JPH0123588Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0123588Y2 JPH0123588Y2 JP4412684U JP4412684U JPH0123588Y2 JP H0123588 Y2 JPH0123588 Y2 JP H0123588Y2 JP 4412684 U JP4412684 U JP 4412684U JP 4412684 U JP4412684 U JP 4412684U JP H0123588 Y2 JPH0123588 Y2 JP H0123588Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage tank
- carbon dioxide
- removal device
- water
- ultrapure water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 32
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Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
半導体の製造等において大量に使用される超純
水は、通常の場合、一旦超純水貯留タンクに貯留
された後、ユースポイントへ供給される。該超純
水は空気中に含有する炭酸ガスにより水質指標で
ある比抵抗が15〜18MΩ.cm at25℃程度から
1MΩ.cm at25℃程度へと著しく低下するが、
これを防止するために、従来より、窒素等の安定
した気体を供給して常に超純水貯留タンクの上部
空間に充満せしめる方法をとつていた。
水は、通常の場合、一旦超純水貯留タンクに貯留
された後、ユースポイントへ供給される。該超純
水は空気中に含有する炭酸ガスにより水質指標で
ある比抵抗が15〜18MΩ.cm at25℃程度から
1MΩ.cm at25℃程度へと著しく低下するが、
これを防止するために、従来より、窒素等の安定
した気体を供給して常に超純水貯留タンクの上部
空間に充満せしめる方法をとつていた。
本考案は、超純水貯留タンクに接続した吸気管
および排気管に逆止弁を設け、また該吸気管先端
部に炭酸ガス除去装置を接続して、該貯留タンク
に貯留された超純水の水面の昇降運動により、炭
酸ガスを除去した空気を、自動的に該貯留タンク
上部空間へ供給せしめるもので、従来方法に比較
してイニシヤルおよびランニングコストを大幅に
低下せしめることを目的とする。
および排気管に逆止弁を設け、また該吸気管先端
部に炭酸ガス除去装置を接続して、該貯留タンク
に貯留された超純水の水面の昇降運動により、炭
酸ガスを除去した空気を、自動的に該貯留タンク
上部空間へ供給せしめるもので、従来方法に比較
してイニシヤルおよびランニングコストを大幅に
低下せしめることを目的とする。
つぎに、本考案における実施例を、図面にした
がつて詳細に説明する。
がつて詳細に説明する。
超純水製造装置(図示せず)にて製造された超
純水1は、給水管2より供給されて貯留タンク3
に一時貯留された後、送水管4よりユースポイン
ト(図示せず)へ送水され、その一部は循環給水
管5より再び貯留タンク3へ供給される。一方、
該貯留タンク3の上面に接続された通気管6から
延びる吸気管7および排気管8には逆止弁9,1
0が設けられ、さらに該吸気管7の先端部には、
炭酸ガスの吸収・除去作用を有する合成フツ石1
1とフイルター12よりなる炭酸ガス除去装置1
3が接続されている。
純水1は、給水管2より供給されて貯留タンク3
に一時貯留された後、送水管4よりユースポイン
ト(図示せず)へ送水され、その一部は循環給水
管5より再び貯留タンク3へ供給される。一方、
該貯留タンク3の上面に接続された通気管6から
延びる吸気管7および排気管8には逆止弁9,1
0が設けられ、さらに該吸気管7の先端部には、
炭酸ガスの吸収・除去作用を有する合成フツ石1
1とフイルター12よりなる炭酸ガス除去装置1
3が接続されている。
本実施例は上記構成になるため、給水管2およ
び循環給水管5からの給水量と、ユースポイント
(図示せず)への送水量とのバランスの変化によ
り、貯留タンク3における超純水1の量が増減
し、よつて水面aの昇降運動が生じる。水面aが
下降運動をしている場合には、貯留タンク3の上
部空間bの気圧が低下し、よつて排気管8の逆止
弁10が閉塞され、他方吸気管7の逆止弁9は開
放されて空気が吸入されるが、その際に該吸気管
7先端部に設けられた炭酸ガス除去装置13を通
過するので、貯留タンク3の上部空間bには炭酸
ガスが除去された空気が吸入されることとなる。
また、水面aが上昇運動をしている場合において
は、貯留タンク3の上部空間bの気圧が上がり、
よつて吸気管7の逆止弁9は閉塞し、排気管8の
逆止弁10は開放されて該排気管8より外気中へ
排気される。なお、吸入の場合においてのみ空気
が炭酸ガス除去装置13を通過する構造であるた
め、該炭酸ガス除去装置13を構成する合成フツ
石11の耐用期間を長く保つことが可能となる。
び循環給水管5からの給水量と、ユースポイント
(図示せず)への送水量とのバランスの変化によ
り、貯留タンク3における超純水1の量が増減
し、よつて水面aの昇降運動が生じる。水面aが
下降運動をしている場合には、貯留タンク3の上
部空間bの気圧が低下し、よつて排気管8の逆止
弁10が閉塞され、他方吸気管7の逆止弁9は開
放されて空気が吸入されるが、その際に該吸気管
7先端部に設けられた炭酸ガス除去装置13を通
過するので、貯留タンク3の上部空間bには炭酸
ガスが除去された空気が吸入されることとなる。
また、水面aが上昇運動をしている場合において
は、貯留タンク3の上部空間bの気圧が上がり、
よつて吸気管7の逆止弁9は閉塞し、排気管8の
逆止弁10は開放されて該排気管8より外気中へ
排気される。なお、吸入の場合においてのみ空気
が炭酸ガス除去装置13を通過する構造であるた
め、該炭酸ガス除去装置13を構成する合成フツ
石11の耐用期間を長く保つことが可能となる。
以上述べたように、本考案は超純水の比抵抗の
低下を防止するため、窒素等のガスや、それを送
気するための動力を何ら使用することなく、炭酸
ガス除去装置により炭酸ガスを除去した空気を、
吸気管および排気管に設けた逆止弁の作用により
自動的に超純水貯留タンクへ供給せしめ、イニシ
ヤルおよびランニングコストを大幅に低減する、
炭酸ガス除去装置を有する超純水貯留タンクを提
供するものであり、本考案の実用的効果はきわめ
て大きい。
低下を防止するため、窒素等のガスや、それを送
気するための動力を何ら使用することなく、炭酸
ガス除去装置により炭酸ガスを除去した空気を、
吸気管および排気管に設けた逆止弁の作用により
自動的に超純水貯留タンクへ供給せしめ、イニシ
ヤルおよびランニングコストを大幅に低減する、
炭酸ガス除去装置を有する超純水貯留タンクを提
供するものであり、本考案の実用的効果はきわめ
て大きい。
図面は本考案の実施例を示す断面図である。
2……給水管、3……貯留タンク、4……送水
管、5……循環給水管、6……通気管、7……吸
気管、8……排気管、9,10……逆止弁、11
……合成フツ石、12……フイルター、13……
炭酸ガス除去装置。
管、5……循環給水管、6……通気管、7……吸
気管、8……排気管、9,10……逆止弁、11
……合成フツ石、12……フイルター、13……
炭酸ガス除去装置。
Claims (1)
- 超純水を一時貯留する純水貯留タンクにおい
て、該貯留タンク上面に接続された吸気管および
排気管に逆止弁を設け、また該吸気管先端部に炭
酸ガス除去装置を接続し、該炭酸ガス除去装置を
通過して炭酸ガスが除去された空気の該貯留タン
クへの供給を、該貯留タンクに貯留された超純水
の水面の昇降運動により自動的に行なう構造にな
ることを特徴とする炭酸ガス除去装置を有する純
水貯留タンク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4412684U JPS60155992U (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | 炭酸ガス除去装置を有する純水貯留タンク |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4412684U JPS60155992U (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | 炭酸ガス除去装置を有する純水貯留タンク |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60155992U JPS60155992U (ja) | 1985-10-17 |
JPH0123588Y2 true JPH0123588Y2 (ja) | 1989-07-19 |
Family
ID=30556418
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4412684U Granted JPS60155992U (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | 炭酸ガス除去装置を有する純水貯留タンク |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60155992U (ja) |
-
1984
- 1984-03-29 JP JP4412684U patent/JPS60155992U/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS60155992U (ja) | 1985-10-17 |
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