JPH01246709A - Polyphenylene oxide group resin substrate - Google Patents

Polyphenylene oxide group resin substrate

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JPH01246709A
JPH01246709A JP7291888A JP7291888A JPH01246709A JP H01246709 A JPH01246709 A JP H01246709A JP 7291888 A JP7291888 A JP 7291888A JP 7291888 A JP7291888 A JP 7291888A JP H01246709 A JPH01246709 A JP H01246709A
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polyphenylene oxide
ceramic
oxide resin
resin substrate
resin composition
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坂本 高明
Munehiko Ito
宗彦 伊藤
Shuji Maeda
修二 前田
Takahiro Heiuchi
隆博 塀内
Takayoshi Koseki
高好 小関
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Abstract

PURPOSE:To provide improvement in desired attributes by having a specified vehicular polyphenylene oxide group resin composition formed or contained in a basic material to manufacture a substrate. CONSTITUTION:This involves forming a vehicular polyphenylene oxide group resin composition containing a cross-liked polymer, monomer, ceramic dielectric powder and fiber-reinforced material or impregnating said resin composition into a basic material to produce a polyphenylene oxide group resin substrate which provides improvement in thermal resistance, stabilized dimension and chemicalproofness, so that a variety of capacitors and the like can be micronized in the form of high density, miniaturized in high precision relationship and thinly layered.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、ポリフェニレンオキサイド系樹脂基板に関
するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a polyphenylene oxide resin substrate.

さらに詳しくは、この発明は、電気機器、電子機器等に
用いられる各種コンデンサ等の誘電体製品を高精度に小
形薄層可能に製造することのできるポリフェニレンオキ
サイド系樹脂基板に関するものである。
More specifically, the present invention relates to a polyphenylene oxide resin substrate that allows dielectric products such as various capacitors used in electrical equipment, electronic equipment, etc. to be manufactured with high precision in small and thin layers.

(従来の技術) 精密機器、電子計算機、通信機等の電気機器、電子機器
には、バンドパスフィルタ、ローパスフィルタ、バイパ
スフィルタ等として、低誘電率から高誘電率にいたる種
々の誘電体製品が使用されている。
(Prior art) Various dielectric products ranging from low dielectric constant to high dielectric constant are used as band pass filters, low pass filters, bypass filters, etc. in electrical equipment and electronic equipment such as precision instruments, electronic computers, and communication devices. It is used.

また、このような誘電体製品としては、セラミックコン
デンサあるいはセラミックコンデンサブロックが多用さ
れてきている。。
Further, as such dielectric products, ceramic capacitors or ceramic capacitor blocks have been widely used. .

(発明が解゛決しようとする課題) しかしながら、従来のセラミックコンデンサあるいはセ
ラミックコンデンサブロックでは、近年の電気機器、電
子機器の小形化、高密度化の要求に伴う配線板の多層化
、高精度微細化の要請に十分に応えることができないの
が実状である。。
(Problems to be Solved by the Invention) However, conventional ceramic capacitors or ceramic capacitor blocks are not suitable for use with multi-layered wiring boards and high-precision fine-grained wiring boards in response to recent demands for miniaturization and higher density of electrical and electronic equipment. The reality is that it is not possible to fully respond to the demands of globalization. .

たとえば、配線の高密度1ヒの進展に伴い、配線板に使
用する誘電体製品も、薄膜化、小形化することが必要不
可欠の条件となってくる。しかしながら従来のセラミッ
ク系コンデンサは割れやすいので十分に製品の薄膜化、
小形化を図ることができない。
For example, as the density of wiring increases, it becomes essential that dielectric products used in wiring boards become thinner and smaller. However, conventional ceramic capacitors are easily broken, so it is necessary to make the product thinner.
It is not possible to make it smaller.

また、セラミック系コンデンサは焼成により形成するも
のであり、その焼成時に製品の寸法変化をきたすので、
配線の高精度化の要求にも十分に応えることができない
Additionally, ceramic capacitors are formed by firing, and the dimensions of the product change during firing.
It is also not possible to sufficiently meet the demand for higher precision wiring.

このため、低誘電率から高誘電率にいたる所望の誘電率
にを有し、しかもその製品の薄層化、小形化を精度よく
実現することができる新たな誘電体材料の開発とそれを
用いた製品の実現が強く望まれていた。
For this reason, we are developing and using new dielectric materials that have a desired dielectric constant ranging from low to high dielectric constants, and that can precisely realize thinner and smaller products. There was a strong desire to realize a product that

この発明は、以上のような、従来のセラミック系コンデ
ンサの問題点を解決するためになされたものであり、誘
電体製品を、低誘電率から高誘電率にいたる所望の誘電
率を有し、しかも高密度微細化配線に適するように高精
度小形薄層形態に製造できるようにする賦形性の樹脂組
成物を提供することを目的としており、さらにそれを用
いた成形体、シートおよび金属張積層板を提供すること
を目的としている。
This invention was made in order to solve the problems of conventional ceramic capacitors as described above, and it provides a dielectric product having a desired dielectric constant ranging from a low dielectric constant to a high dielectric constant, Furthermore, the aim is to provide a moldable resin composition that can be manufactured into a highly precise, small, thin layer form suitable for high-density and fine wiring, and furthermore, the purpose is to provide molded products, sheets, and metal cladding compositions using the resin composition. The purpose is to provide laminates.

(課題を解決するための手段) 上記目的を実現するために、この発明は、架橋性のポリ
マーおよび/またはモノマー、セラミック誘電体粉末お
よび繊維状補強材を含有する賦形性ポリフェニレンオキ
サイド系樹脂組成物を成形または基材に含浸させてなる
ことを特徴とするポリフェニレンオキサニド系樹脂基板
を提供する。
(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the present invention provides a shapeable polyphenylene oxide resin composition containing a crosslinkable polymer and/or monomer, a ceramic dielectric powder, and a fibrous reinforcing material. To provide a polyphenylene oxanide resin substrate, which is formed by molding or impregnating a substrate with a polyphenylene oxanide resin substrate.

この発明の賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂組成
物に用いるポリフェニレンオキサイドは、ガラス転移点
が比較的高く低誘電率、低誘電損失の熱硬化性樹脂であ
り、さらに安価であることから近年注目されているもの
である。ただし、これまではその誘電率を低誘電率から
高誘電率にいたるまで所望の値に制御し、かつ所望形状
に成形できるようにその賦形性を改善することができな
かったので、高密度多層配線に使用する誘電体の材料樹
脂として実用に供するには至っていなかった。
The polyphenylene oxide used in the shapeable polyphenylene oxide resin composition of the present invention is a thermosetting resin with a relatively high glass transition point, low dielectric constant, and low dielectric loss, and has attracted attention in recent years because it is inexpensive. It is something that exists. However, until now, it has not been possible to control the dielectric constant to a desired value from a low dielectric constant to a high dielectric constant, and to improve the formability so that it can be formed into a desired shape. It has not yet been put to practical use as a resin material for dielectrics used in multilayer wiring.

しかしこの発明においては、ポリフェニレンオキサイド
系樹脂組成物にセラミック誘電体粉末を添加することに
より、その誘電率を所望の値に制御しつつ賦形可能なも
のとし、この組成物を用いることにより賦形性が良好で
、誘電特性に優れた新しい樹脂基板を実現している。こ
の基板は、樹脂の耐熱性、耐薬品性、加工性、寸法安定
性にも漬れたものとなる。
However, in this invention, by adding ceramic dielectric powder to a polyphenylene oxide resin composition, it is possible to shape the polyphenylene oxide resin composition while controlling its dielectric constant to a desired value. A new resin substrate with good properties and dielectric properties has been realized. This substrate also has excellent heat resistance, chemical resistance, processability, and dimensional stability of the resin.

賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂組成物にはポリ
フェニレンオキサイドに、架橋性ポリマーおよび/また
は架橋性モノマーとセラミック誘電体粉末とを含有させ
るが使用するポリフェニレンオキサイドは、たとえば、 つぎの一般式(1) (Rは水素または炭素数1〜3の炭化 水素基を表し、各Rは、同じであって もよく、異なってもよい、) で表されるものであり、その−例としては、ポリ(2,
6−シメチルー1.4−フェニレンオキサイド)をあげ
ることができる。
The shapeable polyphenylene oxide resin composition contains polyphenylene oxide, a crosslinkable polymer and/or a crosslinkable monomer, and a ceramic dielectric powder. The polyphenylene oxide used has, for example, the following general formula (1) R represents hydrogen or a hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms, and each R may be the same or different. Examples thereof include poly(2 ,
6-dimethyl-1,4-phenylene oxide).

その分子量は特に限定するものではないが、たとえば、
ff1Ji平均分子Ji (M w > カ50,00
0、分子屋分布Mw/M n =4.2  (M nは
数平均分子量)であることが好ましい。
Although the molecular weight is not particularly limited, for example,
ff1Ji average molecule Ji (M w > Ka50,00
0, molecular weight distribution Mw/M n =4.2 (M n is number average molecular weight).

架橋性ポリマーとしては、たとえば、■。2−ポリブタ
ジェン、1.4−ポリブタジェン、スチレンブタジェン
コポリマー、変性1.2−ポリブタジェン(マレイン変
性、アクリル変性、エポキシ変性)、ゴム類などがあげ
られ、それぞれ、単独でまたは2つ以上併せて用いるこ
とができる。
Examples of crosslinkable polymers include ■. Examples include 2-polybutadiene, 1,4-polybutadiene, styrene-butadiene copolymer, modified 1,2-polybutadiene (malein-modified, acrylic-modified, epoxy-modified), rubbers, etc., and each can be used alone or in combination of two or more. be able to.

これらのポリマーの状態は、エラストマーでもラバーで
もよい。
These polymers may be in the form of elastomers or rubbers.

ただし、この発明のシートを後述するキャスティング法
により製造する場合には、そのシートの成膜性をヨくす
るという点から、比較的高分子量のポリスチレンを用い
ることが好ましい。
However, when the sheet of the present invention is manufactured by the casting method described below, it is preferable to use polystyrene having a relatively high molecular weight in order to improve the film-forming properties of the sheet.

また、架橋性モノマーとしては、たとえば、■エステル
アクリレート類、エポキシアクリレート類、ウレタンア
クリレート頚、エーテルアクリレート頚、メラミンアク
リレート類、アルキドアクリレート類、シリコンアクリ
レート類などのアクリレート類、■トリアリルシアヌレ
ート、トリアリルイソシアヌレート、エチレングリコー
ルジメタクリレート、ジビニルベンゼン、ジアリルフタ
レートなどの多官能モノマー、■ビニルトルエン、エチ
ルビニルベンゼン、スチレン、パラメチルスチレンなど
の単官能モノマー、■多官能エポキシ類などが挙げられ
、それぞれ、単独であるいは2つ以上併せて用いること
ができる。このうち、トリアリルシアヌレートおよび/
またはトリアリルイソシアヌレートが、ポリフェニレン
オキサイドと相溶性がよく、成膜性、架橋性、耐熱性お
よび誘電特性を向上させるので好ましい。
In addition, examples of crosslinking monomers include: ■ Acrylates such as ester acrylates, epoxy acrylates, urethane acrylate necks, ether acrylate necks, melamine acrylates, alkyd acrylates, and silicone acrylates, ■ Triallyl cyanurate, and Examples include polyfunctional monomers such as allyl isocyanurate, ethylene glycol dimethacrylate, divinylbenzene, diallyl phthalate, monofunctional monomers such as vinyltoluene, ethylvinylbenzene, styrene, paramethylstyrene, and polyfunctional epoxies. , can be used alone or in combination of two or more. Of these, triallyl cyanurate and/or
Alternatively, triallylisocyanurate is preferred because it has good compatibility with polyphenylene oxide and improves film formability, crosslinkability, heat resistance, and dielectric properties.

このトリアリルシアヌレートとトリアリルイソシアヌレ
ートとは、化学構造的には異性体の関係にあり、はぼ同
様の成膜性、相溶性、溶解性、反応性などを有するので
、いずれか一方ずつまたは両方ともに同様に使用するこ
とができる。
Triallyl cyanurate and triallyl isocyanurate are chemically structurally isomers and have similar film-forming properties, compatibility, solubility, reactivity, etc. Or both can be used equally.

以上のような架橋性ポリマーおよび架橋性モノマーは、
いずれか一方のみを用いてもよいし、併用してもよいが
、併用するほうがより特性改善に効果がある。
The above crosslinkable polymers and crosslinkable monomers are
Either one may be used alone or in combination, but the combination is more effective in improving characteristics.

この発明に使用するセラミック誘電体粉末としては、比
誘電率が数(Htlz) 〜10000 (MHz)程
度のものを、製品に付与する誘電特性に応じて適宜用い
る。このようなセラミック誘電体粉末としては、たとえ
ば、酸化アルミニウム系セラミック、二酸化チタン系セ
ラミック、チタン酸バリウム系セラミック、チタン酸j
9系セラミック、チタン酸カルシウム系セラミック、チ
タン酸マグネシウム系セラミック、チタン酸ビスマス系
セラミック、チタン酸ストロンチウム系セラミック、酸
化ジルコニウム系セラミック、ジルコン酸鉛系セラミッ
ク、ジルコン酸バリウム系セラミック、K2O−PbO
SiO2系セラミック、 Bao、s Pbo、s Ndw ’T”fs 0+4
系セラミックまたはDa (Zn+7.Nb2ys )
O*系セラミックの粉末、あるいはこれらの2種以上の
混合粉末を用いることができる。
As the ceramic dielectric powder used in the present invention, one having a relative dielectric constant of about several (Htlz) to 10,000 (MHz) is used as appropriate depending on the dielectric properties to be imparted to the product. Examples of such ceramic dielectric powders include aluminum oxide ceramics, titanium dioxide ceramics, barium titanate ceramics, and titanate ceramics.
9 series ceramic, calcium titanate ceramic, magnesium titanate ceramic, bismuth titanate ceramic, strontium titanate ceramic, zirconium oxide ceramic, lead zirconate ceramic, barium zirconate ceramic, K2O-PbO
SiO2 ceramic, Bao, s Pbo, s Ndw 'T”fs 0+4
ceramic or Da (Zn+7.Nb2ys)
O* ceramic powder or a mixed powder of two or more of these can be used.

この発明においてはこのようなセラミック誘電体粉末に
加えて、さらに繊維状補強材を含有させる。これにより
、セラミック誘電体粉末を多量に含有させた場合でも、
その樹脂成形体の脆化を防止することができる。
In this invention, in addition to such ceramic dielectric powder, a fibrous reinforcing material is further contained. As a result, even when containing a large amount of ceramic dielectric powder,
It is possible to prevent the resin molded body from becoming brittle.

繊維状補強材としては、樹脂成形体の脆化を防止し良好
な賦形性を付与するものであれば、一般に樹脂の補強繊
維として用いられるものを広く使用することができ、た
とえばガラス繊維またはアラミド繊維等を用いることが
できる。
As the fibrous reinforcing material, a wide range of materials that are generally used as reinforcing fibers for resins can be used as long as they prevent embrittlement of the resin molded product and provide good shaping properties.For example, glass fibers or Aramid fiber etc. can be used.

以上のような架橋性ポリマーおよび/またはモノマー、
セラミック誘電体粉末および繊維状補強材をポリフェニ
レンオキサイドに含有させるに際しては、さらに開始剤
を用いることができる。
Crosslinkable polymers and/or monomers as described above,
An initiator may also be used when incorporating the ceramic dielectric powder and the fibrous reinforcing material into the polyphenylene oxide.

開始剤としては、ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物
を紫外線硬化型かまたは熱硬化型にするかにより適宜な
ものを選ぶことができる。
An appropriate initiator can be selected depending on whether the polyphenylene oxide resin composition is of an ultraviolet curing type or a thermosetting type.

また、紫外線による開始剤と熱による開始剤とを併用し
てもかまわない。
Further, an initiator using ultraviolet rays and an initiator using heat may be used in combination.

なお、賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂組成物に
は、上記のような開始剤に加えて、さらにその性質を損
なわないかぎり種々の添加剤を含有できることはいうま
でもない、たとえば、離燃剤として臭素化ポリフェニレ
ンオキサイド、臭素化ビスフェノール型ポリカーボネー
ト等を含有することができる。
It goes without saying that the excipient polyphenylene oxide resin composition can contain, in addition to the above-mentioned initiator, various additives as long as they do not impair its properties, such as bromine as a flame release agent. brominated polyphenylene oxide, brominated bisphenol type polycarbonate, etc.

賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂組成物に含有さ
せるセラミック誘電体粉末の配合割合は、この樹脂組成
物にその成形方法に応じた所望の賦形性をト1与できる
かぎり特に1IIII限的ではない、たとえば後述する
キャスティング法によりシート化する場合には、ポリフ
ェニレンオキサイド100重量部に対してセラミック誘
電体粉末を1000〜10000重量部配合することが
好ましい。
The proportion of the ceramic dielectric powder contained in the shapeable polyphenylene oxide resin composition is not particularly limited as long as it can impart the desired shapeability to the resin composition according to the molding method. For example, when forming a sheet by the casting method described below, it is preferable to mix 1,000 to 10,000 parts by weight of ceramic dielectric powder to 100 parts by weight of polyphenylene oxide.

また、繊維状補強材の配合割合は、セラミック誘電体粉
末の配合割合等に応じて適宜室めるが、通常は含有樹脂
100重量部に対して20〜40重量部含有させること
が好ましい。
Further, the blending ratio of the fibrous reinforcing material can be adjusted as appropriate depending on the blending ratio of the ceramic dielectric powder, etc., but it is usually preferable to contain 20 to 40 parts by weight per 100 parts by weight of the resin contained.

さらに、架橋性のポリマーおよび/またはモノマーの配
合割合についても、通常はポリフェニレンオキサイド1
0〜95重量部、架橋性ポリマー/モノマー5〜90重
量部とするのが好適である。
Furthermore, the blending ratio of crosslinkable polymer and/or monomer is usually 1/1 of polyphenylene oxide.
Preferably, the amount is 0 to 95 parts by weight, and the crosslinkable polymer/monomer is 5 to 90 parts by weight.

このような配合に加えて含有させる開始剤の配合割合は
、0.1〜5重量部(より好ましくは、0.1〜3重量
部)にするのが好ましい、開始剤の割合が上記範囲を下
回ると、ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物の硬化が
不十分となることがあり、前記範囲を上回ると、硬化後
の物性に悪影響を与えることがあるからである。
The proportion of the initiator to be included in addition to such a formulation is preferably 0.1 to 5 parts by weight (more preferably 0.1 to 3 parts by weight). If it is less than the above range, the polyphenylene oxide resin composition may not be sufficiently cured, and if it exceeds the above range, the physical properties after curing may be adversely affected.

賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂組成物は、通常
、溶剤に溶かして分散し、混合する。溶剤としては、ト
リクロロエチレン、トリクロロエタン、クロロホルム、
塩1ヒメチレン、クロロベンゼンなどのハロゲン化炭f
ヒ水素、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭
化水素、アセトン、四塩化炭素などを使用でき、特にト
リクロロエチレンが好ましい、これらはそれぞれ単独で
または2つ以上混合して用いることができる。
The excipient polyphenylene oxide resin composition is usually dissolved in a solvent, dispersed, and mixed. As a solvent, trichlorethylene, trichloroethane, chloroform,
Salt 1 Halogenated carbon such as himethylene and chlorobenzene f
Arsenic hydrocarbons, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, and xylene, acetone, and carbon tetrachloride can be used, and trichlorethylene is particularly preferred. Each of these can be used alone or in combination of two or more.

このような賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂組成
物は加熱成形することにより容易に製造することができ
、シートをはじめとして種々の所望形状に賦形すること
ができる。”また、積層体に成形することもでき、その
場合には予めこの発明の樹脂組成物からシート基板を形
成し、またはこれを基材に含浸させてプリプレグを形成
し、さらに必要によりそれらシート、プリプレグからコ
ア材等を製造し、次いで常法に従って他の基材、フィル
ム、プリプレグ、金属箔等とともに多層積層一体1ヒす
ることができる。
Such a shapeable polyphenylene oxide resin composition can be easily produced by thermoforming, and can be shaped into various desired shapes including sheets. "Also, it can be formed into a laminate. In that case, a sheet substrate is formed in advance from the resin composition of the present invention, or a prepreg is formed by impregnating the resin composition into a base material, and if necessary, these sheets, A core material etc. can be produced from the prepreg, and then multilayered and laminated together with other base materials, films, prepregs, metal foils, etc. according to conventional methods.

賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂組成物は、たと
えばキャスティング法によりシートに成形することがで
きる。
The shapeable polyphenylene oxide resin composition can be formed into a sheet by, for example, a casting method.

キャスティング法は、溶剤に混合している樹脂を流延ま
たは塗布等により薄層にした後その溶剤を除去すること
により硬化物とする方法である。
The casting method is a method in which a resin mixed with a solvent is formed into a thin layer by casting or coating, and then the solvent is removed to form a cured product.

キャスティング法によればコストがかかるカレンダー法
によらず、しかも低温で硬化物を得ることができる。こ
のキャスティング法をより具体的に説明すると、溶剤に
混合した状態の賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂
組成物を鏡面処理した跣板またはキャスティング用キャ
リアーフィルムなどの上に、たとえば、5〜700(好
ましくは、5〜500)μmの厚みに流延(または、塗
布)し、十分に乾燥させて溶剤を除去することによりシ
ート基板を得るというものである。
According to the casting method, a cured product can be obtained at a low temperature without using the costly calendar method. To explain this casting method more specifically, the excipient polyphenylene oxide resin composition mixed in a solvent is placed on a mirror-treated footboard or a carrier film for casting, etc. , 5 to 500) μm in thickness, and the sheet substrate is obtained by thoroughly drying to remove the solvent.

キャスティング用キャリアーフィルムとしては、特に限
定するわけではないが、ポリエチレンテレフタレート(
以下、「PET」と略す)フィルム、ポリエチレンフィ
ルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエステルフィルム
、ポリイミドフィルムなど上記溶剤に不溶のものが好ま
しく、かつ、離型処理したものが好ましい。
The carrier film for casting is not particularly limited, but polyethylene terephthalate (
It is preferable to use a film that is insoluble in the above-mentioned solvents, such as a film (hereinafter abbreviated as "PET"), a polyethylene film, a polypropylene film, a polyester film, or a polyimide film, and preferably one that has been subjected to mold release treatment.

乾燥は、風乾または熱風乾燥等により行う、その際の温
度範囲は、上限を溶剤の沸点よりも低いか、または、キ
ャスティング用キャリアーフィルムの耐熱温度よりも低
くすること(キャスティング用キャリアーフィルム上で
乾燥を行う場合)が好ましい。
Drying is performed by air drying or hot air drying, etc. The upper limit of the temperature range in this case must be lower than the boiling point of the solvent or lower than the heat-resistant temperature of the carrier film for casting (drying on the carrier film for casting) ) is preferred.

また下限は乾燥時間や処理性などによって決めるものと
し、たとえば、トリクロロエチレンを溶剤とし、PET
フィルムをキャスティング用キャリアーフィルムとして
用いる場合には、室温から80℃までの範囲にするのが
好ましい、なお、この範囲内で温度を高くすれば乾燥時
間の短縮が可能となる。
The lower limit shall be determined based on drying time, processability, etc. For example, if trichlorethylene is used as a solvent and PET
When the film is used as a carrier film for casting, it is preferably kept at a temperature in the range from room temperature to 80°C, and if the temperature is raised within this range, the drying time can be shortened.

賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂組成物を基材に
含浸させてプリプレグを製造するに際しては、一般に以
下のような方法を取ることができる。
When manufacturing a prepreg by impregnating a base material with a shapeable polyphenylene oxide resin composition, the following method can generally be used.

すなわち、賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂組成
物の溶剤分散液中に基材を浸漬(ディッピング)するな
どして、基材に賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂
組成物を含浸させ付着させる。そして乾燥などにより溶
剤を除去するか、あるいは半硬化させてBステージにす
る。この場合の賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂
組成物の含浸址は、特に限定しないが、30〜80重量
り≦とするのが好ましい、基材は、ガラスクロス、アラ
ミドクロス、ポリエステルクロス、ナイロンクロス等樹
脂含浸可能なりロス状物、それらの材質からなるマット
状物および/または不織布などの繊維状物、クラフト紙
、リンター紙などの紙などを用いることができ、また、
これらに限定されない、このようにして、プリプレグを
作製すれば、樹脂を溶融させなくてもよいので、比較的
低温で容易に行うことができる。
That is, the base material is dipped in a solvent dispersion of the shapeable polyphenylene oxide resin composition to impregnate and adhere the shapeable polyphenylene oxide resin composition to the base material. Then, the solvent is removed by drying or the like, or semi-cured to bring it to the B stage. In this case, the impregnation area of the shapeable polyphenylene oxide resin composition is not particularly limited, but it is preferably 30 to 80 weight or less. The base material may be glass cloth, aramid cloth, polyester cloth, nylon cloth, etc. Resin-impregnable or loss-like materials, mat-like materials made of these materials and/or fibrous materials such as non-woven fabrics, papers such as kraft paper and linter paper, etc. can be used, and
If a prepreg is produced in this way, which is not limited to these methods, there is no need to melt the resin, so it can be easily carried out at a relatively low temperature.

金属張積層板を形成する場合には回路形成用の金属箔と
しては、通常の配線板に用いるものを広く使用すること
ができる。たとえば、銅箔、アルミニウム箔等の金属箔
を用いることができる。この場合、金属箔としては、接
着表面が平滑でかつ導電性のよいものが、誘電性を良好
にする上で好ましい。
When forming a metal-clad laminate, a wide variety of metal foils used for ordinary wiring boards can be used as the metal foil for forming the circuit. For example, metal foil such as copper foil or aluminum foil can be used. In this case, it is preferable that the metal foil has a smooth adhesion surface and good conductivity in order to improve dielectric properties.

このような金属箔は、蒸着などにより形成することがで
きるが、その他、サブトラクティブ法、アディティブ法
(フルアデイティブ法、セミアデイティブ法)などによ
り所望の導体(回路、電極など)として形成してもよい
Such metal foil can be formed by vapor deposition, etc., but it can also be formed into a desired conductor (circuit, electrode, etc.) by subtractive method, additive method (full additive method, semi-additive method), etc. You can.

賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂組成物から製造
したコア材、シート、プリプレグを用いて積層板を製造
する場合は、適度に乾燥させた上記のシートおよび/ま
たはプリプレグを所定の設計厚みとなるように所定枚組
み合わせ、必要に応じて金属箔も組み合わせて積層し、
加熱圧締するなどして樹脂を溶融させて、シート同士、
シートとプリプレグあるいはコア材、プリプレグ同士、
シートと金属箔、プリプレグと金属箔を互いに接着させ
て積層体とする。この融着により強固な接着が得られる
が、このときの加熱でラジカル開始剤による架橋反応が
生じるようにすれば、いっそう強固な接着が得られる。
When manufacturing a laminate using a core material, sheet, or prepreg manufactured from a shapeable polyphenylene oxide resin composition, the sheet and/or prepreg that has been dried appropriately is dried to a predetermined design thickness. Combine the specified sheets, and if necessary, combine and laminate metal foil,
The sheets are bonded together by melting the resin by heating and pressing, etc.
Sheet and prepreg or core material, prepreg to prepreg,
A sheet and metal foil, and a prepreg and metal foil are bonded together to form a laminate. Strong adhesion is obtained by this fusion, but even stronger adhesion can be obtained if the heating at this time causes a crosslinking reaction by a radical initiator.

そのような、架橋反応は、紫外線照射などの光架橋、熱
架橋、放射線照射による架橋等により行う、なお、この
ような接着は接着剤を併用して行ってもよい。
Such a crosslinking reaction is performed by photocrosslinking such as ultraviolet irradiation, thermal crosslinking, crosslinking by radiation irradiation, etc. Note that such adhesion may be performed in combination with an adhesive.

ここで、シート、プリプレグ、コア材を併用する場合の
組み合わせであるが、特に限定しないが、上下対称の組
み合わせにすることが成形後、二次加工(エツチング等
)後のそり防止という点から好ましい、また、金属箔と
の接着界面にはシートがくるように組み合わせたほうが
接着力を向上させることができるので好ましい。
Here, the combination of sheets, prepregs, and core materials used together is not particularly limited, but it is preferable to use vertically symmetrical combinations in order to prevent warping after molding and secondary processing (etching, etc.). Furthermore, it is preferable to combine the sheets so that they are placed at the adhesive interface with the metal foil, since the adhesive force can be improved.

加熱圧締の際の温度は、金属箔とシートあるいはプリプ
レグの組み合わせ等によるが、たとえば、金属箔とシー
トの接着は、シートの熱融着性を利用できるので、積層
圧締温度はシートのガラス転移点以上で、だいたい16
0〜300’Cぐらいの範囲にするのが好ましい。
The temperature during heat pressing depends on the combination of metal foil and sheet or prepreg, but for example, the heat fusion properties of the sheet can be used to bond metal foil and sheet, so the lamination pressing temperature depends on the glass of the sheet. Above the transition point, about 16
The temperature is preferably in the range of about 0 to 300'C.

また、乾燥器の中に入れて加熱するなどにより架橋する
場合、架橋反応は、使用する開始剤の反応温度等に依存
するので、加熱温度および加熱時間は開始剤の種類に応
じて選ぶ。たとえば、温度150〜300 ’C1C1
時間10〜升0る。
In addition, when crosslinking is carried out by heating in a dryer, etc., the crosslinking reaction depends on the reaction temperature of the initiator used, etc., so the heating temperature and heating time are selected depending on the type of initiator. For example, temperature 150-300'C1C1
It takes 10 to 10 hours.

圧締は、シート相互1,シートとプリプレグの、プリプ
レグ同志、金属箔とシート、金属箔とプリプレグなどの
接合、積層板の厚み調整のために行うので、圧締条件は
必要に応じて選択する。
Pressing is performed to bond sheets to each other, sheets to prepreg, prepregs to each other, metal foil to sheet, metal foil to prepreg, etc., and to adjust the thickness of the laminate, so press conditions should be selected as necessary. .

たとえば、圧力20〜70kg/cd程度にすることが
できる。
For example, the pressure can be about 20 to 70 kg/cd.

以上のような加熱圧締は、あらかじめ前記フィルムおよ
び/またはプリプレグを所定枚加熱積層成形しておき、
これの片面あるいは両面に金属箔を重ね合わせて、再び
加熱圧締してもよい。
In the heat pressing as described above, a predetermined number of the films and/or prepregs are heated and laminated in advance, and
A metal foil may be superimposed on one or both sides of this and heat-pressed again.

(作 用) この発明の賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂基板
は、ポリフェニレンオキサイド系樹脂組成物が有する優
れた耐熱性、寸法安定性および耐薬品性を保持しつつ所
望の誘電率を有し、しかも成形体を脆化させることなく
優れた賦形性を発揮する。
(Function) The shapeable polyphenylene oxide resin substrate of the present invention has a desired dielectric constant while maintaining the excellent heat resistance, dimensional stability, and chemical resistance of the polyphenylene oxide resin composition. Demonstrates excellent formability without making the molded object brittle.

従って、この発明の基板は、高精度小形薄層形態に製造
でき、高密度微細化配線を実現することができる。
Therefore, the substrate of the present invention can be manufactured in the form of a small thin layer with high precision, and can realize high-density and miniaturized wiring.

次に実施例を示し、この発明についてさらに説明する。Next, examples will be shown to further explain the present invention.

21の減圧装置f=を反応器にポリフェニレンオキサイ
ド25g、スチレンブタジェンコポリマー(旭1ヒ成工
業(■:ソルプレンT406)25g、トリアリルイソ
シアヌレート(日本化成■:TAIC)100+r、ジ
クミルパーオキサイド1og、さらにトリクロロエチレ
ン(東亜合成化学工業−二トリクレン>2500gを加
えて、均一溶液になるまで十分撹拌した.その後、セラ
ミック誘電体粉末として平均粒径1〜2μtの酸化アル
ミニウム粉末860gと、繊維状補強材として径6μl
、長さ311のガラス繊維を加え、さらに撹拌し、均一
に分散させた.そしてこれを脱泡して賦形性ポリフェニ
レンオキサイド系樹脂組成物溶液を得た。
21 pressure reducing device f = in a reactor, 25 g of polyphenylene oxide, 25 g of styrene-butadiene copolymer (Asahi Ichisei Kogyo (■: Solprene T406)), 100+r of triallyl isocyanurate (Nippon Kasei ■: TAIC), 1 og of dicumyl peroxide. Then, 2,500 g of trichlorethylene (Toagosei Kagaku Kogyo - Nitrichlene) was added and thoroughly stirred until a homogeneous solution was obtained. After that, 860 g of aluminum oxide powder with an average particle size of 1 to 2 μt as ceramic dielectric powder and a fibrous reinforcing material were added. as diameter 6μl
, glass fibers having a length of 311 were added and further stirred to uniformly disperse the fibers. This was then defoamed to obtain a shapeable polyphenylene oxide resin composition solution.

次に、得られた賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂
組成物溶液を、塗工機を用いてP E Tフィルム上に
、厚み500μlとなるよう塗布した。
Next, the obtained excipient polyphenylene oxide resin composition solution was applied onto the PET film using a coating machine to a thickness of 500 μl.

これを50℃で約10分間乾燥した後、生成した膜をP
ETフィルムから離型し、120℃でさらに10分間乾
燥してトリクロロエチレンを完全に除去し、賦形性ポリ
フェニレンオキサイド系樹脂組成物からなるシートを得
た.このシートの厚みは約150μmであった。
After drying this at 50°C for about 10 minutes, the resulting film was
The mold was released from the ET film and dried at 120° C. for an additional 10 minutes to completely remove trichlorethylene to obtain a sheet made of a shapeable polyphenylene oxide resin composition. The thickness of this sheet was approximately 150 μm.

このシートを4枚重ね合わせ、190℃、5 0 kg
/ dの条件で30分間圧締して完全硬化させ、第1図
に示すように、4枚のシートを積層−体1ヒしてなる積
層板を作製した。
Stack 4 of these sheets at 190℃ and weigh 50 kg.
/ d for 30 minutes to completely cure the sheet, and as shown in FIG. 1, a laminate consisting of four sheets laminated together was produced.

実施例2〜7 表1の配合により実施rIA1と同様にして6種類の樹
脂積層板を作製した。
Examples 2 to 7 Six types of resin laminates were produced using the formulations shown in Table 1 in the same manner as in Example rIA1.

比較例1 ポリフェニレンオキサイド系樹脂組成物にセラミック誘
電体粉末と繊維状補強材を含有させることなく、表1の
配合により実施例1と同様にして積層板を作製した6 実施例8〜26 賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂組成物の配合を
表1のようにし、撹拌には必要によりボールミルを使用
して、実施例1と同様に19種類の樹脂組成物を製造し
た。
Comparative Example 1 A laminate was produced in the same manner as in Example 1 using the formulation shown in Table 1 without containing ceramic dielectric powder and fibrous reinforcing material in the polyphenylene oxide resin composition.6 Examples 8 to 26 Shaping Nineteen types of resin compositions were produced in the same manner as in Example 1, using the formulations of polyphenylene oxide resin compositions as shown in Table 1, and using a ball mill for stirring if necessary.

この樹脂組成物を用いて同様にシートおよび積層板を作
製した。ただし、pETフィルムから離型した後の乾燥
は170°Cで20分間とし、またシーI・を4枚重ね
合わせて完全硬[ヒさせるときの圧h*条件は、220
°C150kg/ cd、30分間とした。比較例2 ポリフェニレンオキサイド系樹脂組成物にセラミック誘
電体粉末と繊維状補強林を含有させることなく、表1の
配合において、上記実施例8〜26と同様にしてシート
および積層板を作製した。
A sheet and a laminate were similarly produced using this resin composition. However, drying after releasing from the pET film was carried out at 170°C for 20 minutes, and the pressure h* conditions when stacking four sheets of Sea I to completely harden them was 220°C.
The temperature was 150 kg/cd at °C for 30 minutes. Comparative Example 2 Sheets and laminates were produced in the same manner as in Examples 8 to 26 above using the formulations shown in Table 1 without containing the ceramic dielectric powder and the fibrous reinforcement in the polyphenylene oxide resin composition.

実施例27 実施例8で得た賦形性ポリフェニレンオキサイド系樹脂
組成物をガラスクロスに含浸させ、これを50℃で約1
0分間、130℃で約20分間乾燥させてトリクロロエ
チレンを除去し、グリプレグを作製した。
Example 27 A glass cloth was impregnated with the excipient polyphenylene oxide resin composition obtained in Example 8, and then heated at 50°C for about 1
Trichlorethylene was removed by drying at 130° C. for about 20 minutes to prepare Gripreg.

このプリプレグ2枚と実施例8で得たシート3枚とをシ
ート、プリプレグの順に積層し、加熱圧締して積層板を
作製した。
Two of these prepregs and three sheets obtained in Example 8 were laminated in the order of sheet and prepreg, and heat-pressed to produce a laminate.

実施例1〜27、および比較例1.2で得た積層板の物
性を、比誘電率、誘電損失、耐溶剤性、耐アルカリ性に
ついて調べた。結果を表1に示した。非誘電率および誘
電損失は、第1図および第2図に示した方法によって測
定した。(a)は基板を示し、(b)は導体金属を示し
ている。
The physical properties of the laminates obtained in Examples 1 to 27 and Comparative Example 1.2 were investigated in terms of dielectric constant, dielectric loss, solvent resistance, and alkali resistance. The results are shown in Table 1. The dielectric constant and dielectric loss were measured by the method shown in FIGS. 1 and 2. (a) shows the substrate, and (b) shows the conductive metal.

また、使用した各種セラミック誘電体粉末の粒度および
焼成条件等を表2に示す。
Further, Table 2 shows the particle size, firing conditions, etc. of the various ceramic dielectric powders used.

実施例28 実施例27で得たプリプレグを4枚重ね合わせ、さらに
その両面に厚さ18μmの電解銅箔を重ね、200℃、
50kg/cd、30分間圧締して積層−体fヒし、金
属張積層板を作製した。
Example 28 Four sheets of the prepreg obtained in Example 27 were stacked together, and electrolytic copper foil with a thickness of 18 μm was stacked on both sides, and heated at 200°C.
The laminate was pressed at 50 kg/cd for 30 minutes to produce a metal-clad laminate.

表 1 (その3) (表1の注) 零1: スチレンブタジェンコポリマーJ2ニトリアリ
ルイソシアヌレート J3:  A・・・ジクミルパーオキサイドB・・・2
゜5−ジメチル−2,5−ジー(tert−ブチルパー
オキシ)ヘキシン−3 J4:A・・・酸化アルミニウム(平均粒径1〜2μm
)B・・・二酸化チタン(平均粒径l〜2μm)C・・
・酸化アルミニウム(平均粒径5〜6μm)弓: 煮沸
トリクロロエチレン中に5分間浸漬した後の外観変化を
みた。
Table 1 (Part 3) (Notes to Table 1) Zero 1: Styrene-butadiene copolymer J2 Nitrialyl isocyanurate J3: A...Dicumyl peroxide B...2
゜5-dimethyl-2,5-di(tert-butylperoxy)hexyne-3 J4:A...Aluminum oxide (average particle size 1-2 μm
)B...Titanium dioxide (average particle size l~2μm)C...
- Aluminum oxide (average particle size 5-6 μm) bow: Changes in appearance were observed after being immersed in boiling trichlorethylene for 5 minutes.

(発明の効果) この発明により、ポリフェニレンオキサイドに架橋性の
ポリマーおよび/またはモノマー、セラミック誘電体粉
末および繊維状補強材を含有させることにより、耐熱性
、寸法安定性および耐薬品性に倒れ、所望の誘電率を有
し、しかも、高密度微細化、高精度小形化、薄層化等が
可能な樹脂基板が得られる。
(Effects of the Invention) According to the present invention, by incorporating a crosslinkable polymer and/or monomer, ceramic dielectric powder, and fibrous reinforcing material into polyphenylene oxide, the desired heat resistance, dimensional stability, and chemical resistance can be achieved. It is possible to obtain a resin substrate having a dielectric constant of , and which is capable of high-density miniaturization, high-precision miniaturization, thinning, etc.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図および第2図は各々比誘電率および誘電損失の計
測方法を示した斜視図と回路図である。 代理人 弁理士  西 澤 利 夫
FIG. 1 and FIG. 2 are a perspective view and a circuit diagram, respectively, showing a method for measuring relative dielectric constant and dielectric loss. Agent Patent Attorney Toshio Nishizawa

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)架橋性のポリマーおよび/またはモノマーとセラ
ミック誘電体粉末および繊維状補強材とを含有する賦形
性ポリフェニレンオキサイド系樹脂組成物を成形または
基材に含浸させてなることを特徴とするポリフェニレン
オキサイド系樹脂基板。
(1) Polyphenylene produced by molding or impregnating a base material with a shapeable polyphenylene oxide resin composition containing a crosslinkable polymer and/or monomer, ceramic dielectric powder, and fibrous reinforcing material Oxide resin substrate.
(2)セラミック誘電体粉末が酸化アルミニウム系セラ
ミック、二酸化チタン系セラミック、チタン酸バリウム
系セラミック、チタン酸鉛系セラミック、チタン酸カル
シウム系セラミック、チタン酸マグネシウム系セラミッ
ク、チタン酸ビスマス系セラミック、チタン酸ストロン
チウム系セラミック、酸化ジルコニウム系セラミック、
ジルコン酸鉛系セラミック、ジルコン酸バリウム系セラ
ミック、K_2O−PbO−SiO_2系セラミック、
Ba_0_._5Pb_0_._5Nd_2Ti_5O
_1_4系セラミック、またはBa(Zn_1_/_3
Nb_2_/_3)O_3系セラミックの粉末、あるい
はこれらの2種以上の混合粉末である請求項(1)記載
のポリフェニレンオキサイド系樹脂基板。
(2) Ceramic dielectric powder includes aluminum oxide ceramic, titanium dioxide ceramic, barium titanate ceramic, lead titanate ceramic, calcium titanate ceramic, magnesium titanate ceramic, bismuth titanate ceramic, and titanate ceramic. Strontium ceramic, zirconium oxide ceramic,
Lead zirconate ceramic, barium zirconate ceramic, K_2O-PbO-SiO_2 ceramic,
Ba_0_. _5Pb_0_. _5Nd_2Ti_5O
_1_4 ceramic or Ba(Zn_1_/_3
The polyphenylene oxide resin substrate according to claim 1, which is a Nb_2_/_3)O_3 ceramic powder or a mixed powder of two or more thereof.
(3)繊維状補強材がガラス繊維またはアラミド繊維で
ある請求項(1)記載のポリフェニレンオキサイド系樹
脂基板。
(3) The polyphenylene oxide resin substrate according to claim (1), wherein the fibrous reinforcing material is glass fiber or aramid fiber.
(4)架橋性ポリマーがスチレンブタジエン共重合体で
ある請求項(1)記載のポリフェニレンオキサイド系樹
脂基板。
(4) The polyphenylene oxide resin substrate according to claim (1), wherein the crosslinkable polymer is a styrene-butadiene copolymer.
(5)架橋性モノマーがトリアリルイソシアヌレートま
たはトリアリルシアヌレートである請求項(1)記載の
ポリフェニレンオキサイド系樹脂基板。
(5) The polyphenylene oxide resin substrate according to claim (1), wherein the crosslinking monomer is triallyl isocyanurate or triallyl cyanurate.
(6)ポリフェニレンオキサイド100重量部に対して
セラミック誘電体粉末を1000〜10000重量部含
有する請求項(1)記載のポリフェニレンオキサイド系
樹脂基板。
(6) The polyphenylene oxide resin substrate according to claim (1), which contains 1,000 to 10,000 parts by weight of ceramic dielectric powder per 100 parts by weight of polyphenylene oxide.
(7)繊維状補強材を含有樹脂100重量部に対して2
0〜40重量部含有する請求項(1)記載のポリフェニ
レンオキサイド系樹脂基板。
(7) 2 parts by weight of fibrous reinforcing material per 100 parts by weight of resin
The polyphenylene oxide resin substrate according to claim 1, containing 0 to 40 parts by weight.
(8)ポリフェニレンオキサイド10〜95重量部、お
よび架橋性のポリマーおよび/またはモノマー5〜90
重量部を含有する請求項(1)記載のポリフェニレンオ
キサイド系樹脂基板。
(8) 10 to 95 parts by weight of polyphenylene oxide, and 5 to 90 parts by weight of crosslinkable polymer and/or monomer
The polyphenylene oxide resin substrate according to claim 1, which contains parts by weight.
(9)請求項(1)記載の賦形性ポリフェニレンオキサ
イド系樹脂組成物を加熱成形、またさらに積層化してな
ることを特徴とする賦形性ポリフェニレンオキサイド系
樹脂基板。
(9) A shapeable polyphenylene oxide resin substrate, characterized in that the shapeable polyphenylene oxide resin composition according to claim (1) is thermoformed and further laminated.
(10)請求項(1)記載の賦形性ポリフェニレンオキ
サイド系樹脂組成物をキャスティング法によりシート化
、またはさらに積層化してなることを特徴とするポリフ
ェニレンオキサイド系樹脂基板。
(10) A polyphenylene oxide resin substrate, characterized in that the shapeable polyphenylene oxide resin composition according to claim (1) is formed into a sheet by a casting method or further laminated.
(11)請求項(1)記載の賦形性ポリフェニレンオキ
サイド系樹脂組成物からシートおよび/またはプリプレ
グを形成し、このシートおよび/またはプリプレグを金
属箔と積層一体化してなることを特徴とするポリフェニ
レンオキサイド系樹脂金属張積層板。
(11) A polyphenylene product obtained by forming a sheet and/or prepreg from the shapeable polyphenylene oxide resin composition according to claim (1), and laminating and integrating the sheet and/or prepreg with metal foil. Oxide resin metal clad laminate.
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