JPH01233801A

JPH01233801A - マイクロ波スイッチおよびこれに適したマイクロストリップ線路

Info

Publication number: JPH01233801A
Application number: JP6011588A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Tsuruoka; 勉鶴岡; Akihisa Takeda; 武田　明久
Original assignee: Tokyo Keiki Co Ltd
Current assignee: Tokyo Keiki Inc
Priority date: 1988-03-14
Filing date: 1988-03-14
Publication date: 1989-09-19
Anticipated expiration: 2014-10-12
Also published as: JP2962418B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、マイクロストリップ線路にダイオードをパラ
レルにまたはシリーズ・パラレルに接続する形式のマイ
クロ波スイッチ、特に、無反射型としたマイクロ波スイ
ッチ、および、このような無反射型マイクロ波スイッチ
の終端回路を構成するに適したマイクロストリップ線路
に関する。

［従来の技術］従来、マイクロ波スイッチとしては、大別して、第８図
（ａ）〜（ｃ）に示すように、■マイクロストリップ線
路にダイオードを直列に接続した形式のシリーズ型マイ
クロ波スイッチ（同図（ａ））と、■マイクロストリッ
プ線路にタイオードをパラレルに接続する形式のパラレ
ル型マイクロ波スイッチ（同図（ｂ））と、■マイクロ
ストリップ線路にダイオードをシリーズ・パラレルに接
続する形式のシリーズ・パラレル型マイクロ波スイッチ
（同図（Ｃ））とかある。

上記■のシリーズ型マイクロ波スイッチは、製作か容易
であるか、挿入損失か大きく、また、アイソレーション
か５０ｄＢ程度で、スイッチとしての特性か好ましくな
いという欠点かある。これに対して、■のパラレル型マ
イクロ波スイッチおよび■のシリーズ・パラレル型マイ
クロ波スイッチは、挿入損失が小さく、しかも、シリー
ズ・パラレル型の場合、アイソレーションを６０ｄＢ以
上とすることもてきる。

これらを比較すれば、マイクロ波スイッチとしては、ｖ
ｋ者のＱ）および■のマイクロ波スイッチ、特に、シリ
ーズ・パラレル型のマイクロ波スイッチか好ましい特性
を有することか分かる。

〔発明が解決しようとする課題］しかしながら、上記したパラレル型マイクロ波スイッチ
およびシリーズ・パラレル型マイクロ波スイッチは、次
のような問題があった。

すなわち、マイクロ波スイッチの性能として、無反射型
であることか必要な場合がある。従来。

上記■のシリーズ型マイクロ波スイッチには、無反射型
のものか製作され、この要求を満たすことがてきる。と
ころか、■のパラレル型マイクロ波スイッチおよび■の
シリーズ・パラレル型のマイクロ波スイッチには、無反
射型のものか製作されていない。

そのため、マイクロ波スイッチを無反射型とするには、
シリーズ型とせざるを得す、挿入損失およびアイソレー
ションか悪くなり、一方、挿入損失およびアイソレーシ
ョンの優れたスイッチとすると、無反射型にてきないと
いう問題かあった。

従来、パラレル型マイクロ波スイッチとシリーズ・パラ
レル型マイクロ波スイッチとを無反射型とすることかで
きなかった理由は、高周波域での終端抵抗の原理が十分
に解明されておらず、好ましい特性を維持するに必要な
条件が不明確であったことによると考えられる。

すなわち、マイクロ波の場合、終端抵抗の物理的大きさ
、配置等が特性に大きく影響するため、好ましい態様を
設定することが容易でないことによる。シリーズ型のマ
イクロ波スイッチの場合には、マイクロストリップ線路
から分岐する形式て、終端抵抗を接続することができる
ので、この問題を一応解決することかてきる。ところが
、パラレル型マイクロ波スイッチおよびシリーズ・パラ
レル型マイクロ波スイッチの場合には、終端抵抗をマイ
クロストリップ線路から分岐する形式て接続することか
できないため、好ましい特性を雄持して、最適な終端回
路を形成することは容易てない。

このように、従来、パラレル型マイクロ波スイッチおよ
びシリーズ・パラレル型マイクロ波スイッチにおいては
、最適な終端回路の形成かその解決すべき課題となって
いる。

本発明は、上記課題を解決すべくなされたものて、その
目的は、好ましい特性を維持して、最適な終端回路を構
成できて、無反射型とすることがてきるパラレル型およ
びシリーズ・パラレル型のマイクロ波スイッチを提供す
ることにある。

また、本発明は、上記好ましい特性を維持して、最適な
終端回路を構成できて、特に、無反射型のパラレル型ま
たはシリーズ・パラレル型のマイクロ波スイッチ実現に
好適なマイクロストリップ線路を提供することにある。

［課題を解決するための手段］本発明は、上記課題を解決する手段として、マイクロス
トリップ線路にパラレルに接続されたダイオードを有す
るマイクロ波スイ・ンチにおいて、上記マイクロストリ
ップ線路の、上記パラレルタイオートに近接した位置に
、該線路に直列に終端抵抗を挿入Ｉｆｉ続すると共に、
該終端抵抗にバイパス用ダイオードを並列接続して構成
した終端回路を備えることを特徴とする。

また、本発明は、切替ないし選択スイッチとして適した
多極のマイクロ波スイッチをも提供する。

すなわち１本発明は、上記課題を解決する手段として、
ｌ＊の共通ポートと、複数本の選択ポートとを有し、シ
リーズ・パラレル型にダイオードを接続してなるスイッ
チング素子により共通ポートと選択ポートとを選択的に
接続するマイクロ波スイッチにおいて、上記各選択ポートを構成するマイクロストリップ線路の
、上記スイッチング素子のパラレルダイオードに近接し
た位置に、該線路に直列に終端抵抗を挿入接続すると共
に、該終端抵抗にバイパス用ダイオードを並列接続して
構成した終端回路を備えることを特徴とする。

上記終端抵抗とバイパス用タイオードとを並列接続した
回路は、上記マイクロストリップ線路のストリップ導体
に不連続部を設けると共に、該不連続部にて露出する誘
電体に凹部を設け、かつ、丘記不連続部の凹部に、バイ
パス用ダイオードの本体を位置させる状態で架橋するよ
うに接続し、その上に、終端抵抗としてチップ抵抗を積
層して接続することにより構成する。

このような回路を構成するマンクロストリップ線路とし
ては、マイクロストリップ線路のストリップ導体に不連
続部を設けると共に、該不連続部にて露出する誘電体に
凹部を設け、かつ、上記不連続部の凹部に、バイパス用
タイオートの本体を位置させる状態で架橋するように接
続し、その上に、終端抵抗としてチップ抵抗を積層して
接続し、抵抗とバイパス用ダイオードとを並列接続した
ものを、マイクロストリップ線路中に直列に挿入接続し
て構成するものか好ましい。

また、上記抵抗とバイパス用ダイオードとを並列接続し
たものとしては、タイオートとチップ抵抗とを順次積層
接続するものに限らず、これらを予め一体的に形成した
ものを、上記ストリップ導体の不連続部に挿入接続する
ようにしたものでもよい。

終端抵抗とパラレルダイオードとの間隔は、それらの電
気的接続に要する接続距離をできる限り小さくするため
、狭くすることかよい、この接続距離か長くなると、イ
ンダクタンス成分が増加して、特性か悪くなる。すなわ
ち、反射損失か増えることとなる。従って、終端抵抗と
パラレルダイオードとの接続距離は、好ましくは、０．
５ｍｓ以下とする。

［作用］本発明は、上記マイクロストリップ線路の７、上記パラ
レル、ダイオードに近接した位置に、該線路に直列に終
端抵抗を挿入接続する構成となっているので、終端抵抗
とパラレルダイオードとの電気的接続に要する接続距離
か小さくなり、インダクタンス成分の発生を抑えること
ができる。

この接続距離とインタフタンスとの関係は、距離か狭く
なるほど生ずるインダクタンスか小さくなる傾向かある
。第７図に終端抵抗と接地点との距離と反射特性との関
係を示す。

第７図のグラフは２横軸に周波ａ（Ｇｌｌｚ）　、縦軸
に反射損失（ｄＢ）をとり、５０Ωの抵抗を３０終φの
リード線（金線）により接地する場合のり−ト線の長さ
Ｊｌ（ｇ＋鳳）をパラメータとして、終端抵抗と接地点
との距離と反射特性との関係を示す。同図に示すように
、各周波数における反射損失は１文が０．２ｍｍから０
．９膳■まで長くなるに従って大きくなっている。各長
さのリードのインダクタンスは、これに対応して、０．
１５ｎｌｌ〜０．７ａｌｌの値となる。

同図から、実用域における反射損失を１例えば、１８　
Ｇ　ＨＺにおいて１１ｄＢを超えない範囲とすれば、１
≦Ｑ、５ｍｍとなる。従って、上記したように、本発明
では、終端抵抗とパラレルダイオードとの接続距離を、
できるかぎり小さくし、好ましくは０．５膳−以下とす
ることにより、無反射型とするための終端抵抗の実装に
よる反射損失を、実用上差し支えない程度に抑えている
。

なお、リート線を２本星列に使用することにより、文≦
０．６ｍｍでも反射損失かＩ：ｌｄＢを超えないように
することかできて、さらに１反射損失を小さくすること
かてきる。

また２本発明は、マイクロストリップ線路−Ｆに終端抵
抗を配置しているが、該終端抵抗にバイパス用ダイオー
ドを並列接続して、伝送すべきマイクロ波の減衰を防い
でいる。

さらに、本発明は、マイクロストリップ線路上に終端抵
抗を配置することにより、寄生容量や、インダクタンス
の発生を少なくして、高周波域での使用を可能としてい
る。この作用は、マイクロストリップ線路のストリップ
導体に不連続部を設けると共に、該不連続部にて露出す
る誘電体に凹部な設け、かつ、上記不連続部の凹部に、
バイパス用タイオートの本体を位置させる状態で架橋す
るように接続し、その上に、終端抵抗としてチップ抵抗
を積層して接続し、抵抗とバイパス用タイオートとを並
列接続したものを、マイクロストリップ線路中に直列に
挿入接続して構成することにより、さらに効果的となる
。

この他、本発明では、終端抵抗とシャント川のパラレル
ダイオードとを、ストリップ線路上で接続できるので、
製造工程か簡単となる。この作用は、マイクロ波スイッ
チおよびマイクロストリップ線路を構成するに際し、抵
抗とバイパス用ダイオードとを並列接続したものは、ダ
イオードとチップ抵抗を順次積層接続する場合に限らず
、これらを予め一体的に形成したものを、上記ストリッ
プ導体の不連続部に挿入接続することにより、さらに効
果的である。

また、マイクロストリップ線路上に終端抵抗を配置でき
るため、終端回路の配置に要する面状か少なくて済み、
小型化が容易となる。特に、この作用は、多数の選択ポ
ートを有する多極のマイクロ波スイッチでは、設けるべ
き終端回路数か多くなるので、効果的である。

［実施例］本発明の実施例について図面を参照して説明する。

く第１実施例の構成〉第１図に本発明マイクロ波スイッチの第１実施例を示す
。

本実施例は、１〜１８ＧＨｚの範囲で無反射型スイッチ
として使用することかてきる例である。

同図に示すマイクロ波スイッチは、シングルスロー型の
スイッチであって、入力端子および出力端子の部分に設
けられた直流遮断用コンデンサＣＩおよびＣ３と、バイ
アス用コイルＬｌおよびコンデンサＣ３と、大振幅信号
が入力した場合の対策として設けられる逆バイアス用抵
抗Ｒ，と、整合回路ｌと、スイウチング素子として機能
するシリーズ・パラレルに接続したシリーズダイオード
Ｄｌ、パラレルダイオードＤ２およびＤ３と、終端抵抗
Ｒ２および該終端抵抗をバイパスするバイパス用タイオ
ートＤ４からなる終端抵抗回路２と、バイアス用コイル
Ｌ２およびコンデンサＣ４とを備えて構成される。

上記シリーズダイオードＤ１としては、接合容量か小さ
いＰＩＮタイオートな使用する。本実施例では、ビーム
リート型タイオートを使用し・フィクロストリップ線路
に挿入接続する。

パラレルダイオードＤ２およびＤ３は、線路上ては、は
ぼｌ／４波長離して配置されることか望ましい・本実施
例ては、素子としてＰＩＮダイオードチップ１２を使用
している。このダイオードチップ１２は、第２図に示す
ように、マイクロスト１ノツプ線路３のストリ・ンブ導
体不連続部の誘電体に設けられた接地面８まて通しる孔
に挿入して、接地面８と接続し、上部電極をリート線１
３にてストリップ導体６に接続することにより実装する
。

上記終端抵抗回路２に構成する終端抵抗Ｒ２は、５０Ω
の抵抗値を有し、上記パラレルタイオードＤコの後方に
近接して、線路に直列に接続され、該ダイオードＤ３を
介して接地されて終端回路を構成する。上記パラレルダ
イオードＤ：ｌとの接続距離は、上記したように、０．
５Ｉ以下とする。

また、この終端抵抗Ｒ２には、並列にバイパス用ダイオ
ードＤ、か接続される。その接続方向は、入力信号を終
端抵抗Ｒ２を経ることなく出力側に伝送できるように設
定される。この終端抵抗Ｒ２とバイパス用ダイオードＤ
、の実装については後述する。

上記バイアス用コイルＬ、およびコンデンサＣ４とは、
直列に接続され、コンデンサＣ４の一端か接地される０
両者の接続点は、このスイッｔのスイッチング素子、す
なわち、シリーズダイオードＤ１、パラレルダイオード
Ｄ２およびり、にバイアス電流を供給してスイッチのオ
ンオフを行なうドライバ回路（図示せず）に接続される
。このドライバ回路は、定電流供給回路を有しており、
スイッチのオンオフに対応して出力の極性を代える構成
となっている。

ト記終端抵抗Ｒ２とバイパス用ダイオードＤ４とからな
る終端抵抗回路２は、第２図に示すように、マイクロス
トリップ線路３上に配置される。

この終端抵抗回路２は、第３図および第４図に示すよう
に、チップ抵抗４とＰＩＮダイオード５とからなり、チ
ップ抵抗４の電極４ａｇよび４ｂにＰＩＮダイオード５
か接続される。

また、この終端抵抗Ｒ２を構成するチップ抵抗４は、パ
ラレルタイオートＤ３を構成する上記ダイオードチップ
１２に近接して配置されている。

終端抵抗Ｒ２とタイオードチップ１２とは、金線からな
るソート線１３にて接続される。本実施例では、インダ
クタンスを小さくするため、リート線１３を２本並列に
使用している。このリート線１３の長さか、０．５履ｌ
以下となるように、終端抵抗Ｒ２とタイオートチップ１
２との配置間隔が設定しである。

これらを実装するマイクロストリップ線路３は、一般に
、第４図に示すように、接地面８上に誘電体７の層を設
け、この誘電体７上に、金属からなるストリップ導体６
を設けて構成される。本実施例では、マイクロストリッ
プ線路３の終端抵抗回路２を実装する部分には、その部
分のストリップ導体６を除去して不連続部６ａを設ける
と共に、該不連続部６ａにて露出する誘電体７に凹部７
ａを設けである。この凹部７ａは、終端抵抗回路２を実
装する際、ＰＩＮダイオード５をその内面に接触しない
ように収容てきる大きさに形成する。

終端抵抗回路２の実装は、第４図に示すように、ＰＩＮ
ダイオード５を下側にして、該ＰＩＮタイオート５をそ
の内面に接触しないように凹部７ａに挿入すると共に、
チップ抵抗４の電極４ａおよび４ｂをストリップ導体６
上に載せ、かつ、両者間を導電性の接着剤９にて電気的
に接続すると共に固着することにより行なう。

上記整合回路ｌは、上記スイッチング素子であるシリー
ズダイオードＤ１の有する接合容量の影響を補正する回
路であって、インダクタンスとキャパシタンスとを直列
接続して構成する。具体的には、ストリップ線路上に、
インダクタンス領域とキャパシタンス領域とを形成する
。

く第１実施例の作用〉次に、上記のように構成される本実施例の作用について
説明する。

上記のように構成した本実施例のマイクロ波スイッチは
１図示しないトライバ回路か接Ｊ１！電位より低い電位
で定電流を供給するように機能すると、シリーズダイオ
ードＤ１か順方向にバイアスされ、パラレルタイオート
Ｄ２およびＤ３か逆バイアス状態となるため、スイッチ
かオン状態となる。その結果、入力するマイクロ波電流
は、コンデンサＣＩ、整合回路ｌ、シリーズタイオート
Ｄｌ、ダイオードＤ４およびコンデンサＣ１を経て出力
側に流れる。この場合、終端抵抗Ｒ２は、ダイオードＤ
４でバイパスされるため、これによる損失はない。

次に、上記したトライバ回路の極性が反転すると、シリ
ーズダイオードＤ、は逆方向にバイアスされ、スイッチ
かオフ状態となる。その結果、入力するマイクロ波電流
は、シリーズダイオードＤ、に阻止され、導通しない。

この場合、出力側は、終端抵抗Ｒ２とパラレルダイオー
ドＤ２およびＤ３とにより終端回路が構成されるため、
出力側からのインピーダンスが整合した状態となり、出
力側から入力するマイクロ波の反射か阻止される。

く第２実施例の構成〉第５図に本発明マイクロ波スイッチの第２実施例を示す
。

本実施例は、１本の共通ポートＰｃと、複数本の選択ポ
ートＰｓｔ〜Ｐｓｒ＋とを有し、該共通ポートＰｃと選
択ポートＰｓ、〜Ｐｓｎとを、バイアスによりオンオフ
状態が変化するスイッチング素子を介して接続し、該ス
イッチング素子を選択的にオンオフさせて、選択ポート
Ｐｓ、〜Ｐｓ。

のいずれかを選択的に共通ポートＰｃに接続するマイク
ロ波スイッチに適用した例である。

本実施例において、共通ポートＰｃは、入力端子の部分
に設けられた直流遮断用コンデンサＣ３と、バイアス用
コイルし、およびコンデンサＣ２と、大振幅信号か入力
した場合の対策として設けられる逆バイアス用抵抗Ｒ１
と、整合回路１とを・備えて構成される。

一方、選択ポートＰｓ＋〜Ｐｓｎは、いずれも同一の構
成てあって、スイッチング素子として機能するシリーズ
ダイオードＤ３、パラレルダイオードＤ２およびり、・
と、終端抵抗Ｒ２および該終端抵抗をバイパスするバイ
パス用タイオートＤ。

からなる終端抵抗回路２と、バイアス用コイルし２およ
びコンデンサＣ４と、出力端子の部分に設けられた直流
遮断用コンデンサＣ１とを備えて構成される。

これらの構成要素に各々は、上記した第１実施例のもの
と回しであるのて、説明を繰り返さない。

〈第２実施例の作用〉本実施例は１個々の共通ポートＰｃと選択ポートＰｓ＋
　〜Ｐｓｎとを、各選択ポートＰｓ、　〜Ｐｓｎのスイ
ッチング素子（シリーズダイオードＤＩ、パラレルダイ
オードＤ２およびり、）のオンオフにより接続する。こ
れらのシリーズダイオードＤ４．パラレルダイオードＤ
２およびり、のオンオフは、図示しないトライバ回路に
より制御される。

共通ポートと接続された選択ポートにおける終端回路は
、第１実施例におけるスイッチオンの場合と同様に作用
する。一方、共通ポートと接続されていない選択ポート
における終端回路は、第１実施例におけるスイッチオン
の場合と同様に作用する。

く他の実施例〉１−記各実施例では、シリーズ・パラレル型のマイクロ
波スイッチの例を示したか、本発明は、パラレル型のマ
イクロ波スイッチにも適用することかできる。なお、パ
ラレル型のマイクロ波スイッチの場合には、終端抵抗を
入力側に設けてもよい。

さらに、本発明は、終端抵抗回路２として、上記実施例
とは異なる実装構造のものを使用することもできる。第
６図にその一例を示す。

同図に示す終端抵抗回路２は、マイクロストリップ線路
３に、不連続部３ａ設け、この不連続部３ａに、該終端
抵抗回路２を構成する上記終端抵抗Ｒ２とバイパス用タ
イオートＤ４とを挿入して構成される。

この終端抵抗回路２は、第６ＵＡに示すように、チップ
抵抗４とＰＩＮタイオート５とからなり、チップ抵抗４
の電極４ａおよび４ｂにＰＩＮタイオート５か＃妾統さ
れる。

これらを実装するマイクロストリップ線路３は、接地面
８上に誘電体７とストリップ導体６とをｖ１居して設け
て構成され、不連続部３ａは、誘電体７とストリップ導
体６とを除去して設けられる。この不連続部３ａは、終
端抵抗回路２を実装する際、チップ抵抗４か挿入できる
大きさに形成する。

終端抵抗回路２の実装は、第６図に示すように、ＰＩＮ
ダイオード５を上側にして、チップ抵抗４を不連続部３
ａに挿入すると共に、チップ抵抗４の電極４ａおよび４
ｂをストリップ導体６とリード線１１により接続するこ
とにより行なう。

第６図では、この終端抵抗回路２を通常のマイクロスト
リップ線路に挿入接続する態様を示しているが、終端回
路とするには、上記した第２図に示すように、パラレル
ダイオードと近接してｌ！ｊ！２１し、ソート線１１の
長さを１例えば、０．５■以下となるようにする。

なお、上記各実施例において使用される終端抵抗回路２
を構成するマイクロストリップ線路は、上記各実施例に
おけるスイッチに限らず、他の形態のマイクロ波スイッ
チにも適用することかでき、また、スイッチに限らず、
他のマイクロ波回路にも適用することができる。

Ｃ発明の効果］以と説明したように本発明は、好ましい特性を維持して
、最適な終端回路を構成できて、無反射型とすることか
できるパラレル型およびシリーズ・パラレル型のマイク
ロ波スイッチを実現することがてきる。

また、本発明は、上記好ましい特性を維持して、最適な
終端回路を構成できて、特に、無反射型のパラレル型ま
たはシリーズ・パラレル型のマイクロ波スイッチ実現に
好適なマイクロストリップ線路を提供することができる
。

さらに、本発明によれば、寄生容量や、インダクタンス
の発生を少なくして、高周波域での使用を可能とし、ま
た、製造工程が簡単て、かつ、終端回路の配置に要する
面積が少なくて済み、小型化か容易なマイクロ波スイッ
チを実現てきる効果かある。

また１本発明によれば、このような終端回路を有するマ
イクロ波スイッチの構成に適したマイクロストリップ線
路が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明マイクロ波スイッチの第１実施例を示す
等価回路図、第２図は終端抵抗回路を挿入接続したマイ
クロストリップ線路を示す要部平面図、第３図は終端抵
抗回路の一例の構成を示す平面図、第４６図は終端抵抗
回路のマイクロストリップ線路への実装構造を示す要部
断面図、第５図は本発明マイクロ波スイッチの第２実施
例を示す回路図、第６図は本発明に使用することができ
る終端抵抗回路の他の例を示すとともに、そのマイクロ
ストリップ線路への実装構造を示す要部断面図、第７図
は本発明における終端抵抗から接地点まての接続距離と
反射特性の関係を示すグラフ、第８図（ａ）〜（ｃ）は
各種マイクロ波スイッチの基本的構成を示す等価回路図
である。Ｃ１〜Ｃ１・・・コンデンサＬ、、Ｌ、・・・コイルＤ　Ｉ−Ｄ　４・・・ダイオードＲ１，Ｒ２・・・抵抗ｌ・・・整合回路２・・・終端抵抗回路３・・・マイクロストリップ線路３ａ・・・不連続部４・・・チップ抵抗４ａ、４ｂ・・・電極５・・・ＰＩＮダイオード６・・・ストリップ導体６ａ・・・凹部７・・・誘゛ｉヒ体８・・・接地面９・・・接着剤１１．１３・・・リート線１２・・・タイオートチップ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）マイクロストリップ線路にパラレルに接続された
ダイオードを有するマイクロ波スイッチにおいて、上記マイクロストリップ線路の、上記パラレルダイオー
ドに近接した位置に、該線路に直列に終端抵抗を挿入接
続すると共に、該終端抵抗にバイパス用ダイオードを並
列接続して構成した終端回路を備えることを特徴とする
マイクロ波スイッチ。
（２）１本の共通ポートと、複数本の選択ポートとを有
し、シリーズ・パラレル型にダイオードを接続してなる
スイッチング素子により共通ポートと選択ポートとを選
択的に接続するマイクロ波スイッチにおいて、上記各選択ポートを構成するマイクロストリップ線路の
、上記スイッチング素子のパラレルダイオードに近接し
た位置に、該線路に直列に終端抵抗を挿入接続すると共
に、該終端抵抗にバイパス用ダイオードを並列接続して
構成した終端回路を備えることを特徴とするマイクロ波
スイッチ。
（３）終端抵抗にバイパス用ダイオードを並列接続した
回路を、上記マイクロストリップ線路のストリップ導体に不連続
部を設けると共に、該不連続部にて露出する誘電体に凹
部を設け、かつ、上記不連続部の凹部に、バイパス用ダイオードの
本体を位置させる状態で架橋するように接続し、その上
に、終端抵抗としてチップ抵抗を積層して接続し、この抵抗とバイパス用ダイオードとを並列接続したもの
を、マイクロストリップ線路中に直列に挿入接続した請
求項１または２記載のマイクロ波スイッチ。
（４）マイクロストリップ線路のストリップ導体に不連
続部を設けると共に、該不連続部にて露出する誘電体に
凹部を設け、かつ、上記不連続部の凹部に、バイパス用ダイオードの
本体を位置させる状態で架橋するように接続し、その上
に、終端抵抗としてチップ抵抗を積層して接続し、抵抗とバイパス用ダイオードとを並列接続したものを、
マイクロストリップ線路中に直列に挿入接続したことを
特徴とするマイクロストリップ線路。
（５）ダイオードとチップ抵抗を予め積層して並列接続
したものを、上記不連続部に、ダイオードの本体を位置
させる状態で架橋するように接続した請求項２〜３記載
のマイクロ波スイッチ、または、請求項４記載のマイク
ロストリップ線路。