JPH0151923B2 - - Google Patents

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JPH0151923B2
JPH0151923B2 JP17892582A JP17892582A JPH0151923B2 JP H0151923 B2 JPH0151923 B2 JP H0151923B2 JP 17892582 A JP17892582 A JP 17892582A JP 17892582 A JP17892582 A JP 17892582A JP H0151923 B2 JPH0151923 B2 JP H0151923B2
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JP
Japan
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spindle
reference position
main body
body case
displacement measuring
Prior art date
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JP17892582A
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Japanese (ja)
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JPS5967412A (en
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Seigo Takahashi
Hiroshi Koizumi
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Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
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Publication date
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Publication of JPS5967412A publication Critical patent/JPS5967412A/en
Publication of JPH0151923B2 publication Critical patent/JPH0151923B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、変位測定方法および装置に係り、特
に、当接型直線変位測定機(以下当接型ゲージと
称する)を多数並列配置して立体物の形状を測定
する際に用いるのに好適な、本体ケースに軸方向
移動自在、且つ、先端が突出して取付けられたス
ピンドルの先端を被測定物に当接した時の、前記
スピンドルの基準位置からの相対変位量を検出す
ると共に、緩衝手段を用いて前記スピンドルのス
トロークを規制するようにした変位測定方法およ
び装置の改良に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a displacement measuring method and apparatus, and in particular, a method for measuring the shape of a three-dimensional object by arranging a large number of contact type linear displacement measuring machines (hereinafter referred to as contact type gauges) in parallel. The amount of relative displacement of the spindle from the reference position when the tip of the spindle is attached to the main body case so that it can freely move in the axial direction and has a protruding tip, which is suitable for use in various situations, comes into contact with the object to be measured. The present invention relates to an improvement in a displacement measuring method and device that detects the displacement and also regulates the stroke of the spindle using a damping means.

従来、被測定物の高さ或いは長さ等を測定する
装置として、第1図及び第2図に示したように、
本体ケース12と、該本体ケース12に軸方向移
動自在、且つ、先端14aが突出して取付けら
れ、被測定物に当接して変位されるスピンドル1
4と、該スピンドル14を突出方向(第1図の下
方向)に付勢して測定力を付加するための引張り
ばね16と、前記スピンドル14のストロークを
規制するためのストツパ18と、前記スピンドル
14の変位量を検出して、これを電気信号として
出力する検出器20と、該検出器20出力の電気
信号に基いて前記スピンドル14の基準位置から
の相対変位量を表示するデジタル表示器22とを
有し、前記スピンドル14の先端を被測定物に当
接した時の、前記スピンドル14の基準位置から
の相対変位量を検出し、表示するようにした、い
わゆる電気式の当接型ゲージ10が知られてい
る。
Conventionally, as a device for measuring the height or length of an object to be measured, as shown in FIGS. 1 and 2,
A main body case 12, and a spindle 1 which is attached to the main body case 12 so as to be movable in the axial direction and whose tip 14a protrudes, and which is displaced by contacting the object to be measured.
4, a tension spring 16 for urging the spindle 14 in the projecting direction (downward in FIG. 1) and applying a measuring force, a stopper 18 for regulating the stroke of the spindle 14, and the spindle 14. a detector 20 that detects the amount of displacement of the spindle 14 and outputs it as an electric signal; and a digital display 22 that displays the amount of relative displacement of the spindle 14 from the reference position based on the electric signal output from the detector 20. A so-called electric contact type gauge, which detects and displays the amount of relative displacement of the spindle 14 from a reference position when the tip of the spindle 14 contacts an object to be measured. 10 are known.

この電気式の当接型ゲージ10においては、例
えば前記検出器20として、前記スピンドル14
に取付けられた、スピンドル14と共に移動す
る、光学格子が形成されたメインスケール26
と、基板27を介して前記本体ケース12側の前
記メインスケール26と対向する位置に取付けら
れた、同じく光学格子が形成されたインデツクス
スケール28と、第2図の裏側に配置された光源
(図示省略)から、前記メインスケール26及び
インデツクススケール28を透過してきた光の明
暗を検出するための受光素子30とからなる光電
型エンコーダが採用されており、該光電型エンコ
ーダにより検出される、前記スピンドル14の基
準位置からの相対変位量を、例えばデジタル表示
器22でデジタル表示するようにされている。な
お、通常は、デジタル表示器22が任期の位置で
零表示できるよう、零セツトスイツチ32を含む
零クリア回路が設けられている。
In this electric contact type gauge 10, the spindle 14 is used as the detector 20, for example.
A main scale 26 on which an optical grating is formed, which moves together with the spindle 14 and is attached to the
, an index scale 28 on which an optical grating is also formed, which is mounted at a position facing the main scale 26 on the body case 12 side via a substrate 27, and a light source ( (not shown), a photoelectric encoder consisting of a light receiving element 30 for detecting the brightness of the light transmitted through the main scale 26 and the index scale 28 is employed, and the photoelectric encoder detects: The amount of relative displacement of the spindle 14 from the reference position is digitally displayed, for example, on a digital display 22. Note that, normally, a zero clear circuit including a zero set switch 32 is provided so that the digital display 22 can display zero at the fixed position.

図において、34は、電源スイツチ、36は、
必要に応じて使用される交流電源用アダプタ、3
8は、前記スピンドル14に連結された横方向の
連結部材40のスピンドル14と反対側の端部を
上下方向に摺動案内するための、回り止め用ガイ
ドである。
In the figure, 34 is a power switch, 36 is
AC power adapter used as needed, 3
Reference numeral 8 denotes a detent guide for vertically slidingly guiding the end of the lateral connecting member 40 connected to the spindle 14 on the side opposite to the spindle 14.

前記のような当接型ゲージ10によれば、その
電源を遮断しない限り、零セツトスイツチ32を
押すことにより任意の位置で設定された基準位置
を零として、該基準位置からの相対変位量が土の
符号を含めてデジタル表示されるという特徴を有
する。
According to the above-mentioned contact type gauge 10, unless the power is cut off, the reference position set at an arbitrary position by pressing the zero set switch 32 is set to zero, and the amount of relative displacement from the reference position is set to zero. It has the feature that it is digitally displayed including the code.

一方近年、前記当接型ゲージの各種測定への応
用技術の発展と共に、第3図に示す如く、フレー
ム50に並列状態で固定支持された多数の当接型
ゲージ10を用いて、定盤52上に載置された立
体物54の形状を基準体と比較測定しようとする
試みがなされている。しかしながら、従来の当接
型ゲージをそのまま用いたのでは、検出器やデジ
タル表示器が、電源を遮断した際に零クリアされ
てしまう。従つて、定盤52上に基準体を載置し
て基準位置を設定しても、基準体から被測定物に
置き換える際に当接型ゲージ10の電源が遮断さ
れると、各表示値が零となり、当接型ゲージ10
の基準位置が消滅してしまうため、正確な比較測
定を行うことが困難であつた。
On the other hand, in recent years, with the development of application technology for various types of measurements using the contact type gauges, as shown in FIG. Attempts have been made to compare and measure the shape of the three-dimensional object 54 placed thereon with a reference object. However, if the conventional contact type gauge is used as is, the detector and digital display will be cleared to zero when the power is turned off. Therefore, even if the reference body is placed on the surface plate 52 and the reference position is set, if the power to the contact type gauge 10 is cut off when replacing the reference body with the object to be measured, each displayed value will change. becomes zero, contact type gauge 10
It has been difficult to perform accurate comparative measurements because the reference position of

特に、比較的大きな被測定物を基準体に対して
比較測定する場合には、被測定物の搬入出を容易
とするために、搬入出時に電源を積極的に切るこ
とがある。又、停電、操作ミスや2日間にわたる
測定等で電源を切らざるを得ない場合もある。
Particularly, when comparatively measuring a relatively large object to be measured with respect to a reference body, the power supply may be actively turned off at the time of loading/unloading in order to facilitate the loading/unloading of the measured object. There are also cases where the power must be turned off due to power outages, operational errors, measurements over two days, etc.

なお、当接型ゲージ10には、通常、スピンド
ル14のストロークを規制するためのストツパ1
8が設けられているので、スピンドル14が最大
突出位置にある状態(以下静止状態と称する)を
基準位置として採用することが考えられる。しか
しながら、一般に検出器を光電型エンコーダとし
た場合、或いは他の型とした場合のいずれも、精
度上や被測定物の保護等の必要から、ストローク
エンドに緩衝手段を設ける必要があり、通常、こ
の緩衝手段は、コイルばねやゴム円筒等を利用し
ている。従つて、静止状態におけるスピンドル1
4の最大突出位置の再現性が悪く、例えばリニヤ
ゲージで要求されるμmオーダーの再現性を得る
ことができず、従つて、静止状態を基準位置とす
ることは困難であつた。
Note that the contact type gauge 10 usually includes a stopper 1 for regulating the stroke of the spindle 14.
8, it is conceivable to adopt a state in which the spindle 14 is at its maximum protrusion position (hereinafter referred to as a resting state) as the reference position. However, in general, whether the detector is a photoelectric encoder or another type, it is necessary to provide a buffer at the stroke end for accuracy and protection of the object to be measured. This buffer means utilizes a coil spring, a rubber cylinder, or the like. Therefore, the spindle 1 in the resting state
The reproducibility of the maximum protrusion position of No. 4 is poor, for example, it is not possible to obtain the reproducibility on the μm order required for a linear gauge, and therefore it is difficult to use a stationary state as a reference position.

本発明は、前記従来の欠点を解消するべくなさ
れたもので、積極的に又は消極的に電源が遮断さ
れても基準位置を確実に再現することができ、し
かも、スピンドルの有効ストロークを殆んど制限
することのない変位測定方法および装置を提供す
ることを目的とする。
The present invention has been made in order to eliminate the above-mentioned drawbacks of the conventional art, and is capable of reliably reproducing the reference position even if the power is actively or passively cut off. The object of the present invention is to provide a method and device for measuring displacement without any limitations.

本発明は、本体ケースに軸方向移動自在、且
つ、先端が突出して取付けられたスピンドルの先
端を被測定物に当接した時の、前記スピンドルの
基準位置からの相対変位量を検出すると共に、緩
衝手段を用いて前記スピンドルのストロークを規
制するようにした変位測定方法において、前記緩
衝手段が作動する直前のスピンドル位置を、前記
基準位置とするようにして、前記目的を達成した
ものである。
The present invention detects the amount of relative displacement of the spindle from a reference position when the tip of the spindle, which is attached to a main body case so as to be movable in the axial direction and has a protruding tip, comes into contact with an object to be measured. In the displacement measuring method in which the stroke of the spindle is regulated using a buffer means, the above object is achieved by setting the spindle position immediately before the buffer means operates as the reference position.

本発明は、又、本体ケースと、該本体ケースに
軸方向移動自在、且つ、先端が突出して取付けら
れ、被測定物に当接して変位されるスピンドル
と、該スピンドルを突出方向に付勢して測定力を
付加するための付勢手段と、前記スピンドルの最
大突出位置を規制するための緩衝手段と、前記ス
ピンドルの変位量を検出して、これを電気信号と
して出力する検出器と、該検出器出力の電気信号
に基いて前記スピンドルの基準位置からの相対変
位量を表示する表示器とを有する変位測定装置に
おいて、前記スピンドルが前記緩衝手段に当接す
る直前のスピンドル位置を検出するための基準位
置検出手段を設け、該基準位置検出手段が作動し
た時のスピンドル位置を前記基準位置とするよう
にして、前記目的を達成したものである。
The present invention also provides a main body case, a spindle that is attached to the main body case so as to be movable in the axial direction and whose tip protrudes, and is displaced by contacting the object to be measured, and a spindle that is biased in the projecting direction. a biasing means for applying a measuring force to the spindle; a buffer means for regulating the maximum protrusion position of the spindle; a detector for detecting the amount of displacement of the spindle and outputting it as an electric signal; A displacement measuring device comprising: a display device that displays the amount of relative displacement of the spindle from a reference position based on an electric signal output from a detector; The above object is achieved by providing a reference position detecting means and setting the spindle position when the reference position detecting means is activated as the reference position.

更に、前記基準位置検出手段を、本体ケースに
取付けられた板ばねと、同じく本体ケースに取付
けられた、前記スピンドルが最大突出位置近傍に
ない時は、前記板ばねと当接している電極片と、
前記スピンドルに取付けられた、スピンドルが前
記緩衝手段に当接する直前の位置で、前記板ばね
と電極片の接触を断つための係合片とから構成し
て、基準位置を容易に検出できるようにしたもの
である。
Furthermore, the reference position detection means is connected to a leaf spring attached to the main body case and an electrode piece which is also attached to the main body case and is in contact with the leaf spring when the spindle is not near the maximum protrusion position. ,
An engaging piece is attached to the spindle and is configured to break contact between the leaf spring and the electrode piece at a position immediately before the spindle comes into contact with the buffer means, so that the reference position can be easily detected. This is what I did.

又、前記板ばねの厚さを、支持部と先端部で異
なるものとし、先端部の板厚を支持部の板厚より
大として、スピンドルの動きを余り妨げることな
く、基準位置を高精度で検出できるようにしたも
のである。
In addition, the thickness of the leaf spring is different between the support part and the tip part, and the plate thickness of the tip part is made larger than the plate thickness of the support part, so that the reference position can be set with high precision without hindering the movement of the spindle. It is designed to be detectable.

更に、前記電極片を、スピンドルの軸線方向に
位置調整可能として、基準位置を調整可能とした
ものである。
Further, the position of the electrode piece can be adjusted in the axial direction of the spindle, so that the reference position can be adjusted.

又、前記緩衝手段を、本体ケースに固定され
た、弾性部材からなる片持梁状薄肉片として、簡
単な構成で、スピンドルの有効ストロークを損う
ことなく、高い緩衝性能が得られるようにしたも
のである。
Further, the buffering means is a cantilever-shaped thin piece made of an elastic member fixed to the main body case, so that high buffering performance can be obtained with a simple structure without impairing the effective stroke of the spindle. It is something.

以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳細
に説明する。
Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

本実施例は、第4図乃至第7図に示す如く、本
体ケース12と、該本体ケース12に軸方向移動
自在、且つ、先端14aが突出して取付けられ、
被測定物に当接して変位されるスピンドル14
と、該スピンドル14の略中央部と前記本体ケー
ス12間に張架され、前記スピンドル14を突出
方向に付勢して測定力を付加するための引張りば
ね16と、前記スピンドル14の最大突出位置
(図の下限位置)を規制するための、緩衝手段を
兼ねた下方のクツシヨンストツパ60と、前記ス
ピンドル22の最大引込位置(図の上限位置)を
規制するための、緩衝手段を兼ねた上方のクツシ
ヨンストツパ62と、前記スピンドル14の変位
量を検出し、これを電気信号として出力するため
の、前記スピンドル14に取付けられたメインス
ケール26、前記本体ケース12側に取付けられ
たインデツクススケール28、光源(図示省略)
および受光素子30を含む光電式エンコーダから
なる検出器20と、該検出器20出力の電気信号
に基いて前記スピンドル14の基準位置からの相
対変位量を表示するためのデジタル表示器(図示
省略)とを有する当接型ゲージ10において、前
記スピンドル14が前記下方のクツシヨンストツ
パ60に当接する直前のスピンドル位置を検出す
るための基準位置検出器64を設け、該基準位置
検出器64が作動した時のスピンドル位置を前記
基準位置とするようにしたものである。
As shown in FIGS. 4 to 7, this embodiment includes a main body case 12, and is attached to the main body case 12 so as to be movable in the axial direction and with the tip 14a protruding.
Spindle 14 that is displaced by contacting the object to be measured
, a tension spring 16 that is stretched between approximately the center of the spindle 14 and the main body case 12 and applies a measuring force by urging the spindle 14 in the protruding direction; and a maximum protrusion position of the spindle 14. (lower limit position in the figure) and a lower cushion stopper 60 that also serves as a buffer means to regulate the maximum retracted position (upper limit position in the figure) of the spindle 22. An upper cushion stopper 62, a main scale 26 attached to the spindle 14 for detecting the amount of displacement of the spindle 14 and outputting it as an electric signal, and an index attached to the main body case 12 side. Tux scale 28, light source (not shown)
and a detector 20 consisting of a photoelectric encoder including a light receiving element 30, and a digital display (not shown) for displaying the amount of relative displacement of the spindle 14 from the reference position based on the electrical signal output from the detector 20. The contact type gauge 10 has a reference position detector 64 for detecting the spindle position immediately before the spindle 14 contacts the lower cushion stopper 60, and the reference position detector 64 is activated. The spindle position at that time is set as the reference position.

前記基準位置検出器64は、ねじ66により、
基板68を介して、一端(第4図の左端)が本体
ケース12側に取付けられた板ばね70(第4
図、第6図参照)と、絶縁ブツシユ72及び基板
68を介して同じく本体ケース12側に取付けら
れた、前記スピンドル14が最大突出位置近傍に
ない時(第4図に破線で示す板ばね70が略直線
状の時)は、前記板ばね70の先端部と当接して
いる、一対の円柱状電極片74,76(第4図参
照)と、前記スピンドル14側に取付けられた、
スピンドル14が前記下方のクツシヨンストツパ
60に当接する直前の位置で(第4図及び第7図
に実線で示す板ばね70の右端が下方に押された
時)、前記板ばね70と電極片74,76の接触
を断つための、略逆L字形状の係合片78(第4
図、第7図参照)とから構成されている。
The reference position detector 64 is fixed by a screw 66.
A leaf spring 70 (the fourth leaf spring 70 whose one end (the left end in FIG. 4) is attached to the main body case 12 side is inserted through the board 68
, and FIG. 6), and when the spindle 14, which is also attached to the main body case 12 side via the insulating bushing 72 and the board 68, is not near the maximum protrusion position (the leaf spring 70 shown by the broken line in FIG. is substantially straight), a pair of cylindrical electrode pieces 74 and 76 (see FIG. 4) are in contact with the tip of the leaf spring 70, and a pair of cylindrical electrode pieces 74 and 76 (see FIG. 4) are attached to the spindle 14 side.
At a position immediately before the spindle 14 contacts the lower cushion stopper 60 (when the right end of the leaf spring 70 shown in solid lines in FIGS. 4 and 7 is pushed downward), the leaf spring 70 and the electrode A substantially inverted L-shaped engagement piece 78 (fourth
(see Fig. 7).

前記板ばね70は、その厚さが支持部と先端部
で異なるものとされ、先端部の板厚が支持部の肉
厚より大とされているので、前記係合片78によ
り電極片74,76との接触が断たれる位置の再
現性が非常に良好なものとなつている。
The plate spring 70 has different thicknesses at the support portion and the tip portion, and the plate thickness at the tip portion is larger than the thickness at the support portion, so the engagement piece 78 allows the electrode pieces 74, The reproducibility of the position where contact with 76 is broken is very good.

又、前記電極片74,76は、その位置がスピ
ンドル14の軸線方向に位置調整可能とされ、基
準位置を容易に調整できるようにされている。
Further, the positions of the electrode pieces 74 and 76 can be adjusted in the axial direction of the spindle 14, so that the reference position can be easily adjusted.

前記クツシヨンストツパ60,62は、いずれ
も、本体ケース12に一方の腕部が固定された、
弾性部材、例えばゴムからなる片持梁状薄肉片と
されている。従つて、スピンドル14の有効スト
ロークを殆ど損うことなく、良好な緩衝作用が得
られる。
The cushion stoppers 60 and 62 each have one arm fixed to the main body case 12.
It is made of an elastic member, for example, a cantilever-like thin piece made of rubber. Therefore, a good damping effect can be obtained without substantially impairing the effective stroke of the spindle 14.

図において、80は、各種電気回路が配設され
た回路基板である。
In the figure, 80 is a circuit board on which various electric circuits are arranged.

以下作用を説明する。 The action will be explained below.

本発明に係る当接型ゲージ10を、前出第3図
に示した如く、フレーム50に多数並列固定して
立体物16の形状を測定する場合を考えると、ま
ず、定盤52上に基準体を載置して、その時のス
ピンドル14の変位量をデジタル表示器22から
読取る。この時に際して、定盤52上に基準体を
載置する前に、各当接型ゲージ10の電源をオン
としておけば、各当接型ゲージ10のスピンドル
14は、それぞれその最大突出位置にあるため、
基準位置検出器64が必ず作動することになる。
従つて、基準位置検出器64によつて検出された
絶対基準位置をもとに、基準体の寸法が測定され
る。
As shown in FIG. The body is placed on the body, and the amount of displacement of the spindle 14 at that time is read from the digital display 22. At this time, if the power of each contact type gauge 10 is turned on before placing the reference body on the surface plate 52, the spindle 14 of each contact type gauge 10 is at its maximum protrusion position. For,
The reference position detector 64 will definitely operate.
Therefore, the dimensions of the reference body are measured based on the absolute reference position detected by the reference position detector 64.

ついで、電源を遮断した状態で、定盤52上か
ら当接型ゲージ12をフレーム50ごと取りはず
し、定盤52上に被測定物を載置する。更に、フ
レーム50を定盤52上に戻す前に、各当接型ゲ
ージ10の電源を再びオンとすると、この時にも
各当接型ゲージ10のスピンドル14は、それぞ
れその最大突出位置にあるため、スピンドル14
の引込み動作で必ず基準位置検出器64が動作
し、当接型ゲージ10は絶対基準位置を基に変位
量を測定することになる。従つて、被測定物又は
当接型ゲージの搬送等に際して、当接型ゲージの
電源を遮断したり、或いは、停電、操作ミス等に
より電源が遮断された場合においても、同一の絶
体基準位置をもとに、正確な比較測定を行うこと
が可能となる。
Next, with the power turned off, the contact type gauge 12 is removed together with the frame 50 from the surface plate 52, and the object to be measured is placed on the surface plate 52. Furthermore, if the power to each contact type gauge 10 is turned on again before returning the frame 50 onto the surface plate 52, the spindle 14 of each contact type gauge 10 is at its maximum protrusion position at this time as well. , spindle 14
The reference position detector 64 always operates with the retracting operation, and the contact type gauge 10 measures the amount of displacement based on the absolute reference position. Therefore, even if the power to the contact type gauge is cut off when transporting the object to be measured or the contact type gauge, or even if the power is cut off due to a power outage, operational error, etc., the same absolute reference position will be maintained. Based on this, it becomes possible to perform accurate comparative measurements.

本実施例においては、スピンドルの最大突出位
置近傍に基準位置検出器を設けているので、当接
型ゲージが測定状態にない場合には、必ずその表
示値が絶対基準位置で校正されることになり、基
準位置による校正が、確実に行われる。なお、基
準位置を得る方法はこれに限定されず、例えば、
スピンドルの最大引込位置近傍或いは中央部近傍
に基準位置検出器を設けて、基準位置とすること
も勿論可能である。
In this example, the reference position detector is provided near the maximum protrusion position of the spindle, so when the contact type gauge is not in the measurement state, the displayed value is always calibrated at the absolute reference position. Therefore, calibration using the reference position is reliably performed. Note that the method of obtaining the reference position is not limited to this, for example,
Of course, it is also possible to provide a reference position detector near the maximum retracted position or near the center of the spindle to set it as the reference position.

又、本実施例においては、基準位置検出手段と
して、板ばね、電極片および係合片等から構成さ
れる機械的な基準位置検出器を用いているので、
構成が単純であり、電気回路側の負担も少ない。
なお、基準位置検出手段の構成は、これに限定さ
れず、例えばメインスケールの途中に、絶対基準
位置検出用のランダムパターン状の目盛縞を設
け、該目盛縞を利用して、基準位置を検出するこ
とも可能である。
Furthermore, in this embodiment, a mechanical reference position detector composed of a leaf spring, an electrode piece, an engagement piece, etc. is used as the reference position detection means.
The configuration is simple and the burden on the electric circuit is small.
Note that the configuration of the reference position detection means is not limited to this. For example, a random pattern of scale stripes for detecting the absolute reference position is provided in the middle of the main scale, and the reference position is detected using the scale stripes. It is also possible to do so.

前記実施例においては、本発明が、光電式エン
コーダを有する検出器を含む当接型の直線変位測
定機に適用されていたが、本発明の適用範囲はこ
れに限定されず、光電式エンコーダ以外のエンコ
ーダ、例えば磁気式エンコーダを含むものや、直
線変位測定機以外の変位測定装置にも同様に適用
可能である。更に、デジタル表示の他、プリンタ
等によつて測定結果を表示するようにしたものに
も同様に適用可能である。
In the embodiments described above, the present invention was applied to a contact-type linear displacement measuring machine that includes a detector having a photoelectric encoder, but the scope of the present invention is not limited to this, and is applicable to devices other than photoelectric encoders. The present invention is similarly applicable to encoders including, for example, magnetic encoders, and displacement measuring devices other than linear displacement measuring devices. Furthermore, in addition to digital display, the present invention can be similarly applied to displaying measurement results using a printer or the like.

以上説明したとうり、本発明によれば、電源が
遮断されても基準位置を確実に再現することがで
き、しかも、スピンドルの有効ストロークを殆ん
ど制限することがないという優れた効果を有す
る。
As explained above, according to the present invention, the reference position can be reliably reproduced even if the power is cut off, and the effective stroke of the spindle is hardly limited, which is an excellent effect. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、従来の当接型直線変位測定機を示す
正面図、第2図は、同じく拡大正断面図、第3図
は、当接型直線変位測定機を多数並列配置して立
体物の形状を測定している状態を示す正面図、第
4図は、本発明に係る変位測定装置の実施例を示
す正断面図、第5図は、同じく側断面図、第6図
は、第4図の−線に沿う断面図、第7図は、
同じく第4図の−線に沿う断面図である。 10……当接型直線変位測定機、12……本体
ケース、14……スピンドル、16……引張りば
ね、20……検出器、60……クツシヨンストツ
パ、64……基準位置検出器、70……板ばね、
74,76……電極片、78……係合片。
Figure 1 is a front view showing a conventional contact type linear displacement measuring device, Figure 2 is an enlarged front sectional view, and Figure 3 is a three-dimensional object using a large number of contact type linear displacement measuring devices arranged in parallel. FIG. 4 is a front sectional view showing an embodiment of the displacement measuring device according to the present invention, FIG. 5 is a side sectional view, and FIG. The sectional view taken along the - line in Figure 4 and Figure 7 are as follows:
FIG. 4 is a sectional view taken along the line - in FIG. 4; 10... Contact type linear displacement measuring device, 12... Main body case, 14... Spindle, 16... Tension spring, 20... Detector, 60... Cushion stopper, 64... Reference position detector, 70...plate spring,
74, 76...electrode piece, 78...engaging piece.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 本体ケースに軸方向移動自在、且つ、先端が
突出して取付けられたスピンドルの先端を被測定
物に当接した時の、前記スピンドルの基準位置か
らの相対変位量を検出すると共に、緩衝手段を用
いて前記スピンドルのストロークを規制するよう
にした変位測定方法において、前記緩衝手段が作
動する直前のスピンドル位置を、前記基準位置と
するようにしたことを特徴とする変位測定方法。 2 本体ケースと、該本体ケースに軸方向移動自
在、且つ、先端が突出して取付けられ、被測定物
に当接して変位されるスピンドルと、該スピンド
ルを突出方向に付勢して測定力を付加するための
付勢手段と、前記スピンドルの最大突出位置を規
制するための緩衝手段と、前記スピンドルの変位
量を検出して、これを電気信号として出力する検
出器と、該検出器出力の電気信号に基いて前記ス
ピンドルの基準位置からの相対変位量を表示する
表示器とを有する変位測定装置において、前記ス
ピンドルが前記緩衝手段に当接する直前のスピン
ドル位置を検出するための基準位置検出手段を設
け、該基準位置検出手段が作動した時のスピンド
ル位置を前記基準位置とするようにしたことを特
徴とする変位測定装置。 3 前記基準位置検出手段が、本体ケースに取付
けられた板ばねと、同じく本体ケースに取付けら
れた、前記スピンドルが最大突出位置近傍にない
時は、前記板ばねと当接している電極片と、前記
スピンドルに取付けられた、スピンドルが前記緩
衝手段に当接する直前の位置で、前記板ばねと電
極片の接触を断つための係合片とから構成されて
いる特許請求の範囲第2項に記載の変位測定装
置。 4 前記板ばねの厚さが、支持部と先端部で異な
るものとされ、先端部の板厚が支持部の板厚より
大とされている特許請求の範囲第3項に記載の変
位測定装置。 5 前記電極片が、スピンドルの軸線方向に位置
調整可能とされている特許請求の範囲第3項に記
載の変位測定装置。 6 前記緩衝手段が、本体ケースに固定された、
弾性部材からなる片持梁状薄肉片である特許請求
の範囲第2項に記載の変位測定装置。
[Claims] 1. Detecting the amount of relative displacement of the spindle from a reference position when the tip of a spindle attached to the main body case so as to be movable in the axial direction and with the tip protruding comes into contact with an object to be measured. In addition, in the displacement measuring method in which the stroke of the spindle is regulated using a buffer means, a position of the spindle immediately before the buffer means operates is set as the reference position. Method. 2. A main body case, a spindle which is attached to the main body case so as to be movable in the axial direction and whose tip protrudes and is displaced by coming into contact with the object to be measured, and a measuring force is applied by urging the spindle in the protruding direction. a biasing means for regulating the maximum protrusion position of the spindle; a detector for detecting the amount of displacement of the spindle and outputting it as an electrical signal; A displacement measuring device having a display that displays the amount of relative displacement of the spindle from a reference position based on a signal, further comprising reference position detection means for detecting a spindle position immediately before the spindle contacts the buffer means. A displacement measuring device characterized in that the spindle position when the reference position detecting means is activated is set as the reference position. 3. The reference position detection means includes a leaf spring attached to the main body case, and an electrode piece that is also attached to the main body case and is in contact with the leaf spring when the spindle is not near the maximum protrusion position; Claim 2, further comprising an engaging piece attached to the spindle for breaking contact between the leaf spring and the electrode piece at a position immediately before the spindle contacts the buffer means. displacement measuring device. 4. The displacement measuring device according to claim 3, wherein the thickness of the leaf spring is different between the support portion and the tip portion, and the thickness of the tip portion is greater than the thickness of the support portion. . 5. The displacement measuring device according to claim 3, wherein the position of the electrode piece is adjustable in the axial direction of the spindle. 6. The buffer means is fixed to the main body case,
The displacement measuring device according to claim 2, which is a cantilever-like thin piece made of an elastic member.
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