JPH0165133U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0165133U JPH0165133U JP1987089607U JP8960787U JPH0165133U JP H0165133 U JPH0165133 U JP H0165133U JP 1987089607 U JP1987089607 U JP 1987089607U JP 8960787 U JP8960787 U JP 8960787U JP H0165133 U JPH0165133 U JP H0165133U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- float
- drain port
- moves
- cleaning tank
- level
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
第１図は本考案実施例の図で、そのａは乾燥装
置の配置図、ｂはウエハキヤリアの斜視図、ｃは
ウエハキヤリアの上枠の断面図、ｄはウエハキヤ
リアの底枠の断面図、第２図は従来例断面図、第
３図は従来のウエハキヤリアの図で、そのａは正
面図、ｂは拡大平面図である。 第１図において、１１は洗浄槽、１１ａは取水
口、１２は洗浄液、１２ａは液面、１３はウエハ
キヤリア、１４はウエハ、１５はフロート、１６
は連接棒、１７はチユーブ、１８は排水口、１９
は隔壁、２０は側壁、２１は底枠、２２は上枠、
２３は溝である。
置の配置図、ｂはウエハキヤリアの斜視図、ｃは
ウエハキヤリアの上枠の断面図、ｄはウエハキヤ
リアの底枠の断面図、第２図は従来例断面図、第
３図は従来のウエハキヤリアの図で、そのａは正
面図、ｂは拡大平面図である。 第１図において、１１は洗浄槽、１１ａは取水
口、１２は洗浄液、１２ａは液面、１３はウエハ
キヤリア、１４はウエハ、１５はフロート、１６
は連接棒、１７はチユーブ、１８は排水口、１９
は隔壁、２０は側壁、２１は底枠、２２は上枠、
２３は溝である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 被乾燥基板１４が載置され、底部から排水を行
う洗浄槽１１と、 該洗浄槽１１内の洗浄液１２の液面の上下に応
じて上下するフロート１５と、 伸縮自在部を有する排水口１８と、 前記フロート１５の降下に応じて前記排水口１
８が移動をさせ、前記液面と前記排水口との間の
距離Ｈが一定となるように前記フロートと前記排
水口１８とを連結する連結部１６を具備すること
を特徴とする乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987089607U JPH0165133U (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987089607U JPH0165133U (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0165133U true JPH0165133U (ja) | 1989-04-26 |
Family
ID=31314151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987089607U Pending JPH0165133U (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0165133U (ja) |
-
1987
- 1987-06-12 JP JP1987089607U patent/JPH0165133U/ja active Pending
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