JPH02115741A - Gas sensor device - Google Patents

Gas sensor device

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Publication number
JPH02115741A
JPH02115741A JP26892088A JP26892088A JPH02115741A JP H02115741 A JPH02115741 A JP H02115741A JP 26892088 A JP26892088 A JP 26892088A JP 26892088 A JP26892088 A JP 26892088A JP H02115741 A JPH02115741 A JP H02115741A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
signal
sensor
calibration
calibrating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP26892088A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koki Shigemi
重見 弘毅
Masao Tsunekawa
恒川 正雄
Nobuaki Nagao
信明 長尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kurita Water Industries Ltd
Original Assignee
Kurita Water Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kurita Water Industries Ltd filed Critical Kurita Water Industries Ltd
Priority to JP26892088A priority Critical patent/JPH02115741A/en
Publication of JPH02115741A publication Critical patent/JPH02115741A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To perform measurement with a high precision by calibrating a signal processor at the time of introducing calibrating gas to a sensor from a calibrating gas introducing tube. CONSTITUTION:A sensor part 1 has a suction pump 3, and gas to be examined is introduced from a gas sampling tube 4 to a semiconductor gas sensor 5 by the pump 3 and is discharged out of a system through a sampling gas absorbing unit 10. The signal inputted from the sensor 5 to a signal processor 2 is supplied to an operation part 13 through an amplifying part 11 and an A/D converting part 12. The operation part 13 not only converts the input signal to a concn. signal and outputs it but also integrates the measuring time to output a calibration timing signal at intervals of a set certain time. This calibration timing signal is inputted to a switching control part 14, and operation signal to a solenoid valve 6 of the gas sampling tube 4 and a solenoid valve 9 of a calibrating gas introducing tube 8 are outputted from the control part 14. Thus, the gas concn. is easily measured with a high precision.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野1 本発明はガスセンサ装置に係り、特にオフセット等の調
整を自動的に行なうことを可能にしたガスセンサ装置に
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application 1] The present invention relates to a gas sensor device, and more particularly to a gas sensor device that makes it possible to automatically adjust offset and the like.

[従来の技術] ガスセンサには様々な方式のものが存在し、それらの殆
どは、ガス検知特性の経時的な変化に対する定期的な校
正を必要としている。この校正では、従来、定期的に作
業員が標準ガスをセンサに対して供給し、人手により0
点の調整を行なうようにしている。
[Prior Art] There are various types of gas sensors, and most of them require periodic calibration for changes in gas detection characteristics over time. Conventionally, in this calibration, a worker periodically supplies a standard gas to the sensor, and manually performs zero calibration.
I am trying to adjust the points.

[発明が解決しようとする課題] 従来のガスセンサ装置ではこの校正の際に一旦サンプリ
ングを中止して標準ガスを用いて作業員の手作業で0点
(オフセット)の調整を行なうため、手間がかかる。特
に、−度に多数のセンサを調整する場合には、校正作業
に要する時間は極めて長いものとなる。
[Problem to be solved by the invention] In conventional gas sensor devices, during this calibration, sampling is temporarily stopped and the zero point (offset) is manually adjusted by the worker using standard gas, which is time-consuming. . In particular, when adjusting a large number of sensors at once, the time required for the calibration work is extremely long.

本発明は校正作業を自動的に行ない、ガスセンサでの安
定した高精度なガス濃度計測を容易に行なうことが可能
なガスセンサ装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a gas sensor device that can automatically perform calibration work and easily perform stable and highly accurate gas concentration measurement using a gas sensor.

[課題を解決するための手段] 本発明のガスセンサ装置は、ガスサンプリング管と、該
ガスサンプリング管に設けられたセンサと、該センサの
信号を処理して濃度信号を出力する信号処理器とを有す
るガスセンサ装置において、センサよりも上流側のガス
サンプリング管に接続された校正ガス導入管と、ガスサ
ンプリング管と校正ガス導入管とを択一的に選択してセ
ンサにガスを流す流路選択手段と、校正ガス導入管から
校正ガスがセンサに導入されているときに信号処理器の
校正を行う手段とを設けたことを特徴とするものである
[Means for Solving the Problems] The gas sensor device of the present invention includes a gas sampling tube, a sensor provided on the gas sampling tube, and a signal processor that processes the signal of the sensor and outputs a concentration signal. a calibration gas introduction pipe connected to a gas sampling pipe upstream of the sensor; and a flow path selection means for selectively selecting the gas sampling pipe and the calibration gas introduction pipe to flow gas to the sensor. and means for calibrating the signal processor while the calibration gas is being introduced into the sensor from the calibration gas introduction tube.

[作用] 本発明のガスセンサ装置では、サンプリング管より導入
したガス(被検ガス)がセンサと接触することにより、
例えばセンサのインピーダンスが変化する。このセンサ
信号は信号処理器を経て出力される。
[Function] In the gas sensor device of the present invention, when the gas introduced from the sampling tube (test gas) comes into contact with the sensor,
For example, the impedance of the sensor changes. This sensor signal is output through a signal processor.

本発明装置において校正を行なう場合には、例えば以下
の方法により行なう。
When performing calibration in the apparatus of the present invention, the following method is used, for example.

まず、連続的に被検ガス中の目的成分濃度を計測してい
るガスセンサ装置において、前回校正終了時より一定時
間後に校正タイミング信号が出力され、その信号に基づ
きサンプリング管からガスセンサへの被検ガスの導入が
中断されると同時に校正ガス導入管より校正ガスがガス
センサへ供給される。
First, in a gas sensor device that continuously measures the concentration of the target component in the sample gas, a calibration timing signal is output a certain period of time after the end of the previous calibration, and based on that signal, the sample gas is transferred from the sampling tube to the gas sensor. At the same time as the introduction of gas is interrupted, calibration gas is supplied to the gas sensor from the calibration gas introduction pipe.

信号処理器では、ガスセンサの出力信号の状態を監視し
、状態が安定した時点でセンサからの信号を0点(オフ
セット)信号として記憶する。その後、被検気体の導入
を再開し、通常の計測を行なう、そして、記憶したオフ
セットによりガスセンサからの信号を補正し、それを用
いて濃度信号を出力する。
The signal processor monitors the state of the output signal of the gas sensor, and when the state becomes stable, stores the signal from the sensor as a zero point (offset) signal. Thereafter, the introduction of the gas to be detected is resumed, normal measurements are performed, and the signal from the gas sensor is corrected using the stored offset, which is used to output a concentration signal.

[実施例] 以下本発明の実施例を図面を用いて説明する。[Example] Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は、本発明のガスセンサ装置の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a gas sensor device of the present invention.

本実施例装置はセンサ部1と信号処理器2とより構成さ
れている。センサ部1は吸引ポンプ3を有しており、こ
の吸引ポンプ3は被検ガスをガスサンプリング管4より
半導体ガスセンサ5へ導入し、サンプリングガス吸着ユ
ニット10を通して系外に放出させるよう構成されてい
る。
The device of this embodiment is composed of a sensor section 1 and a signal processor 2. The sensor section 1 has a suction pump 3, and the suction pump 3 is configured to introduce the sample gas into the semiconductor gas sensor 5 through the gas sampling pipe 4 and release it to the outside of the system through the sampling gas adsorption unit 10. .

ガスサンプリング管4には開、閉の2動作を行なう電磁
弁6が設けられている。この電磁弁6と半導体ガスセン
サ5の間には三方に分岐した導入管7が設けられていて
、三方の端部は電磁弁6と半導体センサ5に接続されて
おり、残りの1つの端部には校正ガス導入管8が電磁弁
9を介して接続されている。電磁弁6又は電磁弁9の開
閉の選択により半導体センサ5には被検ガスまたは校正
ガスが導入される。この校正ガスは、本実施例では目的
ガス成分濃度が0の清浄ガスが用いられている。サンプ
リングガス吸着ユニット10には被検ガスに適合する吸
着剤が充填されており、計測後のガスを吸着処理した後
、系外に放出することが可能である。
The gas sampling pipe 4 is provided with a solenoid valve 6 that performs two operations: opening and closing. An introduction pipe 7 is provided between the solenoid valve 6 and the semiconductor gas sensor 5, and the three ends are connected to the solenoid valve 6 and the semiconductor sensor 5. A calibration gas introduction pipe 8 is connected via a solenoid valve 9. A test gas or a calibration gas is introduced into the semiconductor sensor 5 by selecting whether to open or close the solenoid valve 6 or 9. In this embodiment, a clean gas having a target gas component concentration of 0 is used as the calibration gas. The sampling gas adsorption unit 10 is filled with an adsorbent that is compatible with the gas to be detected, and after the measured gas is adsorbed, it can be released outside the system.

次に信号処理器2について説明する。半導体ガスセンサ
5から信号処理器2に人力された信号は、増幅部11.
A/D信号変換部12.演算部13における処理を経て
濃度信号として出力される。増幅部11で増幅された信
号はA/D信号変換部12でディジタル信号に変換され
た後、演算部13に入力される。マイクロコンピュータ
を内蔵した演算部13は入力された信号を濃度信号に変
換して出力する。演算部13は、オフセット値の記憶機
能及び検出濃度値をこのオフセット値で補正する機能の
ほかに、計測時間を積算し、設定された定時間毎に校正
タイミング信号を出力する機能を有している。この校正
タイミング信号は、切換制御部14に入力され、ここで
ガスサンプリング管4の電磁弁6と校正ガス導入管8の
電磁弁9へ作動信号を出力する。この2者の電磁弁の作
動信号は択一的であり、一方の弁が「開」となる時、他
方は「閉」となる。
Next, the signal processor 2 will be explained. The signal input from the semiconductor gas sensor 5 to the signal processor 2 is sent to the amplifier section 11.
A/D signal converter 12. After processing in the calculation unit 13, it is output as a density signal. The signal amplified by the amplification section 11 is converted into a digital signal by the A/D signal conversion section 12 and then input to the calculation section 13 . The arithmetic unit 13 containing a microcomputer converts the input signal into a concentration signal and outputs it. In addition to the function of storing an offset value and the function of correcting the detected concentration value using this offset value, the calculation unit 13 has a function of integrating measurement time and outputting a calibration timing signal at every set fixed time. There is. This calibration timing signal is input to the switching control section 14, which outputs an operating signal to the electromagnetic valve 6 of the gas sampling tube 4 and the electromagnetic valve 9 of the calibration gas introduction tube 8. The activation signals of these two solenoid valves are alternative, and when one valve is "open", the other is "closed".

また、演算部13はオフセット部から人力される信号の
状態を観察し、変化の安定性を検出する機能を有してい
て校正時に作動する0校正時において、校正ガスの継続
的な導入に伴いセンサ出力値が徐々に安定する0校正ガ
スを流してセンサ5の出力が安定した時点での信号がオ
フセット値として記憶される。その後、校正開始時とは
逆に電磁弁6.9を作動させる。
In addition, the calculation unit 13 has a function of observing the state of the signal manually input from the offset unit and detecting the stability of the change. The signal at the time when the output of the sensor 5 becomes stable after flowing the zero calibration gas, which gradually stabilizes the sensor output value, is stored as an offset value. Thereafter, the solenoid valve 6.9 is operated in the opposite direction from when the calibration was started.

このようなガスセンサ装置の作動パターンは第2図に示
すようなフローチャートのようになる。
The operation pattern of such a gas sensor device is as shown in the flowchart shown in FIG.

まず装置全体が始動し、計測を行なう。ここでは、入力
されるガスセンサからの信号が増幅され、A/D変換さ
れたのち演算部13に人力され、入力された信号レベル
を連続計測し、記憶したオフセットで補正し、ガス濃度
として出力する。
First, the entire device starts up and takes measurements. Here, the input signal from the gas sensor is amplified, A/D converted, and then manually input to the calculation unit 13, where the input signal level is continuously measured, corrected with a stored offset, and output as a gas concentration. .

この連続した計測時間が演算部13に設定された設定時
間になると、校正タイミング信号が演算部13より出力
され、切換制御部14により電磁弁6を閉、電磁弁9を
開にする。そのためサンプリングガスの吸引が打ち切ら
れ、校正ガス(例えば純ガス等)が半導体ガスセンサ5
に供給される。このように経路が選択されることにより
校正が開始されることになる0校正時に出力される半導
体ガスセンサ5からの信号は増幅され、演算部へ人力さ
れる。そして、入力信号が一定時間安定したことを確認
し、この時の値を0点(オフセット)の値として演算部
13は記憶する。それと同時に、校正タイミング信号の
出力を中止して、切換制御部14は校正ガスの電磁弁9
を閉じ、サンプリング管の電磁弁6を開ける。このよう
に経路を選択することにより、被検ガスの計測を再開す
る。これをくりかえすことにより、本発明のガスセンサ
装置は計測を続ける。
When the continuous measurement time reaches the set time set in the calculation section 13, a calibration timing signal is output from the calculation section 13, and the switching control section 14 closes the solenoid valve 6 and opens the solenoid valve 9. Therefore, suction of the sampling gas is discontinued, and the calibration gas (for example, pure gas) is supplied to the semiconductor gas sensor 5.
supplied to By selecting the route in this way, the signal from the semiconductor gas sensor 5 output at the time of zero calibration, which starts calibration, is amplified and input manually to the calculation section. Then, it is confirmed that the input signal has been stabilized for a certain period of time, and the calculation unit 13 stores the value at this time as the value of the 0 point (offset). At the same time, the output of the calibration timing signal is stopped, and the switching control section 14 starts the calibration gas solenoid valve 9.
, and open the solenoid valve 6 of the sampling tube. By selecting the route in this manner, measurement of the gas to be detected is restarted. By repeating this, the gas sensor device of the present invention continues measurement.

本実施例装置においては、三方電磁弁を2つ必要として
いるが、三方弁を用いても良い。
Although the device of this embodiment requires two three-way solenoid valves, a three-way valve may also be used.

[発明の効果] 以上詳述したように本発明のガスセンサ装置は、計測1
校正の切換えを自動的に行なうことが可能であり、高精
度なガス濃度計測を著しく容易に行なうことが可能であ
る。
[Effects of the Invention] As detailed above, the gas sensor device of the present invention can perform measurement 1
Calibration switching can be performed automatically, and highly accurate gas concentration measurement can be performed with great ease.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明のガスセンサ装置の一実施例装置に係る
ブロック図、第2図は作動を示すフローチャート図であ
る。 2・・・信号処理器、 4・・・ガスサンプリング管、
5・・・半導体ガスセンサ、  6.9・・・1!磁弁
、8・・・校正ガス導入管、   13・・・演算部、
14・・・切換制御部。 第2図 代理人  弁理士  重 野  剛
FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the gas sensor device of the present invention, and FIG. 2 is a flowchart showing the operation. 2...Signal processor, 4...Gas sampling tube,
5...Semiconductor gas sensor, 6.9...1! Magnetic valve, 8... Calibration gas introduction pipe, 13... Calculation unit,
14...Switching control section. Figure 2 Agent Patent Attorney Tsuyoshi Shigeno

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)ガスサンプリング管と、該ガスサンプリング管に
設けられたセンサと、該センサの信号を処理して濃度信
号を出力する信号処理器とを有するガスセンサ装置にお
いて、センサよりも上流側のガスサンプリング管に接続
された校正ガス導入管と、ガスサンプリング管と校正ガ
ス導入管とを択一的に選択してセンサにガスを流す流路
選択手段と、校正ガス導入管から校正ガスがセンサに導
入されているときに信号処理器の校正を行う手段とを設
けたことを特徴とするガスセンサ装置。
(1) In a gas sensor device that includes a gas sampling pipe, a sensor provided in the gas sampling pipe, and a signal processor that processes the signal of the sensor and outputs a concentration signal, gas sampling is performed on the upstream side of the sensor. A calibration gas introduction tube connected to the tube, a flow path selection means for selectively selecting the gas sampling tube and the calibration gas introduction tube to flow gas to the sensor, and a calibration gas introduced into the sensor from the calibration gas introduction tube. 1. A gas sensor device comprising means for calibrating a signal processor when the signal processor is being calibrated.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0587772A (en) * 1991-09-27 1993-04-06 Shimadzu Corp Limit current type oxygen concentration measuring device
WO2008051731A1 (en) * 2006-10-23 2008-05-02 3M Innovative Properties Company Testing performance of gas monitors
US7497108B2 (en) * 2006-10-23 2009-03-03 3M Innovative Properties Company Gas monitor testing apparatus, method, and system
JP2013242274A (en) * 2012-05-22 2013-12-05 Horiba Ltd Analyzer calibration system and exhaust gas analysis system

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6324148A (en) * 1986-04-21 1988-02-01 エルサグ・インターナショナル・ビー・ブイ Automatic calibration and controller for oxygen and combustible analyzer

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6324148A (en) * 1986-04-21 1988-02-01 エルサグ・インターナショナル・ビー・ブイ Automatic calibration and controller for oxygen and combustible analyzer

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0587772A (en) * 1991-09-27 1993-04-06 Shimadzu Corp Limit current type oxygen concentration measuring device
WO2008051731A1 (en) * 2006-10-23 2008-05-02 3M Innovative Properties Company Testing performance of gas monitors
US7497108B2 (en) * 2006-10-23 2009-03-03 3M Innovative Properties Company Gas monitor testing apparatus, method, and system
US7805974B2 (en) 2006-10-23 2010-10-05 3M Innovative Properties Company Testing performance of gas monitors
JP2013242274A (en) * 2012-05-22 2013-12-05 Horiba Ltd Analyzer calibration system and exhaust gas analysis system
US9255917B2 (en) 2012-05-22 2016-02-09 Horiba, Ltd. Analyzer calibrating system and exhaust gas analyzing system

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