JPH0189108U - - Google Patents

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JPH0189108U
JPH0189108U JP18532687U JP18532687U JPH0189108U JP H0189108 U JPH0189108 U JP H0189108U JP 18532687 U JP18532687 U JP 18532687U JP 18532687 U JP18532687 U JP 18532687U JP H0189108 U JPH0189108 U JP H0189108U
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belt
substrate
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cylindrical body
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  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例を示す斜視図、第
２図は第１図の要部を示す斜視図、第３図は軟質
バツグの断面図、第４図は基板の分割される状態
を示す図、第５図は基板と分割線の関係を示す斜
視図である。 １０……ベルト、１１……バツクアツプベルト
、１２……受ローラ、１３……軟質バツグ、２０
……ブラシ、２２……センサ、２５，２６……側
板、２９……エア注入パイプ、１３ａ……筒状体
、５１……リトリガラブルモノマルチバイブレー
タ、５２……カウンタ、５３……パルス発生器、
５４……比較器、５５……基準器。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 所定パターンの細溝あるいはケガキ線が少なく
    とも一方の面に形成された基板を移送するベルト
    と、 ベルトの下方においてベルトにレベルの異なる
    移送面を作る部材と、 ベルトの異なる移送面の境界付近上方にベルト
    の移送面と交差する状態で設けられかつ中に流体
    が充填され、全体として筒状で回転可能な軟質バ
    ツグと、 軟質バツグを移送面の境界付近に押圧する押圧
    部材とを備え、 軟質バツグは伸縮可能な筒状体と、筒状体の両
    開口部を塞ぐ側板と、筒状体内に設けられた側板
    相互間を接続する伸縮自在な軸とから構成され、 基板が軟質バツグの下を通過するとき軟質バツ
    グの圧力によつて前記パターンを境にして基板の
    分割を行なうことを特徴とする基板の分割装置。
JP18532687U 1987-12-07 1987-12-07 Expired JPH0445850Y2 (ja)

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JPH0189108U true JPH0189108U (ja) 1989-06-13
JPH0445850Y2 JPH0445850Y2 (ja) 1992-10-28

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06120367A (ja) * 1992-10-02 1994-04-28 Alps Electric Co Ltd セラミック基板の分割方法およびその分割装置
JPH0722357A (ja) * 1990-05-25 1995-01-24 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 半導体ウェーハ一括切断及び切断切子面被覆方法

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JPH0445850Y2 (ja) 1992-10-28

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