JPH0182376U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0182376U JPH0182376U JP1987178634U JP17863487U JPH0182376U JP H0182376 U JPH0182376 U JP H0182376U JP 1987178634 U JP1987178634 U JP 1987178634U JP 17863487 U JP17863487 U JP 17863487U JP H0182376 U JPH0182376 U JP H0182376U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- self
- sealed
- under reduced
- during use
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 2
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Sealing Devices (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図は一部を断面で示した斜視図、第2図は
一使用例を示す縦断面図、第3図、第4図は他の
使用例を示す図である。 1……自己膨張パツキン、2……ゴム、3……
中空部、4……チヤンバー、5……隔壁、6……
帯状基材、7……巻き送りロール、7′……巻き
取りロール、8……プロセスドラム、9,9′…
…隔壁受け。
一使用例を示す縦断面図、第3図、第4図は他の
使用例を示す図である。 1……自己膨張パツキン、2……ゴム、3……
中空部、4……チヤンバー、5……隔壁、6……
帯状基材、7……巻き送りロール、7′……巻き
取りロール、8……プロセスドラム、9,9′…
…隔壁受け。
Claims (1)
- 減圧下で使用するパツキンであつて、弾性材料
からなる中空体の内部に使用時の雰囲気圧以上と
なるべく調節した気体を密封したことをと特徴と
する自己膨張パツキン。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987178634U JPH0640589Y2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987178634U JPH0640589Y2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0182376U true JPH0182376U (ja) | 1989-06-01 |
JPH0640589Y2 JPH0640589Y2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=31470243
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987178634U Expired - Lifetime JPH0640589Y2 (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0640589Y2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0445270A (ja) * | 1990-06-11 | 1992-02-14 | Shinku Kikai Kogyo Kk | 真空槽内における駆動方法 |
WO2000011237A1 (fr) * | 1998-08-19 | 2000-03-02 | Shibaura Mechatronics Corporation | Dispositif a depression et mecanisme d'entrainement a cet effet |
JP2010018828A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Asahi Kasei E-Materials Corp | 真空蒸着装置 |
-
1987
- 1987-11-24 JP JP1987178634U patent/JPH0640589Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0445270A (ja) * | 1990-06-11 | 1992-02-14 | Shinku Kikai Kogyo Kk | 真空槽内における駆動方法 |
WO2000011237A1 (fr) * | 1998-08-19 | 2000-03-02 | Shibaura Mechatronics Corporation | Dispositif a depression et mecanisme d'entrainement a cet effet |
JP2010018828A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Asahi Kasei E-Materials Corp | 真空蒸着装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0640589Y2 (ja) | 1994-10-26 |