JPH01232649A - Output range adjusting system for spectrum waveform - Google Patents
Output range adjusting system for spectrum waveformInfo
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Landscapes
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、試料に荷電粒子を照射することによって試料
から検出される分析スペクトルを表示し、該分析スペク
トルの指定された範囲を出力するスペクトル波形の出力
範囲調整方式に関する。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention provides a spectrum display system that displays an analysis spectrum detected from a sample by irradiating the sample with charged particles, and outputs a specified range of the analysis spectrum. This invention relates to a waveform output range adjustment method.
試料を非破壊的に分析できる装置としてＸ線マイクロア
ナライザ（Ｅ Ｐ Ｍ Ａ ； Ｅ １ｅｃｔｒｏｎ
Ｐ ｒｏｂｅｘ−ｒａｙ ＭｙｃｒｏＡｎａｌｙｚｅ
ｒ）が知られている。このＸ線マイクロアナライザは、
極めて細（絞った電子線束を試料表面に照射してそこか
ら放射される特性Ｘ線の波長と強度をＸ線分光器で測定
し、その微小部に含まれる元素を定性、定量するもので
あり、金属や鉄鋼、岩石、鉱物、ガラス、セラミック等
広い分野の組成、材料研究に利用されている。An X-ray microanalyzer (EPMA; E1ectron) is a device that can non-destructively analyze samples.
Probex-ray MicroAnalyze
r) is known. This X-ray microanalyzer is
This method uses an X-ray spectrometer to measure the wavelength and intensity of the characteristic X-rays emitted by irradiating the surface of a sample with an extremely narrow beam of electrons, thereby qualitatively and quantitatively determining the elements contained in the microscopic parts. It is used for composition and materials research in a wide range of fields, including metals, steel, rocks, minerals, glass, and ceramics.
第３図はＸ線マイクロアナライザの分析システム構成を
示す図、第４図はスペクトル処理の例を示す図である０
図中、１１はＸ線マイクロアナライザ、１２はＣＰＵ、
１３はメモリ、１４はマウス、１５はキーボード、１６
はデイスプレィ、１７はプロッタを示す。Figure 3 is a diagram showing the analysis system configuration of the X-ray microanalyzer, and Figure 4 is a diagram showing an example of spectrum processing.
In the figure, 11 is an X-ray microanalyzer, 12 is a CPU,
13 is memory, 14 is mouse, 15 is keyboard, 16
indicates a display, and 17 indicates a plotter.
ＥＰＭＡによる試料の分析では、例えば第３図に示すシ
ステムによりＣＰＵ１２がＸ線マイクロアナライザ１１
の分析データをメモリ１３に取り込む。ここで測定した
スペクトル波形は、第４図＋ａ＋に示すように縦軸がＸ
線強度（カウント数）、横軸がＸ線波長や分光器の位置
で表され、この波形が例えばカラーデイスプレィ１６に
表示される。In the analysis of a sample by EPMA, for example, the system shown in FIG.
The analysis data of is taken into the memory 13. The spectrum waveform measured here has a vertical axis of X as shown in Figure 4+a+.
The line intensity (count number) is represented by the X-ray wavelength and the position of the spectrometer on the horizontal axis, and this waveform is displayed on the color display 16, for example.
そこで、このデイスプレィ１６上にマウス１４等による
操作で矩形の範囲Ｗを指定してその範囲の同図山）に示
すようなスペクトル波形をプロッタ１７に打ち出したり
、拡大表示することがよく行われる。Therefore, it is often done to specify a rectangular range W on the display 16 by operating the mouse 14 or the like, and display a spectrum waveform of that range on the plotter 17 or enlarge it as shown in the figure.
しかしながら、上記矩形の範囲は、オペレータが例えば
Ａ （Ｘｏ 、 ）’ｏ ）とＢ（ｘ＋、ｙＩ）の２
点をビックすることによって入力指定されるが、この指
定はオペレータの判断による大雑把なものであるため、
同図（ｂｌのＡに示すようにスペクトル波形のピークが
一部分カットされてしまったり、Ｘ軸の目盛り＜ｘ′４
１Ａの波長又は分光器の位置）やＹ軸の目盛り（Ｘ線の
カウント数）が中途半端な値になり、見にくくなるとい
う問題がある。However, the range of the above rectangle is limited by the operator, for example, A (Xo, )'o) and B(x+, yI).
The input is specified by jumping the point, but this specification is a rough judgment based on the operator's judgment, so
The same figure (as shown in A of BL, the peak of the spectrum waveform is partially cut off, and the scale of the X axis <x'4
There is a problem that the wavelength of 1A or the position of the spectrometer) and the Y-axis scale (the number of X-ray counts) become half-baked values, making them difficult to see.
本発明は、上記の問題点を解決するものであって、分析
スペクトルを任意の範囲で出力する場合、ピークが部分
的にカントされることなく区切りのよい目盛りで出力で
きるスペクトル波形の出力範囲調整方式を提供すること
を目的とする。The present invention solves the above-mentioned problems. When outputting an analysis spectrum in an arbitrary range, the present invention is capable of adjusting the output range of the spectrum waveform so that the peak can be output in well-separated scales without being partially canted. The purpose is to provide a method.
そのために本発明は、試料に荷電粒子を照射することに
よって試料から検出される分析スペクトルを表示し、該
分析スペクトルの指定された範囲を出力するスペクトル
波形の出力範囲調整方式であって、指定された範囲でス
ペクトルのピークを探索し、所定の許容値内で範囲から
はみ出したピークが対象となるように範囲を拡大補正し
、目盛りを整数化して指定領域を補正することを特徴と
するものである。To this end, the present invention provides a spectrum waveform output range adjustment method that displays an analysis spectrum detected from a sample by irradiating the sample with charged particles, and outputs a specified range of the analysis spectrum. The system searches for peaks in the spectrum within a specified range, expands the range to include peaks that fall outside the range within a predetermined tolerance, and corrects the designated area by converting the scale to an integer. be.
本発明のスペクトル波形の出力範囲調整方式では、画面
にスペクトル波形を表示し、その画面から指定された範
囲でスペクトルを出力するに際して、指定範囲からはみ
出すピークがある場合には、所定の許容値の範囲で拡大
補正するので、先端が欠けたピークを出力することを防
止できる。また、拡大補正した範囲で目盛りを整数化し
て指定領域を補正するので、見易い目盛りで指定範囲の
スペクトル波形を出力することができる。In the spectral waveform output range adjustment method of the present invention, when a spectral waveform is displayed on a screen and the spectrum is output from the screen within a specified range, if there is a peak that exceeds the specified range, a predetermined tolerance value is set. Since the magnification correction is performed within the range, it is possible to prevent peaks with missing tips from being output. Furthermore, since the specified area is corrected by converting the scale into integers within the enlarged and corrected range, it is possible to output the spectrum waveform of the specified range with easy-to-read scales.
以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。 Examples will be described below with reference to the drawings.
第１図は本発明に係るスペクトル波形の出力範囲調整方
式の１実施例を説明するための図、第２図は出力範囲の
調整例を示す図である。FIG. 1 is a diagram for explaining one embodiment of a method for adjusting the output range of a spectral waveform according to the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing an example of adjusting the output range.
第１図において、■はスペクトルピークデータファイル
、２は範囲指定部、３はスペクトル波形生成部、４は出
力スケール設定部、５は表示部、６は出力範囲補正部、
７はプロッターを示す。スペクトルピークデータファイ
ル１は、例えばスペクトルのピークとそのカウント数か
らなるデータである。出力スケール設定部４は、スペク
トル波形を生成する際のスケールやベースラインを設定
し、範囲指定部２は、表示部５の画面における範囲を指
定するものである。スペクトル波形生成部３は、出力ス
ケール設定部４の内容に従ってスペクトルデータ１から
スペクトル波形を生成して表示部５に出力すると共に、
範囲指定部２の内容に従ってスペクトル波形の範囲を表
示部５に描画し、さらにその範囲のスペクトル波形を表
示部５に拡大表示、或いはプロッター７より印刷出力す
るものである。その際において、範囲指定部２の指定範
囲に入るスペクトル波形、目盛りから出力範囲を補正す
るのが出力範囲補正部６である。In FIG. 1, ■ is a spectrum peak data file, 2 is a range specification section, 3 is a spectral waveform generation section, 4 is an output scale setting section, 5 is a display section, 6 is an output range correction section,
7 indicates a plotter. The spectral peak data file 1 is, for example, data consisting of spectral peaks and their counts. The output scale setting section 4 sets the scale and baseline when generating the spectral waveform, and the range specifying section 2 specifies the range on the screen of the display section 5. The spectral waveform generation section 3 generates a spectral waveform from the spectral data 1 according to the contents of the output scale setting section 4 and outputs it to the display section 5.
The range of the spectral waveform is drawn on the display section 5 according to the contents of the range specifying section 2, and the spectral waveform in that range is then enlarged and displayed on the display section 5 or printed out from the plotter 7. At this time, the output range correction section 6 corrects the output range from the spectrum waveform and scale that fall within the range specified by the range specification section 2.
次に出力範囲補正部６による処理の内容を説明する。Next, the contents of the processing by the output range correction section 6 will be explained.
出力範囲補正部６では、はみ出したピークを取り込むた
めの指定範囲の拡大補正、さらに目盛りを見易くするた
めの指定領域の補正を行う。The output range correction unit 6 performs correction to enlarge the specified range to incorporate peaks that protrude, and further corrects the specified area to make the scale easier to see.
（イ）まず指定領域２点の座標Ａ（ｘｏ、ｙｏ）、Ｂ（
ｘ＋、ｙＩ）において、Ｘ軸のｘｏからＸ。(b) First, the coordinates of two points in the specified area A (xo, yo), B (
x+, yI) from xo on the X axis.
におけるスペクトルのピークの個数、ピークのカウント
数を求める。そして、カウント数がｙＩを越え且つ許容
値α（例えば０〈α＜１．０）で規定さされる範囲にピ
ークが存在すればその範囲まで指定範囲を拡大補正する
。Find the number of peaks in the spectrum and the number of peak counts. Then, if the count exceeds yI and a peak exists in the range defined by the tolerance value α (for example, 0<α<1.0), the specified range is expanded and corrected to that range.
この補正は、指定領域ｘ０からＸ、についてスベクトル
ピークデータファイル１から指定領域内のピーク個数、
及びピークのカウント数をそれぞれ読み込み、ｎを指定
領域内のピーク個数、！。This correction is performed by calculating the number of peaks in the specified area from the vector peak data file 1 for the specified area x0 to X,
and the number of peak counts respectively, where n is the number of peaks in the specified area, ! .
を１番目のピークのカウント数（ｉ＝１．２．・・・・
・・、ｎ）、
ｉｔ ’＝１＋ ７＋ （ｚ、＞ｙ＋ ）ｊ＋
’＝０ （１（＞ｙ、、ｉ＝１．２．・
・・・・・、ｎ）
とし、１＋ ’／ｌｙｅ −）＋ ｌ＜αを満たす
最大のＬ ’をＲｍａｘとおく。なお、ｎ＝０の場合
には１ｍａｙ＝ｏとする。ただし、許容値αは予め設定
しておく。is the count number of the first peak (i=1.2...
..., n), it'=1+ 7+ (z,>y+)j+
'=0 (1(>y,, i=1.2.・
..., n), and the maximum L' that satisfies 1+'/lye -)+l<α is set as Rmax. Note that when n=0, 1may=o. However, the allowable value α is set in advance.
（ロ）次にＸ軸（Ｘ線の波長又は分光器の位置）、Ｙ軸
（Ｘ線のカウント数）の目盛りの値が区切りよくなるよ
うに指定領域を補正する。(b) Next, the designated area is corrected so that the scale values of the X-axis (X-ray wavelength or spectrometer position) and Y-axis (X-ray count number) are clearly separated.
この補正は、 ■ ）’＋ ’ −Ｙ＋ ＋Ａｌ１ａｘとする。This correction is ■)'+'-Y++Al1ax.
■ 目盛り間の値ａを
ａ＝ ｌ ｙｏ ｙ＋ ’ ｌ、／ｍただし、ｍは
目盛り数で予め設定しておく。■ The value a between the scales is a=l yo y+ 'l,/m, where m is set in advance as the number of scales.
■ ａ ’ ＝ １０’ ＸＩＮＴ（ａ Ｘ Ｉ Ｑ−
に＋１） ニよってａの端数を切り上げ区切りのよい値
ａ′を求める。なお、ＩＮＴは整数化を意味し、カッコ
内の端数を切り捨てる。ｋはａの桁数を表し、ｋ＝ＩＮ
Ｔ（ｆｆｉｏｇ＋ｏａ）である。従って、整数に１０’
を乗じた値がａ′となる。■ a' = 10' XINT(a X I Q-
+1) d) Round up the fraction of a to find a value a' with good delimitation. Note that INT means converting into an integer, and the fractions in parentheses are rounded down. k represents the number of digits of a, k=IN
T(ffiog+oa). Therefore, 10' is an integer.
The value multiplied by is a'.
■ Ｖｏ ’ ＝３’ｏ −ｍｏｄＯ’ｏ 、 ａ
’）によってｙＯの端数を切り捨て区切りのよい値Ｙｏ
’を求める。なお、ｎｏｄ（ｙｏ 、 ａ ’
）はｙｏをａ′で割ったときの剰余を意味する。従って
、ｙｏ’は、目盛り間の値ａ′によって割り切れる値と
なる。■ Vo' = 3'o - mod O'o, a
') to round off the fraction of yO to a well-separated value Yo
'Seek.' Note that nod(yo, a'
) means the remainder when yo is divided by a'. Therefore, yo' becomes a value that is divisible by the value a' between the scales.
■ 各目盛りの値を ｙｏ ’ 十ａ ’ ｘ （ｊ−１） （ｊ＝１．２．・・・・・・、ｍ） によって計算する。■ Value of each scale yo 10a ’x(j-1) (j=1.2, m) Calculate by.
■ Ｘ軸の目盛りについても上記と同様にして求める。■ The scale of the X-axis is also determined in the same manner as above.
なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものではな
く、種々の変形が可能である。例えば上記の実施例では
、拡大補正を行った後指定領域の補正を行ったが、逆の
順で処理を行ってもよい。Note that the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications are possible. For example, in the above embodiment, the designated area is corrected after the enlargement correction, but the processing may be performed in the reverse order.
さらに、指定領域の補正では、目盛り数ｍを予め設定し
たが、目盛り間の値ａ′を予め設定してもよい。また、
Ｘ線マイクロアナライザによる分析スペクトルの出力処
理について説明したが、他の分析装置によるスペクトル
の出力処理に適用してもよいことは勿論である。Further, in the correction of the specified area, the number m of scale marks is set in advance, but the value a' between the scale marks may be set in advance. Also,
Although the explanation has been made regarding the output processing of analysis spectra by the X-ray microanalyzer, it goes without saying that the present invention may be applied to the output processing of spectra by other analytical devices.
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、画面
にスペクトル波形を表示し、その画面から指定された範
囲をはみ出すピークがあっても、所定の許容値の範囲で
ピークが納まるように拡大補正するので、先端が欠けた
ピークを出力することを防止できる。また、拡大補正し
た範囲で目盛りを整数化して指定領域を補正するので、
見易い目盛りで指定範囲のスペクトル波形を出力するこ
とができる。As is clear from the above description, according to the present invention, a spectrum waveform is displayed on a screen, and even if there is a peak that exceeds the specified range from the screen, the peak can be kept within a predetermined tolerance range. Since the enlargement correction is performed, it is possible to prevent outputting a peak with a missing tip. Also, since the scale is converted to an integer within the enlarged and corrected range and the specified area is corrected,
Spectral waveforms within a specified range can be output with easy-to-read scales.
第１図は本発明に係るスペクトル波形の出力範囲調整方
式の１実施例を説明するための図、第２図は出力波形の
決定例を示す図、第３図はＸ線マイクロアナライザの分
析システム構成を示す図、第４図はスペクトル処理の例
を示す図である。
１・・・スペクトルデータ、２・・・範囲指定部、３・
・・スペクトル波形生成部、４・・・出力スケール設定
部、５・・・表示部、６・・・出力範囲調整部、７・・
ブロック出 願 人 日本電子株式会社Fig. 1 is a diagram for explaining one embodiment of the spectral waveform output range adjustment method according to the present invention, Fig. 2 is a diagram showing an example of determining the output waveform, and Fig. 3 is an analysis system for an X-ray microanalyzer. A diagram showing the configuration, and FIG. 4 is a diagram showing an example of spectrum processing. 1... Spectrum data, 2... Range specification section, 3.
...Spectrum waveform generation section, 4.. Output scale setting section, 5.. Display section, 6.. Output range adjustment section, 7..
Block applicant JEOL Ltd.
Claims (1)
検出される分析スペクトルを表示し、該分析スペクトル
の指定された範囲を出力するスペクトル波形の出力範囲
調整方式であって、指定された範囲でスペクトルのピー
クを探索し、所定の許容値内で範囲からはみ出したピー
クが対象となるように範囲を拡大補正し、目盛りを整数
化して指定領域を補正することを特徴とするスペクトル
波形の出力範囲調整方式。(1) A spectrum waveform output range adjustment method that displays an analysis spectrum detected from a sample by irradiating the sample with charged particles, and outputs a specified range of the analysis spectrum. A spectral waveform output range characterized by searching for the peak of the spectrum, expanding the range to include peaks that fall outside the range within a predetermined tolerance, and correcting the designated area by converting the scale to an integer. Adjustment method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63059589A JPH01232649A (en) | 1988-03-14 | 1988-03-14 | Output range adjusting system for spectrum waveform |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63059589A JPH01232649A (en) | 1988-03-14 | 1988-03-14 | Output range adjusting system for spectrum waveform |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01232649A true JPH01232649A (en) | 1989-09-18 |
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ID=13117570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63059589A Pending JPH01232649A (en) | 1988-03-14 | 1988-03-14 | Output range adjusting system for spectrum waveform |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01232649A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001357812A (en) * | 2000-06-12 | 2001-12-26 | Jeol Ltd | Display device for observed image of specimen |
| JP2013053873A (en) * | 2011-09-01 | 2013-03-21 | Jeol Ltd | Spectrum display device, spectrum display method, and program |
-
1988
- 1988-03-14 JP JP63059589A patent/JPH01232649A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001357812A (en) * | 2000-06-12 | 2001-12-26 | Jeol Ltd | Display device for observed image of specimen |
| JP2013053873A (en) * | 2011-09-01 | 2013-03-21 | Jeol Ltd | Spectrum display device, spectrum display method, and program |
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