JPH0169709U - - Google Patents

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JPH0169709U
JPH0169709U JP1987165538U JP16553887U JPH0169709U JP H0169709 U JPH0169709 U JP H0169709U JP 1987165538 U JP1987165538 U JP 1987165538U JP 16553887 U JP16553887 U JP 16553887U JP H0169709 U JPH0169709 U JP H0169709U
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cover tape
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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例の上面図、第2図は
その正面図、第3図はその剥離強度試験時の正面
図、第4図は本考案の他の実施例の正面図、第5
図は従来の剥離試験方法を示す斜視図である。 1,2,3,4……シリンダー、5,7,15
……スライドテーブル、6……カバーテープクラ
ンプステージ、8……シールヒータ、9……カバ
ーテープ、10……エンボステープ、11……補
助ガイドローラ、12,13,14……ガイドロ
ーラ、16……検知部、17……カバーテープ用
リール、18……検知部電源、19……ベース、
20……剥離角度、21……滑車、22……おも
り、23……テンシヨンゲージ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体装置をテーピングする装置において、剥
    離強度試験の機能を含むことを特徴とする半導体
    装置用テーピング装置。
JP1987165538U 1987-10-28 1987-10-28 Pending JPH0169709U (ja)

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