JPH01307045A - データメモリシステムおよびその製造方法 - Google Patents

データメモリシステムおよびその製造方法

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JPH01307045A
JPH01307045A JP8562489A JP8562489A JPH01307045A JP H01307045 A JPH01307045 A JP H01307045A JP 8562489 A JP8562489 A JP 8562489A JP 8562489 A JP8562489 A JP 8562489A JP H01307045 A JPH01307045 A JP H01307045A
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JP
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data memory
memory system
control layer
magnetization
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JP8562489A
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Inventor
Hugo Van Den Berg
フーゴ、フアン、デン、ベルク
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Siemens AG
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    • G11B11/10586Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、熱的に直接に重ね書き可能な情報を有する
データメモリシステムであうで、情報の書込み続出しお
よび消去が、可変の磁化方向を有する範囲内で制御可能
な強度を存する1つのビーム源の焦点合わせ可能でかつ
熱エネルギーに変換可能なビームにより行われるデータ
メモリシステムに関するものである。データメモリシス
テムは磁気的メモリ層および磁気的制御層を有する多層
構造を含んでいる。この制御層はメモリ層のなかの磁化
を制御するための磁界源としての役割をする。
〔従来の技術〕
磁気光学的メモリシステムにおいては、公知のように情
報が、熱に変換され得る焦点合わせされタヒームパルス
により、好ましくはレーザーパルスにより、保磁力が温
度の上昇と共に減少するメモリ媒体のなかに書込まれ得
る。一般に磁気光学的薄層として構成されているメモリ
媒体は、メモリ層の平らな面に対して垂直にその優先磁
気軸を有する。焦点合わせされたレーザービームにより
磁気光学的メモリ媒体は予め定められた範囲内で、予め
定められた磁化が外部磁界により発生ドメインのなかで
設定され得るオーダリング温度、いわゆるキュリー温度
になる。ドメインのなかの磁化のパターンは2値データ
として記憶された情報を表す。データの読出しのために
は、わずかな強度を有するレーザービームが偏光子を介
して供給される。光線の偏光は、光線がメモリ層から反
射されるとき(カー効果)、または光線がメモリ層を通
り抜けるとき(ファラデー効果)、予め定められた角度
だけ回転される9回転角はメモリ媒体の特性により基本
的に決定される。ドメインのなかの磁化方向に関係して
偏光面が時計回り方向または反時計回り方向に回転され
る。検光子により偏光の変化が、光検出器により検出さ
れる光線の強度の変化に変換される0回転の指示により
情報がメモリから再び読出され得る。
1つの書込まれた情報の重ね書きのためには、たとえば
メモリ板の回転の間に、書込まれた情報がレーザービー
ムにより消去され、また後続の回転の間に新しい情報が
書込まれる。さらに、2ビームシステムのなかで熱ビー
ムにより消去され、また後続のビームにより新たに書込
まれ得る。
メモリ層、誘電体および制御層を有する別の公知のデー
タメモリシステムでは、重ね書きのために、新しい情報
が書込まれるべきドメインのなかでのみ磁化が変換され
る。制御層は基本磁界を発生する役割をする。制御層は
温度に関係して交互する磁化を有する強磁性材料から成
っている。読出しおよび重ね書きは2ビームレーザーシ
ステムにより別々の磁気的範囲内で行われる。レーザー
ビームによりメモリ層も制御層も暖められる。制?11
層がその補償温度T、を越えて暖められると、その磁化
方向が回転され、また同時に高められる。
制御層のキュリー温度Tcに達した際にこの層は書込み
可能であり、またその磁化は制御層のなかの磁化と平行
している。冷却の際には制御層の補rx温度T5の下側
で磁化が回転され、またその後はメモリ層のなかの磁化
と反対向きである。制御層のなかの磁化はマグネトスタ
ティックな交互作用により変換される。従って、両層の
保磁力は、制御層のなかの磁化はマグネトスタティック
な交互作用により変換され得るが、メモリ層のなかの磁
化は不変にとどまるように、互いに適合していなければ
ならない(米国特許筒4,649.519号明細書)。
熱的に直接に重ね書き可能な情報を有する公知のデータ
メモリシステムはデータ媒体として多層構造を含んでお
り、そのメモリ層は制御層から、制御層のなかの温度を
制御する役割をする絶縁層により隔てられている。書込
み、続出しおよび消去は制御可能な強度を有するレーザ
ービームにより行われる。制御層は制御磁界、従ってま
た温度の関数としてのメモリ層のなかの磁界方位を発生
する。0信号の書込みのためには、わずかな時間的長さ
のレーザービームによりメモリ層のみが加熱され、また
たとえばデータ媒体の上に配置されている基本磁界源に
よりO磁化がメモリ層のなかに書込まれる。1信号の書
込みのためには、より長いレーザーパルスにより制御層
も加熱され、また制御層のなかの電荷パターンが変更さ
れる。変更された磁界分布はメモリ層に伝達される。し
かし、この構成では、制御層の電荷パターンはメモリ層
への比較的わずかな磁化作用のみを有する。
制御層の厚みは、電荷の双極子特性が消滅するように、
比較的大きく選定されなければならない。
さらに、この比較的高い補償温度を有する材料は両側格
子のなかの反対向きの磁化のために比較的低い全磁化を
有する。それに応じて、小さい磁界のみがメモリ層のな
かに発生され得る(ヨーロッパ特許出願公開第0217
096号明細書)。
情報の書込み、読出しおよび消去が、焦点合わせ可能か
つ熱エネルギーに変換可能なビームにより行われる別の
公知のデータメモリシステムは、データ媒体としての磁
気的メモリ層と、記憶された情報の重ね書きのための制
御層とを有する多層構造を含んでいる。情報の書込みは
、制御可能な強度を有するレーザーにより行われる。制
御層は垂直磁化および室温における比較的わずかな保磁
力を有する0強い初期化磁界が書込み前に室温において
制御層に与えられ、また同一方向の磁化を生じさせる。
重ね書きのためには、パルス変調を有するレーザービー
ムが多層構造に向けられ、また温度が、両層のなかの磁
化が消滅するまで高められる。それによって1つのビッ
トが制御層のなかに書込まれ、また冷却の際に磁気的な
交換結合またはマグネトスタティックな結合によりメモ
リ層に伝達される。多層構造をキュリー温度の下側まで
しか暖めないレーザービームの低いレベルによっては、
制御層の磁化は不変にとどまり、またメモリ層のなかに
他のビットが書込まれる。初期化および書込みは別々の
範囲のなかで行われる。
制御層の初期化範囲のなかでは情報は再び消去され、そ
れによって情報は書込み範囲のなかで再び新たに書込ま
れ得る。データメモリシステムのこの構成では、制御層
のなかでは書込まれたデータを消去し、また同時にメモ
リ層のなかのデータを変更しない初期化磁界が必要であ
る。書込まれた磁気的ドメインは磁壁摩擦により安定で
ある。従って、メモリ層として、壁クリーピングが回避
され得るように高い保磁力を育する材料が必要とされ、
また同時にメモリ層の均一性および装置温度に高度な要
求が課せられなければならない(ドイツ連邦共和国特許
出願公開第3619618号明細書)。
〔発明が解決しようとする課題〕
未発明の41題は、この公知のデータメモリシステムを
簡単化しかつ改良することであり、特にSN比を高める
ことにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、メモリ層のなかの安定な磁気的範囲の書込み
のために制御層およびメモリ層のなかの相異なる温度勾
配が利用され得るという認識に基づいており、またそれ
が請求項1の特徴部分に含んでいる。相異なる温度勾配
により1信号の書込みの際には制御層のなかの磁化が変
更され、また電荷パターンが発生され、その磁界がメモ
リ層に干渉し、またメモリ層のなかの双極子方位を制御
する。制御層のなかのこの双極子方位は書込み範囲内の
多層構造の運動方向にある。
追加的にたとえば3つの段階に制御可能であってよい制
御可能な強度を有するビーム、好ましくはレーザービー
ムが使用される。情報の続出しのためには、比較的わず
かなレーザーパワーのみが必要である。場合によっては
既に「き込まれている情報をあらかじめ消去することな
く0信号を書込むためには、レーザーパワーが、メモリ
層がその臨界的温度TE6、の上側に暖められ、また冷
却の際に臨界的温度T工2を有するメモリ層の位置範囲
が制illのなかの電荷窓の外側に位置するまでに高め
られる。0情報は、メモリ層が臨界的温度TKPt以下
に冷却されている書込み可能な範囲の縁で外部磁界によ
り書込まれる。
l情報の書込みの際には、入射されるレーザーパワーの
変化により制御層のなかの電荷窓が、温度が臨界的温度
TKrt以下に低下しているメモリ層の位置範囲が制御
層の電荷窓内に位置すにようにずらされる。
[実施例〕 以下、図面に示されている実施例により本発明を説明す
る。
第1図によれば、データメモリシステムは3つの層を有
する多層構造lを含んでいる。たとえば約70nmの厚
みを有し、またたとえばテルビウム−鉄−コバルトTb
FeCo、好ましくはイッテルビウム−テルビウム−鉄
−コバルトTbTbFeCoから成っていてよいメモリ
層2がデータ記憶のために設けられている。制御層6は
同時に熱拡散を制御する役割をする。制御層6は好まし
くはサマリウム−コバルトSmCoまたはテルビウム−
鉄−コバルトTbFeCoまたはイッテルビウム−テル
ビウム−鉄−コバルトTbTbFeCoから成っており
、その磁気的異方軸8は二重矢印により示されているよ
うに平らな側面の方向およびメモリ板の運動Vの方向と
平行に延びている。この磁化容易軸の方向は簡単な仕方
でメモリ層上の析出により制御層6の製造の際にたとえ
ば約0.2Tの強い印加磁界により得られる。制御層6
の材料および厚みはメモリ層2のなかの温度勾配の決定
および書込まれた情報の安定化にとって重要である。大
きい磁界は制′a層の比較的大きい厚みにより得られる
。制御層6の厚みは飽和磁化により本質的に決定される
。その厚みは一触に少なくとも200人であり、好まし
くは1000人と2000人との間に選定され、また一
般に10000人を本質的に超過しない、メモリ層2は
、好ましくはレーザービーム12に対して透過性であり
、またたとえばガラスから成っていてよい基板10の上
に配置されている。連続的に、また追加的にたとえば段
階的に制御可蛯なレーザービーム12は、一般には静止
しているが多層構造では速度Vで動かされるビーム源1
3から与えられる。
制御層6の飽和磁化M、と温度との関係を示す第2図に
よれば、制御層6に対、て好ましくは、磁化特性曲線M
、6が明白な傾斜差を有する材料が選定され得る。予め
定められた屈曲温度T0(エツジ)まで特性曲線はわず
かな傾斜で上昇し、次いで1つの屈曲の後に象、峻に下
降する。この特性はたとえばサマリウム−コバルトSm
Coが有する。磁化特性曲線Ml、のなかに室温TA 
 (周囲)および0信号の書込みのために必要なたとえ
ば比較的低い温度Tい(低)がなおほぼ一定の飽和磁化
M!&を有する範囲内に位置している。屈曲温度TNh
において特性曲線の屈曲が生じ、また飽和磁化M、はキ
ュリー温度TC&まで急峻に下降する。
メモリ層2のなかに1信号を書込むためのより高い温度
TI(高)は制御層6のキュリー温度T’ciの上側に
位置している。
第3yJには情報の書込みの際の多層構造1の予め定め
られた位置範囲内の温度Tがメモリ板上のデータトラッ
クに沿う衝突するレーザービーム軸からの間隔Xに関係
して示されている。温度Tは対数尺度で、また正規化さ
れた値で記入されている。温度勾配は相異なっている。
メモリ層2のなかの温度T8の温度勾配はたとえば制御
3層6のなかの温度T、の温度勾配よりもはるかに急峻
である。その結果、レーザーの入射後の予め定められた
時間の経過後にたとえば約1.5ないし3μmの間隔X
の冷却の範囲内で制御層6のなかの温度TE6はメモリ
71!2のなかの温度T2よりも高い。
第4図には制御層6のなかの温度経過T−が位fx−0
におけるビーム源14の衝突するレーザービーム12か
らの間隔Xに関係して記入されている。制御8層6はた
とえば1信号の書込みの際にたとえば約150°Cの高
い温度T、に暖められなければならない、メモリ板の運
動により、加熱された範囲は間隔X、では制御層6のキ
ュリー温度TC&に、また間隔X、では屈曲温度TE6
に冷却されている。xlからx3までのこの位置範囲内
に電荷窓20が形成され、その磁界がメモリ層2に干渉
し、またその垂直成分Hvthが有効であり、また最終
的な磁化分布をメモリN2のなかに与える。
第5図にはメモリ層2の温度T8の経過がレーザービー
ム12からの間隔Xに関係して記入されている。方向+
Xの多層構造1の運動によりメモリ板2はXI とX、
との間の電荷窓2oの範囲内でその臨界的温度Tよr2
に冷却されており、また衝突するレーザービーム12か
らの間隔x2では、制g5N6の磁界により与えられた
メモリ層2のなかの磁化が固定される。
第6図によるデータメモリシステムの1つの特別な実施
例では、制御層は磁石層5と、メモリ層2と磁石層5と
の間に配置されている熱分配N4とに分割されている。
熱分配層4の材料および厚みは、磁石層5への熱伝達が
この磁石層5のなかに予め定められた温度分布を生ずる
ように選定される。熱分配層4は好ましくはセレンSe
または熱伝導性の高い金属、たとえば[Cuまたはアル
ミニウムAIから成っていてよい、さらに、たとえば窒
化アルミニウムA1.N、が適している。
磁石層5は高い磁化と、好ましくは少なくとも0゜1で
あってよい良度Qとを有する材料から成っている。たと
えばサマリウム−コバルトがよく適している。
本発明による磁石メモリシステムの特に有利な別の実施
例は、メモリ層2と磁石層5との間に第7図のように二
重層から成る熱分配層が設けられていることにより得ら
れる。この実施例では、垂直方向の熱拡散のために、た
とえばセレンSeがら成る熱伝導層14が、また横方向
の熱分配のために、熱伝導性が良い非磁性材料、好まし
くは金属、特に銅から成る分配層15が設けられている
0信号の連続的書込みのためには、温度Tおよび制御層
6の飽和磁化M、が入射レーザービームからの間隔Xに
関係して記入されている第8図のように、制御層6がた
とえば150”Cの温度TLまで暖められる。
温度分布T、によれば、温度は冷却範囲内で運動方向に
ほぼe関数に従って下降する。yI動Vおよび横方向の
熱拡散により運動方向Xに特性曲線の若干それよりも平
らな下降が生ずる。1つの電荷窓がレーザービームから
間隔XOIないしXOSに生ずる。メモリ層2が冷却の
間にその臨界的温度Tmrtを通過する位置はXOIか
らxasまでのこの電荷窓の外側に位置している。磁化
M0は第2図に従って電荷窓のなかで相応に変化する。
0信号は、図面には示されていない外部磁界源により書
込まれる。
l信号の連続的書込みのためには、制御層6が、同じく
飽和磁化M、および温度Tが間隔Xに関係して記入され
ている第9図のように、レーザービーム12により温度
T、およびキュリー温度TC&よりも上の高い温度TE
6に暖められる。運動方向の冷却はほぼe関数に従って
行われる。温度TE&の上側で磁化M。はキュリー温度
TC&まで零に下降する。温度TN&では第2図のよう
に磁化M。
は零であり、また次いで冷却の際に電荷窓2oのなかの
間隔xlないしX、でキュリー温度TC&から温度T、
までその最大値に上昇する。キュリー温度TC&の上の
温度Tに位置している制?IJi6の一部分は常磁性で
あり、このことは第9図中にハツチングにより示されて
いる。それによって、このハツチングされた範囲の緑に
おいて磁化9が制御I!6のなかのもとの磁化8にくら
べて変化する。
第10図には、電荷密度ρと磁界の垂直成分Hv6とが
入射するレーザービーム12からの間隔Xに関係して記
入されている。この図によれば、縦軸から左では温度T
0とキュリー温度Tc&との間の温度範囲内での磁化M
3にの変化により予め定められた極性を有する電荷ρが
誘導され、この電荷は相応の磁界を生じ、その垂直成分
Hwhは図面中に破線で示されている。この磁界成分は
メモリ層2のなかの信号の書込みについては重要でない
位置X、における磁化Ms、の上昇により、逆極性を有
する電荷ρが誘導される。相応の磁界Hy6の垂直成分
はメモリN2に干渉し、またメモリ層のこの範囲内で磁
化を決定し、従って1信号が書込まれ得る。
メモリシステムの特別な実施例では、第11図のように
、制御層6に対して、補償温度T、が室温TAのずぐ下
側に位置している材料が選定され得る。補償温度T、で
は両側格子の磁化が相殺され、双極子はすべて互いに反
対向きであり、また等しい大きさを有する。制御層6の
補償温度T6にの上側では磁化M□は、磁化M、が温度
Tに関係して記入されている第11図のように、温度T
E6において到達され得る最大値まで上昇する。キュリ
ー温度TC&まで磁化は続いて再び零に下降する。
このような磁化特性曲線はたとえば、予め定められた割
合のテルビウムを含有するテルビウム−鉄−コバルトT
bFeCoがをする。
第11図による制御層6を有するデータメモリシステム
のなかにたとえばO信号が書込まれるべきであれば、温
度Tが間隔Xに関係して記入されている第12図のよう
に、メモリ層2がレーザービームによりその臨界的温度
TE6tを越えて最大磁化の温度T□の上側に暖められ
る0間隔X、ないしX、ではメモリ層2は所望の磁界方
向を有する範囲内で冷却する0間隔X、ではメモリ層2
はその臨界的温度T工、を通過し、従ってこの間隔に与
えられた磁化はそこに固定される。
制?11116のなかの空間電荷ρおよびその磁化Mが
X・における入射レーザービームからの間隔Xに関係し
て記入されている第13図によれば、制8N6のなかの
磁化M8.は位置X、からx4まで位置x4における最
大値M。+111まで上昇する。T11化特性曲線M。
は次いで変曲点を有し、また再び位置X、における変曲
点に達し、また次いで、位置x6において再び最大磁化
M、□に達するまで上昇する。続いて磁化M□は再び下
降する。空間電荷の絶対値1ρh 1はX、からx4ま
での磁化の上昇の間に1つの最大値を有し、次いでXS
およびX−においてそれぞれ零を通り、また位置X。
において逆極性を有する大きい値に達する0位置x7に
おけるこの大きい正の空間電荷はメモリ層2の書込み可
能な範囲内の双極子を1つの予め定められた方向に跳躍
させ、またこの双極子分布がメモリ層2のなかに固定さ
れる。なぜならば、第12図のように位置X、において
メモリ層2のなかの温度T、はその臨界的温度Tニオに
達しているからである。
第14図に従って1信号を書込むためにはレーザーパワ
ーがたとえばその第3の段階に高められ、従ってまたメ
モリF!12が制御層6のキュリー温度TC&よりもは
るかに大きい温度T2に高められる。
位置X、において制御層6の温度T、はその最大磁化の
値TE6に達し、また位WXIにおいて制御層6のキュ
リー温度TC&を上回る。その冷却により制御1116
は位置x1゜においてキュリー温度TC&に達し、また
電荷窓20の後で位置X11において最大磁化の温度T
E6に達する。
X、からX、までの位置範囲内で、電荷分布ρが間隔X
に関係して記入されている第15図によれば、メモリ層
2のなかの双陽子の切換のために使用されない正の電荷
ρ、が生ずる。この正の電荷は第16図中にX、からX
、までの位置範囲内に十で示されている。x、からxl
、までの範囲内では第14図のように制御層6はそのキ
ュリー温度TC&の上側に位置しており、また常磁性で
あり、このことは第16図中にハツチングにより示され
ている0間隔x1.で制御層6は第14図のようにその
キュリー温度Tcthに達し、また第15図のように位
’It x t。とX11との間て負の極性を有する電
荷ρにより電荷窓が形成される。この逆極性の電荷は第
16図中に制?1116のなかに−で示されている0位
源xtにおいてメモリ層2の臨界的温度が通過され、ま
たXllからX、までのこの位置範囲内の制御層6の磁
界の垂直成分がメモリ層2のなかの双掻子の方向を決定
する。
第17図には制御層6の材料に対して飽和磁化M、が温
度Tに関係して記入されている0Mi化特性曲線M。は
室温T、の上側でキュリー温度TC&まで下降する。こ
の材料、たとえばネオジム−鉄−コバルトNdFeCo
ををする制御層6は低い温度において高い磁化および十
分に大きい磁気的異方性Kを有する。この材料を有する
1つのシステムでは1信号の書込みの際にメモリ層2は
、制御層がなお常磁性である位置範囲内でその臨界的温
度T工の下側まで冷却する。このシステムはより大きい
許容窓を有する。
場合によっては、基本磁界源の代わりに、または場合に
よっては基本磁界源のほかに、制御層6のなかで書込み
範囲の外側で1つの磁界を制御層の平らな側面と平行に
、また少なくとも1つの近似的にデータトラックの方向
に発生するなお1つの付加磁界源を設けることが有利で
あり得る。この磁界は磁化パターンの偏差、特にエラー
個所の伝播を妨げる。
メモリ板表面に第18図による溝構造を設けられている
本発明による多層構造を有するメモリ板の実施例を製造
するためには、順々にメモリ層2および制御層6が基板
10の上に被覆される。たとえば、相応の溝を設けられ
ている基板10の表面の上にスパッタリングにより被覆
される。この実施例では制御層6として好ましくは正の
磁気ひずみ係数λを有する材料が選択される。それによ
って多N構造の冷却の後に溝の長手方向の積層に従って
引張力が生じており、他方において溝の縁では溝に対し
て垂直な機械的張力が相殺される。
磁気弾性結合により縁に沿って磁化に対する優先軸が形
成される。トラックの中央ではこの異方性はよりわずか
であるが、磁気弾性結合はここでも磁化容易軸の所望の
形成を保証する。
データトラックの長手方向に磁化容易軸を有する制御層
6を製造するためには、場合によってはトラック溝なし
の実施例でも、制御層の成長の際または積層後の付加熱
処理の間に、板平面内に位置しており、またトラック方
向もしくはデータトラックに対して横方向に向けられて
いる1つの磁界が与えられ得る。
データメモリシステムの1つの特別な実施例では、中間
に共通の制御層が配置されている2つのメモリ層が設け
られていてよい、これらの層は好ましくは共通の基板の
上に被覆、たとえば蒸着またはスパッタリングされる。
システムのこの二重構成は、メモリ密度が倍増されると
いう利点を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による多層構造の概要図、第2図は制御
層の1つの材料の磁化特性曲線を示す図、第3図は温度
勾配を示す図、第4図は制御層のなかの温度経過を示す
図、第5図は1つの情報の書込みの際のメモリ層のなか
の温度経過を示す図、第6図および第7図はそれぞれ少
なくとも1つの特別な熱分配層を有する多層構造の1つ
の特別な実施例を示す図、第8図は1つのO信号の書込
みの際の制御層の温度経過を示す図、第9図は1つの1
信号の書込みの際のこの制御層の温度経過を示す図、第
1O図は電荷密度および制?n層の磁界の垂直成分を示
す図、第11図は制御層の磁化特性曲線を示す図、第1
2図はメモリ層の温度経過を示す図、第13図は1つの
O信号の書込みの際の磁化および制御層の電荷を示す図
、第14図および第15図はそれぞれ1つのO信号の書
込みの際の温度および電荷を示す図、第16図は制御層
のなかの磁化の変化を示す図、第17図は制御層の1つ
の特別な材料に対する磁化特性曲線を示す図、第18図
は溝構造を有する1つの特別な実施例を示す図である。 l・・・多層構造 2・・・メモリ層 4・・・熱分配層 5・・・磁石層 6・・・制御層 8・・・異方性軸 9・・・磁化 10・・・基板 12・・・レーザービーム 13・・・ビーム源 14・・・熱伝導層 15・・・分配層 20・・・電荷窓 I03 I016

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)熱的に直接に重ね書き可能な情報を有するデータメ
    モリシステムであって、可変の磁化方向を有する範囲内
    で制御可能な強度を有する1つのビーム源の焦点合わせ
    可能でかつ熱エネルギーに変換可能なビームにより情報
    の読出しおよび重ね書きが行われ、また少なくとも1つ
    の磁気的メモリ層および磁気的制御層を有する運動可能
    な多層構造を含んでいるデータメモリシステムにおいて
    、 a)少なくとも1つの制御層(6)が設けられており、
    その磁化がその平らな側面と平行にビーム源(14)と
    多層構造(1)との間の相対的運動の方向に延びており
    、 b)この制御層(6)がメモリ層(2)と相違する熱伝
    導を有しており、 c)メモリ層(2)が設けられており、このメモリ層(
    2)は予め定められた双極子分布を有する1つまたはそ
    れ以上の副格子を有する材料を含んでおり、 d)双極子の方向が磁界により可変であり、 e)制御層(6)の構成および寸法と、情報の書込みの
    際のビーム源(14)と多層構造(1)との間の相対的
    運動速度vとが、制御層(6)の冷却範囲内の電荷窓(
    20)のなかのビーム源(14)のパワー経過に関係し
    て予め定められた電荷が発生されるほどにメモリ層(2
    )および制御層(6)のなかの温度分布が区別されるよ
    うに選定されており、その磁界がメモリ層(2)の対応
    付けられている範囲(x_1ないしx_3)の、メモリ
    層(2)のなかで印加された双極子方向が固定される部
    分のなかで副格子のなかの双極子の方向を予め定められ
    た仕方で制御する ことを特徴とするデータメモリシステム。 2)制御層(6)がテルビウム−鉄−コバルトTbFe
    Coから成っていることを特徴とする請求項1記載のデ
    ータメモリシステム。 3)制御層(6)がジスプロシウム−鉄−コバルトDy
    FeCoから成っていることを特徴とする請求項2記載
    のデータメモリシステム。 4)制御層(6)がジスプロシウム−テルビウム、鉄、
    コバルトDyTbFeCoから成っていることを特徴と
    する請求項1ないし3の1つに記載のデータメモリシス
    テム 5)制御層(6)がテルビウム−鉄−コバルトTbFe
    Coから成っていることを特徴とする請求項1ないし4
    の1つに記載のデータメモリシステム。 6)制御層(6)がサマリウム−コバルトSmCoから
    成っていることを特徴とする請求項1記載のデータメモ
    リシステム。 7)制御層(6)の磁化容易軸が制御層(6)の平らな
    側面と平行にかつ多層構造(1)の運動の方向に延びて
    いることを特徴とする請求項1ないし6の1つに記載の
    データメモリシステム。 8)2つのメモリ層が設けられており、それらが1つの
    制御層により隔てられており、またそれらに1つの共通
    の基板が対応付けられていることを特徴とする請求項1
    ないし7の1つに記載のデータメモリシステム。 9)制御層が1つの磁石層(5)および少なくとも1つ
    の熱分配層(4)から成っていることを特徴とする請求
    項1ないし8の1つに記載のデータメモリシステム。 10)熱分配層(4)がセレンSeから成っていること
    を特徴とする請求項9記載のデータメモリシステム。 11)熱分配層(4)が窒化アルミニウムAl_3N_
    4から成っていることを特徴とする請求項9記載のデー
    タメモリシステム。 12)熱分配層(4)が高い熱伝導率を有する材料から
    成っていることを特徴とする請求項9記載のデータメモ
    リシステム。 13)熱分配層(4)が金属から成っていることを特徴
    とする請求項12記載のデータメモリシステム。 14)熱分配層(4)が銅Cuから成っていることを特
    徴とする請求項12記載のデータメモリシステム。 15)熱分配層(4)が低い熱伝導率を有する少なくと
    も1つの層および高い熱伝導率を有する少なくとも1つ
    の層との多層システムから成っていることを特徴とする
    請求項1ないし14の1つに記載のデータメモリシステ
    ム。 16)熱分配層(4)がメモリ層(2)と磁石層(5)
    との間に配置されていることを特徴とする請求項1ない
    し15の1つに記載のデータメモリシステム。 17)熱分配層(4)がメモリ層(2)と反対側の磁石
    層(5)の平らな側面に配置されていることを特徴とす
    る請求項1ないし15の1つに記載のデータメモリシス
    テム。 18)熱分配層の二重層が設けられており、それぞれ1
    つが磁石層(5)の平らな側面の1つに配置されている
    ことを特徴とする請求項1ないし15の1つに記載のデ
    ータメモリシステム。 19)制御層(6)が、磁化特性曲線M_3_6=f(
    T)が室温T_Aよりも上側の1つの比較的平らな部分
    と屈曲温度T_E_6よりも上側の1つの急峻な下降部
    分とを有する材料から成っていることを特徴とする請求
    項1ないし18の1つに記載のデータメモリシステム。 20)制御層(6)が、磁化特性曲線M_3_6=f(
    T)が室温T_Aよりも上側で減衰する材料から成って
    いることを特徴とする請求項1ないし18の1つに記載
    のデータメモリシステム。 21)制御層(6)が、補償温度T_Kが室温T_Aの
    すぐ下側に位置する材料から成っていることを特徴とす
    る請求項1ないし18の1つに記載のデータメモリシス
    テム。 22)基本磁界源を含んでいることを特徴とする請求項
    1ないし21の1つに記載のデータメモリシステム。 23)多層構造(1)が溝構造を設けられており、この
    溝構造により磁気弾性結合を用いて磁化容易軸が発生さ
    れることを特徴とする請求項1ないし22の1つに記載
    のデータメモリシステム。 24)平面内に大きい磁界成分を有する付加磁界源が設
    けられていることを特徴とする請求項1ないし23の1
    つに記載のデータメモリシステム。 25)2つのメモリ層を有するデータメモリシステムの
    二重構成が設けられており、それらの間に制御層が配置
    されており、またそれらが1つの共通の基板の上に配置
    されていることを特徴とする請求項1ないし24の1つ
    に記載のデータメモリシステム。 26)請求項1ないし23の1つによるデータメモリシ
    ステムの製造方法において、磁化容易軸が、制御層の製
    造の間に磁界が多層構造(1)の相対的運動方向に、ま
    たは運動方向に対して垂直に与えられることにより発生
    されることを特徴とするデータメモリシステムの製造方
    法。
JP8562489A 1988-04-05 1989-04-03 データメモリシステムおよびその製造方法 Pending JPH01307045A (ja)

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