JPH01281652A - Ion source for mass spectrometry - Google Patents

Ion source for mass spectrometry

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JPH01281652A
JPH01281652A JP63111997A JP11199788A JPH01281652A JP H01281652 A JPH01281652 A JP H01281652A JP 63111997 A JP63111997 A JP 63111997A JP 11199788 A JP11199788 A JP 11199788A JP H01281652 A JPH01281652 A JP H01281652A
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JP
Japan
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ionization
ionization box
electron
box
ion
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Application number
JP63111997A
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Japanese (ja)
Inventor
Tatsuji Kobayashi
達次 小林
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Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
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Publication date
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

PURPOSE:To achieve efficient extraction of generated ions by radiating an electron beam to a vaporized liquid sample that is ejected intensively out of an ion emission exit of a small aperture which is formed on the side wall of a closed chemical ionization box. CONSTITUTION:An aperture 27 for introducing electrons is formed along the periphery of a chemical ionization box 26 and an ion emission exit 28 is formed on the bottom thereof respectively, both of the aperture 27 and the ion emission exit 28 being formed small in their sizes with a view to keep the adequate pressure for chemical ionization in the chemical ionization box 26. Then a vaporized liquid sample is ejected out of the ion emission exit 28 and is ionized by an electron beam which passes through an electron bombardment ionization box 14, from an electron incident entrance 16 to an electron emission exit 17. At this time, a pass 31 is formed and the liquid sample vaporized therethrough is exhausted, and consequently with a reduced amount of ion ejected out of the ion emission exit 28, a decrease in the amount of ion is prevented. In this way, extraction of ions is executed efficiently.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液体試料を直接イオン源内に導入し、化学イ
オン化あるいは電子衝撃によりイオン化することのでき
る質量分析装置用イオン源に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to an ion source for a mass spectrometer in which a liquid sample can be directly introduced into the ion source and ionized by chemical ionization or electron impact.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近時、液体クロマトグラフで展開された試料液を質量分
析装置のイオン化室内に直接導入してイオン化するイオ
ン源の開発が進められている。そのうちの一つとして液
体クロマトグラフに接続された移送管をイオン化室内に
導き、この移送管の先端に多孔性部材、例えばステンレ
スの粉末を焼結して作製したフィルター(フリット)を
取り付け、多孔性部材の中を通ってその表面から試料液
を滲み出させるようにした構造のものが提案されている
Recently, progress has been made in the development of ion sources that ionize a sample liquid developed by a liquid chromatograph by directly introducing it into the ionization chamber of a mass spectrometer. As one of them, a transfer tube connected to a liquid chromatograph is guided into the ionization chamber, and a porous member, such as a filter (frit) made by sintering stainless steel powder, is attached to the tip of the transfer tube. A structure has been proposed in which the sample liquid passes through the member and oozes out from the surface thereof.

また、この多孔性部材の表面に滲出した試料液をイオン
化する方式としては、電子衝撃イオン化(E I)と化
学イオン化(CI)とがある。
Further, methods for ionizing the sample liquid exuded onto the surface of the porous member include electron impact ionization (EI) and chemical ionization (CI).

ここで、CI方式においてはイオン化室を密封して例え
ば1Torr程度の比較的高い圧力の雰囲気に保った状
態で、イオン化室内に電子線を導入する必要がある。こ
れに対してEI方式においてはイオン化室を密封するこ
となく、低い圧力の雰囲気中で試料液に直接電子線を衝
突させるだけで良い。従って、従来においてはCI及び
EI専用のイオン源を夫々用意し、その都度、装置を分
解することにより所望のイオン源と交換していたため、
取扱操作が非常に厄介であった。
Here, in the CI method, it is necessary to introduce an electron beam into the ionization chamber while the ionization chamber is sealed and maintained at a relatively high pressure atmosphere of, for example, about 1 Torr. On the other hand, in the EI method, the ionization chamber is not sealed, and the sample liquid is simply bombarded with an electron beam directly in a low-pressure atmosphere. Therefore, in the past, ion sources dedicated to CI and EI were prepared, and each time the device was disassembled to replace it with the desired ion source.
It was very difficult to handle.

そこで、近時、かかる不都合を解決するために、第4図
に示すようなCI−EIlji合イオン源が提案されて
いる。
In order to solve this problem, a CI-EIlji combined ion source as shown in FIG. 4 has recently been proposed.

この腹合イオン源は、EI用の大きな電子入射口IEと
電子出射口2を備えたイオン化箱3E内に、CI用の小
さな電子入9・10IC!えたイオン化箱3Cを摺動可
能に挿入した構造のものである。
This ion source has a small electron input for CI in an ionization box 3E equipped with a large electron entrance IE for EI and an electron exit 2 for CI! It has a structure in which the ionization box 3C that has been prepared is slidably inserted.

尚、4は移送管、5は多孔性部材、6は電極群、7は質
量分析部、8はCIガス導導入骨管9はフィラメント、
10はイオン化箱3Eに形成したイオン出射口である。
In addition, 4 is a transfer tube, 5 is a porous member, 6 is an electrode group, 7 is a mass spectrometer, 8 is a CI gas introduction bone tube 9 is a filament,
Reference numeral 10 denotes an ion exit port formed in the ionization box 3E.

かかる構成において、CIとして使用する場合にはイオ
ン化箱3Cをイオン化箱3E内に押し込み、電子入射口
IEとICを一致させると共に、電子出射口2をイオン
化箱3Cで塞ぐことによりイオン化箱3C内の気密性を
高めた状態で、管8からCIIガス導入させながら電子
入射口IE及びICよりフィラメント9からの電子線を
入射させてCIIガスイオン化させ、その後CIIガス
オンとの反応により多孔性部材12を通して導入された
試料成分をイオン化させる。
In such a configuration, when used as a CI, the ionization box 3C is pushed into the ionization box 3E, the electron injection port IE and the IC are aligned, and the electron exit port 2 is blocked with the ionization box 3C. In a state where the airtightness is increased, CII gas is introduced from the tube 8, and the electron beam from the filament 9 is incident through the electron incidence ports IE and IC to ionize the CII gas, and then the CII gas is ionized through the porous member 12 by reaction with the CII gas. The introduced sample components are ionized.

次に、EIとして使用する場合にはイオン化箱3Cを点
線の位置、つまりイオン化箱3cの右端が入射口IEを
開放する位置するまで引き出すと共に、CIIガス供給
を停止すれば、電子入射口1Eと出射口2との間を電子
線が通過するため、試料成分が電子の衝撃を受けてイオ
ン化される。
Next, when using it as an EI, pull out the ionization box 3C until the dotted line position, that is, the right end of the ionization box 3c opens the entrance port IE, and stop the CII gas supply. Since the electron beam passes between the electron beam and the exit port 2, sample components are bombarded with electrons and are ionized.

[発明が解決しようとする課題] この複合イオン源においては、CI用イオン化i3cを
EI用イオン化fi3Eがら引き出してEIモードにし
た場合、イオン化箱3cの右端が開放されているため、
多孔性部材表面で気化した試料成分はイオン化箱3E内
に拡散された状態で、電子線衝撃を受けてイオン化され
る。その結果、イオンはイオン化w13E内の全域にお
いて生成される。このようにイオン化箱3E内の全域で
イオンが生成されても、これらのイオンが全て外部に取
り出されるのではなく、イオン出射口の延長線上にある
領域(同図中斜線で示す領域)で発生したイオンのみが
取り出されるため、取出されるイオン量が非常に少ない
。また、イオン出射口10はCIモモ−時の気密性を高
めるためにできるだけ小さく形成されていることからイ
オンの取出し量は、さらに少なくなる。
[Problems to be Solved by the Invention] In this composite ion source, when the ionization i3c for CI is pulled out from the ionization fi3E for EI to set the EI mode, the right end of the ionization box 3c is open.
The sample components vaporized on the surface of the porous member are diffused into the ionization box 3E and are ionized by electron beam impact. As a result, ions are generated throughout the ionization w13E. Even if ions are generated throughout the entire area inside the ionization box 3E, these ions are not all taken out to the outside, but are generated in the area that is an extension of the ion exit (the area shown by diagonal lines in the figure). Since only the ions that have been removed are extracted, the amount of ions extracted is extremely small. Further, since the ion exit port 10 is formed as small as possible to improve airtightness during CI operation, the amount of ions extracted is further reduced.

そこで、本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり
、CI−EI複合イオン源においてEIモード時のイオ
ンの取出し量を増大することのできるイオン源を提供す
ることを目的とするものである。
Therefore, the present invention has been made in view of this point, and it is an object of the present invention to provide an ion source that can increase the amount of ions extracted in the EI mode in a CI-EI composite ion source. .

[課題を解決するための手段] 上記目的を達成するため、本発明のイオン源は電子入射
口を形成したEIイオン化箱と、前記電子入射口を介し
て該EIイオン化市内に導入する電子線を発生する電子
線発生手段と、前記EIイオン化市内に移動可能に挿入
され、がっ電子導入用開口及びイオン出射口を有するC
lイオン化箱と、該Clイオン化箱を先端部に取り付け
た試料導入プローブと、該プローブ内部を通して前記C
lイオン化箱内に試料液を移送するための移送管と、前
記Clイオン化箱内に置がれ、がっ該移送管の先端を封
止するように取り付けられた多孔性部材とを鍮え、化学
イオン化により試料液をイオン化するときには、前記E
1イオン化箱の電子入射口とClイオン化箱の開口とを
一致させて電子線をClイオン化箱内に導入し、また、
電子衝撃により試料液をイオン化するときには、電子入
射口を介して電子線を前記EIイオン化箱内に導入でき
る位置まで前記C!イオン化箱をEIイオン化箱から引
き出し、CIイオン化箱のイオン出射口から噴出する試
料に電子を衝突させるように構成したことを特徴とする
ものである。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the ion source of the present invention includes an EI ionization box having an electron entrance, and an electron beam introduced into the EI ionization chamber through the electron entrance. an electron beam generating means that generates an electron beam, and a C that is movably inserted into the EI ionization area and has an electron introduction opening and an ion exit opening.
a sample introduction probe with the Cl ionization box attached to its tip;
a transfer tube for transferring a sample liquid into the Cl ionization box, and a porous member placed in the Cl ionization box and attached to seal the tip of the transfer tube; When ionizing a sample liquid by chemical ionization, the above E
1. Introducing an electron beam into the Cl ionization box by aligning the electron incidence port of the ionization box with the opening of the Cl ionization box, and
When the sample liquid is ionized by electron impact, the C! It is characterized in that the ionization box is pulled out from the EI ionization box and electrons are made to collide with the sample ejected from the ion exit port of the CI ionization box.

以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。Hereinafter, embodiments of the present invention will be explained in detail based on the drawings.

[実施例] 第1図は本発明におけるイオン源をCIモードで使用し
た場合の実施例を示す断面図、第2図は第1図のBB拡
大矢視図である。
[Example] FIG. 1 is a sectional view showing an example in which the ion source of the present invention is used in CI mode, and FIG. 2 is an enlarged view taken along the line BB in FIG. 1.

同図において、11はa全分析装置におけるイオン源2
体で、内部が高真空に保たれている。12はその蓋体、
13はイオン源ブロック、14はEIイオン化箱、15
は電子線を発生するためのフィラメント、16.17は
前記EIイオン化箱14の外周に対向するように形成さ
れた電子入射口及び電子出射口、18は前2EIイオン
化箱14内で生成されたイオン■1を外部へ取り出し、
加速と集束を行う7電極群で、この電極群中左側の電極
18aは前記EIイオン化箱14の端部に固定され、蓋
体の役目を果たしており、また、この電極の中央部には
イオン通過用の穴19が設けである。さらに、これらの
電極群や前記イオン源ブロック13及びEIイオン化鞘
箱14前記イオン源筐体11に固定されている。
In the figure, 11 is an ion source 2 in the entire analyzer.
The body maintains a high vacuum inside. 12 is the lid body;
13 is an ion source block, 14 is an EI ionization box, 15
16 and 17 are the electron entrance and exit ports formed to face the outer periphery of the EI ionization box 14, and 18 are the ions generated in the previous EI ionization box 14. ■Take out 1 to the outside,
There are seven electrode groups that perform acceleration and focusing, and the left electrode 18a in this electrode group is fixed to the end of the EI ionization box 14 and serves as a lid. A hole 19 is provided for use. Furthermore, these electrode groups, the ion source block 13, and the EI ionization sheath box 14 are fixed to the ion source housing 11.

20はその一端が前記イオン源ブロック13を通してE
Iイオン化箱14内に着脱可能に挿入された筒状の試料
導入プローブで、他端は前記蓋体12の略中央部に設け
た筒状のガイド体21を貫通して外部に取り出され、そ
の先端につまみ22が設けである。また、このプローブ
の内部には気密を保って移送管23が挿入されている。
20 has one end passed through the ion source block 13 and E.
I is a cylindrical sample introduction probe that is detachably inserted into the ionization box 14, and the other end passes through a cylindrical guide body 21 provided at approximately the center of the lid body 12 and is taken out to the outside. A knob 22 is provided at the tip. Further, a transfer tube 23 is inserted into the probe in an airtight manner.

この移送管としては例えば内径40μm程度のフユーズ
ドシリ力管が用いられており、また、移送管の一端は大
気中に取り出され、図示外の液体クロマトグラフに接続
されている。さらに、移送管の他端(EIイオン化箱1
4側)にはその開口部を塞ぐように多孔性部材24が押
しネジ25を介して取り付けられている。
For example, a fused silica tube with an inner diameter of about 40 μm is used as this transfer tube, and one end of the transfer tube is taken out into the atmosphere and connected to a liquid chromatograph (not shown). Furthermore, the other end of the transfer tube (EI ionization box 1
4 side), a porous member 24 is attached via a set screw 25 so as to close the opening.

26は前記多孔性部材24を収納するように前記プロー
ブ20の先端に取り付けられた有底筒状のCIイオン化
箱で、このCIイオン化箱の外周には電子導入用の開口
27が、また、底部にはイオン出射口28が夫々形成し
である。この開口27及びイオン出射口28の大きさは
CIイオン化鞘箱26CIに適した比較的高い圧力に持
つために小さく形成されている。
Reference numeral 26 denotes a cylindrical CI ionization box with a bottom attached to the tip of the probe 20 so as to accommodate the porous member 24, and an opening 27 for introducing electrons is provided on the outer periphery of the CI ionization box. An ion exit port 28 is formed in each of the holes. The opening 27 and the ion exit port 28 are formed small in order to maintain a relatively high pressure suitable for the CI ionization sheath box 26CI.

29は第2図に示すように前記ガイド体21の開放端に
設けられた階段状の案内溝で、前記プローブ20の位置
を規制するためのものであり、また、この案内溝内には
プローブ20に植設されたピン30が嵌合されている。
As shown in FIG. 2, 29 is a stepped guide groove provided at the open end of the guide body 21, and is for regulating the position of the probe 20. A pin 30 implanted in 20 is fitted.

尚、図示しないがイオン源ブロック13には加熱ヒータ
が組み込んであり、また、蓋体12のガイド体21部分
にはエアーロック弁が設けてあり、イオン源筐体11内
の真空を破ることなく、プローブ20の挿脱を行なうこ
とができる。
Although not shown, a heater is built into the ion source block 13, and an air lock valve is provided at the guide body 21 portion of the lid body 12, so that the ion source block 13 can be heated without breaking the vacuum inside the ion source housing 11. , the probe 20 can be inserted and removed.

第1図の状態はピン30が実線で示すように案内溝29
の一番奥にセットされ、CIイオン化鞘箱26EIイオ
ン化箱14の底部(電極18a)まで挿入されている。
In the state shown in FIG. 1, the pin 30 is located in the guide groove 29 as shown by the solid line.
The CI ionization sheath box 26 is inserted to the bottom (electrode 18a) of the EI ionization box 14.

これによりEIイオン化箱14の電子入射口16とCI
イオン化鞘箱26開口27とが一致するため、フィラメ
ント15に通電することにより発生する電子線がCIイ
オン化重箱26内導入される。この状態において、移送
管23及び多孔性部材24を介して液体クロマトグラフ
で展開された試料液をCIイオン化重箱26内導けば、
試料液中の溶媒を反応ガスとしてイオン化が行われる。
As a result, the electron incidence port 16 of the EI ionization box 14 and the CI
Since the opening 27 of the ionization sheath box 26 coincides with the opening 27 of the CI ionization sheath box 26, the electron beam generated by energizing the filament 15 is introduced into the CI ionization sheath box 26. In this state, if the sample liquid developed by the liquid chromatograph is guided into the CI ionization box 26 via the transfer pipe 23 and the porous member 24,
Ionization is performed using the solvent in the sample liquid as a reactive gas.

即ち、電子入射口16及び開口27から入射した電子に
よって多孔性部材24表面で気化された溶媒(反応ガス
)が先ずイオン化され、次いで該溶媒イオンとの化学反
応によって気化した試料成分がイオン化され、生成され
たイオン■1がイオン出射口28.穴19を介して図示
外の質量分析部へ送られるため、CIイオン化による質
量分析を行うことができる。
That is, the solvent (reactive gas) vaporized on the surface of the porous member 24 is first ionized by the electrons incident from the electron entrance port 16 and the opening 27, and then the vaporized sample component is ionized by a chemical reaction with the solvent ions. The generated ions 1 are sent to the ion exit port 28. Since the light is sent to a mass spectrometer (not shown) through the hole 19, mass spectrometry using CI ionization can be performed.

次に、つまみ22を矢印C方向に移動させてピン30を
案内溝29の点線aの位置まで移動させれば、プローブ
20を介してCIイオン化重箱26EIイオン化箱14
から引き出され第3図にその状態を示すようにCIイオ
ン化重箱26EIイオン化苗箱14電子入射口16を塞
ぐ手前で停止される。この状態において、移送管23及
び多孔性部材24を介して液体クロマトグラフからの試
料液をCIイオン化鞘箱26内導入すれば、気化した試
料液がイオン出射口28から噴出し、その噴出した試料
液が電子入射口16から電子出射口17へ向けてEIイ
オン化箱14内を通る電子線の衝撃を受けてイオン化さ
れる。生成されたイオン■2は穴1つを通してLQ分析
部に送られるため、電子衝撃イオン化による質量分析を
行うことができる。
Next, if the knob 22 is moved in the direction of arrow C and the pin 30 is moved to the position indicated by the dotted line a in the guide groove 29, the probe 20 will pass through the CI ionization box 26EI ionization box 14.
As shown in FIG. 3, the CI ionization box 26 is stopped just before the EI ionization seedling box 14 closes the electron entrance port 16. In this state, if a sample liquid from the liquid chromatograph is introduced into the CI ionization sheath box 26 via the transfer tube 23 and the porous member 24, the vaporized sample liquid will be ejected from the ion exit port 28, and the ejected sample will be The liquid is ionized by the impact of the electron beam passing through the EI ionization box 14 from the electron entrance 16 toward the electron exit 17. Since the generated ions (2) are sent to the LQ analysis section through one hole, mass spectrometry using electron impact ionization can be performed.

このとき、イオン出射口28から多量の気化試材液がE
Iイオン化箱14内に導入されるため、EIイオン化箱
内の排気速度を適切に選ばないと、EIイオン化箱内の
圧力が電子衝撃によるイオン化に適した圧力よりも高く
なり過ぎる可能性がある。このようにEIイオン化箱内
の圧力が高くなり過ぎると、化学反応により生成される
イオンの割合が増して好ましくないし、電極群18の部
分の圧力も高まってイオンの通過率が低下し、取り出さ
せるイオン量が減少してしまう。
At this time, a large amount of vaporized sample liquid is released from the ion exit port 28.
Since it is introduced into the EI ionization box 14, the pressure inside the EI ionization box may become too high than the pressure suitable for ionization by electron impact, unless the pumping speed within the EI ionization box is selected appropriately. If the pressure inside the EI ionization box becomes too high as described above, the proportion of ions generated by chemical reactions will increase, which is undesirable, and the pressure at the electrode group 18 will also increase, reducing the rate of ion passage and removing the ions. The amount of ions will decrease.

そのような場合には、第3図中点線で示すようにCIイ
オン化鞘箱26内真空に保たれたイオン源筐体11 (
あるいは真空ポンプ)に連通させる通路31を形成し、
この通路を介してCIイオン化箱内に気化した試料液を
排気するようにすれば、イオン出射口28から噴出する
気化試料液の量を少なくすることができるため、EIイ
オン化箱14の圧力をEIに適した低い圧力に設定する
ことができると共に、電極群18部分の圧力を低くする
ことができる。そのため、CIにより生成されるイオン
の割合は著しく減少し、正確な電子衝撃によるイオン化
に基づくクロマトグラムを得ることができると共に、イ
オン量の減少が防止されて、感度の向上を図ることがで
きる。
In such a case, as shown by the dotted line in FIG. 3, the ion source housing 11 (
or a vacuum pump), forming a passage 31 that communicates with the
By exhausting the vaporized sample liquid into the CI ionization box through this passage, the amount of vaporized sample liquid ejected from the ion exit port 28 can be reduced, so that the pressure in the EI ionization box 14 can be reduced to EI. It is possible to set the pressure to a low level suitable for this, and also to lower the pressure at the electrode group 18 portion. Therefore, the proportion of ions generated by CI is significantly reduced, making it possible to obtain a chromatogram based on accurate ionization by electron impact, and preventing a decrease in the amount of ions, thereby improving sensitivity.

尚、以上の説明は本発明の一例であり、実施にあたって
は幾多の変形が考えられる。例えは上記実施例ではEI
イオン化箱に電子出射口を設けたが、この出射口は必し
も必要ではない。
It should be noted that the above description is an example of the present invention, and many modifications can be made in implementing the present invention. For example, in the above example, EI
Although the ionization box was provided with an electron exit port, this exit port is not necessarily required.

〔効果] 以上詳述したように本発明によれば、密閉したCIイオ
ン化箱の側壁に口径の小さいイオン出射口を形成してい
るため、集中して噴出している気化試料液に電子線を照
射させることができる。その結果、生成されるイオンは
従来のようにEIイオン化箱内金域で発生することなく
、ある一定領域に限定して発生させることができるため
、生成イオンを効率良く取り出すことができる。また、
EIイオン化箱が密閉されているため、EIイオン化箱
に設けるイオン通過用穴は大きくすることができるため
、さらにイオンを効率良く取り出すことができる。
[Effects] As detailed above, according to the present invention, since the ion exit port with a small diameter is formed in the side wall of the sealed CI ionization box, the electron beam is not ejected into the vaporized sample liquid that is ejected in a concentrated manner. It can be irradiated. As a result, the generated ions can be generated only in a certain area without being generated in the metal region within the EI ionization box as in the conventional case, so that the generated ions can be extracted efficiently. Also,
Since the EI ionization box is sealed, the ion passage holes provided in the EI ionization box can be made larger, so that ions can be taken out more efficiently.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図乃至第3図は夫々本発明の一実施例の構成を示す
図、第4図は従来例を説明するための図である。 11:イオン源筐体 14:EIイオン化箱 15:フィラメント 16:電子入射口    17:電子出射口19:イオ
ン通過用穴 20:試料導入プローブ 23:移送管24:多孔性部
材 26:CIイオン化箱 27:開口 28:イオン出射口
1 to 3 are diagrams each showing the configuration of an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a diagram for explaining a conventional example. 11: Ion source housing 14: EI ionization box 15: Filament 16: Electron entrance port 17: Electron exit port 19: Ion passage hole 20: Sample introduction probe 23: Transfer tube 24: Porous member 26: CI ionization box 27 : Opening 28: Ion exit port

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 電子入射口を形成したEIイオン化箱と、前記電子入射
口を介して該EIイオン化箱内に導入する電子線を発生
する電子線発生手段と、前記EIイオン化箱内に移動可
能に挿入され、かつ電子導入用開口及びイオン出射口を
有するCIイオン化箱と、該CIイオン化箱を先端部に
取り付けた試料導入プローブと、該プローブ内部を通し
て前記CIイオン化箱内に試料液を移送するための移送
管と、前記CIイオン化箱内に置かれ、かつ該移送管の
先端を封止するように取り付けられた多孔性部材とを備
え、化学イオン化により試料液をイオン化するときには
、前記EIイオン化箱の電子入射口とCIイオン化箱の
開口とを一致させて電子線をCIイオン化箱内に導入し
、また、電子衝撃により試料液をイオン化するときには
、電子入射口を介して電子線を前記EIイオン化箱内に
導入できる位置まで前記CIイオン化箱をEIイオン化
箱から引き出し、CIイオン化箱のイオン出射口から噴
出する試料に電子を衝突させるように構成したことを特
徴とする質量分析装置用イオン源。
an EI ionization box having an electron entrance; an electron beam generating means for generating an electron beam to be introduced into the EI ionization box through the electron entrance; A CI ionization box having an electron introduction opening and an ion exit port, a sample introduction probe having the CI ionization box attached to its tip, and a transfer tube for transferring a sample liquid into the CI ionization box through the inside of the probe. , a porous member placed in the CI ionization box and attached to seal the tip of the transfer tube, and when ionizing the sample liquid by chemical ionization, the electron incidence port of the EI ionization box is provided. The electron beam is introduced into the CI ionization box by aligning the opening of the CI ionization box with the opening of the CI ionization box, and when the sample liquid is ionized by electron impact, the electron beam is introduced into the EI ionization box through the electron incidence port. An ion source for a mass spectrometer, characterized in that the CI ionization box is pulled out from the EI ionization box as far as possible, and electrons are caused to collide with the sample ejected from the ion exit port of the CI ionization box.
JP63111997A 1988-05-09 1988-05-09 Ion source for mass spectrometry Pending JPH01281652A (en)

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JP63111997A JPH01281652A (en) 1988-05-09 1988-05-09 Ion source for mass spectrometry

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