JPH0140161Y2 - - Google Patents
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- JPH0140161Y2 JPH0140161Y2 JP10182483U JP10182483U JPH0140161Y2 JP H0140161 Y2 JPH0140161 Y2 JP H0140161Y2 JP 10182483 U JP10182483 U JP 10182483U JP 10182483 U JP10182483 U JP 10182483U JP H0140161 Y2 JPH0140161 Y2 JP H0140161Y2
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- Thermistors And Varistors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、工業用計測機器、特に流量計に用ら
れて好適なサーミスタに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a thermistor suitable for use in industrial measuring instruments, particularly flowmeters.
従来、流量計としてカルマン渦を利用したもの
が知られており、このカルマン渦式流量計では、
カルマン渦に基づく流体の流れの変化をサーミス
タを用いて検出するようにしている。ところで、
この種の機器に用いられるサーミスタにおいて
は、熱応答性に優れていることが一般に要求され
る。速い熱応答を有するサーミスタとするには、
サーミスタ片自体及びこのサーミスタ片を覆つて
保護する絶縁性保護体等を薄く形成することが１
つの技術的解決手段である。しかるに、薄い保護
体を例えば粉末ガラスペーストの焼成でもつて形
成せんとすると、形成時の気泡の生起によりピン
ホールを有した保護体が容易に製造される虞れあ
る。ピンホールが保護体に存在すると、このピン
ホールを介してサーミスタ片が外界に曝される結
果、サーミスタ片に直接水滴等が付着し、サーミ
スタの温度検出機能が低下し、更には長期の使用
に耐え得ない虞れがある。 Conventionally, flowmeters that utilize Karman vortices have been known, and in this Karman vortex flowmeter,
Changes in fluid flow based on Karman vortices are detected using a thermistor. by the way,
Thermistors used in this type of equipment are generally required to have excellent thermal response. To make a thermistor with fast thermal response,
It is possible to form a thin thermistor piece itself and an insulating protector that covers and protects this thermistor piece.
This is one technical solution. However, if a thin protective body is formed by, for example, firing a powdered glass paste, there is a risk that a protective body with pinholes will be easily produced due to the generation of bubbles during formation. If a pinhole exists in the protective body, the thermistor piece will be exposed to the outside world through this pinhole, and as a result, water droplets will adhere directly to the thermistor piece, reducing the temperature detection function of the thermistor, and even causing damage to the long-term use. There is a possibility that it will be unbearable.
本考案は、前記諸点に鑑みなされたものであ
り、その目的とするところは、薄い保護体を有
し、優れた熱応答性、耐水性、耐腐蝕性を有し得
るサーミスタ片を提供することにある。 The present invention was devised in view of the above points, and its purpose is to provide a thermistor piece that has a thin protective body and can have excellent thermal response, water resistance, and corrosion resistance. It is in.
このため本考案では、絶縁性保護体の表面にス
パツタリングによる薄層を形成し、該薄層により
保護体に発生したピンホールを閉塞するようにし
たものである。 Therefore, in the present invention, a thin layer is formed by sputtering on the surface of the insulating protector, and the pinholes generated in the protector are closed by the thin layer.
次に本考案による好ましい一具体例を図面に基
いて説明する。 Next, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図及び第２図において、ガラス（例えば旭
硝子(株)製のASF201）等の電気絶縁材からなる円
柱状保持体１の一方の端面２には、サーミスタ片
３が設けられている。保持体１を貫通して設けら
れたPt材等からなるリード線４及び５の夫々の
一端とサーミスタ片２とは、Pt，Ag，Ag−Pd
又はAu材等からなる導電性ペーストを焼成して
得られた接続部６及び７を介して電気的に接続さ
れている。サーミスタ片３、接続部６及び７を覆
つて保持体１の面２には、ガラス（例えば日本電
気硝子(株)製のGA−８）等の電気絶縁材からなる
保護体８が粉末ガラスペーストの印刷及び焼成に
より設けられている。保護体８の表面９には、電
気的に絶縁性を有する薄層１０が設けられてお
り、薄層１０は、保護体８と同様な材料、すなわ
ちガラス（上記GA−８）をターゲツトとしてス
パツタリングにより形成する。保持体１のまわり
には、ステンレス鋼等からなる金属ケース１１が
設けられている。 In FIGS. 1 and 2, a thermistor piece 3 is provided on one end surface 2 of a cylindrical holder 1 made of an electrically insulating material such as glass (for example, ASF201 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.). The thermistor piece 2 and one end of each lead wire 4 and 5 made of Pt material or the like are provided through the holder 1, and the thermistor piece 2 is made of Pt, Ag, Ag-Pd.
Alternatively, they are electrically connected via connecting portions 6 and 7 obtained by firing a conductive paste made of Au material or the like. A protective body 8 made of an electrically insulating material such as glass (for example, GA-8 manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.) is coated with powdered glass paste on the surface 2 of the holder 1, covering the thermistor piece 3 and the connecting parts 6 and 7. It is provided by printing and firing. An electrically insulating thin layer 10 is provided on the surface 9 of the protector 8, and the thin layer 10 is sputtered using the same material as the protector 8, namely glass (GA-8 above) as a target. Formed by A metal case 11 made of stainless steel or the like is provided around the holder 1.
このように構成されたサーミスタ２０は次のよ
うに製造される。保持体１を形成するための粉末
ガラスをプレス加工により、リード線４及び５が
挿通される一対の孔を有するボタン型に成形した
後仮焼きし、この仮焼きしたガラスを金属ケース
１１に嵌挿すると共にリード線４及び５を上記一
対の孔に挿通した後ガラスを溶融固化して保持体
１を形成し、その後、面２を研磨して平面仕上げ
すると共に、リード線４及び５の面２からの突出
部を除去する。次に、例えば厚さT1＝20μmのフ
レーク型サーミスタ片３を面２上に配置し、接続
部６及び７が形成されるように導電性ペーストを
リード線４及び５の一端とサーミスタ片３との間
に塗布して焼成する。そうしてサーミスタ片３、
接続部６及び７が完全に被覆されるように粉末ガ
ラスペーストを面２上に印刷塗布して焼成して、
例えば厚みT2＝20μmの保護体８を形成し、その
後、スパツタリングにより、例えばガラスからな
る厚みT3＝5μmの薄層１０を保護体８の表面に
形成する。 The thermistor 20 configured as described above is manufactured as follows. Powdered glass for forming the holder 1 is pressed into a button shape having a pair of holes through which the lead wires 4 and 5 are inserted, and then calcined, and this calcined glass is fitted into the metal case 11. After inserting the lead wires 4 and 5 into the pair of holes, the glass is melted and solidified to form the holder 1, and then the surface 2 is polished to a flat finish, and the surfaces of the lead wires 4 and 5 are Remove the protrusion from 2. Next, a flake-type thermistor piece 3 having a thickness T 1 =20 μm, for example, is placed on the surface 2, and conductive paste is applied to one end of the lead wires 4 and 5 and the thermistor piece 3 so that connection parts 6 and 7 are formed. Apply between the two and bake. Then thermistor piece 3,
Print and apply powdered glass paste on surface 2 so that connecting parts 6 and 7 are completely covered, and then bake it.
For example, a protective body 8 having a thickness T 2 =20 μm is formed, and then a thin layer 10 made of, for example, glass and having a thickness T 3 =5 μm is formed on the surface of the protective body 8 by sputtering.
このように製造されたサーミスタ２０では、保
護体８の表面９に薄層１０が形成されているた
め、例えば、第３図に示すように、保護体８の焼
成において保護体８の形成材料である粉末ガラス
ペーストに含まれる樹脂及び溶剤等の気化により
保護体８に生じる気泡２１は薄層１０で閉塞され
ている。従つて、サーミスタ２０では、サーミス
タ片３と外部とを連通するピンホールが存在しな
いため、サーミスタ片３に直接水滴、腐蝕性ガス
が接触するのを無くし得る。加えて、気泡２１に
よるピンホールの発生を考慮する必要がなくなる
ため、保護体８の厚みT2を極めて小にし得る結
果、サーミスタの感温応答速度特性を向上せしめ
るができる。 In the thermistor 20 manufactured in this way, since the thin layer 10 is formed on the surface 9 of the protector 8, for example, as shown in FIG. Bubbles 21 generated in the protector 8 due to vaporization of resin, solvent, etc. contained in a certain powdered glass paste are closed with a thin layer 10. Therefore, in the thermistor 20, since there is no pinhole that communicates the thermistor piece 3 with the outside, it is possible to prevent water droplets and corrosive gas from coming into direct contact with the thermistor piece 3. In addition, since it is no longer necessary to consider the occurrence of pinholes due to the bubbles 21, the thickness T2 of the protector 8 can be made extremely small, and as a result, the temperature-sensitive response speed characteristics of the thermistor can be improved.
尚、前記具体例ではサーミスタ片としてフレー
ク型サーミスタ片を用いて説明したが、本考案は
これに限定されず、他のサーミスタ片でもよい。
また、サーミスタ片の一方の面の両端に予め電極
膜を形成し、この電極膜と接続部６及び７とを電
気的に接続してサーミスタ片とリード線とを電気
的に接続してもよい。 In the above specific example, a flake type thermistor piece was used as the thermistor piece, but the present invention is not limited to this, and other thermistor pieces may be used.
Alternatively, an electrode film may be formed in advance on both ends of one surface of the thermistor piece, and the electrode film and the connecting parts 6 and 7 may be electrically connected to electrically connect the thermistor piece and the lead wire. .
前記の如く、本考案によれば、保護体の表面に
薄層が設けられているため、ピンホールのない耐
水性、耐久性に優れたサーミスタを提供し得、加
えて、保護体を薄くし得る結果、熱応答性に優れ
たサーミスタを提供し得る。 As described above, according to the present invention, since a thin layer is provided on the surface of the protector, it is possible to provide a thermistor with no pinholes and excellent water resistance and durability. As a result, a thermistor with excellent thermal responsiveness can be provided.
第１図は本考案による好ましい具体例の平面
図、第２図は第１図の具体例の断面図、第３図は
本考案の効果の説明図である。
１……保持体、３……サーミスタ片、４，５…
…リード線、８……保護体、１０……薄層。
FIG. 1 is a plan view of a preferred embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view of the embodiment of FIG. 1, and FIG. 3 is an explanatory diagram of the effects of the present invention. 1...Holding body, 3...Thermistor piece, 4, 5...
...Lead wire, 8...Protective body, 10...Thin layer.
Claims (1)
記絶縁性保持体を貫通して該サーミスタ片に電気
的に導通状態とされた一対のリード線と、前記サ
ーミスタ片の露出面を覆う絶縁性保護体と、該絶
縁性保護体の表面にスパツタリングにより形成さ
れた絶縁性の薄層と、からなるサーミスタ。 a thermistor piece placed on an insulating holder; a pair of lead wires passing through the insulating holder and electrically connected to the thermistor piece; and an insulating material covering the exposed surface of the thermistor piece. A thermistor comprising a protector and an insulating thin layer formed by sputtering on the surface of the insulating protector.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10182483U JPS6011402U (en) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | thermistor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10182483U JPS6011402U (en) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | thermistor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6011402U JPS6011402U (en) | 1985-01-25 |
| JPH0140161Y2 true JPH0140161Y2 (en) | 1989-12-01 |
Family
ID=30240294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10182483U Granted JPS6011402U (en) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | thermistor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6011402U (en) |
-
1983
- 1983-06-30 JP JP10182483U patent/JPS6011402U/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6011402U (en) | 1985-01-25 |
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