JPH01253644A - Piezoelectric-element applying sensor - Google Patents

Piezoelectric-element applying sensor

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JPH01253644A
JPH01253644A JP8079288A JP8079288A JPH01253644A JP H01253644 A JPH01253644 A JP H01253644A JP 8079288 A JP8079288 A JP 8079288A JP 8079288 A JP8079288 A JP 8079288A JP H01253644 A JPH01253644 A JP H01253644A
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JP
Japan
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piezoelectric element
conversion circuit
impedance conversion
metal plate
temperature correction
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JP8079288A
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Japanese (ja)
Inventor
Koji Yoshino
浩二 吉野
Takashi Kashimoto
隆 柏本
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To stabilize the detection of moisture and to detect the cooking state of food in a simple constitution, by molding a piezoelectric element, a temperature correcting element and an impedance conversion circuit with a resin on a metal plate. CONSTITUTION:A pair of electrodes 3 are evaporated on a lead titanate based piezoelectric element 2. The electrodes are bonded on a metal plate 5 with a bonding agent 4. The piezoelectric element 2, a temperature correcting element 11, an impedance conversion circuit 6, the metal plate 5 and the lead-out parts of various lead wires 8, 9, 13 and 14 are sealed with a molding material having no moisture transmitting property as a unitary body. When this sensor is used for detecting the heated state of food, the detecting time is not extended due to the decrease in output caused by the temperature characteristic of the piezoelectric element. Dispersion due to the effect of noises and leaking due to moisture can be prevented, and stable cooking can be performed.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、圧電素子の応用に関し、特に電子レンジなど
の調理機器関係の湿度センサに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to the application of piezoelectric elements, and particularly to humidity sensors for cooking appliances such as microwave ovens.

従来の技術 従来、湿度センサとしては、第8図に示すようにセンサ
チップ38、ヒータ39、樹脂ベース40、メツシュカ
バー41、端子42で構成されている。センサチップ3
8は湿度によりその抵抗値が変化するので、基準電圧と
その抵抗値で決まる電圧との比較によって、電子レンジ
の調理状態の検出を行なっていた。ピータ39は、湿度
センサを電子l/レンジ用いた場合、食品のガス、油等
によりセンサチップ38が汚れるのでリフレッシュをす
るためのものであり、メツシュカバー41は防風用で、
ヒータ39の省電力化のために用いている。(ナショナ
ルテクニカルL/ポートvol。
2. Description of the Related Art Conventionally, a humidity sensor is comprised of a sensor chip 38, a heater 39, a resin base 40, a mesh cover 41, and a terminal 42, as shown in FIG. sensor chip 3
Since the resistance value of No. 8 changes depending on humidity, the cooking state of the microwave oven is detected by comparing a reference voltage with a voltage determined by the resistance value. The peta 39 is for refreshing the sensor chip 38 because it gets dirty due to food gas, oil, etc. when the humidity sensor is used in a microwave oven, and the mesh cover 41 is for windproofing.
This is used to save power of the heater 39. (National Technical L/Port vol.

29N○j  JAN 1983 ) また、第9図に示すように超音波マイクを湿度センサと
して用いた場合を説明する。超音波マイクは、圧電素子
43、スペーサ44、端子45、振動部46、ケース4
7、リ−1・線48、内リング49、端子板50.シリ
コンゴム51から構成されている。食品の調理状態の検
出に関しては、特開昭62−112929号公報に示し
ている。
29N○j JAN 1983) Also, as shown in FIG. 9, a case will be described in which an ultrasonic microphone is used as a humidity sensor. The ultrasonic microphone includes a piezoelectric element 43, a spacer 44, a terminal 45, a vibrating part 46, and a case 4.
7, Lee-1/wire 48, inner ring 49, terminal plate 50. It is made of silicone rubber 51. Detection of the cooking state of food is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 112929/1983.

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のように湿度センサを用いると、調理
中に食品中のガスや油などがセンサチップ38に付着し
て検出感度が落ちてくるため、−回の調理毎にリフレッ
シ、−加熱処理用のヒータ39などでセンサチップ38
の付着物を蒸発させなければならず、余分な電力やコス
トが発生する上、抵抗両端の電圧を制御信号として用い
ているので、数多く生産する場合に、各構成要素である
センサチップ38の抵抗や、その他の抵抗、電源電圧の
ばらつき等が制御電圧信号のばらつきに結びイ1くこと
になり、管理が困難であった。
Problems to be Solved by the Invention However, when using a humidity sensor as described above, gas and oil in the food adhere to the sensor chip 38 during cooking and the detection sensitivity decreases. Refresh, - Sensor chip 38 with heater 39 for heat treatment, etc.
It is necessary to evaporate the deposits on the sensor chip 38, which generates extra power and cost, and the voltage across the resistor is used as a control signal. , other resistances, variations in power supply voltage, etc. lead to variations in the control voltage signal, making management difficult.

また、超音波マイクを用いた場合、そのケース47の形
状に共振周波数、振動等の考慮が入り複雑な上、圧電素
子43の温度特性により、電子レンジで食品を繰り返し
加熱すると、圧電素子43を取り付けた排気部の温度が
一ヒ昇するので、その排気部の雰囲気温度条件で圧電素
子43の分極電流も低下し、同じ量の食品を加熱しても
加熱終了時間が沖びていき、調理の仕上がり温度が変わ
るという課題があった。
Furthermore, when an ultrasonic microphone is used, the shape of the case 47 is complicated due to consideration of resonance frequency, vibration, etc., and due to the temperature characteristics of the piezoelectric element 43, when food is repeatedly heated in a microwave oven, the piezoelectric element 43 may be damaged. As the temperature of the attached exhaust part rises, the polarization current of the piezoelectric element 43 also decreases due to the atmospheric temperature condition of the exhaust part, and even if the same amount of food is heated, the heating end time becomes longer, and the cooking time increases. There was a problem with the finishing temperature changing.

また、圧電素子43の出力である分極電流は微小であり
、制御する場合には高入力インピーダンスの回路や増幅
器が必要であり、圧電素子43から回路までのリード部
が長いと雑音による影響も大きいという課題があった。
In addition, the polarization current that is the output of the piezoelectric element 43 is minute, and when controlling it, a circuit or amplifier with high input impedance is required, and if the lead part from the piezoelectric element 43 to the circuit is long, the influence of noise is large. There was a problem.

5 \− さらに、圧電素子43は絶縁体に近く、湿度が高いとリ
ーク電流か増えるなど、環境湿度の影響を受は安いとい
う課題も有していた。
Furthermore, since the piezoelectric element 43 is close to an insulator, there is also the problem that the piezoelectric element 43 is not easily affected by environmental humidity, such as an increase in leakage current when the humidity is high.

課題を解決するための手段 上記問題点を解決するために、本発明の圧電素子応用セ
ンサは、金属板もしくは導電性を有する板体と、それぞ
れ一対の電極を有する圧電素子および温度補正素子と、
インピーダンス変換回路を有し、前記圧電素子および前
記温度補正素子の電極のそれぞれの一端と前記インピー
ダンス変換回路のグランドを前記金属板もしくは導電性
を有する板体上に電気的に接続し、前記圧電素子の電極
の他端と前記インピーダンス変換回路の入力端を電気的
に接続し、前記金属板もしくは導電性を有する板体と、
前記温度補正素子の電極の他端と、前記インピーダンス
変換回路の出力端と、前記インピーダンス変換回路への
電源供給部とからそれぞれリード線を導出し、前記金属
板もしくは導電性を有する板体と前記圧電素子と前記温
度補正素子と前記インピータンス変換回路と前記各リー
ド線の導出部を樹脂で一体モールドする構成としたもの
である。
Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the piezoelectric element applied sensor of the present invention includes a metal plate or a conductive plate, a piezoelectric element and a temperature correction element each having a pair of electrodes,
an impedance conversion circuit, one end of each of the electrodes of the piezoelectric element and the temperature correction element and the ground of the impedance conversion circuit are electrically connected on the metal plate or a conductive plate; The other end of the electrode and the input end of the impedance conversion circuit are electrically connected, and the metal plate or a conductive plate body;
Lead wires are led out from the other end of the electrode of the temperature correction element, the output end of the impedance conversion circuit, and the power supply section to the impedance conversion circuit, and the metal plate or the conductive plate and the The piezoelectric element, the temperature correction element, the impedance conversion circuit, and the lead-out portions of the lead wires are integrally molded with resin.

作  用 本発明によれば、圧電素子を用いており、電子レンジな
どの調理機器に使用する場合、温度補正素子と、インピ
ーダンス変換回路とを、一体モールド化によって、簡単
な構成で食品の調理具合を正確に検知出来る。
According to the present invention, a piezoelectric element is used, and when used in a cooking appliance such as a microwave oven, the temperature correction element and the impedance conversion circuit are integrally molded to easily control the cooking condition of food. can be detected accurately.

実施例 以下、本発明の一実施例について添付図面に基づいて説
明する。
EXAMPLE Hereinafter, an example of the present invention will be described based on the accompanying drawings.

第1図は、本発明の一実施例の圧電素子応用センサ1の
断面図である。チタン酸鉛系の圧電素子2に一対の蒸着
された電極3が施され、電極3の一端は接着剤4で金属
板5上に電気的に接触し、接着されている。電極3の他
端はインピーダンス変換回路6の入力部7に入っている
。さらにインピーダンス変換回路6からは、電源供給部
のリード8と出力部のリード9が導出され、アースに接
続されるためのグランド10は金属板5に接続さ7 ・
\−ノ れている。温度補正素子11の電極12の一端は接着剤
4で金属板5上に電気的に接触し、接着されている。温
度補正素子11の電極12の他端からはリード13が導
出されている。金属板5がらはアースに接続されるため
のリード14も導出されている。なお、各種リード線は
電気的に絶縁されている。樹脂15は、環境湿度の影響
を防ぐために、圧電素子2、温度補正素子11、インピ
ーダンス変換回路6、金属板5、各種リード線8゜9.
13.14の導出部を透湿性の無いモールド材で一体に
封止している。これらにより、圧電素子応用センサ1は
構成されている。
FIG. 1 is a sectional view of a piezoelectric element applied sensor 1 according to an embodiment of the present invention. A pair of vapor-deposited electrodes 3 are applied to a lead titanate-based piezoelectric element 2, and one end of the electrodes 3 is electrically contacted and bonded onto a metal plate 5 with an adhesive 4. The other end of the electrode 3 enters an input section 7 of an impedance conversion circuit 6. Furthermore, a lead 8 for a power supply section and a lead 9 for an output section are led out from the impedance conversion circuit 6, and a ground 10 for connection to earth is connected to the metal plate 5.
\-It's gone. One end of the electrode 12 of the temperature correction element 11 is in electrical contact with and adhered to the metal plate 5 with an adhesive 4. A lead 13 is led out from the other end of the electrode 12 of the temperature correction element 11. A lead 14 for connection to ground is also led out from the metal plate 5. Note that the various lead wires are electrically insulated. In order to prevent the influence of environmental humidity, the resin 15 includes a piezoelectric element 2, a temperature correction element 11, an impedance conversion circuit 6, a metal plate 5, and various lead wires 8.9.
The lead-out portions 13 and 14 are integrally sealed with a non-moisture permeable molding material. These constitute the piezoelectric element application sensor 1.

第2図は、本発明の圧電素子応用センサ1を有する電子
レンジの本体構成図である。食品16を出し入れする加
熱室17と、食品16を高周波加熱するマグネトロン1
8、加熱室排気部19に設けた圧電素子応用センサ1(
もちろん圧電素子とインピーダンス変換回路と温度補正
素子とを含む)マクネトロン18を冷却する冷却ファン
20、冷却ファン20の風を一部加熱室17へ送風する
ダクト21、圧電素子の出力信号22をろ波するろ波器
23(以後フィルタとよぶ)、フィルタ23の信号24
を増幅する増幅器25、増幅器25の信号26に温度補
正素子の信号27で補正を掛けたり各種機器動作を制御
する制御器28等で構成されている。
FIG. 2 is a block diagram of the main body of a microwave oven having the piezoelectric element applied sensor 1 of the present invention. A heating chamber 17 into which the food 16 is taken in and taken out, and a magnetron 1 which heats the food 16 with high frequency.
8. Piezoelectric element application sensor 1 (
A cooling fan 20 that cools the McNetron 18 (which of course includes a piezoelectric element, an impedance conversion circuit, and a temperature correction element), a duct 21 that blows part of the air from the cooling fan 20 to the heating chamber 17, and a filter that filters the output signal 22 of the piezoelectric element. filter 23 (hereinafter referred to as filter), the signal 24 of the filter 23
The controller 28 includes an amplifier 25 that amplifies the signal 25, a controller 28 that corrects the signal 26 from the amplifier 25 with a signal 27 from the temperature correction element, and controls various equipment operations.

食品16の加熱終了検知は以下のように行われる。加熱
室17内には食品16が配され、マグネトロン18の冷
却風の一部は、冷却ファン2oによりダクト21を介し
て加熱室17内に導かれる。
Detection of the completion of heating the food 16 is performed as follows. Food 16 is placed in heating chamber 17, and a portion of the cooling air from magnetron 18 is guided into heating chamber 17 via duct 21 by cooling fan 2o.

冷却風の一部を実矢線30で、食品16から発生する水
分等の気体を点矢線31で示している。冷却風の一部3
0と、食品16から発生する水分等の気体31は、排気
部19を通って加熱室17の外部へ排出される。この時
圧電素子応用センサ1と食品16から発生する水分等の
気体31の間に熱の授受があり、それに応じて圧電素子
応用センサ1は出力信号22を発生する。この出力信号
22は、フィルタ23でろ波され、増幅器25で増幅さ
れ、制御器28に入る。制御器28内に入9、、−7 った出力信号がある設定レベルをこえると、加熱終了と
判断して、制御器28から制御信号29が出て、マグネ
トロン18の発振や冷却ファン2゜を停止させる仕組み
である。この時温度補正信号27により、圧電素子の温
度特性による出力22の低下を補正して、安定した加熱
終了検知を行っている。
A portion of the cooling air is shown by a solid arrow line 30, and a gas such as moisture generated from the food 16 is shown by a dotted arrow line 31. Part 3 of cooling air
0 and gas 31 such as moisture generated from the food 16 are discharged to the outside of the heating chamber 17 through the exhaust section 19. At this time, heat is exchanged between the piezoelectric element applied sensor 1 and the gas 31 such as moisture generated from the food 16, and the piezoelectric element applied sensor 1 generates an output signal 22 in response. This output signal 22 is filtered by a filter 23, amplified by an amplifier 25, and enters a controller 28. When the output signal entering the controller 28 exceeds a certain set level, it is determined that heating has ended, and a control signal 29 is output from the controller 28, causing the magnetron 18 to oscillate and the cooling fan 2° to stop. This is a mechanism to stop the At this time, the temperature correction signal 27 is used to correct the decrease in the output 22 due to the temperature characteristics of the piezoelectric element, thereby stably detecting the end of heating.

第3図は、インピーダンス変換回路6の一例を示す。イ
ンピーダンス変換回路にも種々あるが、ここではFET
を用いたソースフォロアについて述べる。圧電素子その
ものが高インピーダンスであるため、高入力インピーダ
ンスの回路で受けないと、制御が困難であり引き回しに
よる雑音の影響を受けやすい。そこで抵抗32、抵抗3
3、FET34のソースフォロアから成るインピーダン
ス変換回路6で、出力電圧は変えないで低インピーダン
スにして、安定した出力電圧Vout22を取り出す仕
組みである。ただし、電源として直流電圧Vc35が必
要である。
FIG. 3 shows an example of the impedance conversion circuit 6. There are various impedance conversion circuits, but here we will use FET.
We will describe a source follower using Since the piezoelectric element itself has a high impedance, it is difficult to control unless it is supported by a high input impedance circuit, and is susceptible to noise caused by routing. So resistance 32, resistance 3
3. An impedance conversion circuit 6 consisting of a source follower of an FET 34 is used to maintain a low impedance without changing the output voltage and extract a stable output voltage Vout22. However, a DC voltage Vc35 is required as a power source.

第4図には、水300ccを加熱した場合の圧10 ・
\−7 型素子応用センサ1の信号(インピーダンス変換回路6
の出力)と雑音についての出力電圧波形を、スペクトラ
ム分析した結果を示す。イは沸騰後、口は沸騰前、ハは
電源未投入時の信号を示す。圧電素子応用センサ1に暖
かい水蒸気を含んだ温風が当たることによって大きい信
号が出ていることが判る。イと口の差は、4Hzで約3
5dB、信号レベルは1mV以下の電圧である。
Figure 4 shows the pressure of 10 when heating 300cc of water.
\-7 Type element application sensor 1 signal (impedance conversion circuit 6
The results of spectrum analysis of the output voltage waveforms regarding noise (output) and noise are shown below. A indicates the signal after boiling, the mouth indicates before boiling, and C indicates the signal when the power is not turned on. It can be seen that a large signal is generated due to the hot air containing warm water vapor hitting the piezoelectric element applied sensor 1. The difference between A and mouth is about 3 at 4Hz.
5 dB, and the signal level is a voltage of 1 mV or less.

第5図には、第4図の周波数特性を元に設計したローパ
スフィルタ23(カットオフ周波数4Hz)を示す。特
性を良くするためにローパスフィルタ36.37を二段
に使っている。
FIG. 5 shows a low-pass filter 23 (cutoff frequency 4 Hz) designed based on the frequency characteristics shown in FIG. 4. Two stages of low-pass filters 36 and 37 are used to improve the characteristics.

第6図には、雰囲気温度(排気部19の温度)と圧電素
子応用センサ1の出力電圧の特性図を示す。この図より
、温度補正の無い場合はaのように雰囲気温度上昇とと
もに出力電圧が低下している。そこで金属板上に構成し
た温度補正素子11で出力信号を補正することによって
、bのように同量の食品を繰り返し加熱しても同じ出力
になり、同じ時間で調理を終了させることができる事を
示11  ・− している。
FIG. 6 shows a characteristic diagram of the ambient temperature (temperature of the exhaust section 19) and the output voltage of the piezoelectric element application sensor 1. From this figure, when there is no temperature correction, the output voltage decreases as the ambient temperature rises, as shown in a. Therefore, by correcting the output signal with the temperature correction element 11 configured on a metal plate, even if the same amount of food is repeatedly heated as shown in b, the output will be the same and cooking can be completed in the same time. It shows 11 ・-.

第7図には、周波数と圧電素子応用センサ1の出力電圧
の特性図を示す。この図より、インピーダンス変換回路
6のある場合αが、インピーダンス変換回路6の無い場
合βよりも大幅に出力が増大する。そして、インピーダ
ンス変換回路6後は低インピーダンスなので、仮に、そ
の出力信号上の雑音レベルγを考えると、インピーダン
ス変換回路6のある場合αが、インピーダンス変換回路
6の無い場合βよりも、S/Nが良くなることは明らか
である。つまり、圧電素子応用センサ1から回路までの
リード部に乗る雑音等の影響が小さくなるのである。
FIG. 7 shows a characteristic diagram of frequency and output voltage of the piezoelectric element application sensor 1. From this figure, when the impedance conversion circuit 6 is present, α increases the output significantly more than when the impedance conversion circuit 6 is not present, β. Since the impedance after the impedance conversion circuit 6 is low, if we consider the noise level γ on the output signal, α with the impedance conversion circuit 6 is higher than β without the impedance conversion circuit 6. It is clear that things get better. In other words, the influence of noise on the lead section from the piezoelectric element application sensor 1 to the circuit is reduced.

なお、圧電素子2と温度補正素子11は金属板5と接着
剤4で接合され、かつ電気的に短絡されており、構成が
簡単になり、熱応答性が良くなる効果を有する。
Note that the piezoelectric element 2 and the temperature correction element 11 are bonded to the metal plate 5 and the adhesive 4 and are electrically short-circuited, which has the effect of simplifying the configuration and improving thermal responsiveness.

また、金属板5と圧電素子2の熱膨張率のほぼ等しい材
料を用いることによって、熱膨張率の違いによる不要な
歪みから発生する誤差電圧を防ぐ効果がある。
Further, by using materials having substantially the same coefficient of thermal expansion for the metal plate 5 and the piezoelectric element 2, there is an effect of preventing error voltages generated from unnecessary distortion due to a difference in coefficient of thermal expansion.

発明の効果 以上述べてきたように、本発明によれば、以下に述べる
効果が得られる。
Effects of the Invention As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.

(1)圧電素子と温度補正素子とインピーダンス変換回
路とを金属板上に樹脂でモールドしているので、食品の
加熱状態の検出に使用する場合、簡単な構成であり、圧
電素子の温度特性による出力の低下で検出時間が延びて
調理仕上がり状態が変わるということが無く、S/Nの
良い信号が得られ雑音の影響による検知ばらつきが少な
く、湿気によるリークも防げるため、非常に安定した調
理仕上がり状態となる。
(1) Since the piezoelectric element, temperature correction element, and impedance conversion circuit are molded with resin on a metal plate, it has a simple configuration when used to detect the heating state of food, and it depends on the temperature characteristics of the piezoelectric element. There is no possibility that the detection time will be extended due to a decrease in the output and the cooking quality will change, and a signal with a good S/N ratio will be obtained, there will be little detection variation due to the influence of noise, and leaks due to moisture will be prevented, resulting in very stable cooking results. state.

(2)インピーダンス変換回路を一体化しているため、
出力が増加し、雑音の影響が抑えられるので、シールド
線等を吏う必要がなく、リードの端末処理が容易である
(2) Since the impedance conversion circuit is integrated,
Since the output is increased and the influence of noise is suppressed, there is no need to touch shielded wires, etc., and lead terminal processing is easy.

(3)圧電素子の熱的変化の応答で食品の加熱状態を検
出しているので、金属板の形状、圧電素子、温度補正素
子、インピーダンス変換回路の配置な13 ・\−7 ど非常にフレキシブルで設計が容易であり、また湿度セ
ンサやガスセンサには欠かせない油などの汚れを取り除
くヒータも不要で、軽薄化、コンパクト化が可能である
(3) Since the heating state of the food is detected based on the response of the thermal change of the piezoelectric element, it is extremely flexible in terms of the shape of the metal plate, the piezoelectric element, the temperature correction element, and the arrangement of the impedance conversion circuit. It is easy to design, does not require a heater to remove dirt such as oil, which is essential for humidity sensors and gas sensors, and can be made lighter, thinner, and more compact.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例を示す圧電素子応用センサを
示す構成図、第2図は同圧電素子応用センサを電子レン
ジに使用した場合の構成図、第3図は同圧電素子応用セ
ンサ内に含まれるインピーダンス変換回路の一実施例を
示す回路構成図、第4図は同圧電素子応用センサの出力
と雑音の特性図、第5図は圧電素子応用センサの出力を
ろ波するフィルタの回路構成図、第6図は雰囲気温度に
よる圧電素子応用センサの出力電圧を示す温度特性図、
第7図は周波数による圧電素子応用センサの出力を示す
周波数特性図、第8図は従来の湿度センサの構成斜視図
、第9図は従来の超音波マイクを利用した湿度センサの
構成断面図である。 1  圧電素子応用センサ、2  圧電素子、5  金
属板、6  インピーダンス変換回路、14 ・、 11  温度補正素子、15 ・・樹脂。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名/−
4電素子屁用センサ ーs−、樹盾 第1図 ノ 第2図 第3図 4図 ]  就 欽 LHz’J 第6図 ネ囲気:A友C’c3 第7図
Fig. 1 is a block diagram showing a piezoelectric element applied sensor showing one embodiment of the present invention, Fig. 2 is a block diagram showing the same piezoelectric element applied sensor when used in a microwave oven, and Fig. 3 is a block diagram showing the same piezoelectric element applied sensor. Figure 4 is a diagram showing the output and noise characteristics of the piezoelectric sensor, and Figure 5 is a diagram of the filter that filters the output of the piezoelectric sensor. The circuit configuration diagram, Figure 6 is a temperature characteristic diagram showing the output voltage of the piezoelectric element applied sensor depending on the ambient temperature,
Fig. 7 is a frequency characteristic diagram showing the output of a piezoelectric element application sensor depending on frequency, Fig. 8 is a perspective view of the structure of a conventional humidity sensor, and Fig. 9 is a cross-sectional view of the structure of a humidity sensor using a conventional ultrasonic microphone. be. 1 piezoelectric element applied sensor, 2 piezoelectric element, 5 metal plate, 6 impedance conversion circuit, 14..., 11 temperature correction element, 15...resin. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao and 1 other person/-
4-electronic fart sensor s-, Shudan Fig. 1, Fig. 2, Fig. 3, Fig. 4] Used LHz'J Fig. 6 Nei: A friend C'c3 Fig. 7

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)金属板もしくは導電性を有する板体と、それぞれ
一対の電極を有する圧電素子および温度補正素子と、イ
ンピーダンス変換回路を有し、前記圧電素子および前記
温度補正素子の電極のそれぞれの一端と前記インピーダ
ンス変換回路のグランドを前記金属板もしくは導電性を
有する板体上に電気的に接続し、前記圧電素子の電極の
他端と前記インピーダンス変換回路の入力端を電気的に
接続し、前記金属板もしくは導電性を有する板体と、前
記温度補正素子の電極の他端と、前記インピーダンス変
換回路の出力端と、前記インピーダンス変換回路への電
源供給部とからそれぞれリード線を導出し、前記金属板
もしくは導電性を有する板体と前記圧電素子と前記温度
補正素子と前記インピーダンス変換回路と前記各リード
線の導出部を樹脂で一体モールドする構成とした圧電素
子応用センサ。
(1) A metal plate or a conductive plate, a piezoelectric element and a temperature correction element each having a pair of electrodes, and an impedance conversion circuit, and one end of each of the electrodes of the piezoelectric element and the temperature correction element. The ground of the impedance conversion circuit is electrically connected to the metal plate or a conductive plate, the other end of the electrode of the piezoelectric element and the input end of the impedance conversion circuit are electrically connected, and the Lead wires are led out from a plate or a conductive plate body, the other end of the electrode of the temperature correction element, the output end of the impedance conversion circuit, and the power supply section to the impedance conversion circuit, and the metal A piezoelectric element application sensor having a structure in which a plate or a conductive plate body, the piezoelectric element, the temperature correction element, the impedance conversion circuit, and the lead-out portion of each lead wire are integrally molded with resin.
(2)圧電素子と温度補正素子は、金属板もしくは導電
性を有する板体に接着剤で接合する構成とした特許請求
の範囲第1項記載の圧電素子応用センサ。
(2) The piezoelectric element applied sensor according to claim 1, wherein the piezoelectric element and the temperature correction element are bonded to a metal plate or a conductive plate with an adhesive.
(3)金属板もしくは導電性を有する板体と、圧電素子
の熱膨張率はほぼ等しい材料で構成した特許請求の範囲
第1項記載の圧電素子応用センサ。
(3) The piezoelectric element applied sensor according to claim 1, wherein the metal plate or the conductive plate is made of a material having substantially the same coefficient of thermal expansion as the piezoelectric element.
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