JPH0183292U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0183292U JPH0183292U JP1987179045U JP17904587U JPH0183292U JP H0183292 U JPH0183292 U JP H0183292U JP 1987179045 U JP1987179045 U JP 1987179045U JP 17904587 U JP17904587 U JP 17904587U JP H0183292 U JPH0183292 U JP H0183292U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating element
- furnace wall
- separator
- furnace
- electric resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 10
- 238000002791 soaking Methods 0.000 claims 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Description
第１図は加熱炉の断面図、第２図は第１図のＡ
―Ａ矢視図、第３図は発熱体取付け状態を示す部
分拡大図である。 図中；１……加熱炉、２……電気抵抗発熱体と
セパレータとを共に支持する止めピン、３……電
気抵抗発熱体のみを支持する止めピン、４……炉
外皮、５……断熱層、６……炉壁体、７……案内
用蟻溝、８……セパレータ、９……電気抵抗発熱
体、１０……炉芯管、１１……スペーサ、１２…
…切り込み部。
―Ａ矢視図、第３図は発熱体取付け状態を示す部
分拡大図である。 図中；１……加熱炉、２……電気抵抗発熱体と
セパレータとを共に支持する止めピン、３……電
気抵抗発熱体のみを支持する止めピン、４……炉
外皮、５……断熱層、６……炉壁体、７……案内
用蟻溝、８……セパレータ、９……電気抵抗発熱
体、１０……炉芯管、１１……スペーサ、１２…
…切り込み部。
Claims (1)
- 炉壁体６の長軸方向に螺旋状に成形された電気
抵抗発熱体９をセパレータ８により離間して内周
側に保持した炉壁体６を有する均熱加熱炉１にお
いて、電気抵抗発熱体９とセパレータ８とを共に
支持する止めピン２及び前記発熱体のみを支持す
る止めピン３を炉壁体６に固定していることを特
徴とする発熱体支持構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987179045U JPH0183292U (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987179045U JPH0183292U (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0183292U true JPH0183292U (ja) | 1989-06-02 |
Family
ID=31470634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987179045U Pending JPH0183292U (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0183292U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011249826A (ja) * | 2011-07-19 | 2011-12-08 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 断熱壁体、加熱装置および基板処理装置 |
-
1987
- 1987-11-25 JP JP1987179045U patent/JPH0183292U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011249826A (ja) * | 2011-07-19 | 2011-12-08 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 断熱壁体、加熱装置および基板処理装置 |