JPH01257849A - Aligning device for printed board with mask - Google Patents

Aligning device for printed board with mask

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JPH01257849A
JPH01257849A JP63085059A JP8505988A JPH01257849A JP H01257849 A JPH01257849 A JP H01257849A JP 63085059 A JP63085059 A JP 63085059A JP 8505988 A JP8505988 A JP 8505988A JP H01257849 A JPH01257849 A JP H01257849A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mask
circuit board
printed circuit
center position
pin
Prior art date
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Pending
Application number
JP63085059A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hisashi Kojima
久史 小島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP63085059A priority Critical patent/JPH01257849A/en
Publication of JPH01257849A publication Critical patent/JPH01257849A/en
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable accurate aligning at low facility cost with simple constitution by providing a movable aligning pin for a printed board which is supported movably by an elastic body and can be shifted forcibly in position from outside. CONSTITUTION:When the pin part 1a of the movable pin 1 is fitted fixedly in the hole of the printed board against the elastic force of the elastic body 2, the movable pin 1 is set at the center position of the printed board with the elastic force of the elastic body 2 while put close to an original center position, so the center position of the printed board is aligned with the center position of the mask. At this time, when the center position of the printed board needs to be aligned with the center position of the mask more accurately, the movable pin 1 is inserted into a V groove 1c through a hole 6a from outside and thus shifted forcibly in position. Consequently, the high accuracy aligning is performed at low cost with the simple constitution.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 − 本発明は、露光工程でのプリント基板とマスクの位置合
せ装置に係り、とくに高密度実装基板の精密な位置合せ
に好適なプリント基板とマスクの位置合せ装置に関する
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] - The present invention relates to a device for aligning a printed circuit board and a mask in an exposure process, and is particularly suitable for aligning a printed circuit board and a mask in a high-density mounting board. The present invention relates to a mask alignment device.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来1位置決めピンを用いて位置合せする方法は、たと
えば昭和45年4月20日朝倉書店発行[ジグ・取付具
ハンドブック第49頁乃至第51頁」に記載されている
ように、位置決めピンとして固定ピンを使用したものが
紹介されている。
Conventionally, the method of positioning using positioning pins is as described in, for example, "Jig/Fixture Handbook, pages 49 to 51," published by Asakura Shoten on April 20, 1970. A method using pins is introduced.

また、マスクと基板との位置合せに関しては、たとえば
特開昭62−224025号公報および特開昭62−2
24026号公報に記載されているように。
Regarding the alignment of the mask and the substrate, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 62-224025 and Japanese Patent Laid-Open No. 62-2
As described in Publication No. 24026.

CODカメラとアライナとを使用したものが提案されて
いる。
A method using a COD camera and an aligner has been proposed.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

上記前者の従来技術に2いては、2個あるいは3個の固
定ピンを使用して基板を固定するため、2個の固定ピン
の場合にはいずれが1個の固定ピン、6個の固定ピンの
場合には、いずれか1個または2個の固定ピンが基準に
なりやすいので、マスクと基板との位置合せを容易に行
うことができない問題があった。
In the former prior art 2 above, two or three fixing pins are used to fix the board, so in the case of two fixing pins, which one is one fixing pin and which is six fixing pins? In this case, any one or two fixing pins tend to serve as a reference, so there is a problem in that the mask and the substrate cannot be easily aligned.

また、マスクと基板とを同一の固定ピンを使用して固定
する方式もあるが、この方式では、基板とマスクとがと
もに伸縮が大きいため5基板がピンに入らなかったり、
マスク穴が固定ピンによってかじってしまうので固定ピ
ンと基板およびマスクに形成された穴との間隙をあらか
じめ大きく形成して固定ピンと穴とがいイつゆる「ガタ
ガタ」の状態で使用している。
There is also a method of fixing the mask and the substrate using the same fixing pin, but with this method, the five substrates may not fit into the pins because both the substrate and the mask expand and contract a lot.
Since the mask holes are scratched by the fixing pins, the gap between the fixing pins and the holes formed in the substrate and the mask is made large in advance, and the mask is used in a state where the fixing pins and holes are in a "wobbly" state.

このように上記前者の従来技術においては、中心合せの
さいの基板の伸縮について配慮がされておらず、高精度
な位置合せには不向きであった。
As described above, in the former prior art described above, no consideration was given to expansion and contraction of the substrate during center alignment, and it was unsuitable for highly accurate alignment.

さらに、上記後者の従来技術では、構成が複雑で設備費
が高価になる問題があった。
Furthermore, the latter conventional technique has a problem that the configuration is complicated and the equipment cost is high.

本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決するため
、簡単な構成でかつ安価な設備費で精密な位置合せを可
能とするプリント基板とマスクの位置合せ装置を提供す
ることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the problems of the prior art described above, an object of the present invention is to provide a printed circuit board and mask alignment device that has a simple configuration and enables precise alignment at low equipment costs.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記目的を達成するため、本発明においては、あらかじ
め、所定位置に位置決めされたマスクの中心位置にプリ
ント基板を位置合せするプリント基板とマスクの位置合
せ装置において、弾性体で可動しうるように支持され、
かつ外部から強制的に位置を移動しうるように構成され
たプリント基板の位置決め用可動ピンを設けたものであ
る。
In order to achieve the above object, in the present invention, in a printed circuit board and mask alignment device that aligns a printed circuit board to the center position of a mask that has been positioned at a predetermined position in advance, movable support is provided using an elastic body. is,
In addition, a movable pin for positioning the printed circuit board configured to be forcibly moved from the outside is provided.

また、マスクの位置決め用穴に固嵌し、プリント基板の
位置決め用穴に遊嵌するように構成されたマスク位置決
め用固定ピンを設けたものである。
Further, a mask positioning fixing pin configured to firmly fit into the positioning hole of the mask and loosely fit into the positioning hole of the printed circuit board is provided.

また、可動ピンをプリント基板用位置決め穴に固嵌し、
マスクの位置決め用穴に遊嵌するように構成したもので
ある。
Also, firmly fit the movable pin into the positioning hole for the printed circuit board,
It is configured to loosely fit into the positioning hole of the mask.

〔作用〕[Effect]

一ヒ記のように構成されたプリント基板とマスク位置合
せ装置の可動ピンは、前工程で伸縮したプリント基板の
穴内に微動しながら固嵌したのち、弾性体の弾性力によ
り元の状態に復する作用と、外部から強制的に移動され
ることにより、プリント基板の中心位置を伸縮に関係な
く一定に保持させることができる。
The printed circuit board configured as described above and the movable pin of the mask alignment device are firmly fitted into the holes of the printed circuit board that expanded and contracted in the previous process while moving slightly, and then returned to the original state by the elastic force of the elastic body. By this action and being forcibly moved from the outside, the center position of the printed circuit board can be held constant regardless of expansion and contraction.

またプリント基板の穴に遊嵌する大きさの固定ピンにマ
スクの穴を固嵌して、マスクの中心位置を位置決めした
のち、マスク穴に遊嵌する大きさの可動ピンを弾性体に
より微動させながらプリント基板の穴に固嵌すると、弾
性体により可動ピンが元の位置に復する作用をし、かつ
可動ピンの位置を外部から強制的に移動させることによ
り、プリント基板の中心位置を伸縮に関係なくマスクの
中心位置に保持させることができる。
In addition, after positioning the center position of the mask by firmly fitting the mask hole into a fixed pin sized to loosely fit into the hole in the printed circuit board, a movable pin sized to loosely fit into the mask hole is slightly moved using an elastic body. When the movable pin is firmly fitted into the hole of the printed circuit board, the elastic body acts to return the movable pin to its original position, and by forcibly moving the position of the movable pin from the outside, the center position of the printed circuit board can be expanded and contracted. It can be held at the center of the mask regardless of the location.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の一実施例を示す第1図により説明する。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be explained below with reference to FIG.

第1図に示すように、アクリル板などにて形成された露
光用台4には、止メネジ5によって支持板6を締着して
いる。この支持板6は、中央部に貫通する穴6αを形成
し、その上面と、その上面に止メネジ7によって締着さ
れたピンガイド3との間に可動ピン1を水平方向に移動
自在に介挿支持している。この可動ピン1はその上端の
露光用台4の上面より突出する部分にプリント基板(図
示せず)の穴(図示せず)に固嵌するピン部1cLを形
成し、その中実軸部にリング状の弾性体2を嵌挿する溝
18を形成し、下端面にV溝1Gを形成している。弾性
体2は、その外周面をピンガイド3の穴3αの内周面に
対接しているので、平常は1弾性体2の弾性力により可
動ピン1を穴36Lの中心位置に保持させている。なお
図示していないが、露光用台4上には、プリント基板を
載置する以前にあらかじめ中心位置を位置決めされたマ
スクを載置している。
As shown in FIG. 1, a support plate 6 is fastened with a set screw 5 to an exposure table 4 made of an acrylic plate or the like. This support plate 6 has a hole 6α passing through it in the center, and the movable pin 1 is interposed between the upper surface of the hole 6α and the pin guide 3 which is fastened to the upper surface with a set screw 7 so as to be movable in the horizontal direction. It is inserted and supported. This movable pin 1 has a pin portion 1cL that is firmly fitted into a hole (not shown) in a printed circuit board (not shown) at a portion of its upper end that protrudes from the top surface of the exposure table 4, and a solid shaft portion thereof. A groove 18 into which the ring-shaped elastic body 2 is inserted is formed, and a V-groove 1G is formed in the lower end surface. Since the outer peripheral surface of the elastic body 2 is in contact with the inner peripheral surface of the hole 3α of the pin guide 3, the elastic force of the elastic body 2 normally holds the movable pin 1 at the center position of the hole 36L. . Although not shown, a mask whose center position has been determined in advance is placed on the exposure table 4 before the printed circuit board is placed thereon.

つぎに、プリント基板の位置合せ動作について説明する
Next, the alignment operation of the printed circuit board will be explained.

常工程すなわち、電子部品の装着などによって伸縮した
プリント基板があらかじめ位置決めされたマスク上に載
置するとき、可動ピン1のピン部1αが弾性体2の弾性
力に打ちかつて微動しながらプリント基板の穴内に固嵌
すると、弾性体2の弾性力により可動ピン1が元の中心
位置に寄せられながらプリント基板の中心位置を位置決
めするので、プリント基板はその中心位置をマスクの中
心位置に位置合せされる。
In a normal process, when a printed circuit board that has expanded and contracted due to the mounting of electronic components, etc. is placed on a pre-positioned mask, the pin portion 1α of the movable pin 1 hits the elastic force of the elastic body 2, causing the printed circuit board to move slightly. When the movable pin 1 is firmly fitted into the hole, the elastic force of the elastic body 2 moves the movable pin 1 to the original center position and positions the center of the printed circuit board, so that the center of the printed circuit board is aligned with the center of the mask. Ru.

このとき、プリント基板の中心位置をさらに正確にマス
クの中心位置に位置合せする必要がある場合には、外部
から穴δα内を通ってV溝1c内に挿入し、可動ピン1
の位置を強制的に移動させることによってプリント基板
とマスクの位置合せをすることができる。
At this time, if it is necessary to more accurately align the center position of the printed circuit board with the center position of the mask, insert it from the outside into the V-groove 1c through the hole δα, and insert the movable pin 1
By forcibly moving the position of the mask, the printed circuit board and the mask can be aligned.

つぎに、本発明を露光工程用プリント基板およびマスク
装着装置に実施した場合を示す第2図2よび第3図につ
いて説明する。
Next, a description will be given of FIGS. 2 and 3 showing the case where the present invention is applied to a printed circuit board for an exposure process and a mask mounting device.

第2図に示すように、アクリル板などにて形成された露
光用下板8αに複数c図では2個)の固定ピン9の頭部
を固定するとともに、上記第1図と同様な構成をした複
数(図では2個)の可動ピン1を弾性体2により可動自
在に設置している。上記複数の固定ピン9は、それぞれ
、プリント基板、 7 。
As shown in FIG. 2, the heads of a plurality of fixing pins 9 (two in FIG. A plurality of (two in the figure) movable pins 1 are movably installed by an elastic body 2. Each of the plurality of fixing pins 9 is a printed circuit board.

12の上下両面に配置された2枚のマスク10の穴11
αに固嵌し、第3図に示すプリント基板12の穴16α
に遊嵌する大きさに形成されている。可動ピン1のピン
部1αは、2枚のマスク10の穴11/Lに遊嵌し、プ
リント基板12の穴154に固嵌する大きさに形成され
ている。また上方のマスク10の上面には、露光用上板
8bを配置している。この露光用上板84はアクリル板
などにて形成され、その下面には、固定ピン9の先端部
および可動ピン1のピン部 1α先端部をそれぞれ遊嵌
する溝14αを形成し、その外周部と露光用下板8cL
との間にノくツキング15を介挿してプリント基板12
および2枚のマスク10を密封している。
Hole 11 of two masks 10 arranged on both upper and lower sides of mask 12
α, and the hole 16α of the printed circuit board 12 shown in FIG.
It is sized to fit loosely into the The pin portion 1α of the movable pin 1 is formed in a size that allows it to loosely fit into the holes 11/L of the two masks 10 and to fit securely into the hole 154 of the printed circuit board 12. Further, on the upper surface of the upper mask 10, an upper plate 8b for exposure is arranged. The upper plate 84 for exposure is formed of an acrylic plate or the like, and has grooves 14α formed in its lower surface into which the tips of the fixed pins 9 and the tips of the pin portions 1α of the movable pins 1 are loosely fitted, and the outer periphery of the grooves 14α are formed. and lower plate for exposure 8cL
The printed circuit board 12 is inserted by inserting a notch 15 between the
and two masks 10 are sealed.

つぎにプリント基板12およびマスク10の位置合せお
よび装着動作について説明する。
Next, the alignment and mounting operations of the printed circuit board 12 and the mask 10 will be explained.

まづ、露光用下板BcL上に可動ピン1に遊嵌し、固定
ピン9に固嵌して中心位置を位置決めされた下方のマス
ク10を載置する。
First, the lower mask 10 whose central position is determined by loosely fitting the movable pin 1 and firmly fitting the fixed pin 9 is placed on the lower exposure plate BcL.

ついで、下方のマスク10上に前工程で伸縮したプリン
ト基板12をその穴13αに固定ピン9を遊嵌、8 。
Next, the fixing pin 9 is loosely fitted into the hole 13α of the printed circuit board 12 which has been expanded and contracted in the previous process on the lower mask 10, 8.

し、穴13−erに可動ピン1のピン部iaを水平方向
に微動させながら固嵌して載置する。このときプリント
基板12の伸縮のため、穴13kに固嵌された可動ピン
が偏心した位置に位置する場合には弾性体20弾性力に
よって複数の可動ピン1が互いに左右方向に寄せられな
がらプリント基板12の位置を位置決めするので、プリ
ント基板12の中心位置は下方のマスク10の中心位置
に位置合せされる。もしさらに高精度に位置合せを必要
とする場合には、外部から穴6cL内を通ってV溝1G
内に挿入して可動ピン1の位置を強制的に移動させるこ
とによってプリント基板12を下方のマスク10に高精
度で位置合せすることができる。
Then, the pin portion ia of the movable pin 1 is firmly fitted and placed in the hole 13-er while being slightly moved in the horizontal direction. At this time, due to the expansion and contraction of the printed circuit board 12, if the movable pins firmly fitted in the holes 13k are located at eccentric positions, the plurality of movable pins 1 are moved toward each other in the left and right direction by the elastic force of the elastic body 20, and the printed circuit board 12, the center of the printed circuit board 12 is aligned with the center of the mask 10 below. If more precise alignment is required, insert the V-groove 1G from the outside through the hole 6cL.
By inserting the movable pin 1 into the inside and forcibly moving the position of the movable pin 1, the printed circuit board 12 can be aligned with the mask 10 below with high precision.

ついで、上方のマスク10を下方のマスク10と同様に
可動ピン1に遊嵌し、固定ピン9に固嵌することにより
その中心位置が位置決めされた状態でプリント基板12
の上面に載置される。
Then, like the lower mask 10, the upper mask 10 is loosely fitted onto the movable pin 1, and firmly fitted onto the fixed pin 9, thereby positioning the printed circuit board 12 with its center position determined.
is placed on the top surface of the

ついで露光用上板師を上方のマスク10上に載置すると
ともに露光用下板8aの上面との間にバンキング15を
介挿することによりプリント基板12およびマスク10
が密封される。
Next, the upper plate for exposure is placed on the upper mask 10, and the banking 15 is inserted between the upper surface of the lower plate for exposure 8a, thereby removing the printed circuit board 12 and the mask 10.
is sealed.

したがってプリント基板12と2枚のマスク10との位
置合せと装着とを同時に行なうことができる。
Therefore, the printed circuit board 12 and the two masks 10 can be aligned and attached at the same time.

また、従来の位置合せ装置では±0.1mm程度の精度
で位置合せするのが限界であったが、本発明によれば±
Q、 05 mm程度の精度を保持することができる。
Furthermore, with conventional alignment devices, the limit was alignment accuracy of approximately ±0.1 mm, but with the present invention, ±
Q. Accuracy of about 0.5 mm can be maintained.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、簡単な構成、安価の費用で、かつ高精
度でプリント基板とマスクに位置合せすることができる
According to the present invention, it is possible to align the printed circuit board and the mask with a simple configuration, low cost, and high precision.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例であるプリント基板とマスク
との位置合せ装置を示す断面図、第2図は本発明の他の
一実施例である露光工程プリント基板およびマスク装着
装置を示す断面図、第6図はプリント基板の平面図であ
る。 1・・・可動ピン、    2・・・弾性体3・・・ピ
ンガイド、   4・・・露光台。 8・・・露光用上下板、  9・・・固定ピン。 10・・・マスク、12・・・プリント基板、15・・
・バンキング。
FIG. 1 is a sectional view showing an alignment device for a printed circuit board and a mask, which is an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view showing an exposure process printed circuit board and mask mounting device, which is another embodiment of the invention. The sectional view and FIG. 6 are plan views of the printed circuit board. 1... Movable pin, 2... Elastic body 3... Pin guide, 4... Exposure table. 8... Upper and lower plates for exposure, 9... Fixing pin. 10... Mask, 12... Printed circuit board, 15...
・Banking.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 1.あらかじめ所定位置に位置決めされたマスクの中心
位置に、そのマスク上に載置されるプリント基板の中心
位置を位置合せするプリント基板とマスクの位置合せ装
置において、弾性体で可動しうるように支持され、かつ
外部から強制的に位置を移動しうるように構成されたプ
リント基板の位置決め用可動ピンを設けたプリント基板
とマスクの位置合せ装置。
1. In a printed circuit board and mask alignment device that aligns the center position of a printed circuit board placed on the mask with the center position of a mask that has been positioned at a predetermined position in advance, a , and a printed circuit board and mask positioning device provided with a movable pin for positioning the printed circuit board configured to be forcibly moved from the outside.
2.マスクの位置決め用穴に固嵌し、プリント基板の位
置決め用穴に遊嵌するように構成されたマスク位置決め
用固定ピンを設けた請求項1記載のプリント基板とマス
クの位置合せ装置。
2. 2. The printed circuit board and mask positioning device according to claim 1, further comprising a mask positioning fixing pin configured to firmly fit into the positioning hole of the mask and loosely fit into the positioning hole of the printed circuit board.
3.可動ピンをプリント基板用位置決め穴に固嵌し、マ
スクの位置決め穴に遊嵌するように構成した請求項1記
載のプリント基板とマスクの位置合せ装置。
3. 2. The printed circuit board and mask positioning device according to claim 1, wherein the movable pin is firmly fitted into the printed circuit board positioning hole and loosely fitted into the mask positioning hole.
JP63085059A 1988-04-08 1988-04-08 Aligning device for printed board with mask Pending JPH01257849A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0531947U (en) * 1991-10-02 1993-04-27 株式会社小森コーポレーシヨン Plate positioning device
JPH06125159A (en) * 1992-10-09 1994-05-06 Adtec Eng:Kk Method and apparatus for exposure of printed-circuit board

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