JPH02110351A - Introducing and monitoring method of sample in i.c.p emission spectral analyzing device - Google Patents
Introducing and monitoring method of sample in i.c.p emission spectral analyzing deviceInfo
- Publication number
- JPH02110351A JPH02110351A JP26487888A JP26487888A JPH02110351A JP H02110351 A JPH02110351 A JP H02110351A JP 26487888 A JP26487888 A JP 26487888A JP 26487888 A JP26487888 A JP 26487888A JP H02110351 A JPH02110351 A JP H02110351A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- plasma
- gas
- chamber
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 5
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 title abstract 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 44
- 239000006199 nebulizer Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000003595 mist Substances 0.000 claims description 17
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims description 15
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims description 15
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 claims 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 9
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 abstract description 3
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 abstract 1
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 2
- 238000012284 sample analysis method Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003953 H3PO2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 1
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- ACVYVLVWPXVTIT-UHFFFAOYSA-N phosphinic acid Chemical compound O[PH2]=O ACVYVLVWPXVTIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010206 sensitivity analysis Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000012086 standard solution Substances 0.000 description 1
- 235000011149 sulphuric acid Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、アルゴンガス等の不活性ガスのプラズマ中で
発光する試料構成元素を分析するためのI 、 C,P
、 (Inductively Coupled Pl
asma、高周波誘導結合プラズマ)発光分光分析装置
における試料導入モニター方法に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention provides I, C, P for analyzing sample constituent elements that emit light in plasma of an inert gas such as argon gas.
, (Inductively Coupled Pl
The present invention relates to a method for monitoring sample introduction in an optical emission spectrometer (asma, high frequency inductively coupled plasma).
(従来の技術)
従来、この種の1.C,P、発光分光分析装置としては
、例えばブランド名rSEIKOJ製、5PS120O
A型装置があり、その構成図を第2図に示す。(Prior art) Conventionally, this type of 1. As a C, P, emission spectrometer, for example, the brand name rSEIKOJ, 5PS120O is used.
There is a type A device, whose configuration is shown in FIG.
この1.C,P、発光分光分析装置は、アルゴンガスか
らなるキャリーガス1を導入して流量調節されたキャリ
ーガスGI、プラズマガスG2及び補助ガス03等を供
給するガスコントロール部2を備えている。キャリーガ
スG1はネブライザ3に供給されると共に、液体の試料
4が細管5を通してそのネブライザ3に供給される。ネ
ブライザ3の噴出口側には、ドレイン口6a及び供給口
6bを有するチャンバ6が接続され、その供給口6bに
、トーチ7が接続されている。トーチ7はプラズマガス
G2の導入ロアa及び補助ガスG3の導入ロアbを有し
ている。トーチ7の外周にはコイル8が装着され、その
コイル8が高周波電源9に接続されている。This 1. The C, P, emission spectrometer is equipped with a gas control section 2 that introduces a carry gas 1 made of argon gas and supplies a flow-controlled carry gas GI, plasma gas G2, auxiliary gas 03, and the like. A carrier gas G1 is supplied to a nebulizer 3, and a liquid sample 4 is supplied to the nebulizer 3 through a capillary tube 5. A chamber 6 having a drain port 6a and a supply port 6b is connected to the ejection port side of the nebulizer 3, and a torch 7 is connected to the supply port 6b. The torch 7 has an introduction lower a for plasma gas G2 and an introduction lower b for auxiliary gas G3. A coil 8 is attached to the outer periphery of the torch 7, and the coil 8 is connected to a high frequency power source 9.
以上の構成において、プラズマ炎Fの中に導入される試
料4は、細管5を通してネブライザ3に供給される。ネ
ブライザ3に供給された試料4は、キャリヤーガスG1
により霧状になってチャンバ6の中へ吹き出される。チ
ャンバ6内の霧化試料のうち、粒径の大きな霧滴はドレ
イン口6aよりトレインとして排出され、粒径の微小な
霧滴のみが供給口6bを通してトーチ7のプラズマ炎F
の中に導入される。プラズマ炎Fの中に導入された霧化
試料は、プラズマ炎Fのエネルギーにより励起されて自
ら発光する。試料4中の元素はそれぞれ特有の発光スペ
クトルを持っているため、その発光スペクトルを分光器
で分光することにより、試料4中の元素の種類、及びそ
の含有呈を計測できる。In the above configuration, the sample 4 introduced into the plasma flame F is supplied to the nebulizer 3 through the thin tube 5. The sample 4 supplied to the nebulizer 3 is supplied with carrier gas G1
The water is blown into the chamber 6 in the form of a mist. Among the atomized samples in the chamber 6, large-sized mist droplets are discharged as a train from the drain port 6a, and only small-sized mist droplets are passed through the supply port 6b to the plasma flame F of the torch 7.
will be introduced into the. The atomized sample introduced into the plasma flame F is excited by the energy of the plasma flame F and emits light by itself. Since each element in the sample 4 has a unique emission spectrum, by analyzing the emission spectrum with a spectrometer, the type of element in the sample 4 and its content can be measured.
この1.C,P、発光分光分析装置では、ネブライザ3
により、「霧吹き」と同じ原理で液体試料4を霧化し、
プラズマ炎F中へ導入している。This 1. C, P, in the emission spectrometer, nebulizer 3
The liquid sample 4 is atomized using the same principle as "fogging",
Introduced into plasma flame F.
ネブライザ3は、高周波誘導結合プラズマ(I。The nebulizer 3 uses high frequency inductively coupled plasma (I).
C,P、)による分析の要であり、細かく、かつ均一な
霧を発生することが、測定の精度や安定性に対して必要
なことになる。もし、霧の発生状態が変動すると、プラ
ズマ炎F中へ導入される霧化試料の量に変化が生じて測
定値が変動する。そこで、ガスコントロール部2により
、予め設定された値に基づき、キャリヤーガスG1の圧
力を調節して霧の発生量を一定値に保持している。C, P,) is the key to analysis, and generating a fine and uniform fog is necessary for measurement accuracy and stability. If the state of fog generation changes, the amount of atomized sample introduced into the plasma flame F will change, causing the measured value to fluctuate. Therefore, the gas control unit 2 adjusts the pressure of the carrier gas G1 based on a preset value to maintain the amount of mist generated at a constant value.
従って、この種の装置を用いた試料分析方法では、分析
元素を自由に選択できること、高感度分析線、低怒度分
析線を自由に使い分けできるので試料4の希釈の手間が
省けること、分光器の使用により高精度の分析が可能に
なること、等の利点を有している。Therefore, in a sample analysis method using this type of device, the elements to be analyzed can be freely selected, the high-sensitivity analysis line and the low-intensity analysis line can be used freely, which saves the effort of diluting the sample 4, and the spectrometer It has the advantage that high-precision analysis is possible through the use of .
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、上記構成の装置を用いた試料分析方法で
は、トーチ7への霧化試料の導入量をモニター(監視)
する手段が設けられていないため、ネブライザ3で試料
4を霧状にする際、試料4の粘性により、霧滴の粒径が
異なり、プラズマ炎F中に導入される霧化試料の量が変
化する。そのため、発光スペクトル量に差が生じ、正確
な分析ができないという問題があり、それを解決するこ
とが困難であった。(Problem to be Solved by the Invention) However, in the sample analysis method using the device with the above configuration, the amount of the atomized sample introduced into the torch 7 is monitored (monitored).
Therefore, when the sample 4 is atomized with the nebulizer 3, the particle size of the atomized droplets varies depending on the viscosity of the sample 4, and the amount of atomized sample introduced into the plasma flame F changes. do. Therefore, there is a problem that a difference occurs in the amount of emission spectrum and accurate analysis cannot be performed, and it has been difficult to solve this problem.
本発明は前記従来技術が持っていた課題として、液体試
料の粘性により、発光スペクトル量に差が生じて分析精
度が低下するという点について解決したI、C,P、発
光分光分析装置における試料導入モニター方法を提供す
るものである。The present invention solves the problem that the prior art had in that the viscosity of the liquid sample causes a difference in the amount of emission spectrum, reducing analysis accuracy. This provides a monitoring method.
(課題を解決するための手段)
本発明は前記課題を解決するために、ガスコントロール
部、ネブライザ、チャンバ、トーチ、及び分光器を備え
たI、C,P、発光分光分析装置において、霧滴数を計
数する凝縮核測定装置を前記チャンバに接続し、そのチ
ャンバから供給される霧化試料の霧滴数を該凝縮核測定
装置で計数し、その計数値に応じて前記ガスコントロー
ル部から供給されるキャリヤーガスの流量を調整するよ
うにしたものである。(Means for Solving the Problems) In order to solve the above problems, the present invention provides an I, C, P, emission spectrometer equipped with a gas control section, a nebulizer, a chamber, a torch, and a spectrometer. A condensation nucleus measuring device that counts the number of condensation nuclei is connected to the chamber, the number of atomized droplets of the atomized sample supplied from the chamber is counted by the condensation nucleus measuring device, and the condensation nuclei are supplied from the gas control section according to the counted value. The flow rate of the carrier gas is adjusted.
(作用)
本発明によれば、凝縮核測定装置により霧滴数を計数す
ることにより、試料の噴霧状態がモニターされる。その
モニター結果をガスコントロール部にフィードバックす
ることは、ガスコントロール部でのキャリヤーガスの供
給量の調整を可能にさせ、試料の粘性に関係なく、トー
チへの霧化試料の導入量を一定にさせる働きがある。従
って、前記課題を解決できるのである。(Function) According to the present invention, the spray state of the sample is monitored by counting the number of mist droplets using a condensation nucleus measuring device. Feedback of the monitoring results to the gas control section allows the gas control section to adjust the amount of carrier gas supplied, making the amount of atomized sample introduced into the torch constant regardless of the viscosity of the sample. There is work. Therefore, the above problem can be solved.
(実施例) 第1図は本発明の詳細な説明するためのI。(Example) FIG. 1 is a diagram illustrating a detailed explanation of the present invention.
c、p、発光分光分析装置の構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a c,p, emission spectrometer.
このr、c、p、発光分光分析装置は、プラズマに供給
するためのアルゴンガス等の不活性ガスからなるキャリ
ヤーガス11の流量を調節するガスコントロール部12
を有している。このガスコントロール部12は、信号S
20に基づきキャリヤーガスGllの流量及び圧力を調
節する機能を有すると共に、プラズマガスG12及び補
助ガス013を調節する機能等を有している。キャリヤ
ーガスGllはネブライザ13に供給されると共に、硫
酸(HSo )、リン酸(H3P04)等の液体の試
料14が細管15を通してそのネブライザ13に供給さ
れる。ネブライザ13は、「霧吹き」と同じ原理により
、キャリヤーガスG11の高速流による負圧で液体の試
料14を霧化するもので、その噴出口側がチャンバ16
に接続されている。This r, c, p, emission spectrometer has a gas control unit 12 that adjusts the flow rate of a carrier gas 11 made of an inert gas such as argon gas to be supplied to the plasma.
have. This gas control section 12 has a signal S
It has a function of adjusting the flow rate and pressure of carrier gas Gll based on 20, and also has a function of adjusting plasma gas G12 and auxiliary gas 013. A carrier gas Gll is supplied to the nebulizer 13, and a sample 14 of liquid such as sulfuric acid (HSo), phosphoric acid (H3P04), etc. is supplied to the nebulizer 13 through a capillary tube 15. The nebulizer 13 atomizes the liquid sample 14 using the negative pressure caused by the high-speed flow of the carrier gas G11 based on the same principle as "atomizing", and its ejection port side is connected to the chamber 16.
It is connected to the.
チャンバ16は、霧化試料を効率よくプラズマ炎Fへ送
るためのバッファとしての機能を持ち、ドレイン口16
a、及び供給口16b、16cを具えている。供給口1
6bにはトーチ17が接続されている。トーチ17は、
プラズマガスG12と補助ガス013の導入口17a、
17bを有し、プラズマガスG12によりプラズマを生
成し、そのプラズマを補助ガス013で浮き上がらせ、
チャンバ16からの霧化試料をプラズマの中心部へ導入
する機能を有している。トーチ17の外周には、磁場発
生用のコイル18が装着され、そのコイル18が高周波
電源19に接続されている。The chamber 16 has a function as a buffer for efficiently sending the atomized sample to the plasma flame F, and has a drain port 16.
a, and supply ports 16b and 16c. Supply port 1
A torch 17 is connected to 6b. Torch 17 is
Inlet port 17a for plasma gas G12 and auxiliary gas 013,
17b, generates plasma with plasma gas G12, floats the plasma with auxiliary gas 013,
It has the function of introducing the atomized sample from the chamber 16 into the center of the plasma. A coil 18 for generating a magnetic field is attached to the outer periphery of the torch 17, and the coil 18 is connected to a high frequency power source 19.
また、チャンバ16の供給口16cには、凝縮核測定装
置20が接続されている。凝縮核測定装置20は、霧化
試料の霧滴数を計数してその計数値を信号S20の形で
ガスコントロール部12へ供給する装置であり、例えば
粒径0.05μ以上の霧滴をジエチレングリコールで霧
滴そのものを成長させ、霧滴数をレーザ散乱光で計数す
る構造になっている。Further, a condensation nucleus measuring device 20 is connected to the supply port 16c of the chamber 16. The condensation nucleus measuring device 20 is a device that counts the number of mist droplets of an atomized sample and supplies the counted value to the gas control unit 12 in the form of a signal S20. The structure is such that the mist droplets themselves grow and the number of mist droplets is counted using laser scattered light.
次に、以上の構成の1.C,P、発光分光分析装置を用
いた試料導入モニター方法について説明する。Next, 1. of the above configuration. A method for monitoring sample introduction using a C, P, and emission spectrometer will be explained.
ガスコントロール部12から、キャリヤーガスGllが
ネブライザ13へ供給されると共に、プラズマガスG1
2及び補助ガスG13がトーチ17へ供給されると、ネ
ブライザ13では、キャリヤーガスGllにより、液体
の試料14を細管15を通して吸引し、その試料14を
霧化してチャンバ16内へ噴出する。チャンバ16内に
吹き出された霧化試料のうち、比較的粒径の大きな霧滴
はチャンバ16内壁に付着し、ドレイノロ16a側へ水
滴、つまりドレインとなって流れ出るが、一部の微小粒
径の霧滴は供給口16b。The carrier gas Gll is supplied from the gas control unit 12 to the nebulizer 13, and the plasma gas G1
When the auxiliary gas G13 and the auxiliary gas G13 are supplied to the torch 17, the nebulizer 13 sucks the liquid sample 14 through the thin tube 15 using the carrier gas Gll, atomizes the sample 14, and injects the sample 14 into the chamber 16. Among the atomized samples blown into the chamber 16, the mist droplets with relatively large particle sizes adhere to the inner wall of the chamber 16 and flow out as water droplets, that is, drains, toward the drain nozzle 16a. The mist droplets are supplied from the supply port 16b.
16cを通してトーチ17及び凝縮核測定装置20側へ
供給される。It is supplied to the torch 17 and condensation nucleus measuring device 20 side through 16c.
トーチ17では、高周波電源19から供給される高周波
電力により、コイル18に高周波電流が流れて磁場が発
生するので、導入口17aから導入されたプラズマガス
G12によってプラズマが生成され、導入口17bから
導入された補助ガス013により、内部のプラズマが浮
き上がってプラズマ炎Fとなる。そして、チャンバ16
の供給口16bからトーチ17に入った霧化試料は、プ
ラズマ炎F中に導入される。プラズマ炎F中に導入され
た試料14中に含まれる金属元素は、プラズマ炎Fのエ
ネルギーを受取り、基底状態から励起状態へと変化して
特有の発光スペクトルで発光する。この発光スペクトル
は各元素ごとに異なるので、これらの発光スペクトルを
図示しない分光器で分光すれば、試料14に含まれる元
素の種類とその量を計測できる。In the torch 17, high-frequency power supplied from the high-frequency power supply 19 causes a high-frequency current to flow through the coil 18 and generate a magnetic field, so plasma is generated by the plasma gas G12 introduced from the introduction port 17a, and plasma is introduced from the introduction port 17b. The auxiliary gas 013 causes the internal plasma to float up and become a plasma flame F. And chamber 16
The atomized sample entering the torch 17 from the supply port 16b is introduced into the plasma flame F. The metal element contained in the sample 14 introduced into the plasma flame F receives the energy of the plasma flame F, changes from a ground state to an excited state, and emits light with a unique emission spectrum. Since this emission spectrum differs for each element, by analyzing these emission spectra with a spectrometer (not shown), the types and amounts of elements contained in the sample 14 can be measured.
ここで、凝縮核測定装置20は、チャンバ16の供給口
16cから供給される霧化試料のうち、例えば粒径0.
05μ以上の霧滴数を計数する。Here, the condensation nucleus measuring device 20 measures the atomized sample supplied from the supply port 16c of the chamber 16, for example, with a particle size of 0.
Count the number of mist droplets larger than 0.05μ.
粘性の大きい試料(例えば、H2SO4、H3PO2等
)の霧滴は、その粒径が大きくなり、計数値が少くなる
が、粘性の小さい試料の霧滴は、粒径が非常に小さくな
るため、計数値が多くなる。Mist droplets from highly viscous samples (e.g., H2SO4, H3PO2, etc.) have large particle sizes, resulting in low counts; however, mist droplets from low-viscosity samples have very small particle sizes, making it difficult to count. The number increases.
これらの計数値を信号S20の形でガスコントロール部
12に送ると、ガスコントロール部12では、信号S2
0に基づき、ネブライザ13へ供給するキャリヤーガス
Gllの流量及び圧力を調節し、凝縮核測定装置20に
おける計数値が一定値となるように、つまり計数値が試
料と標準液とで一定の値を示すように制御する。そのた
め、プラズマ炎F中に導入される霧化試料の霧滴数は一
定となり、試料14の粘性で分析値が変動するというこ
とがなくなり、精度の高い分析が可能となる。When these count values are sent to the gas control unit 12 in the form of a signal S20, the gas control unit 12 outputs a signal S2.
0, the flow rate and pressure of the carrier gas Gll supplied to the nebulizer 13 are adjusted so that the count value in the condensation nucleus measuring device 20 is a constant value, that is, the count value is a constant value for the sample and the standard solution. Control as shown. Therefore, the number of droplets of the atomized sample introduced into the plasma flame F is constant, and the analysis value does not fluctuate due to the viscosity of the sample 14, making it possible to perform highly accurate analysis.
なお、本発明は図示の実施例に限定されず、例えばチャ
ンバ16の形状や構造、あるいは供給口16b、16c
の形成位置を変形する等して、■。Note that the present invention is not limited to the illustrated embodiment; for example, the shape and structure of the chamber 16, or the supply ports 16b, 16c
■ by changing the formation position, etc.
c、p、発光分光分析装置の構成要素を他の形状や構造
に変化したり、あるいは他の要素を付加して装置の性能
を向上させるようにしてもよい。The performance of the device may be improved by changing the components of the c,p, emission spectrometer into other shapes and structures, or by adding other elements.
(発明の効果)
以上詳細に説明したように、本発明によれば、チャンバ
内の霧化試料を凝縮核測定装置に導入し、その凝縮核測
定装置で霧滴数をモニターして、ガスコントロール部に
よってネブライザへのキャリーヤガスの流1を調整する
ようにしたので、チャンバ内の霧滴数を一定値に保持で
き、それによってプラズマ中に導入される霧滴数が一定
となって、試料の粘性に関係なく、高精度な分析が行え
る。(Effects of the Invention) As described in detail above, according to the present invention, an atomized sample in a chamber is introduced into a condensation nucleus measuring device, the number of atomized droplets is monitored by the condensation nucleus measuring device, and gas control is performed. Since the flow 1 of the carrier gas to the nebulizer is adjusted depending on the chamber, the number of mist droplets in the chamber can be maintained at a constant value, and the number of mist droplets introduced into the plasma is therefore constant. Highly accurate analysis can be performed regardless of the viscosity of the material.
第1図は本発明の詳細な説明するための■。
c、p、発光分光分析装置の構成図、第2図は従来の1
.C,P、発光分光分析装置の構成図である。
11・・・・・・キャリヤーガス、12・・・・・・ガ
スコントロール部、13・・・・・・ネブライザ、14
・・・・・・試料、16・・・・・・チャンバ、16a
・・・・・・ドレイン口、16b、16c・・・・・・
供給口、17・・・・・・トーチ、18・・・・・・コ
イル、19・・・・・・高周波電源、20・・・・・・
凝縮核測定装置、F・・・・・・プラズマ炎、Gll・
・・・・・キャリヤーガス、G12・・・・・・プラズ
マガス。FIG. 1 is a diagram (■) for detailed explanation of the present invention. c, p, Configuration diagram of the emission spectrometer, Figure 2 is the conventional 1
.. C, P, is a configuration diagram of an emission spectrometer. 11...Carrier gas, 12...Gas control section, 13...Nebulizer, 14
...Sample, 16...Chamber, 16a
...Drain port, 16b, 16c...
Supply port, 17... Torch, 18... Coil, 19... High frequency power supply, 20...
Condensation nucleus measuring device, F... Plasma flame, Gll.
...Carrier gas, G12...Plasma gas.
Claims (1)
スコントロール部と、前記ガスコントロール部より供給
されるキャリヤーガスによって液体試料を霧化するネブ
ライザと、前記ネブライザより噴出された霧化試料中よ
り粒径の大きな霧滴を除去するチャンバと、磁場を発生
させて前記ガスコントロール部より供給されるプラズマ
ガスからプラズマを生成し、前記チャンバから供給され
る霧化試料を該プラズマ中へ導入するトーチと、前記プ
ラズマ内で発生した試料中の元素の光を分光して目的元
素の光のみを選択的に取出すための分光器とを備えたI
、C、P、発光分光分析装置において、 霧滴数を計数する凝縮核測定装置を前記チャンバに接続
し、そのチャンバから供給される霧化試料の霧滴数を該
凝縮核測定装置で計数し、その計数値に応じて前記ガス
コントロール部から供給されるキャリヤーガスの流量を
調整することを特徴とするI、C、P、発光分光分析装
置における試料導入モニター方法。[Scope of Claims] A gas control section that adjusts the supply amount of carrier gas and plasma gas, a nebulizer that atomizes a liquid sample with the carrier gas supplied from the gas control section, and atomization ejected from the nebulizer. a chamber for removing atomized droplets having a larger particle size than that in the sample; generating a magnetic field to generate plasma from the plasma gas supplied from the gas control section; and introducing the atomized sample supplied from the chamber into the plasma. I, which is equipped with a torch for introducing the plasma, and a spectrometer for separating the light of the elements in the sample generated in the plasma and selectively extracting only the light of the target element.
, C, P, in the emission spectrometer, a condensation nucleus measuring device for counting the number of mist droplets is connected to the chamber, and the number of mist droplets of the atomized sample supplied from the chamber is counted by the condensation nucleus measuring device. A method for monitoring sample introduction in an I, C, P, emission spectrometer, characterized in that the flow rate of a carrier gas supplied from the gas control section is adjusted according to the counted value.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26487888A JPH02110351A (en) | 1988-10-20 | 1988-10-20 | Introducing and monitoring method of sample in i.c.p emission spectral analyzing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26487888A JPH02110351A (en) | 1988-10-20 | 1988-10-20 | Introducing and monitoring method of sample in i.c.p emission spectral analyzing device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02110351A true JPH02110351A (en) | 1990-04-23 |
Family
ID=17409480
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26487888A Pending JPH02110351A (en) | 1988-10-20 | 1988-10-20 | Introducing and monitoring method of sample in i.c.p emission spectral analyzing device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02110351A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006126111A (en) * | 2004-11-01 | 2006-05-18 | Horiba Ltd | Method of producing liquid sample for component analysis |
-
1988
- 1988-10-20 JP JP26487888A patent/JPH02110351A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006126111A (en) * | 2004-11-01 | 2006-05-18 | Horiba Ltd | Method of producing liquid sample for component analysis |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6126086A (en) | Oscillating capillary nebulizer with electrospray | |
Bings et al. | Liquid sample introduction in inductively coupled plasma atomic emission and mass spectrometry—Critical review | |
EP1081487B1 (en) | Nebulizer | |
Liu et al. | Phase-Doppler diagnostic studies of primary and tertiary aerosols produced by a high-efficiency nebulizer | |
US20170178884A1 (en) | Liquid Sample Introduction System and Method, for Analytical Plasma Spectrometer | |
US5725153A (en) | Oscillating capillary nebulizer | |
US9541479B2 (en) | Apparatus and method for liquid sample introduction | |
US9804183B2 (en) | Apparatus and method for liquid sample introduction | |
EP0792091A1 (en) | Elemental analysis method and apparatus | |
JP2008045901A (en) | Inductively coupled plasma mass analyzer | |
US9165751B1 (en) | Sample atomization with reduced clogging for analytical instruments | |
US9620343B1 (en) | Balanced sample introduction system | |
US6709632B2 (en) | ICP analyzer | |
JPH02110351A (en) | Introducing and monitoring method of sample in i.c.p emission spectral analyzing device | |
US20200391235A1 (en) | Nebulizer, sample introduction unit, and analysis device | |
JP2962626B2 (en) | Mass spectrometer | |
JP4123432B2 (en) | Liquid introduction plasma torch | |
Koropchak et al. | Aerosol particle size effects on plasma spectrometric analysis | |
Matusiewicz et al. | Evaluation of various nebulizers for use in microwave induced plasma optical emission spectrometry | |
Taylor et al. | Integration of capillary vibrating sharp-edge spray ionization as a nebulization device for ICP-MS | |
JPH06109639A (en) | Method for emission spectral analysis | |
JP2002318193A (en) | Nebulizer and high frequency inductive coupling plasma emission analysis device | |
JPH09199076A (en) | Inductively coupled plasma mass spectrograph | |
US11630039B1 (en) | Spray chamber having dual input ports for impingement gas and sensitivity enhancement gas addition | |
JP2000131280A (en) | Atomizer combined with electrophoresis |