JPH01264248A - Lsiの冷却水供給装置 - Google Patents

Lsiの冷却水供給装置

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JPH01264248A
JPH01264248A JP63091446A JP9144688A JPH01264248A JP H01264248 A JPH01264248 A JP H01264248A JP 63091446 A JP63091446 A JP 63091446A JP 9144688 A JP9144688 A JP 9144688A JP H01264248 A JPH01264248 A JP H01264248A
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lsi
cooling
cooling water
compressor
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JP63091446A
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Kenji Takahashi
研二 高橋
Takuji Torii
鳥居 卓爾
Kensaku Kokuni
研作 小国
Tetsuharu Yamashita
山下 徹治
Shizuo Zushi
頭士 鎮夫
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
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    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
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    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73253Bump and layer connectors

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  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、LSIの冷却水を供給する装置において、設
定温度からのずれを補正する方法として。
冷却水の供給装置の圧縮機の上流側の調圧弁により、圧
縮機の吸入圧力の制御を行い、簡単な水配管系において
も高い精度で温度制御が可能な方法に係り、特にコンピ
ュータの冷却に好適なLSIの冷却水供給装置に関する
ものである。
〔従来の技術〕
大形コンピュータなどでは多数のLSIが用いられてい
るのでLSIの放熱量が多く、熱負荷が大きくなってい
る。この冷却を、LSI基板裏面などに冷却水を通し、
直接的に冷却で行う場合、圧縮機、′m縮器、蒸発器、
膨張弁から構成される装置 を行うことが多い.この場合,(1)LSIの発熱量の
変動、(2)LSIの発熱量と冷却装置を駆動する圧縮
機のモータから決定される冷却装置の冷却量とが合致し
ない場合,(3)冷媒の熱を放熱するための冷却装置の
中の凝縮器の冷媒の冷却水の温度変動、によりLSIの
冷却水温度があらかじめ決められている設定温度からず
れる.以上述べた要因を詳述すると,前記(2)のLS
Iの発熱量と冷却装置の発熱量が異なるということは、
現在、冷却装置用の圧縮機のモータは,規格品として定
格容量が決められているので、このモータを使用する限
り、日本の商用周波数である5 0 Hz 、あるいは
60 Hzの電源を用いれば冷却装置としての冷却量は
ほぼ固定される。このように規定された冷却量とLSI
の発熱量を一致させるように設計することは困難である
。前記(3)の冷却装置中の凝縮器の冷却水の温度変動
は、この凝縮器の冷却水の熱は屋外の冷却塔にて外気へ
放熱され凝縮器の冷却水の温度を下げているが、外気温
度により放熱量が異なり、凝縮器の温度が変動し、冷却
量の変化の要因となる。
このT、 S Iへ供給する冷却水の設定温度は、高す
ぎればLSI自体が高温となり電子回路の故障の要因と
なり、また逆に設定温度が低すぎると、大気中の湿り気
のために水配管系、あるいはLSI基板部に水分が凝縮
して結露し、この場合も故障の要因となる。このためコ
ンピュータなどへLSIを実送する際には、この設定温
度からの変動幅が少ない方がLSIが安定して作動する
という信頼性の点から望ましい、LSIの冷却水温度が
、前記の要因であらかじめ決められた設定温度からすれ
た場合、これを設定温度へ戻す方法としては、LSIの
冷却水を供給する冷却装置の中の圧縮機をON、OFF
することにより行う方法が一般的である。すなわち、L
SIの冷却水温度が前記したような理由により設定温度
より低くなった場合には、ONの状態から圧縮機を0F
FL、、■、SIの冷却水の温度を高くして設定温度に
近づくように制御する。また圧縮機がOFFの状態で、
 LSHの冷却水の温度が設定温度より高くなった場合
には、圧縮機をONの状態に戻し、冷却を再開する。
この場合、圧縮機のONとOFFにより急激にLSIの
冷却水温度が変動すると、設定温度からのずれの温度範
囲が広くなるので、LSIへの影響も大きくなり望まし
くない。このために、1□SIの冷却水の水配管系の中
の保有水量を多くして、冷却装置の圧縮機のONとOF
Fの影響を少なくする必要がある。すなわち圧縮機がO
NあるいはOFFされても、水配管系が保有する水煙が
多(づれば、水の熱容量により冷却熱量の変動による影
響を受けに<<シて温度変動を抑えることができる。こ
のために、LSIの冷却水配管系に、第13図に示すよ
うに水タンク20を設置し、この水タクシ中に常時水が
たまっている状態で循環を行い、LSIの冷却水配管系
の保有水量を増加させ、冷却熱量の変動によりL S 
Iの冷却水の温度が急激に変化することを防いでいた。
なお、この種の技術としては、[マルチチップパッケー
ジを水冷する。スーパーコンピュータSxシリーズの実
装技術」 (日経エレクトロニクス、1985年6月1
7日号、第243頁〜第266頁)に関連するものが記
載されている。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術は、LSIの冷却水温度を冷却装置内の圧
縮機をON、OFFすることにより、正確に設定温度と
合致させるためには、水タンクを設置して、水配管系内
の保有水量を増加させる必要がある。この水タンクを設
置するためには、冷却装置内にスペースを要し、また水
タンクに付随する配管系のために冷却装置が大形化する
欠点を有していた。
例えば大形コンピュータ用冷却装置であれば、コンピユ
ータ室内に設置されることが一般的であり、設置面積の
低減の要求は大きいが、水タンクを保有する場合、それ
らを収納する筐体は寸法的に大きくなる。
本発明の目的は、LSIの冷却水の温度を正確に一定に
保ちながら、水タンクを必要とせず、冷却装置を小形化
する方法を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は、LSIの冷却水を、あらかじめ設定されて
いる設定温度に一致させて冷却装置を運転するのに、冷
却装置の圧縮機をON、あるいばOFFさぜる代りに、
圧縮機の上流側の配管に調圧弁を設けて、圧縮機の吸込
圧力を調整し、冷媒循環を変更することにより、達成さ
れる。
圧縮機の冷媒ガスの循環量は、LSIの冷却水のための
冷却量に大きく影響する。すなわち、冷凍サイクルによ
れば液体である冷媒の沸In現象を利用して、LSIの
冷却水の熱を冷媒へ熱交換器(蒸発器)を介して伝達す
る。そしてその液冷媒が沸騰により蒸発してガスになっ
た状態で圧縮機へ吸入される。圧縮機で、加圧圧縮され
、さらに圧縮機の吐出配管を経由し、別の熱交換器(凝
縮器)により高温になった冷媒の熱を外部流体(例えば
凝縮器の冷却水)へ伝達させる。冷媒は膨張弁を経て、
はぼ液冷媒の状態となり冷却水と冷媒との間の熱交換を
行う熱交換器(蒸発器)へと再びもどる。このため、圧
縮機上流に設置された調圧弁により圧縮機の吸込圧力を
変化させ、冷凍サイクルを循環する冷媒量を制御して変
化させれば、蒸発器での循環流量の沸騰量も異なるので
、冷却量を可変とすることができる。
このように、LSIの冷却水の冷却量を、LSIの冷却
水の温度変化に応じてきめ細かく調圧弁により制御でき
るので、水配管系の保有水量を増加させることなく、す
なわち水タンクを要することなく正確に設定温度を保ち
ながらLSIを冷却することができる0例えば、設定温
度とLSIの冷却水温度の温度差に比例した調圧弁開度
により制御を行うようにすれば、設定温度を逆方向に越
えるような、冷却水の温度が異動する現象(ハンチング
)を抑えられ、設定温度へ収束する制御も可能となる。
〔作用〕
LSIの冷却水は、圧縮機上流に設置された調圧弁によ
り精密に温度制御される。この調圧弁の開度を決定する
のは、水配管中に固定された一つ、あるいは複数の温度
センサーである。この温度センサーにより検知された温
度と、あらかじめ決定された設定温度の差に応じて演算
制御器により比例制御、あるいは比例積分(PI)、比
例積分微分(P I D)制御の手法を用い、各種の重
みを付加して調圧弁開度が決定される。この調圧弁開度
制御により冷媒ガスの循環量が変わり、冷却熱量が可変
となる。このように調圧弁という比較的簡便なものを応
用することにより、わずかなLSIの冷却水温の変化に
応じて、冷却量を変更することができるので、LSIの
冷却水の保有水量が少なくても設定温度からの温度変化
の許容値を広くせずに密度温度制御することができる。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第1図に示すように、LSI用の筐体1内に実装されて
いるLSI2を冷却するための冷却水流路3、及びポン
プ4.LSI2の冷却水の温度を検知する温度センサー
5、LSI2の冷却水と冷媒流路6を流れる冷媒との間
の熱交換を行う熱交換器(蒸発器)7、冷媒を圧縮する
圧縮機8.圧縮機8と蒸発器7との間に設置された冷媒
流量及び圧縮機8の吸込圧力の制御用の調圧弁10、温
度センサー5にて検出した温度を演算を行って、電気信
号によりその開度が制御できる調圧弁10へ演算処理を
行った電気信号を伝達する演算制御器11、さらに冷媒
と冷媒の冷却水との間の熱交換を行う熱交換器(凝縮器
)12.冷媒の冷却水流路13.冷媒が冷凍サイクルを
形成するための膨張弁14.及びこの冷却装置の筐体1
5から構成されるLSI2の冷水システムを取り上げ、
第2図とともに説明する。なお図中の矢印は冷媒あるい
は冷却水の流れ方向を示す。
圧縮機上流の冷媒循環量の開度を閉じると、蒸発器と圧
縮機の間の圧損が増え、それに伴って蒸発器圧力が増加
し、また圧縮機吸込圧が減少する。
この結果、蒸発器の蒸発圧力によって決まる蒸発温度が
増加し、蒸発温度と比較して常に高温のLSIの冷却水
との温度差が挟まり冷却量が減少する。また、冷媒流量
調節弁を閉じることにより、循環冷媒量が減少し、これ
らのことから冷却量が減少することになる。圧縮機上流
の調圧弁開度を開いた場合には、蒸発器内圧力は減少し
、また循環冷媒量は増えるので冷却量が増加する。
第2図は、LSIの冷却部の詳細を示したもので、基板
19の上のLSI2が熱伝導体18を介してLSIの冷
却水流路17と接続されている。
この場合、LSI2から発熱した熱は、熱伝導体18を
通ってLSIの冷却水へ伝わる。第2図の中の記号Tw
はLSIの冷却水の水温を表し、’r。
はLSIのパッケージの表面温度を表す、このLSIの
冷却水は、第1図の冷却水流路を通り。
熱交換器(蒸発器)7において冷媒へ熱を伝え。
LSIの冷却水は冷却される。
第1図、第2図に示されるようなLSIの冷水供給シス
テムが、LSIから構成される。
例えば大形コンピュータと同じ室内に設置されている場
合の温度等を第3図を用いて説明する。
第3図は、圧縮機の冷却の容量を変える方法としてON
、OFF制御と冷媒流量の調圧弁制御を行った場合のL
SIの冷却水の温度TwとT、SIのパッケージ温度T
oを示している。
LSIの冷却水の温度′rWと、LSIのパッケージ表
面温度Toの差は熱伝導体18の熱抵抗で決まるが、こ
れを61235℃とする。第3図の矢印はこの温度差へ
T=35℃を示している。
LSIの発熱量は、電子回路の構成にもよるが動作の有
無にかかわらずほぼ一定と考えられるので、ここではT
、SIの発熱量の変動はないと仮定する。
T、 S Nの冷却水の水温Twは第1図の温度センサ
ー5により、ここでは25℃に保つような制御を演算制
御器11で行うこととする。この制御は、例えば圧縮機
、熱交換器、膨張弁から構成される冷凍サイクルの凝縮
器の冷却水の温度が変動し、冷凍ザイクルの冷却量が変
化した場合にLSIの冷却水の温度Twを設定温度に安
定に保つように例えば、PI制御などで重みを加減して
制御を行う、一つの例としてT、 S Nの発熱量に応
じて圧縮機上流の調圧弁を調整して、設定温度25℃に
なるようにした場合、第3図にも示したように凝縮器の
冷媒の冷却水の温度が一定の状態で、ある調圧弁開度で
発熱量と冷却量がつり合ったとする。
この場合、LSIのパッケージ温度′1゛0は、T o
 =Tw+ΔTであり、八T−35℃であるので60℃
となる。また圧縮機をON、OFFにより制御した場合
、圧縮機のモータの周波数を50Hz、もしくは60H
zで運転された場合の冷却量とLSIの発熱量がつり合
うことはまれで、開度を自由に設定できる調圧弁が、あ
る開度でつり合う熱量を冷却するには、ON、OFF制
御では6圧縮機をON、OFFする必要がある。この場
合、水温Twは第3図に示されるようにON時には水温
は下降し、OFF時には水温は」二昇する。このON、
OFF制御による温度変動の幅を±2℃とすると、設定
温度を25℃に保つようにするには最高27℃まで達す
ることがあり得る。これに伴いL S Iのパッケージ
の表面温度Toも熱伝導体に対する温度差を考慮すると
62℃と上昇する場合がある。すなわち設定温度を同じ
として比較すると、調圧弁で制御した場合よりも、ON
、OF F制御の場合は2℃はどパッケージ表面温度T
oが上昇する。LSIの作動特性は、ごくわずかの温度
上昇にも敏感で、温度が低い方が故障率が低くなり、信
頼性は高くなる。このことから圧縮機上流に調圧弁を設
番プて冷却量制御を行なえば、圧縮機のON、OFF制
御に比べてLSIの表面温度を一定に保ちやすくなりL
SIの動作の安定性に効果がある9 また大形コンピュータ用として、L S Iが室内に設
置された場合、低温部分に水分が凝縮する結露という現
象が問題となる。このため、L S Iの冷却水の設定
温度が高めに設定されているわけであるが、第3図にも
示さ汎ているように、結露する限界の温度を17℃とす
ると、圧縮機上流の調圧弁で制御すれば25℃が保てる
が、ON、OFF制御の場合は23℃になり、より多く
結露の危険性が生じ、この結露という点からも調圧弁1
0による制御の方がLSIを冷却する場合に効果がある
以上の説明は、LSIの発熱量が一定であるとしていた
が、LSIの発熱量が変動した場合について次に述べる
。−例として、設定温度25℃を保つために圧縮機上流
の調圧弁が開度Aの状態で運転している場合、何らかの
原因でLSIの発熱量が減少したとする。このままの状
態で運転を続けるとLSI2の冷却水温度が低下し、室
内中の空戴温度よりも低くなると空気中の水分が水配管
表面に結露を開始し、さらにはL S Iの冷却水が循
環するLSIの基板】9まで結露することになり、LS
Iの誤動作の原因となる。このために、L S I 2
の冷却水流路3の中の温度センサ5が例えば24.5℃
を検知すると、演算制御器11により圧縮機上流の調圧
弁10の開度をAの状態から閉じて開度Bの状態で運転
を行うようにしておく、これにより圧縮機の吸込圧力は
少なくなり、この結果冷却量が減少しLSIの冷却水温
度の低下を防げる。逆のLSI2の発熱量が増加した場
合も同様で、この場合は調圧弁10の開度を開度Aより
開くことにより、設定温度(例えば25℃)を保つこと
ができる。
冷凍サイクルの凝縮器のための冷却水流路13を流れ、
冷却塔にて外気へ熱を放散する冷却水の温度が、外気の
気温により変化すると冷凍サイ、クルの状態が変わり、
冷却量が変化することがある。
この場合も、LSI2の冷却水の温度が変化するので、
前記したのと同様の方法で圧縮機上流の調圧弁の開度を
増減してLSIの冷却水の温度制御を行うことができる
。これらのLSIの発熱量が変化した場合、あるいは凝
縮器のための冷却水温度が変化した場合も、水温が設定
値(例えば25℃)からずれる量は−LSIの冷却水の
保有水量を同じとすると、ON、OFF制御によるもの
の方が調圧弁10による制御の場合よりも大きく、LS
Iの信頼度は調圧弁1oを用いた場合の方が高くなる。
なお、熱伝導体18を省いてLSI2が冷却水により直
接冷却される実施例も可能である。
第4図は本発明の他の実施例を示したもので。
圧縮機上流の調圧弁10の開度を制御する演算制御器1
1に、圧縮機吐出温度T4と凝縮器の冷媒の凝縮温度T
eを入力することにより、開度を電子的に設定できる電
子式膨張弁21をも制御する電子回路を付加したもので
ある。この電子式膨張弁21は、演算制御器11からの
指示により膨張弁駆動手段24が作動し、内蔵するモー
タを回転させることにより弁開度を調節し、冷凍サイク
ルの状態を変化させるものである。
調圧弁及び電子式膨張弁の構造は次のようなものが考え
られる。モータが回転すると、モータの回転軸に直結さ
れたドライバーがねじ作用で、前後の移動量に変換され
、弁の流路の開度を変化させる。またこの弁は、取り付
けられたベローズのバネ作用により、モータの回転が弁
を開くような方向となった場合、前記ドライバーが戻り
弁開度が開くように作動する。
電子式膨張弁制御により、冷凍サイクルの効率(cop
)を最適にするような冷凍サイクルの状態が、調圧弁1
0の各開度により、圧縮機吐出温度と凝縮器における冷
媒の凝縮温度の差で示される。
これは、あらかじめ各調圧弁開度により最適なcopを
生ずる圧縮機吐出温度と凝縮温度の差を実験的に求めて
おき、各運転状態において最適状態になるように制御を
行う、このとき、圧縮機吐出温度T aと凝縮温度Tc
は湿度センサーにより検知している。この結果、LSI
の発熱量などが変化した場合に応じて圧縮機上流側の調
圧弁10が変化するわけであるが、その各々の時点で冷
凍サイクルの最適な状態で運転することができる。
第5図に、前記した圧縮機上流の調圧弁10を用いた冷
水システムの制御方法の流れ図を、第6図に制御を具体
的に実施するマイコンの流れ図を示す。
第5図に示されるように、ステップ30でLSIの冷却
水の水温Twを温度センサー5で検出し、次式(1)に
よりステップ31で変更する調圧弁1oの開度を決定す
る調圧弁ドライバのパルス数P、の変化量ΔPuを決め
、修正を行う。
ΔPu=Cx (Tw−Ts)       ”(1)
ここでTwは冷却水温度、Tsはあらかじめ定められた
設定値(例えば25℃)、C工は制御定数である。これ
らの過程を第6図を用いて説明すると前記の設定値、及
び制御定数はあらかじめ記憶素子にメモリされ、(1)
式の演算及び調圧弁開度の修正は演算制御器で行なわれ
る。そして演算制御器から調圧弁へ信号が送られる。第
5図のステップ32では、調圧弁ドライバーにて調節弁
の開度が変更され、これに伴って冷却水の冷却量が変化
し、ステップ30に冷却水の温度Twの検出の過程にも
どる。
第7図に、a座弁の開度を変更した際に、冷凍サイクル
を最適化するための電子式膨張弁21を用いた冷凍サイ
クルの制御法の流れ図を、第8図にそれを実現するため
のマイコンの流れ図紮示す。
第7図ではステップ33’!”、既に調圧弁の開度が設
定された状態で電子式膨張弁の制御を行う例を示してい
るいステップ34とステップ351?は、それぞれ圧縮
機吐出温度T a、及び凝縮温度Tcを冷水装置15に
設置された温度センサーにより検出し、ステップ336
では次式(2)の右辺と左辺の?寅1丁を行う。
Ta  Tc=Cz・P+i         ・=(
2)ここでCmはあらかじめ決められた設定定数である
8またPuは、調圧弁に内蔵され、調圧弁の開度を設定
する調圧弁ドライバからのパルス数である、この定数c
2は、調圧弁の開度の各々で。
最適の冷凍サイクルを示すように実験的に決定されるこ
とが多い、そして式(2)の右辺C2・P uと左辺T
a  ’rcが等しい時は、ステップ30の温度センサ
ーによる水温検出の過程に進む。もし前記C2・Puの
値とTa  Tcの値が等しくない場合は、ステップ3
7に示されるように電子式膨張弁の開度変更を行い、再
度ステップ34.ステップ35にて圧縮機吐出温度T 
aと凝縮温度Tcの検出を行い、こノLを繰り返する。
第7図で示されるステップ36の演算及びステップ37
の電子式膨張弁の開度変化の過程は、第8図では演算制
御器のブロックで示される。この場合、前記設定値Cx
は記憶素子にメモリされている。第8図の演算制御器は
膨張弁駆動手段へ指示を行い、電子式膨張弁の開度変更
を行う。
第9図は2本発明の他の実施例を示す図で。
T、 S I 2の下流部の冷却水と冷却装置の熱交換
器(蒸発器)7を通過する冷却水を、冷却水の合流部1
6で合流させ、その下流にポンプ4を設置したものであ
る。この水配管系は、熱交換器(蒸発器)7とL S 
I 2への流路に分流して流ハるのでポンプを通過する
水量は、前記の第1図のようにL]I2の熱交換器(蒸
発器)7の流路が直列状に連なっている場合よりも多い
が、圧力損失を低減できる利点がある。また、この流産
系では、LS I 2の入口冷却水温度と、熱交換器(
蒸発器)7の入口冷却水温度を等しくできるので、前記
の第2図の場合に比べて熱交換器(蒸発器)入口温度を
低くすることができる。すなわち、1.、 S I 2
の冷却水の設定温度によっては、第3図で示される流路
系の八゛が、冷凍サイクルを実現するのに有利である。
例えば、T、SNの冷却水の設定温度を25℃とすると
、前記の第2図で示される場合の熱交換器(蒸発器)入
口温度は1.、、 S ff 2の発熱量とLSffの
冷却水の水量から決められる温度分ブどけ高くなるので
(例えば35℃)、圧縮機吸込圧力が高くなりすぎるこ
とがある。この第3図の場合では、熱交換器入口温度は
、LSIの冷却水の設定温度(例えば25℃)と同じ温
度になるので、圧縮機の選定が容易になる。この第3図
で示される場合シこ、冷却水合流部16において、熱交
換器(蒸発器)出口の冷却水(例えば20℃)と、■、
SI2の出口の冷却水(例えば35°C)と、異なる温
度の水が合流するので、従来のON、OFFにより温度
制御を行う方法では、混合効果を高めるために水タンク
が必要であったが、本発明の調圧弁を用いた冷却装置で
は精密温度制御が可能なため、冷却水合流部1Gでの水
タンクは不要となる。この場合、ポンプ4により、LS
I2の出口の冷却水と、熱交換器(蒸発器)7の出口の
水を混合する効果をも実現することができる。
第10図は、本発明の他の実施例で、LSIの冷却水と
ファン23で駆動される空久との熱交換を熱交換部22
で行い、冷たい空気で1、SI2を冷却する冷水システ
ムを示している。
・第11図は本発明の他の実施例で、圧縮機の−L流配
管の調圧弁10とは別に、r、 S Nを循環させるポ
ンプにインバータ25を取り付けたもので、圧縮機吸込
圧が高くなりすぎた場合にとくにその効果が示される。
すなわち冷凍サイクルの効果を高めるために、調圧弁で
制御される圧縮機吸込圧を高い状態で運転する場合があ
るが、この吸込圧には圧縮機の信頼性に帰因する上限値
がある場合が多く、これを越えるような場合には圧縮機
吸込圧を低くする必要がある。圧縮機吸込圧を低くする
ためには、熱交換器(蒸発器)7の伝熱性能を下げれば
よいが、演算制御器の指示によりボンブ用インバータ2
5の周波数を下げればポンプ回転数が下がり、冷却水の
水速が緩やかになり、伝熱性能が低くなる効果を有する
第12図は本発明の他の実施例で、LSIの冷却水流路
3に流量調節用のバルブを設けたものである。第12図
では演算制御器11によりバルブ26の開度を電気的に
調節するように示しているが、演算制御器11を通さず
に手動式で開度を調節することもできる。このバルブ2
6も前記のように圧縮機吸込圧が高くなったときに、熱
交換器(蒸発器)7の冷却水の水速を下げることを主目
的とする。この水速を変える場合、LSI2の側を通過
する冷却水の水速は一定にするように制御するので2ケ
所にバルブ26を設けている。
以上述べたLSIの冷却水供給装置は、精密温度制御が
可能であり、また寸法の小形化も可能であるので、LS
Iを多数用い、LSIの熱負荷の大きい大形コンピュー
タ用として特に適している。
またインバータにより、圧縮機を駆動するモータの回転
数を制御する方法は、インバータから発生する音の変化
が騒音源となる場合がある6一般に冷却用圧縮機を駆動
するインバータ周波数は、不連続で区切りがあり1例え
ば周波数が56Hzの上の周波数は60 Hzというよ
うになっている。
このため、LSIの水温を一定にするためインバータの
周波数が56 Hzから60Hz、そして、また5 6
 Hzというように、ひんばんに変動すると発生する音
も周波数に比例して高低音状態になり、騒音として聞え
る。
本実施例によれば、圧縮機モータの回転数は一定であり
、高低音状態がくり返される騒音は発生しない効果があ
る。
〔発明の効果〕
本発明によれば、LSIの冷却水の水配管系の簡略化を
行うために、LSIの冷却水の温度を精密に制御する方
法として、LSIの冷却水を供給する冷却装置の圧縮機
の上流側の冷媒配管に、調圧弁を設けることにより、圧
縮機吸込圧の調節を行い、冷却装置の冷却量を変更させ
、冷却水配管系の水タンクを無くしても一定温度状態で
LSIを冷却することが可能となった。このことは冷却
装置を小形化する効果があり、またLSIを温度的によ
り信頼性の高い状態で作動させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は1本発明の冷却方法による冷却系統図、第2図
は、本発明の冷水供給装置のLSIの冷却部を示す斜視
図、第3図は本発明の冷却水供給装置の作用の説明図、
第4図は本発明の他の実施例を示す冷却系統図、第5図
は本発明の冷却水供給装置の制御方法を示す流れ図、第
6図は制御方法を示したマイコンの流れ図、第7図は制
御方法の他の実施例を示す流れ図、第8図は制御方法の
他の実施例を示したマイコンの流れ図、第9図、第10
図、第11図、第12図は本発明の他の実施例を示す冷
却系統図、第13図は従来の冷却方法による冷却系統図
である。 1・・・LSI用の筐体、2・・・LSI、3・・・L
SIの冷却水流路、4・・・ポンプ、5・・・温度セン
サー、6・・・冷媒流路、7・・・熱交換器(蒸発器)
、8・・・圧縮機、10・・・調圧弁、11・・・演算
制御器、12・・・熱交換器(凝縮器)、13・・・冷
媒の冷却水流路、14・・・膨張弁、15・・・冷却装
置の筐体、16・・・LSIの冷却水の合流部、20・
・・水タンク、21・・・電子式膨張弁、22・・・熱
交換部、23・・・ファン、24・・・膨張弁駆動手段
、25・・・ポンプ用インバー箒 1 l 第2関 几 L31 )9)孕、 v−4図 24  やyN熱勅士戻 第5図 第4z 茅 ′7 区 第 3 凹 n;凝縮λ度 28 でa尺寸ドラ4ノで 29  判兄舟苓3本 卒 9 凹 第 10  図 23 7了ン 卒 )1 閃 早 12 関

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、圧縮機と、冷媒と外部流体との熱交換を行う熱交換
    器と膨張弁を有するLSIの冷却水流路とから成るLS
    Iの冷却装置において、前記圧縮機の上流側冷媒配管に
    調圧弁を設けることにより、圧縮機吸込圧を制御し、そ
    してLSIの冷却水により冷却されるLSIの表面温度
    を一定に保つように前記調圧弁開度を、演算制御器によ
    り制御することを特徴とするLSIの冷却水供給装置。
JP63091446A 1988-04-15 1988-04-15 Lsiの冷却水供給装置 Pending JPH01264248A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0480750A2 (en) * 1990-10-11 1992-04-15 Nec Corporation Liquid cooling system for LSI packages
US5293754A (en) * 1991-07-19 1994-03-15 Nec Corporation Liquid coolant circulating system

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0480750A2 (en) * 1990-10-11 1992-04-15 Nec Corporation Liquid cooling system for LSI packages
US5522452A (en) * 1990-10-11 1996-06-04 Nec Corporation Liquid cooling system for LSI packages
EP0817263A2 (en) * 1990-10-11 1998-01-07 Nec Corporation Liquid cooling system for LSI packages
EP0817263A3 (en) * 1990-10-11 1998-01-14 Nec Corporation Liquid cooling system for LSI packages
US5293754A (en) * 1991-07-19 1994-03-15 Nec Corporation Liquid coolant circulating system

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