び第４図に基づ
いて説明する。Next, a second embodiment of the present invention will be described based on FIGS. 3 and 4.
上下２枚平行に配設された圧電バイモルフ８の一端はク
ランプ材１３に固定されており、それらの反対の自由端
とされた側には負荷質量としてのレンズ１４を保持した
レンズホルダ１５が取付けられている。One end of the two piezoelectric bimorphs 8 arranged in parallel above and below is fixed to a clamp member 13, and a lens holder 15 holding a lens 14 as a load mass is attached to the opposite free end. It is being
このような構成において、それら上下２枚の圧電バイモ
ルフ８の圧電材１０の表面に電極１２を形成する方法に
ついて説明する。本実施例の場合にも、圧電バイモルフ
８の共振振動により屈曲する部分の質量をｍｏ、負荷質
量をｍｂ、圧電バイモルフ８の長手方向の座標軸を又と
する。In such a configuration, a method for forming the electrodes 12 on the surfaces of the piezoelectric materials 10 of the two piezoelectric bimorphs 8, upper and lower, will be described. In the case of this embodiment as well, the mass of the portion of the piezoelectric bimorph 8 bent by resonance vibration is mo, the load mass is mb, and the coordinate axis in the longitudinal direction of the piezoelectric bimorph 8 is straddle.
この時、圧電バイモルフ８の１次共振振動モードを表わ
す１次規準関数φ、（Ｘ）をＸにて２階微分ｄ２φ、（
ｘ）／ｄｘ” Ｌ、て得られる電極形状ｆ（ｘ）は、ｆ
（ｘ）＝（ｃｏｓａ、−ｃｏｓｈｃ、）（ｃｏｓ（α
１／Ｑ） ｘ＋ｃｏｓｈ（α１／Ｑ）Ｘ）＋（ｓｉｎα
１＋５ｉｎｈα□）（ｓｉｎ（α１／Ｑ） ｘ＋５ｉｎ
ｈ（α、／Ｑ） ｘ）・・・（５）
ただし、α１は、
ｃｏｓａｌｓｉｎｈａ、＋５ｉｎａ１ｃｏＳｈａ、−（
ｍｂ／ｍｏ）ａｘ（１ｃｏｓａ、ｃｏｓｈｃ、）＝０
・・・（６）
の解であり、質量比ｍｂ／ｍ、が例えば、０．５ の時
はαｌ勾１．９２３５４ （ｒａｄ） 、ｍｂ／ｍｅ
が１．０の時はα１：１．７１８８８ （ｒａｄ）など
の値となる。この（６）式からα□の値を決定し、これ
を（５）式に代入することにより決定された電極形状ｆ
（ｘ）の様子を第５図に示す。なお、この場合、上下２
枚の圧電バイモルフ８で構成されているため、実際の負
荷質量をＭとすると（６）式中のｍｂの値はｍｂ＝Ｍ／
２として用いている。At this time, the second-order differential d2φ, (
x)/dx”L, the electrode shape f(x) obtained is f
(x)=(cosa,-coshc,)(cos(α
1/Q) x+cosh(α1/Q)X)+(sinα
1+5inhα□)(sin(α1/Q) x+5in
h(α,/Q) x)...(5) However, α1 is cosalsinha, +5ina1coSha, -(
mb/mo)ax(1cosa,coshc,)=0
...This is the solution to (6), and when the mass ratio mb/m is, for example, 0.5, the αl slope is 1.92354 (rad), mb/me
When is 1.0, the value is α1:1.71888 (rad). The electrode shape f determined by determining the value of α□ from this equation (6) and substituting it into equation (5)
The state of (x) is shown in FIG. In this case, the upper and lower 2
Since it is composed of two piezoelectric bimorphs 8, if the actual load mass is M, the value of mb in equation (6) is mb=M/
It is used as 2.
また、第二実施例の変形例として同一の負荷質量Ｍを上
下４枚の圧電バイモルフ８で構成する場合には、（６）
式中のｍｂの値をｍｂ ＝Ｍ／４として計算することに
より、第５図に示すような電極形状ｆ （ｘ）を得て作
成することができる。Further, as a modification of the second embodiment, when the same load mass M is composed of four upper and lower piezoelectric bimorphs 8, (6)
By calculating the value of mb in the formula as mb = M/4, the electrode shape f (x) as shown in FIG. 5 can be obtained and created.
上述したような第４図及び第５図に示すような構成にす
ることによって、レンズ光軸の倒れのないフォーカス用
アクチュエータを構成することができると共に、２次以
上の高次共振振動モードは発生せず、第６図に示すよう
な１次の共振振動モードのみを発生させることができる
。なお、本実施例のように、負荷質量の大きさが圧電バ
イモルフ８に比べて大きくない限りは剛体としてではな
く質点として扱うことによって第６図のような良好な振
動特性を得ることができる。By adopting the configuration shown in FIGS. 4 and 5 as described above, it is possible to construct a focusing actuator that does not tilt the optical axis of the lens, and at the same time, high-order resonance vibration modes higher than second order can be generated. Instead, only the first-order resonance vibration mode as shown in FIG. 6 can be generated. As in this embodiment, as long as the load mass is not larger than the piezoelectric bimorph 8, good vibration characteristics as shown in FIG. 6 can be obtained by treating it as a mass point rather than a rigid body.
発明の効果
本発明は、圧電バイモルフの表裏両面に形成される電極
形状ｆ （ｘ）を、負荷質量を有した状態における圧電
バイモルフの１次共振振動モードを表わす１次規準関数
φ１（ｘ）をその圧電バイモルフの長手方向の座標軸Ｘ
にて２階微分ｄ２φｘ （ｘ）／ｄｘ”してなる形状に
よりその圧電バイモルフの表裏両面に対称に形成したの
で、負荷質量を考慮した状態で電極形状ｆ （ｘ）を形
成することができるため。Effects of the Invention The present invention provides an electrode shape f(x) formed on both the front and back surfaces of a piezoelectric bimorph, with a first-order standard function φ1(x) representing the first-order resonance vibration mode of the piezoelectric bimorph in a state with a load mass. The longitudinal coordinate axis of the piezoelectric bimorph
Since the electrode shape is formed symmetrically on both the front and back sides of the piezoelectric bimorph with the shape formed by the second-order differential d2φx (x)/dx'', the electrode shape f (x) can be formed while taking the load mass into consideration. .
１次共振振動モード以外の高次の共振振動モードが発生
するようなことがなくなり、これにより。This eliminates the occurrence of higher-order resonance vibration modes other than the primary resonance vibration mode.
光ピツクアップ系の駆動用アクチュエータに用いた場合
に高速アクセスが可能となり、しかも、従来の光ピツク
アップ系の電磁力駆動用のアクチュエータに比ベコイル
、マグネット、及び、それらを支えるヨーク等のハウジ
ングを必要としなくなるため一段と小型で軽量な光ピツ
クアップ用のアクチュエータを得ることが可能となるも
のである。When used in actuators for driving optical pickup systems, high-speed access is possible, and in addition, compared to actuators for driving electromagnetic force in conventional optical pickup systems, they do not require coils, magnets, or housings such as yokes to support them. Therefore, it becomes possible to obtain an actuator for optical pickup that is smaller and lighter in weight.
特性図、第８図は従来のバイモルフ型圧電アクチュエー
タの斜視図、第９図（ａ）（ｂ）（ｃ）はその各種共振
振動モードの状態を示す説明図、第１０図は従来の電極
形状の様子を示す斜視図、第１１図（ａ）は圧電バイモ
ルフの１次共振振動モードを表わす１次規準関数φ１（
ｘ）の波形図、第１１図（ｂ）はその１次規準関数φ１
（ｘ）を２階微分した形を示す波形図である。Characteristics diagram, Figure 8 is a perspective view of a conventional bimorph type piezoelectric actuator, Figures 9 (a), (b), and (c) are explanatory diagrams showing the states of its various resonance vibration modes, and Figure 10 is a conventional electrode shape. FIG. 11(a) is a perspective view showing the state of the piezoelectric bimorph.
x) waveform diagram, FIG. 11(b) is its linear standard function φ1
FIG. 3 is a waveform diagram showing a second-order differential of (x).
８・・・圧電バイモルフ、９・・・共通電極、１０・・
・圧電材、１１・・・負荷質量、１２・・・電極8... Piezoelectric bimorph, 9... Common electrode, 10...
・Piezoelectric material, 11... Load mass, 12... Electrode
第１図は本発明の第一の実施例を示す電極形状の平面図
、第２図はそのバイモルフ型圧電アクチュエータの斜視
図、第３図は本発明の第二の実施例を示す電極形状の平
面図、第４図はそのバイモルフ型圧電アクチュエータの
斜視図、第５図はその変形例を示す斜視図、第６図は本
発明の振動特性を示す特性図、第７図は従来の振動特性
を示す出 願 人 株式会社 リ コ
、％、／ 図
３Ｊ 、３図
ＪＬＬ図
Ｊ５ ２図
チ
ー第」０場
３月
図FIG. 1 is a plan view of an electrode shape showing a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of the bimorph piezoelectric actuator, and FIG. 3 is a plan view of an electrode shape showing a second embodiment of the present invention. A plan view, FIG. 4 is a perspective view of the bimorph piezoelectric actuator, FIG. 5 is a perspective view showing a modification thereof, FIG. 6 is a characteristic diagram showing the vibration characteristics of the present invention, and FIG. 7 is a conventional vibration characteristic. Applicant Rico Co., Ltd., %, / Figure 3J, Figure 3 JLL Figure J5 Figure 2 Chi No. 0 Scene March Figure
Claims (1)
圧電バイモルフの一端が固定端とされ他端の自由端とさ
れた側に負荷質量が取付けられたバイモルフ型圧電アク
チュエータにおいて、前記圧電バイモルフの表裏両面に
形成される電極形状ｆ（ｘ）を、前記負荷質量を有した
状態における前記圧電バイモルフの１次共振振動モード
を表わす１次規準関数φ＿１（ｘ）をその圧電バイモル
フの長手方向の座標軸ｘにて２階微分ｄ＾２φ＿１（ｘ
）／ｄｘ＾２してなる形状により前記圧電バイモルフの
表裏両面に対称に形成したことを特徴とするバイモルフ
型圧電アクチュエータ。In a bimorph-type piezoelectric actuator, in which a piezoelectric bimorph is formed by sandwiching a common electrode between upper and lower surfaces of the piezoelectric material, one end of the piezoelectric bimorph is a fixed end, and a load mass is attached to the other end, which is a free end. The electrode shape f(x) formed on both surfaces is defined as the linear standard function φ_1(x) representing the first-order resonance vibration mode of the piezoelectric bimorph in a state with the loaded mass, and the coordinate axis x in the longitudinal direction of the piezoelectric bimorph. The second differential d^2φ_1(x
)/dx^2, the bimorph type piezoelectric actuator is characterized in that it is formed symmetrically on both the front and back surfaces of the piezoelectric bimorph.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63272722A JPH02119278A (en) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | Bimorph-type piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63272722A JPH02119278A (en) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | Bimorph-type piezoelectric actuator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02119278A true JPH02119278A (en) | 1990-05-07 |
Family
ID=17517870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63272722A Pending JPH02119278A (en) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | Bimorph-type piezoelectric actuator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02119278A (en) |
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