JPH01257330A - レジスト塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレジスト塗布装置に関し、特に半導体ウェハの
製造工程において半導体ウェハのベーク時間、スピンの
回転数等を定め次プログラムを選択するレジスト塗布装
置のプログラム選択装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、この種の塗布装置は、ベーク時間、温度、スピン
回転数９時間等を予め入力しておき、各処理パターンを
プログラムと称して記憶回路に貯え、各プログラムに対
応する番号を選択スイッチで選択することによシ、塗布
装置を動作させるものとなっている。

第２図は従来のレジスト塗布装置のプログラム選択方式
を示すブロック図であシ、この装置は、プログラムを選
択する複数の選択スイッチからなるスイッチ装置５と、
これら選択スイッチによ）選択された信号をコントロー
ルユニット４が読み込める信号に変換するための変換回
路６を有し、選択されたプログラム番号によシコントロ
ールユニット４にて実処理を行うように構成されている
。

次にかかる従来装置の動作について説明する。

通常、半導体クエハの製造工程ではりソゲラフイエ程は
最大十数種類あシ、処理パターンも同数あると考えてよ
い。しかるに、オペレータは、工程表をもとにして、ス
イッチ装置５によりプログラムを選択する◇そして、こ
の選択されたプログラムは、変換回路６で所定の信号に
変換されたのち、コントロールユニット４へ伝えられ、
実行されるのである。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、従来のレジスト塗布装置のプログラム選択装置
は以上のように構成されているので、オペレータは工程
表を読み取シ、プログラム選択することが必要になり、
オペレータの判断誤りによシ誤ったプログラムが選択さ
れてしまうという問題点があった。

本発明は上記のような問題点を解消するためになされた
もので、オペレータの誤判断をなくすことができるレジ
スト塗布装置を得ることを目的とする０ 〔課題を解決するための手段〕 本発明に係るレジスト塗布装置は、レジスト塗布装置の
運転パターンを選択するプログラム番号をバーコード化
し、該コードを読み取る読取装置と、この読取装置で読
み取られた前記コードをプログラム番号に変換する変換
回路とを備え、この変換回路によシ変換されたプログラ
ム信号をコントロールユニットへ伝送して処理パターン
を実行するようにしたものである。

〔作　用〕

本発明においては、レジスト塗布装置の運転パターンを
選択するプログラム番号、つまシ工程表の処理コードを
バーコード化し、このコードを光学的ま友は磁気的に読
み取ることによシ、工程表上に作成された処理コードを
一連のパルス列として検出できることになる。

〔実施例〕

以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。

第１図は本発明の一実施例によるレジスト塗布装置のブ
ロック図である。同図において、１はレジスト塗布装置
の処理工程毎に実行するプログラムがバーコード形式で
描かれているバーコード表、２はこのバーコード表１に
描かれたバーコードを読み取るように発光部分と受光部
分から構成され次光学式の読取装置、３はこの読取装置
２によシ検出された一連のパルス列をコントロールユニ
ットの入力に適合し次プログラム信号に変換する次めの
変換回路、４はコントロールユニットであシ、このコン
トロールユニット４は前記変換回路３で変換されたプロ
グラムに従って塗布装置（図示せず）を従来と同様に動
作させるものとなっている。

次に上記実施例構成の動作を説明する。

ここで、ウェハ製造工程のレジスト塗布パターンは予め
コントロールユニット４に収められている。また、バー
コード表１には、各工程毎の塗布パターンに対応するプ
ログラム番号がバーコード形式で描かれているものとす
る０ しかして、オペレータは、処理ロフトに付属しである上
記バーコード表１を光学式読取装置２にニジスキャンす
ることによりプログラムを選択する。すると、この選択
されたプログラムは、変換回路３によシコントロールユ
ニット４０入力に適合した信号に変換されたのち、その
コントロールユニット４に伝えられる。これにより、コ
ントロールユニット４はオペレータにニジ載置されｔロ
ットを、上記方法で選択され友プログラムにより処理を
行う。

このように、本実施例によると、工程表の処理コードを
バーコード化したバーコード表１を用い、このバーコー
ドを光学的に読取装置２で読み取シ、一連のパルス列と
して検出することによシ、従来のように、オペレータが
工程表を読み取シ、プログラムの選択操作をすることは
なくなシ、オペレータによるプログ２ムの誤選択を防止
することができる。

なお、上記実施例では、読取装置２を光学方式にて行う
ものを示したが、磁気方式にて読取装置を実現してもよ
い。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、レジスト塗布装置の処理
プログラムをバーコード化し、このコードを読取装置に
てスキャンすることにより、プログラムを選択するよう
にし九ので、プログラムの誤選択がなく、信頼性の高い
ものが得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるレジスト塗布装置を示
すブロック図、第２図は従来のレジスト塗布装置の一例
を示すブロック図である。 １・・・・バーコード表、２・嗜・拳読取装置、３・・
・・変換回路、４・・ｅ・コントロールユニット。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　レジスト塗布装置において、該塗布装置の運転パター
   ンを選択するプログラム番号をバーコード化し、該コー
   ドを読み取る読取装置と、この読取装置で読み取られた
   前記コードをプログラム番号に変換する変換回路とを備
   えたことを特徴とするレジスト塗布装置。