JPH01217934A - Carrier tape - Google Patents
Carrier tapeInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はキャリアテープに関し、特に、半導体チップを
テープ・オートメーテツド・ボンディング(TAB)方
式で組込みする際に使用されるキャリアテープの配縁技
術に関する。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a carrier tape, and in particular to the arrangement of a carrier tape used when incorporating semiconductor chips by tape automated bonding (TAB) method. Regarding technology.
半導体素子の組込技術の一つに、テープキャリア方式が
ある。この方式は、フィルムキャリアあるいはTAB
(Tape Automated Bonding )
方式などとも称されている。この方式は、長尺のスプロ
ケットホール(ハーフオレーシ璽ンホール)付きの樹脂
製テープに半導体素子を連続的に組込んでいく方法で、
当該テープキャリアは、半導体素子(チップ)の電極配
置に合せたリードパターン(導体配WM)が、スプロケ
ットホールとデバイスホールな持つ樹脂フィルム上に形
成されたもので、例えば、接着剤付餘ポリイミドフィル
ムを適宜幅にスリットし、それに送り・位置合せ用のス
プロケットホールとチップを組込みするためのデバイス
ホールとをパンチングし、鋼箔をラミネートし、ホトレ
ジスト技術、エツチング技術を用いてWr望のリードパ
ターンを形成する工程を経て製せられる。One of the technologies for integrating semiconductor elements is the tape carrier method. This method uses film carrier or TAB
(Tape Automated Bonding)
It is also called a method. This method is a method in which semiconductor elements are successively assembled into a resin tape with long sprocket holes (half-olace sprocket holes).
The tape carrier has a lead pattern (conductor layout WM) that matches the electrode arrangement of a semiconductor element (chip) formed on a resin film that has sprocket holes and device holes, such as a polyimide film with adhesive. Slit it to an appropriate width, punch sprocket holes for feeding and positioning, and device holes for incorporating the chip, laminate it with steel foil, and create the desired lead pattern using photoresist technology and etching technology. It is manufactured through a process of forming.
この方式は、デバイスホール内にフィンガ状のリードを
突出させるのが特徴で、このリードの先端部にチップを
フェイスアップで位置合せしてボンディングする。This method is characterized by protruding finger-shaped leads into the device hole, and the chip is aligned face-up and bonded to the tip of the lead.
このボンディング(インテーク・−ドボンデインク)方
式としては、チップ側電極にバンプ(突起電極)を形成
しておき、これとテープ上のフィンガーリードとをギヤ
ングボンディングするか、あるいは、当該リード側にパ
ンダを形成しておき、このバンプとチップ側電極とをギ
ヤングボンディングする方法とがある。This bonding (intake/debonding) method involves forming bumps (protruding electrodes) on the chip side electrodes, and performing gang bonding between these and finger leads on the tape, or placing a panda on the lead side. There is a method of forming a bump in advance and performing gigantic bonding between the bump and the chip-side electrode.
ところで、当該テープキャリアに組込みするチップの電
極数は、チップ内回路素子の高集積化に伴ない益々増加
(多ビン化)しており、それに伴ない導体配線の数が増
え、そのパターンも複雑化する傾向にある。By the way, the number of electrodes of the chip incorporated in the tape carrier is increasing (multi-bin) as the circuit elements in the chip become more highly integrated.As a result, the number of conductor wiring is increasing and the pattern thereof is also becoming more complex. There is a tendency to become
一方、当該テープキャリアに組込みさ21.たチップの
エージングテストにおいて、従来、テープの長さ方向に
浴りて、新たに1iE源線をリードパターンの外側に設
け、当該電源線からチップに1[圧を送り、チップを動
作させるという方法が採用されていたが、こ几ではチッ
プを充分に動作させることができず、テスティング上問
題があり、また、チップの信頼性を欠如することがあっ
た。On the other hand, 21. Conventionally, in aging tests of chips, a new 1iE source line was provided outside the lead pattern along the length of the tape, and 1[pressure] was sent from the power line to the chip to cause the chip to operate. was adopted, but this method did not allow the chip to operate satisfactorily, causing problems in testing, and also caused the chip to lack reliability.
なお、上記テープキャリア技術について述べた脣許の例
としては、特開昭55−143040号公報があげられ
る。Incidentally, an example of the above-mentioned tape carrier technique described above is JP-A-55-143040.
本発明は導体配線の数が増加し、そのパターンが複雑化
してもそおに対処できる技術を提供することを目的とす
る。そして、その対策として、導体配線を引き回しして
、在来のリードパターン上に交叉(クロス)させろこと
も考えられるが、このよ5なりロスオーバ一方式では、
リード間のクテートを防止するために絶!#膜をリー・
ド間に介在さセる等の処置が必要どなり、コスト高にな
ったり、その作業能率を悪化させたりするので、この様
な欠点なくして、かかる要請に答え得る技術な提供する
ことを目的とする。An object of the present invention is to provide a technique that can cope with an increase in the number of conductor wirings and the complexity of their patterns. As a countermeasure, it may be possible to route the conductor wiring so that it crosses over the conventional lead pattern, but with this one-way lossover method,
Absolutely to prevent cuttate between leads! #Leave the membrane
It is necessary to take measures such as interposition between cables, which increases costs and reduces work efficiency.The aim is therefore to provide a technology that can meet such demands without having to deal with such drawbacks. do.
また、本発明は、上記ニージングチストにおいてテステ
ィングの精度を向上させ、信頼性を向上させることので
きる技術を提供することを目的とテるO
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。Further, the present invention aims to provide a technique capable of improving the accuracy and reliability of testing in the above-mentioned knee test. teeth,
It will become clear from the description of this specification and the accompanying drawings.
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明1゛れば、下記のとおりである。A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows.
本発明においては、導体配線をチップ組込み用にその先
端部をデバイスホールに突出させるとともに、当該デバ
イスホールを活用して、さらに、当該デバイスホールに
配皓領域を設けるよ5Kした。In the present invention, the tip of the conductor wiring is made to protrude into a device hole for chip integration, and the device hole is utilized to further provide a wiring area in the device hole.
このように、デバイスホールに配線領域を求めることに
より、導体配線の増加を必要とする場合に、在来の導体
配線とクロスすることが避けられ、シ重−トを防止する
ために絶R,膜を導体配線間に介在させる必要がないの
で、チーブキャリアの製造に際し、コストの低減が図ら
n、また、工程の省略が可能で作業能率を向上させるこ
とができる。In this way, by determining the wiring area in the device hole, when it is necessary to increase the number of conductor wirings, it is possible to avoid crossing the conventional conductor wirings, and to prevent overlapping, it is possible to avoid Since there is no need to interpose a film between the conductor wirings, costs can be reduced in manufacturing the chip carrier, and processes can be omitted, improving work efficiency.
また、上記デバイスホールに配憑領域を設ける際に、チ
ップとの接合が可能な導体配線とし、当該導体配線を通
してチップに電圧を送るようにすることにより、エージ
ングテストを可能とし、信頼性を向上させることができ
る。In addition, when providing the distribution area in the device hole, we use conductor wiring that can be bonded to the chip and send voltage to the chip through the conductor wiring, making aging tests possible and improving reliability. can be done.
次に、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described based on the drawings.
第1図は本発明の実施例を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of the present invention.
第1図にて、1はキャリアテープ、2はスプロケットホ
ール、3はデバイスホール、4は導体配線である。In FIG. 1, 1 is a carrier tape, 2 is a sprocket hole, 3 is a device hole, and 4 is a conductor wiring.
当該キャリアテープ1は、例えは、長尺の樹脂製フィル
ムを適!幡にスリットしてテープを構成し、規格に基づ
いて当該テープの両端部処スグロクークトホール2を、
また、その中央部にデバイスホール3を、それぞれ適宜
間隔を置いて、複数、パンチングし、次いで導体配?I
!A4を形成するための例えば銅箔を当該テープ上にラ
ミネートし、ホトレジスト技術やエツチング技術を駆使
して、導体配縁4のパターンを形成することにより製造
することができる。当該導体配Mj4の先端部は、デバ
イスホール3内に突出させる。For example, a long resin film is suitable for the carrier tape 1! A tape is constructed by slitting the tape, and a sugrocookt hole 2 is formed at both ends of the tape based on the standard.
In addition, a plurality of device holes 3 are punched in the center at appropriate intervals, and then conductors are arranged. I
! It can be manufactured by laminating, for example, a copper foil for forming the A4 on the tape, and forming a pattern of the conductor wiring 4 by making full use of photoresist technology or etching technology. The tip of the conductor arrangement Mj4 is made to protrude into the device hole 3.
このようなキャリアテープ1において、今、デバイスホ
ール3の一辺から離隔した位10点からデバイスホール
3の対向する他辺から離隔した位置0点にかけて導体配
線を形成し、その導体配線によりこれら0点と0点とを
接続させたい場合、第1図点線で図示するように、在来
の導体配線4の上を通るようにその導体配+l@t4A
を形成することにより可能となる。しかし、それでは、
導体配M14と導体配m4Aとがショートしてしま5た
めに、これら配線間には絶縁膜を介在させる必要が出て
くる。そうなると、材料費かかかるし、工程も長くなる
し、また、配線パターンが複雑になってきた場合には事
実上そのよ5にすることが不可能になってくる。In such a carrier tape 1, a conductor wiring is now formed from a point 10 located away from one side of the device hole 3 to a point 0 located away from the opposite side of the device hole 3, and the conductor wiring connects these 0 points. If you want to connect the 0 point and
This becomes possible by forming a . But then,
Since the conductor wiring M14 and the conductor wiring m4A are short-circuited5, it becomes necessary to interpose an insulating film between these wirings. If this happens, material costs will increase, the process will become longer, and if the wiring pattern becomes complex, it will become virtually impossible to make it that way.
そこで、本発明では第1図に図示のように、デバイスホ
ール3を活用するようにして、当該デバイスホール3を
介して、導体配線4Bにより0点と0点とを接続するよ
うにした。こハにより、上記した如きクロスアンダ−が
さけられ、導体配線4と導体配@4Bとはショートする
おそれがないので絶縁膜の介在などを必要としなくなっ
た。また、デバイスホール3を活用するようにし、在来
の辱体配憩4の配憩領域をその接続のために利用しなく
ても済むので、デバイスホール3周辺の当該在来の導体
配M4の配m%域がこみ合ってきても、その接続を可能
とする。上記において、導体配@4の先端部は、当該キ
ャリアテープ1に組込みするチップの電極バッド位置に
合せてバターニングしても、当該0点と0点接続のため
の導体配線4Bは当該パッド間に位置するようにバター
ニングする。Therefore, in the present invention, as shown in FIG. 1, the device hole 3 is utilized and the 0 points are connected via the conductor wiring 4B. As a result, the above-mentioned cross-under can be avoided, and since there is no risk of short-circuiting between the conductor wiring 4 and the conductor wiring @4B, there is no need for an intervening insulating film. In addition, since the device hole 3 is utilized and there is no need to use the conventional conductor distribution area 4 for connection, the conventional conductor distribution M4 around the device hole 3 is To enable connection even if the m% area becomes crowded. In the above, even if the tip of the conductor wiring @4 is patterned in accordance with the electrode pad position of the chip to be incorporated into the carrier tape 1, the conductor wiring 4B for connecting the 0 points and the 0 points is between the pads. Butter it so that it is located.
第1図には、当該チップ5をボンディングしである様子
を図示しである。FIG. 1 shows how the chip 5 is bonded.
第2図には、本発明の他の実施例を示す。この実施例で
は、テープのスプロケットホール2に沿って、連続した
3不の導体配線4Bを配設して成り、デバイスホール3
を介して接続した導体配線4Bが、隣接するデバイスホ
ール3にまで延在し、白線隣接したデバイスホール3を
介して接続した導体配@4Bと連結しており、こわら3
本の導体配線4Bの個々の導体配線4Bは共通の配線と
なっている。FIG. 2 shows another embodiment of the invention. In this embodiment, three consecutive conductor wirings 4B are arranged along the sprocket hole 2 of the tape, and the device hole 3
The conductor wiring 4B connected through the white line extends to the adjacent device hole 3, and is connected to the conductor wiring @4B connected through the device hole 3 adjacent to the white line.
The individual conductor wires 4B of the main conductor wires 4B are a common wire.
すなわち、これら導体配線4Bは、チップ5の!、他パ
ッドと接合しており、各デバイスホール3に組込された
チップ5が当該導体配縁4Bにより電気的に接続さtて
いる。That is, these conductor wirings 4B of the chip 5! , and other pads, and the chip 5 incorporated in each device hole 3 is electrically connected by the conductor wiring 4B.
これKより、複数の導体配@4Bによりチップ5に複数
の信号を送ることができ、テスティングおよび信頼性を
向上させることができる。なお、第2図では、在来の導
体配wA4は省略しである。From this K, multiple signals can be sent to the chip 5 through multiple conductor arrangements @4B, and testing and reliability can be improved. In addition, in FIG. 2, the conventional conductor arrangement wA4 is omitted.
本発明に使用さする半導体素子(チップ)5は、例えば
シリコン単結晶基板から成り、周知の技術によってこの
チップ内には多数の回路素子が形成され、1つの回路機
能が与えらnている。回路素子の具体例は、例えばMO
Sトランジスタから成り、これらの回路素子によりて、
例えは論理回路およびメモリの回路機能が形成されてい
る。The semiconductor element (chip) 5 used in the present invention is made of, for example, a silicon single crystal substrate, and a large number of circuit elements are formed within this chip by well-known techniques to provide one circuit function. Specific examples of circuit elements include MO
Consists of S transistors, and these circuit elements:
For example, logic circuits and memory circuit functions are formed.
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on Examples, it goes without saying that the present invention is not limited to the above Examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Nor.
本線において開示される発明のうち代表的なものにより
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとうりであ
る。A brief explanation of the effects obtained by typical inventions among the inventions disclosed in this section is as follows.
本発明によればテープキャリアの製造に際してコストを
低減し、作業能率を向上し、多ピン化の要請に答えるこ
とができ、また、信頼性を向上させることができた。According to the present invention, when manufacturing a tape carrier, it is possible to reduce costs, improve work efficiency, meet the demand for increasing the number of pins, and improve reliability.
第1図は本発明の実施例を示す平面図、第2図は本発明
の他の実施例を示す平面図である。
1・・・キャリアテープ、2・・・スズロケットホール
、3・・・デバイスホール、4・・・導体配線、4A・
・・導体配線、4B・・・導体配線、5・・・半導体素
子(チップ)。
第1図
第 2 図FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of the invention, and FIG. 2 is a plan view showing another embodiment of the invention. 1...Carrier tape, 2...Tin rocket hole, 3...Device hole, 4...Conductor wiring, 4A・
...Conductor wiring, 4B...Conductor wiring, 5...Semiconductor element (chip). Figure 1 Figure 2
Claims (1)
子を組込みするためのデバイスホールを複数孔設して成
るとともに、当該テープの両端部に複数の送り・位置合
せ用のスプロケットホールを孔設して成り、かつ、当該
テープ上にその先端部を前記デバイスホールに突出させ
た導体配線を形成して成るキャリアテープにおいて、前
記テープ上の導体配線の一部を前記デバイスホールを介
して接続して成ることを特徴とするキャリアテープ。 2、デバイスホールを介して接続した導体配線が、隣接
するデバイスホールに延在し、これら導体配線がテープ
の長さ方向に沿って連結して成る特許請求の範囲第1項
記載のキャリアテープ。[Scope of Claims] 1. A long tape has a plurality of device holes formed at appropriate intervals in the center thereof for incorporating semiconductor elements, and a plurality of feeding/positioning holes at both ends of the tape. In a carrier tape having a sprocket hole for mating, and a conductor wiring formed on the tape with a tip thereof protruding into the device hole, a part of the conductor wiring on the tape is A carrier tape characterized in that the carrier tape is connected through the device hole. 2. The carrier tape according to claim 1, wherein the conductor wirings connected through the device holes extend to adjacent device holes, and these conductor wirings are connected along the length direction of the tape.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4207288A JPH01217934A (en) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | Carrier tape |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4207288A JPH01217934A (en) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | Carrier tape |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH01217934A true JPH01217934A (en) | 1989-08-31 |
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ID=12625865
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP4207288A Pending JPH01217934A (en) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | Carrier tape |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01217934A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002544671A (en) * | 1999-05-05 | 2002-12-24 | フィン,ダーヴィト | Chip carrier for chip module and method of manufacturing chip module |
-
1988
- 1988-02-26 JP JP4207288A patent/JPH01217934A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002544671A (en) * | 1999-05-05 | 2002-12-24 | フィン,ダーヴィト | Chip carrier for chip module and method of manufacturing chip module |
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