JPH02115449U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02115449U JPH02115449U JP2374389U JP2374389U JPH02115449U JP H02115449 U JPH02115449 U JP H02115449U JP 2374389 U JP2374389 U JP 2374389U JP 2374389 U JP2374389 U JP 2374389U JP H02115449 U JPH02115449 U JP H02115449U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mark
- mask
- insulating substrate
- mark section
- index
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Description
第１図は、実施例マスクのアライメントマーク
を示す説明図、第２図は、従来のマスクのアライ
メントマークを示す説明図、第３図Ａ、第３図Ｂ
は、絶縁基板の識別マークとマスクのアライメン
トマークの関係を示す説明図、第４図Ａは、グレ
ーズ中心と発熱体部中心が合致したサーマルヘツ
ドを示す要部断面図、第４図Ｂは、発熱体部が位
置ずれしたサーマルヘツドを示す要部断面図であ
る。 １……上段マーク部、２……下段マーク部、１
１，２１…指標線。
を示す説明図、第２図は、従来のマスクのアライ
メントマークを示す説明図、第３図Ａ、第３図Ｂ
は、絶縁基板の識別マークとマスクのアライメン
トマークの関係を示す説明図、第４図Ａは、グレ
ーズ中心と発熱体部中心が合致したサーマルヘツ
ドを示す要部断面図、第４図Ｂは、発熱体部が位
置ずれしたサーマルヘツドを示す要部断面図であ
る。 １……上段マーク部、２……下段マーク部、１
１，２１…指標線。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 絶縁基板上のグレーズ層に対し発熱体部をパタ
ーン形成する際に、絶縁基板上に重合させるマス
クの均等位置合わせ用アライメントマークであつ
て、 前記アライメントマークは、仮想中心線の両側
に、それぞれ複数の指標線を一定間隔開いて並列
配置した上段マーク部と、この上段マーク部の各
指標線間の中央位置に対応して各指標線を配置し
た下段マーク部とから成るマスクのアライメント
マーク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2374389U JP2520374Y2 (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | マスクのアライメントマーク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2374389U JP2520374Y2 (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | マスクのアライメントマーク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02115449U true JPH02115449U (ja) | 1990-09-14 |
| JP2520374Y2 JP2520374Y2 (ja) | 1996-12-18 |
Family
ID=31242988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2374389U Expired - Lifetime JP2520374Y2 (ja) | 1989-03-01 | 1989-03-01 | マスクのアライメントマーク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2520374Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-03-01 JP JP2374389U patent/JP2520374Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2520374Y2 (ja) | 1996-12-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |