JPH01500348A - Coincidentally molten complex oxide - Google Patents

Coincidentally molten complex oxide

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JPH01500348A JP62503403A JP50340387A JPH01500348A JP H01500348 A JPH01500348 A JP H01500348A JP 62503403 A JP62503403 A JP 62503403A JP 50340387 A JP50340387 A JP 50340387A JP H01500348 A JPH01500348 A JP H01500348A
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ブランドル,チャールズ ディヴィッド ジュニヤ
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ヴァレンチノ,アレジャンドロ ジューシアン
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アメリカン テレフォン アンド テレグラフ カムパニー
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。 (57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 一致溶融錯酸化物 発明の背景 本発明はガドリニウムスカンジウムガリウムガーネットのような錯酸化物に関す る。[Detailed description of the invention] Coincidentally molten complex oxide Background of the invention The present invention relates to complex oxides such as gadolinium scandium gallium garnet. Ru.

ガーネット物質は多(のさまざまな技術的用途を有する。これらガーネット物質 は、例えば磁気バブルドメイン装置用基板として且つ活性発光型固体レーザ用ホ ストとして使用されている。Garnet materials have many different technological applications.These garnet materials For example, it can be used as a substrate for a magnetic bubble domain device and as a host for an active light-emitting solid-state laser. It is used as a strike.

シー・ディー・ブランドル(C−D −Brandle)等〔ジャーナル・オブ ・クリスタル・グロース(Journal of Crystal Growt h)、20巻、1頁、1973年〕によってチックラルスキー法を用いて最初に 生成されたガドリニウムスカンジウムガリウムガーネット(GSGG)は、Cr ドープ波長可変レーザ〔ビー・エフ・モールトン(P、F、Morlton)レ ーザ・フォーカス(Laser Focus) 、30頁、1983年5月〕り よびNd:Crドープ高出力固体レーザ〔イー・ヴユイ・ツァリコフ(E、V、 Zharikov)等、ソビエト・ジャーナル・オブ・ファンタム・エレクトロ ニクス(SovieiJournal ofQuantum Electron ics)、14巻、1056頁、1984年〕用のホスト材料として用いられて いる。しかしながら、レーザに用いる場合、結晶が均一であることが重要である 。均一な結晶を得るためには一致溶融組成物、即ち生長している結晶がその元に なる溶融液と同じ組成を有する組成物に関する正確な知識が必要である。C-D-Brandle et al. [Journal of ・Journal of Crystal Growt h), Vol. 20, p. 1, 1973] using the Chickralski method. The produced gadolinium scandium gallium garnet (GSGG) is Cr Doped wavelength tunable laser (P,F, Morlton laser) Laser Focus, page 30, May 1983 and Nd:Cr-doped high-power solid-state laser [E, V, Zharikov et al., Soviet Journal of Phantom Electro Nix (Soviei Journal of Quantum Electron ics), vol. 14, p. 1056, 1984]. There is. However, when used in lasers, it is important that the crystal be uniform. . In order to obtain uniform crystals, it is necessary to have a consistent melt composition, i.e. the growing crystal is Accurate knowledge of the composition having the same composition as the melt is required.

ガーネット構造は、配合単位当り3つの十二面体部位、2つの八面体部位および 3つの四面体部位を含む錯酸化物網状構造である。自然な部位の分布は、大きな m:面体部位にガドリニウム〔イオン半径ri−0,1053ナノメートル(1 ,053オングストローム)〕が分布し、中間の大きさの八面体部位にはスカン ジウムCrt−0,0745ナノメートル(0,745オングストローム)〕が 分布しており、小さな四面体部位にはガリウム(rl=0.047ナノメードル (0,47オングストローム)〕が分布している。しかしながら、他のガーネッ ト類から明らかなように、これらのイオンは少数ながら不特定部位に分布するこ ともある。即ちfilガリウムはさまざまな希土類ガリウムガーネット内の十二 面体部位に容易に組み込まれ;(2)ガドリニウムはガドリニウムガリウムガー ネット(GGG)内に四面体状に組み込まれており(シー・ディー・ブランドル 等、ジャーナル・オブ・クリスタル・グロース、26巻、169頁、1974年 );および(3)スカンジウムはガドリニウムスカンジウムアルミニウムガーネ ット内に十二面体状に組み込まれている(上記のシー・ディー・ブランドル等、 1973年)、これらの機構のいくつかまたはすべてが03CGの調和組成物に 影響を及ぼす。上記3つのすべての成分の全分布係数は、均一な組成の結晶を生 長させるために1に等しくなければならない。The garnet structure has three dodecahedral sites, two octahedral sites and It is a complex oxide network structure containing three tetrahedral sites. The distribution of natural parts is large m: Gadolinium [ion radius ri - 0,1053 nanometers (1 , 053 angstroms)] are distributed, and scan Dium Crt - 0,0745 nanometers (0,745 angstroms)] Gallium (rl = 0.047 nanometers) is distributed in small tetrahedral regions. (0.47 angstroms)] is distributed. However, other garnet As is clear from the above, these ions may be distributed in unspecified locations, although in small numbers. There is also. That is, fil gallium is one of the twelve rare earth gallium garnets. (2) Gadolinium is easily incorporated into the facepiece; It is incorporated into the net (GGG) in a tetrahedral shape (C.D. Brundle). et al., Journal of Crystal Growth, vol. 26, p. 169, 1974. ); and (3) scandium is gadolinium scandium aluminum gane It is incorporated in a dodecahedral shape within the kit (C.D. Brundle, etc. mentioned above, etc.). (1973), some or all of these mechanisms may be present in the harmonic composition of 03CG. affect. The total distribution coefficients of all three components above produce crystals of uniform composition. Must be equal to 1 to make it long.

従来の研究では03CGの組成均一性を測定するのに格子定数の測定値を使用し ていた。上記のブランドル等(1973年)は自分の格子定数資料を自分の計夏 値と比較し、これら結晶中には十二面体のガドリニウムが存在しているにちがい ないと結論づけた。ケイ・コウ(L、Chow)等(ジャーナル・オブ・クリス タル・グロース、23巻、58頁、1974年)は焼結(セラミック)資料から の格子定数資料を使用して、一致溶融組成物はGd、、。Previous studies have used measurements of lattice constants to measure the composition uniformity of 03CG. was. Brundle et al. (1973) mentioned above used their own lattice constant data as their calculation method. Comparing the values, there must be dodecahedral gadolinium in these crystals. I concluded that no. Kei Chow (L, Chow) et al. (Journal of Chris Tal Growth, vol. 23, p. 58, 1974) is from sintered (ceramic) materials. Using the lattice constant data of Gd, the matched melt composition is Gd, .

S C+、hGa3.a 01!であると結論した。1つの変数に基づくそのよ うな測定は、三成分系、特に2つ以上のイオンが不特定部位に分布している複雑 な三成分系を解決するのには充分なものではない、従って、本発明者らはコウ等 の一致溶融組成物は不正確なものであり、且つ彼らの方法により生長したGSG G結晶はかなり均一性に欠けていることを明らかにした。S C+, hGa3. a01! It was concluded that Its value based on one variable Such measurements are useful for ternary systems, especially complex systems in which two or more ions are distributed in unspecified locations. is not sufficient for resolving ternary systems, therefore, we have proposed Kou et al. The consistent melt composition of GSG grown by their method is inaccurate and It was revealed that the G crystal lacks considerable uniformity.

発明の概要 本発明の装置は、錯酸化物を含む物質を含み、その組成は調和しており且つ少( とも1つの構成元素に対して少くとも0.1原子パーセントだけ化学理論量と相 違している0本発明の1つの観点によれば、GSGG単結晶の一致溶融組成物は Gas、**章e、*5SCt、*st*。*5Gas、+at*、*sO1*  (11から成っている。Summary of the invention The device of the invention comprises a substance containing complex oxides, the composition of which is harmonious and low ( Both correspond to the stoichiometric amount by at least 0.1 atomic percent for one constituent element. According to one aspect of the invention, the coincident melt composition of the GSGG single crystal is Gas, **Chapter e, *5SCt, *st*. *5Gas, +at*, *sO1* (It consists of 11.

XvA螢光によって測定された好ましい組成物は、Gd□、、S。A preferred composition as measured by XvA fluorescence is Gd□,,S.

SC1,9゜5cas、+□o18から成り、または部位配列で表すと(Gdt 、*5ySce、eai) (Sc+、***Gas、+ss) (Gas、* **)O+t (2)から成り、式中プレースは十二面体部位を表し、ブラケッ トは八面体部位を表し、且つバーシンは四面体部位を表す、十二面体部位のSc の0.043代車位の存在は意外であり、この成分はGSGG単結晶の格子定数 を減少させる場合に重要な役割を演するものである。It consists of SC1,9゜5cas, +□o18, or when expressed as a site sequence (Gdt , *5ySce, eai) (Sc+, ****Gas, +ss) (Gas, * **) Consists of O+t (2), where the place represents the dodecahedral part, and the bracket Sc of a dodecahedral part, where t represents an octahedral part and barcine represents a tetrahedral part. The existence of the 0.043 substituent scale is surprising, and this component is the lattice constant of the GSGG single crystal. It plays an important role in reducing the

固体レーザの活性媒体またはバブルドメイン装置の基板として良好な品質および 高い均一性を有する単結晶を生成することができた。レーザ物質はNd″3およ びCr″3の望ましい濃度で生長し、約1.06μ閣においてNd″3活性体か ら誘導放出させた0本発明組成物を用いて生長させたNd:CrドープGSC; G結晶は、改良された光学的品質およびそれによるより良好なレーザ性能を示す 、さらに、本発明の物質は均一な光学的品質を有するので、大きなスラブレーザ (例えば、10X20X1(J)の製造が実現可能である。Good quality and as active medium of solid-state laser or substrate of bubble domain device Single crystals with high uniformity could be produced. The laser material is Nd″3 and The Nd″3 active form is grown at a desired concentration of Cr″3 and Cr″3, and the Nd:Cr-doped GSCs grown using the composition of the present invention with stimulated release; G-crystals exhibit improved optical quality and hence better laser performance , Furthermore, the material of the present invention has uniform optical quality, making it suitable for large slab lasers. (For example, production of 10×20×1 (J) is possible.

本発明の他の利点は、溶融体(即ち結晶化した液体溶融物の留分)の利用率が従 来技術の30乃至50パーセントから80乃至90パーセントの値へと著しく増 加することである。この収率の増加は単価の引き下げを意味するものである。Another advantage of the present invention is that the utilization of the melt (i.e. the fraction of the crystallized liquid melt) is The value has increased significantly from 30 to 50 percent of the previous technology to 80 to 90 percent. It is to add. This increase in yield means a reduction in unit price.

本発明の他の観点によれば、GSGGの一致溶融組成物はチッ゛クラルスキー生 長法によって生成され、このチックシルスキー生長法は融点より低い高められた 温度(例えば約1173〜1973°K)で03CG成分の圧縮酸化物粉末を予 熱して酸化ガリウムを低蒸気正相と化学結合させ、これによりこのガーネット物 質を溶融するのに必要な比較的高い温度(例えば約2148〜2173°K)に おいて酸化ガリウムの蒸発を減少させる方法である。According to another aspect of the invention, the conformal melt composition of GSGG is Produced by the long method, this Chicksilski growth method has an elevated temperature lower than the melting point. Pre-press the compressed oxide powder of the 03CG component at a temperature (e.g. about 1173-1973°K). The gallium oxide is heated to chemically combine with the low vapor positive phase, thereby forming this garnet material. to the relatively high temperatures (e.g. about 2148-2173°K) required to melt the material. This is a method to reduce evaporation of gallium oxide.

図面の簡単な説明 本発明を添付図面に従って説明する。これら図面において:第1図は本発明の− B様による固体レーザの概略図であり=第2図は本発明の第2態様による偏光回 転子/光アイソレータ、即ち陰Bi線管の面板の断面図である。Brief description of the drawing The present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In these drawings: FIG. Fig. 2 is a schematic diagram of a solid-state laser according to Mr. B; FIG. 2 is a cross-sectional view of the face plate of the trochanter/optical isolator, ie, the negative Bi-ray tube.

詳細な説明 第1図においては、固体活性媒体12から成る例示的な固体レーザlOが示され ており、この固体活性媒体12は一対の分離した凹型反射鏡14および16によ り形成した共振器の軸線に沿って配置されている0通常、反射鏡14はほぼ10 0%反射するが、反射鏡16は部分的に光透過可能でを用な出力発光ビーム18 を透過させる。ボンピングエネルギーが活性媒体12に供給され、この技術分野 において周知のボンピング手段20によって上記活性媒体12内に反転分布を引 起す。多くの場合上記エネルギーは振動数スペクトルの光学部分におけるtm波 19によって供給される。従って、ボンピング手段2oは、活性媒体中に吸収さ れる波長を存すると共に反転分布を引起すのに充分な輝度を有する光学的放射線 を発生するフラッシュランプまたはレーザである。フラ7シェボンブ手段は通常 高電力即ちパルス操作用に用いられ、一方レーザボンピング手段は通常低電力即 ち持続波(CW)操作用に用いられる。パルスモードの場合、活性媒体は通常円 筒状の棒の形をしているが、CWの場合、その形状はスラブ状、即ち菱面体であ り、この菱面体はボンピング放射線を吸収する平行主要面22と、レーザ光を活 性媒体12に導入および活性媒体12がら放出する平行端面24を有している。detailed description In FIG. 1, an exemplary solid-state laser IO is shown comprising a solid-state active medium 12. The solid active medium 12 is guided by a pair of separate concave reflectors 14 and 16. Typically, the reflector 14 is arranged along the axis of the resonator formed by approximately 10 0% reflection, but the reflector 16 is partially transmissive and the output emitted beam 18 is 0% reflective. Transmit. Bumping energy is supplied to the active medium 12 and this technical field A population inversion is induced in the active medium 12 by a well-known bombing means 20. cause. In many cases, the above energy is a TM wave in the optical part of the frequency spectrum. Powered by 19. Therefore, the pumping means 2o is absorbed into the active medium. optical radiation having wavelengths that are present and of sufficient brightness to cause population inversion It is a flash lamp or laser that generates. Hula 7che bomb means is usually Laser bombing means are typically used for high power or pulsed operation, while laser bombing means are usually low power or instantaneous. It is used for continuous wave (CW) operation. For pulsed mode, the active medium is usually circular It has the shape of a cylindrical rod, but in the case of CW, its shape is slab-like, that is, rhombohedral. This rhombohedron has two main parallel surfaces 22 that absorb the pumping radiation and one that activates the laser beam. It has parallel end faces 24 for introducing into and ejecting active medium 12 from.

上記端面24は主要面22に対してブルースターの角度で配向している。媒体1 2内において、レーザ放射線は主要面22における全内部反射によって生じたジ グザク状通路に沿って伝搬する。The end face 24 is oriented at a Brewster angle with respect to the major face 22. medium 1 2, the laser radiation undergoes radiation caused by total internal reflection at the major surface 22. It propagates along a ragged path.

本発明の1つの具体例によれば、活性媒体12は好適な活性剤をドープしたGS GG単結晶ホストから成り、このホストは次の式によって表わされる一致溶融組 成を有する:Gdx、**t*、aiSCt、**t*、書5Ga3.+a:o 、*so+i (31好ましい態様において、ホストは次の式から成る:Gdx 、*st S C+、*** Ga、1.13a Or* (41望ましい活性 剤は多数存在するが、操作上望ましい波長によって左右される0例えば、Cr″ 3が活性剤として使用される場合、レーザは約745〜820nmで放射する。According to one embodiment of the invention, the active medium 12 is GS doped with a suitable activator. It consists of a GG single crystal host, which has a coincident melting composition expressed by the following equation: Has the following configurations: Gdx, **t*, aiSCt, **t*, Ga3. +a:o , *so+i (31 In a preferred embodiment, the host consists of the following formula: Gdx , *st S C+, **** Ga, 1.13a Or* (41 desired activity There are many agents available, but depending on the desired operational wavelength, e.g. Cr'' When 3 is used as the activator, the laser emits at about 745-820 nm.

しかし、Nd″3およびCr”が用いられる場合、レーザはNd”の特性により 1.06μ−で放射する。上記Cr”はボンピング放射線の吸収効果を高めるた めに且つボンピングエネルギーをN d ”上方レーザ水準に移動させるように 作用するものである。However, when Nd″3 and Cr″ are used, the laser It emits at 1.06 μ-. The above Cr” enhances the absorption effect of bombing radiation. and to move the pumping energy Nd” upward to the laser level. It is something that works.

本発明の一致溶融組成物は光学的に均一な単結晶プール(boule)を生長さ せることができるので、全体に渡って光学的に均一な特性を有する比較的大きな (例えば、10X20X1(s)スラブが上記プールから切り出され、且つ高性 能な固体レーザ用活性媒体として使用することができる。The conformal melt composition of the present invention grows an optically uniform single crystal boule. A relatively large material with optically uniform properties throughout. (For example, if a 10X20X1(s) slab is cut from the above pool and It can be used as an active medium for solid-state lasers.

理解されるように、上記配列は、本発明の原理を利用するために変更することの できる多くの可能な具体的態様を単に例示するにすぎない、上記配列に関する多 数の変更例は、本発明の精神および範囲を逸脱することなく当業者がこれらの原 理に従って案出することができる。特に、本発明のGSGGの一敗溶融組成物は 上記ブランドル等(1973年)によって述べられているような磁気ドメイン装 置、またはシー・ビー・クラゲス(C,P、K]ages)およびダブル・トル クスドルフ(W、Tolksdorf)、ジャーナル・オプ・クリスタル・グロ ース、64j8.275〜284頁、1983年によって述べられているような 磁気光学装置の基板として使用することができる。簡単に述べると、磁気ガーネ ットのエピタキシャル層を基板上に生長させ、好適な電極パターンをエピタキシ ャル層上に形成して、磁気バブル装置内における磁気バブルドメインの伝搬を制 御し、または磁気光学装置の磁気ドメイン中における磁化方向を逆転させる。It will be appreciated that the above arrangement is subject to modification to utilize the principles of the present invention. The above arrangement is merely illustrative of the many possible embodiments that can be implemented. Numerous modifications can be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention. It can be devised according to the theory. In particular, the GSGG one-time melt composition of the present invention is A magnetic domain arrangement as described by Brundle et al. (1973) supra. or C,P,K]ages and Double Tor Tolksdorf (W), Journal op Crystal Glo 64j8, pp. 275-284, 1983. It can be used as a substrate for a magneto-optical device. Simply put, magnetic garnet A suitable electrode pattern is grown on the substrate. formed on the magnetic layer to control the propagation of magnetic bubble domains within the magnetic bubble device. control or reverse the direction of magnetization in the magnetic domains of the magneto-optical device.

上述したように、GSGGの一致組成物は化学量論に従う組成物ではないことが わかった。さらに、「グロース・オブ・3インチダイアミター・Qd、Gas  O□・クリスタルズ(Growth of3インチDiameter G d  @ G a SOHCrystals)J 、ジャーナル・オブ・アプライド・ フィジックス(Journal of Applfed Physics)、4 91!、3号、1855〜1858頁、1978年5月においてシー・ディー・ ブランドル・ジュニア(C,D、Brandl Jr、)によって述べられてい るように、ガドリニウムガリウムガーネット(GGG)の一致組成物は非化学量 論的物質であることがわかった。さらに、1985年9月27日にシー・ディー ・ブランドル・ジュニア、ピー・ケイ・ガランガ−(P、X、Gallange r)およびエイチ・エム・寸ブラン・ジュニア(H,M、O’ Bryan J r、)によって出願された米国特許出願第781,408号に述べられているよ うに、ニオブ酸リチウムの一致組成物は化学量論的組成物と異なることもわかっ た。これら3つの(無関係に見える)発見はGSCG、GGGおよびニオブ酸リ チウムはそれぞれある非化学量論的調和組成においてのみ、液体の組成と同じ組 成を固体中に有している。錯酸化物であるという点で関係している。(本開示の ために、it酸化物は酸素アニオンおよび2つ以上の異なるカチオンのみを含む 化合物である。さらに、結晶単位セル内における各元素の原子数の、それにもっ とも近い整数に対する比が、X&i螢光のような慣用技術により測定した時、約 0.1原子パーセントの対応精度範囲内において約0.0O1未満だけ1と相違 するならば、n酸化物は化学量論的組成を有する。)これら3つの発見は少くと もある程度は重要なことである。なぜならばこれらの発見は固体錯酸化物(これ らはその溶融温度において安定である)の溶融組成物は対応する化学量論的組成 物であるという世界的に支持されている従来の考えと矛盾するからである。しか しながら、これらの発見は上記考えに対して奇妙な例外事項として受け止められ たにすぎない、なお上記従来の考えはすべての他の錯酸化物に対しては依然とし て真実であると考えられている0例えば、レーザおよび/または螢光ホスト物質 として使用することが提案されている錯酸化物、即ちアルミン酸ランタンマグネ シウム(LMA)の調和組成物は化学量論的組成物であると依然信じられている 。(例えば、ディー・ビイビイエン(D、Vivien)等、「ア・二ニー・モ ノクリスタライン・レーザ・マチリアJしくA newmonocrystal line 1aser materia+) : I、N AJ 、インターナ シラナル・リビユー・オブ・ハイ・テンプラチ中−・レフラクトリーズ(Ent er national Review of llighTe@peratu r@R@fractories) 、23巻、51〜56頁、1986年を参照 ) 上記考えは全く誤りであり、且つ固体錯酸化物(この物質は必要ならば安定雰囲 気の存在の下でその溶融温度で安定である)の調和組成物はわずかであるが、非 常に重要なことζ重罪化学量論的であることがわかった。多分、この調和組成物 はその溶融温度と3001の間で連続的に単−化学相を示すであろう、従って、 調和組成物をその溶融温度と3001との間で冷却した時、2つの以上の化学相 を示す調和組成物は好ましくない、さらに、0.1原子パーセント未満だけ理論 量と相違する錯酸化物の調和組成物は化学量論組成物から区別することが難しく 、従って本発明に包含させることはできない、さらに、そのような錯酸化物の( 非化学量論的)調和組成は新規な反復方法を用いることにより容易に測定するこ とができることが判った。この方法の第1段階において、所定の錯酸化物(好ま しくは単−化学相を有する)のプールが、従来のチックセルスキー法によって対 応する化学量論的組成を有する溶融体から生長され、化学量論と異なるプールの 組成が従来の化学分析技術、例えば従来のxl螢光技術を用いて0.1原子パー セント内で測定される。!J1和状態に近い本質的に均一な組成物を得るために このプールは比較的小さくなければならない、すなわち、このプ・−ルは液体溶 融物の質量の約10%以下の質量、好ましくは約5%以下の質量を有する。この 方法の第2段階中、第2液状溶融体が生成され、この第2液状溶融体は少くとも 100gの質量を有すると共に以前に生長させた(第1)プールの組成を有して いる0次に溶融体の質量の少くとも80%に等しい質量を有する新しい(第2) プールがこの溶融体から生長される0重要なことであるが、この新規なプールの 屈折率または複数の屈折率(2つ以上の種類、例えば通常の屈折率および異常な 屈折率が存在する場合)はプールの組成の変化に敏怒である。As mentioned above, the matched composition of GSGG is not a stoichiometric composition. Understood. Furthermore, “Growth of 3-inch Diameter Qd, Gas O□・Crystals (Growth of 3 inch Diameter G d @Ga SOHCrystals) J, Journal of Applied Journal of Applied Physics, 4 91! , No. 3, pp. 1855-1858, May 1978. As stated by Brandl Jr. As shown, the matched composition of gadolinium gallium garnet (GGG) is non-stoichiometric. It turned out to be a theoretical substance. Furthermore, on September 27, 1985, C.D. ・Brandle Jr., P.K. Gallange r) and H.M. Bryan J. As set forth in U.S. Patent Application No. 781,408 filed by It was also found that the coincident composition of lithium niobate differs from the stoichiometric composition. Ta. These three (seemingly unrelated) discoveries are based on GSCG, GGG and niobium phosphate. Thirium has the same composition as the liquid only at certain non-stoichiometric harmonic compositions. structure in the solid. They are related in that they are complex oxides. (of this disclosure) Therefore, it oxides contain only oxygen anions and two or more different cations. It is a compound. Furthermore, the number of atoms of each element in the crystal unit cell is When the ratio for similar integers is approximately Differences from 1 by less than approximately 0.0O1 within a correspondence accuracy range of 0.1 atomic percent If so, the n-oxide has a stoichiometric composition. ) These three discoveries are at least It is important to some extent. This is because these discoveries are based on solid complex oxides (this are stable at that melting temperature), the melt composition of the corresponding stoichiometric composition This is because it contradicts the conventional, globally supported idea that it is a physical object. deer However, these findings may be perceived as strange exceptions to the above idea. However, the above conventional thinking still holds true for all other complex oxides. For example, lasers and/or fluorescent host materials Complex oxides proposed to be used as lanthanum aluminates The harmonic composition of Si (LMA) is still believed to be stoichiometric. . (For example, D, Vivien, etc., Nocrystalline Laser Machilia J ShikuA newmonocrystal line 1aser materia+): I, N AJ, Interna Shiranal Revue of High Tempurachi - Refractories (Ent er national Review of lighTe@peratu r@R@fractories), vol. 23, pp. 51-56, 1986. ) The above idea is completely wrong, and solid complex oxides (this substance can be used in a stable atmosphere if necessary) The harmonic composition of (which is stable at its melting temperature in the presence of air) is slightly It has always been found that the important thing ζ is stoichiometry. Maybe this harmonious composition will exhibit a continuous mono-chemical phase between its melting temperature and 3001; therefore, When the harmonic composition is cooled between its melt temperature and 3001, two or more chemical phases Harmonic compositions exhibiting less than 0.1 atomic percent of theoretical Harmonic compositions of complex oxides that differ in quantity are difficult to distinguish from stoichiometric compositions. , and therefore cannot be included in the present invention; furthermore, such complex oxides ( (Non-stoichiometric) harmonic compositions can be easily determined using novel iterative methods. It turns out that it is possible to do this. In the first step of the method, a given complex oxide (preferably or a single chemical phase) is addressed by the traditional Chickelsky method. grown from a melt with a corresponding stoichiometry; The composition is determined to be 0.1 atomic percent using conventional chemical analysis techniques, such as conventional XL fluorescence technology. Measured in cents. ! To obtain an essentially homogeneous composition close to the J1 sum state This pool must be relatively small, i.e. it must contain liquid solution. It has a mass of no more than about 10%, preferably no more than about 5% of the mass of the melt. this During the second step of the method, a second liquid melt is produced, the second liquid melt comprising at least having a mass of 100 g and the composition of the previously grown (first) pool. a new (second) having a mass equal to at least 80% of the mass of the zero-order melt; A pool is grown from this melt. Importantly, this new pool refractive index or multiple refractive indexes (two or more types, e.g. normal and extraordinary) refractive index (if present) is sensitive to changes in pool composition.

この結果、単数または複数の屈折率は、例えば「テスティング・リチウム・ニオ ベート・ブールズ・フォー・インチグレーティ・ノド・オブテイクス・アブリケ イシツン(Testing Ljthium N1obateRoutes F or Integrated 0ptics Applications)J  、エレクトロニクス・レターズ(Electronics Letters)、 22巻、12号、674〜675頁、1986年6月5日においてジー・イー・ ビーダーリン(G、[!、Peterson)およびニス・アール・ルント(S 、R,、Lunt)によって述べられているプリズム連結技術を用いてプールの 外面の長さに沿って測定される。プールの外面の長さに沿う新規な(第2)プー ルの各屈折率の変化が(プールの上部から低部に渡って)約±0.01%以下、 好ましくは約±0.001%以下であるならば、本発明の目的のためにプール全 体が実質的に均一な組成となり、且つプールおよび溶融体の両方の組成は一致組 成となる。上部屈折率基準が満足されない場合、新規なプール(新規なプールの 最初に抜き取った10%)のすぐ上方10%(重量)、好ましくはプールのすぐ 上方5%の組成の測定値に従って、上記方法の第2段階を繰り返す。即ち、この 組成を有すると共に少くとも100gの質量を有する溶融体を生成する0次に、 このように新たに生成された溶融体の質量の少くとも80%の質量を有するプー ルを生長させ、プールの外面の長さに沿う屈折率を測定して、上記屈折率基準に 満足するかどうかを確認する。(上記方法の第2段階は2回以上繰り返さなけれ ばならない、しかしながら、連続溶融体およびプールの組成は調和組成物に向っ てゆり、)上記の望ましい方法は、(好ましくは単−化学相の>ti酸化物の調 和組成物を見出すのに有用のみならず、本発明の目的に対して、所定の組成がこ の錯酸化物の調和組成であるかどうかを測定するために用いられる。即ち、所定 の組成を有すると共に少くとも100gに等しい質量を有する液状溶融体を生成 する0次に溶融体の質量の少くとも80%に等しい質量を有するプールを溶融体 から生長させる。このプールの外面の長さに沿う屈折率変化が上記屈折率基準を 満足するならば、得られた組成は一致組成である。(シかしながら、一致組成が 各構成元素に対して0.1原子パーセント未満だけ理論量と相違するならば、対 応する錯酸化物は本発明に含まれない、) 上記説明によれば、例えばLMAは次の非化学量論的調和組成Las、wst、 *+ MgA 1++、ost、sa 019 +51好ましい組成は L a 1986 M g A 12 ++、oseO+9 +61を有する単 −化学相を示すことがわかった。As a result, the refractive index or refractive indexes can be determined, e.g. Bete Boules For Inchgraty Nod Obtakes Ablique Testing Ljthium N1obateRoutes F or Integrated 0ptics Applications)J , Electronics Letters, 22, No. 12, pp. 674-675, June 5, 1986, G.E. Biederlin (G, [!, Peterson) and Niss R. Lund (S , R., Lunt) using the prism connection technique described by Measured along the length of the outer surface. A new (second) pool along the length of the outside surface of the pool. The change in each refractive index of the pool (from the top to the bottom of the pool) is approximately ±0.01% or less, Preferably, if it is about ±0.001% or less, the body is of substantially uniform composition, and the compositions of both the pool and the melt are in a matching set. Becomes. If the upper refractive index criterion is not satisfied, a new pool (new pool 10% (by weight) immediately above the first 10% extracted (by weight), preferably immediately above the pool. Repeat the second step of the above method according to the upper 5% composition measurements. That is, this 0th order producing a melt having the composition and having a mass of at least 100 g, A pool having a mass of at least 80% of the mass of the newly formed melt is Measure the refractive index along the length of the outside surface of the pool to meet the above refractive index criteria. Check to see if you are satisfied. (The second step of the above method must be repeated two or more times. However, the composition of the continuous melt and pool tends toward a harmonic composition. The preferred method described above involves the preparation of >ti oxides (preferably in a single chemical phase). Not only is it useful for finding Japanese compositions, but also for the purpose of the present invention, a given composition is It is used to measure the harmonic composition of complex oxides. That is, a predetermined producing a liquid melt having a composition of and a mass equal to at least 100 g A pool of zero order having a mass equal to at least 80% of the mass of the melt grow from The refractive index change along the length of the outer surface of this pool meets the above refractive index criterion. If satisfied, the resulting composition is a matched composition. (However, the coincident composition If the amount differs from the theoretical amount by less than 0.1 atomic percent for each constituent element, corresponding complex oxides are not included in the present invention) According to the above explanation, for example, LMA has the following non-stoichiometric harmonic composition Las, wst, *+ MgA 1++, ost, sa 019 +51 The preferred composition is L a 1986 M g A 12 ++, oseO+9 +61 unit -It was found to exhibit a chemical phase.

すべての錯酸化物の調和組成は非化学量論的であるという発見は大きな工業的意 味を持つ0例えば、液状溶融体からn酸化物のプールを生長させる現在の工業的 技術では、依然として対応する化学量論的組成を有する溶融体を使用している。The discovery that the harmonic composition of all complex oxides is non-stoichiometric has great industrial significance. For example, current industrial methods of growing pools of n-oxides from liquid melts The technology still uses melts with corresponding stoichiometric compositions.

この根本的な問題は以前には認められなかったが、プールの製造業者は、ある程 度均一な組成を有するプールを得るためには(i′8融体の質量に対する)プー ルの質量を制限することが必要であることをずっと以前から知っていた。即ち、 プールの製造業者は通常液状溶融体の質量の約30〜50%を固体プールに変換 して、溶融体の残りの50〜70%を廃棄していた。しかしながら、(上記に定 義したような)調和組成を有する溶融体を採用することにより、液状溶融体の質 量の30〜50%以上、通常90%さえも、(上記に定義したような)本質的に 均一な組成を有する固体プールに容易に変換されることがわがうた。Although this fundamental problem was previously unrecognized, pool manufacturers are In order to obtain a pool with a uniform composition, the pool (relative to the mass of the i'8 melt) is We have known for a long time that it is necessary to limit the mass of That is, Pool manufacturers typically convert approximately 30-50% of the mass of the liquid melt into a solid pool. The remaining 50-70% of the melt was then discarded. However, (as defined above) The quality of the liquid melt can be improved by adopting a melt having a harmonic composition (such as More than 30-50%, usually even 90%, of the amount (as defined above) is essentially We found that it is easily converted into a solid pool with a uniform composition.

(錯酸化物が非化学量論的調和組成を有するという)上記の発見は、またさまざ まな装置に対して大きな意義を有している。即ち、化学量論溶融体より生長した プールから誘導された錯酸化物材料を用いた装置の多くの欠陥は、溶融体の組成 が非調和性であるという事実のためであることがわがうた0例えば、上記におい て述べたように、単一結晶LMAはレーザホストとして提案されている。特にL MA単一結晶は(レーザとして使用することのできる)ネオジムイオンのホスト として有用であることが提案されている。なぜならばネオジムはイットリウムア ルミニウムガーネット(YMC;)のような他のホストの場合よりもLMAにお いてずっと高い分配係数を有するからである。この結果、ネオジムドープYAG −ザは例えばネオジムドープYAGレーザよりずっと高い出力密度を得る可能性 がある。しかしながら、化学量論的組成(即ち、以前調和組成であると信じられ ていたLaMgA&、。The above discovery (that complex oxides have a non-stoichiometric harmonic composition) also It has great significance for modern equipment. That is, it grows from a stoichiometric melt. Many deficiencies in devices using complex oxide materials derived from pools are due to the composition of the melt. For example, in the above case, this is due to the fact that is anharmonic. As mentioned above, single crystal LMA has been proposed as a laser host. Especially L MA single crystal hosts neodymium ions (which can be used as a laser) It has been proposed that it is useful as a Because neodymium is yttrium on LMA than on other hosts such as Luminium Garnet (YMC;). This is because it has a much higher distribution coefficient. As a result, neodymium-doped YAG - The possibility of obtaining much higher power densities than, for example, neodymium-doped YAG lasers There is. However, stoichiometric compositions (i.e., previously believed to be harmonic compositions) LaMgA &...

01e)を有する溶融体からLMAブールを生長させると、レーザの用途として 好ましくないプールが生じる。なぜならばこれらプールは従来の処理の際に気泡 (気孔)および亀裂を生じるからである0重要なこととして、これら気泡および 亀裂は組成の問題というより生長に原因があると常に考えられていた。Growing an LMA boule from a melt with 01e) can be useful for laser applications. An undesirable pool results. This is because these pools are exposed to air bubbles during traditional treatment. (pores) and cracks.0 Importantly, these bubbles and Cracks have always been thought to be caused by growth rather than compositional problems.

上記化学式(5)および(6)の調和組成を有する溶融体から生長したLMAブ ールは本質的に気泡を含まず、且つ処理工程中に本質的に亀裂を生じないことが わかった。この結果、本発明によれば、比較的高い出力密度の固体レーザ10( 第1図参照)が、反射鏡14および16並びにポンピングエネルギー源20を活 性媒体12と組合せることにより容易に得られる。なお上記活性媒体12はネオ ジムでドープしたLMAホストを含んでおり、上記の場合のホスト組成 (ドー パントの不在の)は化学式(5)によって示される。LMA blocks grown from melts having harmonic compositions of chemical formulas (5) and (6) above. The roll is essentially bubble-free and essentially crack-free during the processing process. Understood. As a result, according to the present invention, the solid-state laser 10 ( 1) activates reflectors 14 and 16 and pumping energy source 20. It can be easily obtained by combining with the sexual medium 12. Note that the active medium 12 is neo contains an LMA host doped with Jim, and the host composition in the above case (doped (in the absence of punt) is shown by chemical formula (5).

また上記の発見は、単結晶錯酸化物、例えばガーネット基板28を被覆している 比較的薄いフィルム26 (第2v!Jを参照)を含む多数の装置にとって重要 なことである。これらの装置の中にはさまざまな周知の偏光回転体および光アイ ソレータがあり、この回転体およびアイソレータはガーネット基板28上にエピ タキシャル生長した鉄含有フィルム26 (使用の際、磁化される)、例えば置 換したガドリニウムガリウムガーネットの基板上に生長した希土類−ビスマス鉄 ガーネットのフィルムを含んでいる(これに関しては、例えば上記シー・ビー・ クラゲス等を参照)、さらに、多くの陰極線管は、ガーネット基板28上にエピ タキシャル生長した比較的薄い螢光物質ドープフィルム26、例えばYAG基板 上にエピタキシャル生長したセリウムドープYAGフィルムを含む面板を有して いる (そのような陰極線管については、例えばジェイ・エム・ロバートソン( J、M、Robertson)およびエム・ダブル・ヴアントール(MJ、 v anTol) 、シン・ソルド・フィルムス(Thin 5olid Film s)、1141221頁、1984年を参照)。The above discovery also shows that single-crystal complex oxides, such as garnet substrates 28, are coated with Important for many devices involving relatively thin films 26 (see section 2v!J) That's true. Some of these devices include a variety of well-known polarization rotators and optical The rotating body and isolator are epitaxially mounted on the garnet substrate 28. A taxially grown iron-containing film 26 (which is magnetized during use), e.g. Rare earth-bismuth iron grown on a converted gadolinium gallium garnet substrate Contains a garnet film (see, for example, the above-mentioned C.B. Furthermore, many cathode ray tubes are epitaxially mounted on a garnet substrate 28. A taxially grown relatively thin phosphor-doped film 26, e.g. on a YAG substrate. having a faceplate containing a cerium-doped YAG film epitaxially grown on it. (For such cathode ray tubes, see, for example, J.M. Robertson ( J., M. Robertson) and M. Double Vantor (M.J., v. anTol), Thin 5olid Film s), p. 1141221, 1984).

これらのすべての装置の場合、ガーネット基板は以前誤った考えに従って化学量 論的溶融体から生長したプールより誘導されていた。For all these devices, the garnet substrate has a stoichiometric It was derived from a pool grown from a theoretical melt.

上記の誤った考えとは、上記化学量論的溶融体がほぼ均一な組成の基板を生成し 、この組成が基板とフィルムとの間の格子不整合を排除すると共にフィルム内の 歪みを排除するという考え方である。しかしながら、これらすべての薄いフィル ム装置は欠陥だらいられる薄いフィルムは望ましくない複屈折を示すことがしば しばあり、この結果例えば比較的小さな吸光率を示す光アイソレータを生ずる。The above fallacy is that the stoichiometric melt produces a substrate of nearly uniform composition. , this composition eliminates the lattice mismatch between the substrate and the film and The idea is to eliminate distortion. However, all these thin films Thin films riddled with defects often exhibit undesirable birefringence. This often results in, for example, optical isolators exhibiting relatively small extinction coefficients.

一方、陰極線管の面仮に用いられる薄いフィルムは望ましくない多数の散乱部位 を示すことがしばしばあり、これら散乱部位は陰極線管のコントラストを制限す るものである。On the other hand, the thin film used as a surface for cathode ray tubes has a large number of undesirable scattering sites. These scattering sites often limit the contrast of cathode ray tubes. It is something that

゛上記に述べた薄いフィルム装置に伴う欠陥は、ガーネット基板が化学量論的溶 融体から生長したプールより誘導されるという事実に殆ど原因がある。即ち、各 溶融体の化学等量的組成は調和組成でないので、この溶融体から生長したプール 、従ってそれから誘導されたガーネット基板は本質的に均一な組成を有していな い。``The defects associated with the thin film device described above are due to the fact that the garnet substrate has a stoichiometric This is mostly due to the fact that it is derived from a pool grown from the melt. That is, each Since the stoichiometric composition of the melt is not harmonic, the pool that grows from this melt , therefore the garnet substrate derived from it does not have an essentially uniform composition. stomach.

従って、フィルムの格子定数は基板のそれらと異なっていることがしばしばあり 、このことはフィルム内に歪みを引起し、さらに多(の欠陥を誘発する。従って 、本発明によれば、上記構成の改良型の薄いフィルム装置は、(非化学量論的) 一致溶融体から生長したプールより誘導したガーネソi・基板上にフィルムを形 成することにより得ることができる。Therefore, the lattice constants of the film are often different from those of the substrate. , this causes distortion in the film and further induces defects in the film. , according to the present invention, an improved thin film device of the above configuration has a (non-stoichiometric) Forming a film on a garnet substrate derived from a pool grown from a coincident melt. It can be obtained by

さらに他の装置も欠陥を示すことがわかった。なぜならばこれらの装置もまた化 学量論的溶融体から誘導した錯酸化物成分を含んでいるからである0例えば、周 波数倍増器は入射光の周波数を2倍にするための装置である。このような装置は 通常非中心対称の錯酸化物材料、例えばニオブ酸ストロンチウムバリウムのよう なタングステン青銅を含んでいる(例えば、ジェイ・シー・バーフット(J、C ,Burfoot)およびジー・ダブル・テーラ−(G、W、Taylor)、 ポーラ−・グイエレクトリクス・アンド・ゼア・アプリケイションズ(Pola r Dielectrics and Their Applicatiori s>、カリフォルニア大学、373〜377頁、1979年参照)、錯酸化物全 体に渡って周波数を均一に2倍にするためには、単一または複数の屈折率(2種 類以上使用する場合)は一定でなければならない、屈折率は組成に敏感なので、 以前錯酸化物材料は、均一な組成の錯酸化物を生しるという考えに従って化学量 論的溶融体から誘導されていた。しかしながら1.上記において述べたように、 この考えは間違いであり、不均一な屈折率を示す装置を生成することがわかった 。従って、本発明によれば、改良した周波数倍増器は非化学量論的調和組成溶融 体から誘導した非中心対称の錯酸化物材料を用いることにより得ることができる 。Additionally, other devices were also found to exhibit defects. Because these devices are also This is because it contains a complex oxide component derived from a stoichiometric melt. A wave number multiplier is a device for doubling the frequency of incident light. Such a device Typically non-centrosymmetric complex oxide materials, such as strontium barium niobate tungsten bronze (e.g., J.C. Barfoot (J.C.)). , Burfoot) and G. W. Taylor, Pola Guie Electrics and There Applications (Pola r Dielectrics and Their Applicatiori s>, University of California, pp. 373-377, 1979), complex oxides To double the frequency uniformly over the body, single or multiple refractive indexes (two types) are required. (when using a grade or higher) must be constant, as the refractive index is sensitive to the composition. Previously, complex oxide materials were developed based on the idea that complex oxides with a uniform composition could be formed by stoichiometry. It was derived from a theoretical melt. However, 1. As mentioned above, This idea turns out to be wrong and produces devices that exhibit non-uniform refractive indices. . Therefore, in accordance with the present invention, the improved frequency multiplier has a non-stoichiometric harmonic composition can be obtained by using non-centrosymmetric complex oxide materials derived from .

裏施五−上 この実施例は変更したチックセルスキー技術によって所定の組成のGSGG単結 晶の再生長用条件について述べる。X線螢光(XRF)を用いてこれら結晶の組 成均一性を調べ、データを用いて一致溶融組成を決定した1種々の材料、パラメ ータ、装置等は単に例示のために用いられたものであって、特に記載がなければ これら要素は本発明の範囲を限定するものではない。Back side 5-1 In this example, a GSGG single cell of a predetermined composition was prepared using a modified Chick-Selsky technique. The conditions for crystal regrowth will be described below. Using X-ray fluorescence (XRF) to identify these crystal groups The uniformity of the formation was investigated and the data was used to determine the consistent melt composition of various materials and parameters. Data, devices, etc. are used for illustrative purposes only and unless otherwise noted. These factors are not intended to limit the scope of the invention.

最初に、Gds、* SCt、s Gaz、* Ottの化学量論的焼結(1! pち、セラミンク非単結晶)を調製し、化学量論的GSGGの格子定数を測定し た。上記格子定数はXRF基準として使用するものである。First, stoichiometric sintering of Gds, * SCt, s Gaz, * Ott (1! Ceramic non-single crystal) was prepared and the lattice constant of stoichiometric GSGG was measured. Ta. The above lattice constants are used as XRF standards.

次に、周知のチックセルスキー技術によって高周波加熱イリジウムるつぼから単 結晶を生長させた。この装填材料は、混合し、均一に圧縮し且つ予備乾燥したG dz Os 1.SCz OsおよびGa、O,の35θgを含んでいた。この 結晶をドープする場合は、所望のドーパント(例えばCrえOs 、N dz  Ox >の予備乾燥した酸化物を装填材料に混合する0本発明の1つの観点によ れば、下記に述べる理由により基本的なチックセルスキー技術を変更して、圧縮 した粉末を約1373°にで一晩予備燃焼した。Next, the single material is removed from a high-frequency heated iridium crucible by the well-known Chick-Selsky technique. grew crystals. This charge material is mixed, uniformly compressed and pre-dried G dz Os 1. It contained 35θg of SCzOs and Ga, O,. this When doping the crystal, the desired dopant (e.g. CreOs, Ndz According to one aspect of the present invention, a pre-dried oxide of Ox> is mixed into the charging material. If so, the basic tickselski technique can be modified to compress The powder was pre-combusted overnight at approximately 1373°.

望ましい範囲は約1173〜1973°にで約4〜24時間である。装填材料は 2148°にの温度で溶融し、生長開始前に、少々とも1時間この状態に保持し た。望ましい範囲は約2148〜2173 ”Kで約1〜3時間である。全ての 結晶を0300種結晶から<111>方向に沿って生長させた。3.8++n/ 時の線成長速度および40rpmの回転速度で、直径約23鶴の単結晶プールを 生成した。しかしながら上記成長速度および回転速度は臨界的なものではない。The preferred range is about 1173° to 1973° for about 4 to 24 hours. The loading material is Melt at a temperature of 2148° and hold in this state for at least 1 hour before starting growth. Ta. The preferred range is about 2148-2173"K for about 1-3 hours. Crystals were grown along the <111> direction from 0300 seeds. 3.8++n/ A single crystal pool with a diameter of approximately 23 mm was grown at a linear growth rate of generated. However, the growth rate and rotation rate are not critical.

試料の組成を確実にするためには、試料の重量損失の可能な原因を減少させるこ とが重要である。これらの原因としては:flllll収した水分および気体、 酸化物を高い温度で予備乾燥しない場合、この吸収は組成上の欠陥の主な原因と なる。特に、5exesは一晩の焼付は後にその重量の4%を失った。約137 3°にの温度で乾燥することで吸収した気体の全てを除去するように思われた; (21Gaz03の蒸発、03GOの生長はGGGのそれよりも高い温度で行わ れるので、酸化ガリウムの蒸発はGS(1;Gにおいてより重大な問題となる。To ensure sample composition, reduce possible causes of sample weight loss. is important. These causes include: fllllll collected moisture and gases; This absorption is the main cause of compositional defects if the oxide is not pre-dried at high temperatures. Become. In particular, 5exes lost 4% of their weight after overnight baking. Approximately 137 Drying at a temperature of 3° seemed to remove all of the absorbed gas; (The evaporation of 21Gaz03 and the growth of 03GO are performed at a higher temperature than that of GGG. evaporation of gallium oxide becomes a more serious problem in GS(1;G).

GGGを生長させるために98パーセントの窒素と2パーセントの酸素から成る 雰囲気は充分に酸化性であり、QazOsの蒸発を抑制する。この雰囲気はGS GGの生長についての以前の研究に従って使用した。しかしながら、97容量パ ーセントの窒素と3容量パーセントの雰囲気はGSGci融体からGatesの 蒸発を検出の限界以下に抑制するのにより効果的であることがわかった。不運な ことに、この比較的高い酸素濃度のために、いくらかの酸化およびイリジウムの るつぼからの蒸発が生じる。しかしながら、この工程の速度は検量化することが でき、従って明示することができる。また、酸化ガリウムは溶融前に圧縮粉末試 料から蒸発可能である。そのような蒸発を減少させるために、上述したように、 圧縮粉末を1373°にで一晩予備燃焼し、Ga、O,を低蒸圧相、例えばG  d G a OsG da G at Os 、G d4 G az 0ttx  G tlSG as OttおよびGa−3e酸化物に化学結合させた;(3 )試料のフレーキング、試料の重量損失の頑固で不規則な原因は、溶融中におけ る背の高い圧縮粉末充填材料のフレーキングから生じると思われる。試料がるつ ぼより冑が高い場合(フレーキングは通常密度の低い圧縮粉末の場合に起こる) 、これらフレークはるつぼの外側に落下する。Consists of 98% nitrogen and 2% oxygen to grow GGG The atmosphere is sufficiently oxidizing to suppress evaporation of QazOs. This atmosphere is GS It was used according to previous studies on the growth of GG. However, 97 capacitance - cent nitrogen and a 3 volume percent atmosphere were extracted from the GSGci melt by Gates It was found to be more effective in suppressing evaporation below the limit of detection. Unfortunate In particular, due to this relatively high oxygen concentration, some oxidation and iridium Evaporation from the crucible occurs. However, the speed of this process cannot be calibrated. and therefore can be made explicit. In addition, gallium oxide is tested as a compressed powder before melting. It can be evaporated from water. To reduce such evaporation, as mentioned above, The compressed powder is pre-combusted overnight at 1373° to convert Ga, O, into a low vapor pressure phase, e.g. d G a OsG da G at Os, G d4 G az 0ttx G tlSG as Ott and chemically bonded to Ga-3e oxide; (3 ) Sample flaking, a stubborn and irregular cause of sample weight loss, occurs during melting. This appears to result from flaking of tall compacted powder-filled materials. sample melt When flaking is high (flaking usually occurs with compacted powders of low density) , these flakes fall outside the crucible.

従って、溶融は2段階で行ないく試料の半分を溶融し、次に残りを加えた)、こ れにより試料がるつぼの上部より突出しないようにした。Therefore, the melting was done in two stages, melting half of the sample and then adding the rest). This prevented the sample from protruding beyond the top of the crucible.

これらの段階を通して、ガーネットの重量損失の無い公知の組成を有する再生可 能な試料を調製した。1でない分布係数の効果を増加させるために、各溶融物の できるかぎり多量の留分を結晶に生長させた(通常約90%)、各プールの上部 および底部からスライスを切り出し、みがきあげた、各スライスの組成GaヨS c、Gas OrtはXRFおよび周知の計算方法を用いて決定した。XRFデ ータおよびX、yおよび2の計算値を用いて、プールからの上方および下方スラ イスの組成が同じになるまでGSGG溶融組成を(り返し変化させ、従ってこの ことはすべての分布係数が測定精度の範囲内で1になることを意味した。Through these steps, a renewable garnet of known composition with no weight loss is produced. A functional sample was prepared. In order to increase the effect of non-unity distribution coefficients, each melt As much of the fraction as possible has grown into crystals (usually about 90%) at the top of each pool. And slices were cut out from the bottom and polished, composition of each slice GayoS c, Gas Ort was determined using XRF and well-known calculation methods. XRF de Using the data and the calculated values of X, y and 2, The GSGG melt composition (repeatedly changes until the composition of the This meant that all distribution coefficients were 1 within the measurement accuracy.

化学量論的一致組成を有する溶融体から生長したプールを長さ方向にスライスし 、みがきあげ、且つ偏光歪計で検査した。複屈折写真は生長縦じわに伴う歪みお よび化学量論的プールにおける生長界面の切子面を明確に示していた。また、化 学量論的溶融体から生長した結晶の底部には、生長界面の破壊から生ずる高度な 転位および包接部分がみられた。これに対して、複屈折写真は本発明の一致溶融 組成物から生長したプールにおいて歪みがはるかに少ないことを示した。いくら かの歪みは、界面が平面になっている結晶の上部付近において、且つまた結晶の 底面付近に存在し、この歪みは生長面上における切子面の形成から生じたもので ある。A pool grown from a melt with a stoichiometrically matched composition is sliced lengthwise. , polished, and inspected with a polarization strain meter. Birefringent photographs show distortions caused by vertical wrinkles in growth. and the facets of the growth interface in stoichiometric pools were clearly shown. Also, At the bottom of a crystal grown from a stoichiometric melt, there is a highly Dislocations and inclusion parts were observed. In contrast, the birefringence photograph shows the coincident melting of the present invention. The composition showed much less distortion in the pool grown. how much This distortion occurs near the top of the crystal where the interface is flat, and also near the top of the crystal where the interface is flat. This distortion is caused by the formation of facets on the growth surface. be.

生長線じわは依然として存在するけれども、その程度はかなり低く、また結晶の 端部付近のみ明らかに見られるにすぎない、液状溶融体の90%を越える部分が 結晶化されているという事実にもかかわらず、化学量論的結晶の場合に見られる ような界面破壊は観察されなかった。Although the growth lines still exist, their severity is much lower and the crystalline wrinkles are still present. More than 90% of the liquid melt is clearly visible only near the edges. found in the case of stoichiometric crystals, despite the fact that they are crystallized No such interfacial failure was observed.

通常、本発明の技術は溶融体の80〜90パーセントを結晶化することができる が、従来の方法ではわずか約30〜50パーセントしか結晶化することができな い、もちろんこの事は所定の溶融体からの収率を増加させ、従って単価を引下げ ることができる。Typically, the technology of the present invention can crystallize 80-90 percent of the melt. However, conventional methods can only crystallize about 30-50%. Of course, this increases the yield from a given melt and thus lowers the unit cost. can be done.

好ましい調和組成物は化学式(4)または部位配列に基づ(化学式(2)で表わ されることがわかったが、緊密に関係する組成物もまた化学式(1)および(3 )の範囲内に該当するならば本質的に一致している組成物である。十二面体のS c(化学式(2)〕の0.043配合単位の存在は思いがけないことであった。Preferred harmonic compositions are based on chemical formula (4) or moiety sequence (represented by chemical formula (2)). Although closely related compositions were also found to have chemical formulas (1) and (3) ) are essentially identical compositions. Dodecahedron S The presence of 0.043 blending units of c (chemical formula (2)) was unexpected.

十二面体のScは上記ブランドル等(1973年)によってガドリニウムスカン ジウムアルミニウムガーネット中に見出されたが、GSGG内にはこれまで観察 されなかった。これに対していくらかのガドリニウムは、上記ブランドル等(1 973年)に述べられているように配合単位当りGd含有量x > 3.QのG GGにおいて十二面体状に組込まれているであろうとブランドル等(1973年 )によって予言されていた。The dodecahedral Sc is derived from gadolinium scan by Brundle et al. (1973). was found in aluminum garnet, but so far observed in GSGG. It wasn't done. On the other hand, some gadolinium is 973), Gd content per compounding unit x > 3. G of Q Brundle et al. (1973 ) was predicted by

化学量論的焼結試料の格子定数は、エックスセン・ディフラクシッン・プロセジ ャ−・フォア・ポリクリスタライン・アンド・ァモーファス・マテリアルズ(X −ray Diffraction Procedures forPolyc rystalline and Amorphous Materials)− 第2版、シランeウィレイ・アンド・サンズ(John賀11ey & 5on s) 、ニューヨーク、306頁、1974年においてエイチ・ビー・クールグ (B、P、I[1ug)およびエル・イー・アレキサンダー(L、E、Alex ander)によって述べられている方法を用いて測定した。12.583±O ,OO1オングストロームの測定値は上記チョウ等によって測定された値12. .58オングストロームおよびストロ力(Strocka)等、フイリブス・ジ ャーナル・オプ・リサーチ(Pbilips Journal of Re5e arch)、33巻、186頁、1978年の方法によって計算した値12.5 87オングストロームと一致しているが、上記ブランドル等(1973年)によ って計算された12.554オングストロームの化学量論的値よりかなり高い、 このことは本発明の結論が化学量論的なものと異なる理由を説明している。The lattice constant of the stoichiometric sintered sample was determined by the Exsen diffraction process. Carrier for Polycrystalline and Amorphous Materials (X -ray Diffraction Procedures for Polyc rystalline and Amorphous Materials)- 2nd edition, Siran e Willey & Sons (John Ga 11ey & 5on s), New York, 306 pages, H.B. Coorg, 1974. (B, P, I [1ug) and L.E. Alexander (L, E, Alex and). 12.583±O , OO1 angstrom is the value measured by Chou et al. mentioned above, 12. .. 58 angstroms and Strocka et al. Journal of Research (Pbilips Journal of Re5e) Arch), Volume 33, Page 186, 12.5, calculated using the method of 1978. 87 angstroms, but according to Brundle et al. (1973) mentioned above. considerably higher than the calculated stoichiometric value of 12.554 angstroms, This explains why the conclusions of the present invention differ from the stoichiometric ones.

XRFスライスの格子定数はアクタ・クリスタログラフイカ(Acta Cry stallographica)、13S、814頁、1960年およびアクタ ・クリスタログラフイカ、A311698頁、1975年においてダブル・エル ・ボンド(−1,Bond)によって述べられた方法を用いて測定した。化学式 (2)および(4)の本発明の一致溶融化合物の格子定数は1.2560ナノメ ーター(12,560オングストローム)であり、この債は化学量論的値よりO ,OO23ナノメーター(0,023オングストローム)だけ低い、この結果は 上記ストロ力等の方法により組成物から算出した0、0020ナノメーター(0 ,020オングストローム)の差によく匹敵し、十二面体のScの存在をi認し ている。The lattice constant of the XRF slice is Acta Cry stallographica), 13S, 814 pages, 1960 and Acta ・Double L in Crystalographica, A311698 pages, 1975 - Measured using the method described by Bond (-1, Bond). Chemical formula The lattice constant of the coincident melt compounds of the present invention (2) and (4) is 1.2560 nanometers. (12,560 angstroms), and this bond is less than the stoichiometric value. ,0023 nanometers (0,023 angstroms) lower, this result is 0,0020 nanometers (0 , 020 angstrom), confirming the existence of dodecahedral Sc. ing.

1つの試料の上部の密度は空気中および四塩化炭素中における試料の重量を量る ことによって測定した。データは十二面体のScの存在の場合と一致した。6. 448±0.006g/dという測定値は組成物の計算値および格子定数データ (6,441g/all)にかなり類似しているが、化学量論的組成物の計算値 は6.419g/−であり、この値は明らかに著しく低い。Density at the top of one sample weighs the sample in air and in carbon tetrachloride It was measured by The data were consistent with the presence of dodecahedral Sc. 6. The measured value of 448 ± 0.006 g/d is based on the calculated composition value and lattice constant data. (6,441g/all), but the calculated stoichiometric composition is 6.419 g/-, which is clearly significantly lower.

スJLL−影 LMAの調和組成を、実施例1に用いた方法に従って測定した。Su JLL-Shadow The harmonic composition of LMA was determined according to the method used in Example 1.

即ち、LMA結晶の生長において用いられる出発物質、即ちLagOs 、M  g OおよびAlB12を1373°にで少(とも12時間予備乾燥して、これ らすべての材料、特にLa、O,に含まれる水分および気体を除去した0次に、 300gの質量を有する予備乾燥した材料の化学量論的混合物を高周波加熱イリ ジウムるつぼに入れ、2283〜2298°にで1時間加熱し溶融した。所望の 生長方向に対して垂直なC軸線を有するLMA種結晶を上記溶融体に加え、20 rp−で回転させながら、1時間当り2.5ミリメーター(n)の速度で回収し た。この結果厚さ12m+、輻20鶴および長さ70fiで質量約70gの長方 形プリズム形状LMA結晶を形成した。That is, the starting materials used in the growth of LMA crystals, namely LagOs, M g O and AlB12 at 1373° (pre-dried for 12 hours, 0-order, which removes moisture and gases contained in all materials, especially La, O, A stoichiometric mixture of pre-dried materials having a mass of 300 g is heated to The mixture was placed in a aluminum crucible and heated at 2283 to 2298° for 1 hour to melt. desired An LMA seed crystal with a C axis perpendicular to the growth direction was added to the melt, Collect at a rate of 2.5 millimeters (n) per hour while rotating at rp-. Ta. As a result, a rectangular shape with a thickness of 12 m+, a radius of 20 m, a length of 70 fi, and a mass of approximately 70 g. A prism-shaped LMA crystal was formed.

格子定数上および且は、2951においてLMA結晶の長手方向に沿って測定し た。これらの定数は実質的に均一であり、そのイ直はa−5,589人およびC −21,974人であった。Measured on the lattice constant and along the longitudinal direction of the LMA crystal at 2951 Ta. These constants are substantially uniform, and their directivity is -21,974 people.

LMA結晶の密度はCCI、中に浸漬することにより測定し、4.232±0. 001g/aJであることがわかった。結晶組成物が化学量論的である場合、密 度は4.2678/c+1であった。しかしながら式L a e、*sM g  A j! ++、osOi*によって表される組成物は4.235g/aJの計 算密度に対応し、この値は測定値に近似している。従って、この組成物は調和組 成物であると考えられる。The density of LMA crystals was measured by immersion in CCI, and was 4.232±0. 001 g/aJ. If the crystal composition is stoichiometric, dense The degree was 4.2678/c+1. However, the formula L a e, *sM g Aj! The composition represented by ++, osOi* has a total of 4.235 g/aJ This value is close to the measured value, corresponding to the calculated density. Therefore, this composition It is considered to be a synthetic product.

FIG、/ FIG、2 国際調査報告 ANNljCTo a’HE !NTERNATrONAL 5EARCE R EPORT ONFIG./ FIG.2 international search report ANNljCTo a’HE ! NTERNATrONAL 5EARCE R EPORT ON

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 1.錯酸化物を含む材料を含む装置において、上記錯酸化物の組成が調和してお り且つ少くとも1つの構成元素について少くとも0.1原子パーセントだけ化学 量論量と相違していることを特徴とする装置。1. In devices containing materials containing complex oxides, the composition of the complex oxides is harmonized. and at least 0.1 atomic percent of at least one constituent element. A device characterized by a difference from stoichiometry. 2.上記錯酸化物がその溶融温度と300°kとの間で単一化学相を連続的に示 すことを特徴とする請求の範囲第1項記載の装置。2. The above complex oxide continuously exhibits a single chemical phase between its melting temperature and 300°k. 2. The device according to claim 1, characterized in that: 3.上記装置が固体レーザを含むことを特徴とする請求の範囲第1項または第2 項記載の装置。3. Claim 1 or 2, wherein the device includes a solid-state laser. Apparatus described in section. 4.上記固体レーザが光共振器、この共振器内に配置され且つ上記材料および従 って上記錯酸化物を含む活性媒体、および該媒体にポンピングエネルギーを供給 してその内部で反転分布を引起すと共に、そこから光学放射線を誘導放出させる 手段を含み、且つ上記錯酸化物が活性剤でドープしたガドリニウムスカンジウム ガリウムガーネット(GSGG)を含み、該ガーネットが該活性剤の不存在下で 次の組成: Gd2.9■■0.03Sc1.90■0.03Ga3.14■0.03O12 を有することを特徴とする請求の範囲第3項記載の装置。4. The above-mentioned solid-state laser is arranged in an optical resonator, and the above-mentioned material and a an active medium containing the complex oxide, and supplying pumping energy to the medium. to cause population inversion inside it, and stimulated emission of optical radiation from there. gadolinium scandium containing means, and wherein the complex oxide is doped with an activator. gallium garnet (GSGG), wherein the garnet is activated in the absence of the activator. The following composition: Gd2.9■■0.03Sc1.90■0.03Ga3.14■0.03O12 4. The device according to claim 3, characterized in that it has: 5.上記活性剤の不存在下で、上記GSGGが次の組成:Gd2.937Sc1 .905Ga3.138O12を有することを特徴とする請求の範囲第4項記載 の装置。5. In the absence of the activator, the GSGG has the following composition: Gd2.937Sc1 .. 905Ga3.138O12 as described in claim 4. equipment. 6.上記固体レーザが光共振器、この共振器内に配置され且つ上記材料および従 って上記錯酸化物を含む活性媒体、および該媒体にポンピングエネルギーを供給 してその内部で反転分布を引起すと共に、そこから光学放射線を誘導放出させる 手段を含み、且つ上記錯酸化物が活性剤でドープしたアルミン酸ランタンマグネ シウム(LMA)を含み、該LMAが該活性剤の不存在下で次の組成: La0.955■■.01MgAl11.05■.04O19を有することを特 徴とする請求の範囲第3項記載の装置。6. The above-mentioned solid-state laser is arranged in an optical resonator, and the above-mentioned material and a an active medium containing the complex oxide, and supplying pumping energy to the medium. to cause population inversion inside it, and stimulated emission of optical radiation from there. a lanthanum aluminate magnet containing means and in which the complex oxide is doped with an activator. (LMA), wherein the LMA in the absence of the activator has the following composition: La0.955■■. 01MgAl11.05■. 04O19 4. The device according to claim 3, characterized in that: 7.上記活性剤の不存在下において、上記LMAが次の組成:La0.950M gAl11.050O19を有することを特徴とする請求の範囲第6項記載の装 置。7. In the absence of the activator, the LMA has the following composition: La0.950M The device according to claim 6, characterized in that it has gAl11.050O19. Place. 8.上記装置が偏光回転子を含むことを特徴とする請求の範囲第1項または第2 項記載の装置。8. Claim 1 or 2, wherein the device includes a polarization rotator. Apparatus described in section. 9.上記装置が光アイソレータを含むことを特徴とする請求の範囲第1項または 第2項記載の装置。9. Claim 1 or 2, wherein the device comprises an optical isolator. The device according to paragraph 2. 10.上記装置が陰極線管を含むことを特徴とする請求の範囲第1項または第2 項記載の装置。10. Claim 1 or 2, wherein the device includes a cathode ray tube. Apparatus described in section. 11.上記装置が周波数倍増器を含むことを特徴とする請求の範囲第1項または 第2項記載の装置。11. Claim 1, or The device according to paragraph 2.
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