JPH0118281B2 - - Google Patents

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JPH0118281B2
JPH0118281B2 JP18392780A JP18392780A JPH0118281B2 JP H0118281 B2 JPH0118281 B2 JP H0118281B2 JP 18392780 A JP18392780 A JP 18392780A JP 18392780 A JP18392780 A JP 18392780A JP H0118281 B2 JPH0118281 B2 JP H0118281B2
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signal
load
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servo
deviation
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Hiroshi Ikebe
Hirotake Hirai
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Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

〔産業上の利用分野〕 本発明は制御対象となる負荷の特性に影響され
ず、安定に動作する電気油圧サーボ系に関するも
のである。 電気油圧サーボ系は、振動試験機、材料試験な
どの各種の試験機、各種のシユミレータ、圧延機
およびロボツトをはじめとする一般産業機械の駆
動部に利用されている。 〔従来の技術〕 従来の電気油圧サーボ系としては、次のような
ものが知られている。すなわち、負荷の制御すべ
き量(例えば、振動台の変位)に対する目標値と
実際の制御対象からのフイードバツク量との偏差
を加算器で演算し、この偏差を制御偏差としてサ
ーボ増幅器に送り、サーボ増幅器で電流増幅し、
サーボ弁を駆動する。サーボ弁では、この入力電
流によつて油圧シリンダに供給される圧油の方向
と流量とが制御され、アクチユエータ(例えば振
動台)は制御偏差が小さくなる方向に動かされ
る。かくして、サーボ系の応答が十分速く、常に
この偏差を小さく保つことができれば、アクチユ
エータは指令どおりに動かされることになる。 この種の技術は、日本機械学会論文集の第42巻
第353号(昭和51年1月)における第135頁ないし
第145頁に開示されている。 〔発明が解決しようとする課題〕 しかし、実際には負荷の変更あるいは変動によ
つて電気油圧サーボ系の伝達特性が影響を受け
て、電気油圧サーボ系を備えた機械を安定に制御
することができないのが実情である。すなわち、
負荷の特性が変化した場合、例えば負荷の質量が
Moのときに電気油圧サーボ系の伝達特性が最適
となるように設定した状態で負荷の質量を大きく
変える場合には、負荷の変位が非常に振動的にな
る。この結果、電気油圧サーボ系は、目標値に対
する制御量の追従性を忠実に実現することができ
ないことになる。 本発明は上述の事柄にもとづいてなされたもの
で、制御対象となる負荷の変更あるいは変動に影
響されない負荷無反応形の電気油圧サーボ系を提
供することを目的とする。 〔課題を解決するための手段〕 上記目的を達成するための第1の構成は、制御
対象あるいはアクチユエータからのフイードバツ
ク信号が目標値に合致するようにサーボ弁を制御
する閉ループ構成の電気油圧サーボ系において、
アクチユエータに作用する負荷圧力信号を出力す
る負荷圧力検出器と、目標値とフイードバツク信
号との偏差に対して、負荷圧力信号にもとづきサ
ーボ弁の負荷圧力流量特性の逆関数特性を示す演
算処理を行なう静的補償要素とを設け、この静的
補償要素の出力をサーボ増幅器に入力せしめ、こ
のサーボ増幅器の出力でサーボ弁を駆動する。 また、上記目的を達成するための第2の構成
は、制御対象あるいはアクチユエータからのフイ
ードバツク信号が目標値に合致するようにサーボ
弁を制御する閉ループ構成の電気油圧サーボ系に
おいて、アクチユエータに作用する負荷圧力信号
を出力する負荷圧力検出器と、目標値とフイード
バツク信号との偏差に負荷圧力信号の微分値に比
例した信号を加算した値を出力する圧縮性補償要
素と、この圧縮性補償要素の出力に対して、負荷
圧力信号にもとづいてサーボ弁の負荷圧力流量特
性の逆関数特性を示す演算処理を行なう静的補償
要素とを設け、この静的補償要素の出力をサーボ
増幅器に入力せしめ、このサーボ増幅器の出力で
サーボ弁を駆動する。 〔作用〕 上記の課題を解決する手段の項における第1の
構成では、負荷圧力検出器によりアクチユエータ
に作用する負荷圧力を検出し、この検出信号を用
いて、入力される偏差に対して、サーボ弁の負荷
圧力流量特性の逆関数特性を示す演算処理を静的
補償要素にて行つている。すなわち、サーボ弁の
負荷圧力の大小に対し流量の特性が大きく変動す
る。このため、静的補償要素では、負荷の状態を
みながら、負荷の変動による流量への影響を打消
すための関数特性、すなわち負荷圧力流量特性の
逆関数特性を示す演算処理を入力される偏差に対
して行つている。これにより、負荷の大幅な変
動、変更に依存しない極めて安定した制御動作を
得ることができる。 また、上記の課題を解決する手段の項における
第2の構成では、第1の構成と同様の負荷圧力検
出器および静的補償要素に加えて、静的補償要素
の前段に、偏差に負荷圧力信号の微分値に比例し
た信号を減算した値を出力する圧縮性補償要素を
設けている。これによつて、上記第1の構成の場
合と同様にサーボ弁の負荷圧力の変動、変更によ
る流量への影響を少なくし、安定した制御動作を
行なわせることができる。さらに、アクチユエー
タの油室における油の圧縮性を考えると、圧縮量
は負荷圧力の変動の時間的変化(微分値)に影響
されるが、第2の構成では、圧縮性補償要素によ
りこの影響を除去し、結果として系の特性が負荷
に依存しないようにしている。すなわち、第2の
構成では、負荷圧力の微分値を求め、この微分値
に比例した信号を偏差に加算することによつて、
油の圧縮による影響を除去している。このため、
負荷の変動、変更に影響されない負荷無反応形の
電気油圧サーボ系を実現できる。 〔実施例〕 以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。 第1図は本発明の電気油圧サーボ系の一実施例
の構成を示すもので、図において、1は制御対象
となる負荷、2は負荷1を駆動する油圧アクチユ
エータ、3はアクチユエータ2への圧油の流量お
よび方向を制御するサーボ弁、4は油圧源、5は
負荷1の変位の目標値vを発生する信号発生器、
6はフイードバツク回路で、このフイードバツク
回路6は負荷1の変位を検出する変位計6aと変
位検出回路6bとからなつている。7は信号発生
器5からの目標値vとフイードバツク回路6から
の変位信号との偏差eを計算する加算器、8はサ
ーボ弁3への入力信号をパワー増幅するサーボ増
幅器である。このサーボ増幅器8の前段には、加
算器7側から順に圧縮性補償要素9、静的補償要
素10および動的補償要素11が設けられてい
る。圧縮性補償要素9には、アクチユエータ3に
作用する負荷圧力Pmの信号を微分器13で微分
した値が偏差eとともに供給される。静的補償要
素10には、負荷圧力Pmと圧縮性補償要素9の
出力e′とが供給される。この負荷圧力Pmは、負
荷圧力検出器12によつて検出される。 次に前述した本発明の一実施例である電気油圧
サーボ系の動作について説明する。 まず、具体的動作の説明に先立つて、電気油圧
サーボ系の各構成要素の特性および動作原理を説
明する。サーボ増幅器8の特性は一般に一次遅れ
要素の特性で表わされるが、その折点周波数は電
気油圧サーボ系の使用周波数より十分高く設計す
ることができるため、次のような比例要素の特性
で表わされる。すなわち、偏差電圧eは e=Kr・v−Ky・y ……(1) 但し v:目標値 y:負荷1の変位 Kr:入力換算係数 Ky:変位のフイードバツクゲイン となり、またサーボ弁3の入力電流iは i=K・e ……(2) 但し K=サーボ増幅器8の利得 で与えられる。 サーボ弁3の圧力流量特性およびその周波数特
性は多くの場合、ほぼ次式で表わされる。すなわ
ち、サーボ弁3の出力流量をqm、無負荷時のサ
ーボ弁3の出力流量をqmo、負荷圧力をPmおよ
び作動油の供給圧力をPsとすると、サーボ弁3
の出力流量qmは、 で与えられ、またその無負荷時の周波数特性は Qmo(s)=Gs(s)・I(s) ……(5) で与えられる。この(5)式でQmo(s)およびI
(s)はそれぞれ無負荷時のサーボ弁3の出力流
量qmoおよびサーボ弁3の入力電流iのラプラス
変換である。また式(5)におけるGs(s)はサーボ
弁3の遅れを表わす伝達関数であり、多くの場合 Gs(s)=ki・ωn2/s2+2ζωns+ωn2 ……(6) 但し ki:サーボ弁3の流量ゲイン ωn:サーボ弁3の固有周波数 ζ:サーボ弁3の減衰比 なる二次遅れ要素の特性で近似される。 アクチユエータ2および配管中の油の圧縮性な
らびにアクチユエータ2および配管の内圧変化に
対する膨張を考えると、アクチユエータ2の流入
する油に関する連続の式は qm=Ap・dy/dt+C・dPm/dt……(7) 但し Ap:アクチユエータ2のピストンの断面積 C:駆動系の剛性を表わす定数 y:負荷1の変位 t:時間 として表わされる。 負荷1の運動方程式は、負荷1ならびにアクチ
ユエータ2のピストン摺動面に作用する摩擦力を
Ff、負荷1の外部より作用する外乱をFn、負荷
1の質量をmとすれば、 m・d2y/dt2+Ff=Ap・Pm+Fn ……(8) となる。 上述したように電気油圧サーボ系の主要なる構
成要素の特性が式(1)〜式(8)で表わされる場合にお
いて、圧縮性補償要素9と静的補償要素10との
動作原理は、静的補償要素10の偏差電圧をec
すれば次式となる。 あるいは、電流iと偏差電圧eとの間には、式
(2)の関係があるので、出力電流iに対して、次式
のように補正を加えることも可能である。 式(9)あるいは式(10)の括弧内の第2項が圧縮性補
償に関するものであり、他の要素は静的補償に関
するものである。 次にサーボ弁3の駆動補償要素11の伝達関数
をGc(s)として表わすと Gc(s)=ki・Gs -1(s) ……(11) となり、式(9)で表わされる信号ecあるいは式(10)で
表わされる信号icに式(11)なる伝達関数の補正を加
えるものである。すなわち、サーボ弁3の伝達遅
れが式(5)で表わされる場合には、サーボ弁3の動
的補償要素11の伝達関数は式(11)より、次式のよ
うになる。 Gc(s)=S2+2・ζ・ωn・S+ωn2/ωn2 ……(12) ところで式(12)は微分動作を含むため、これを理
想的に実現することは、現状の技術ではかなり困
難をともなう。したがつて、実用上は Gc(s)=α2・s2+2・ζ・ωn・s
+ωn2/s2+2・ζ・α・ωn・s+(α・ωn)2……
(13) などの目的とする使用周波数範囲内で実現可能な
伝達関数を用いることが有効である。この式
(13)の分子がサーボ弁3の遅れを打ち消すため
の2次進み要素である。そして式(13)の分母の
2次遅れ要素の影響を無視できる程度にαの値を
例えば3以上のように大きく選んでおくことが必
要である。 続いて、上述した各補償要素の動作原理にもと
づいて本発明の実施例における電気油圧サーボ系
の動作を説明する。第1図に示す本発明の装置の
実施例では、実用上の実現性を考慮して式(9)のよ
うに電圧の段階で補償を行なう場合について述べ
る。 信号発生器5からの目標値vとフイードバツク
回路6からの負荷1の変位信号とにより、加算器
7はその偏差信号eを演算し、その演算結果eを
圧縮性補償要素9に供給する。圧縮性補償要素9
は、第2図に示すようにその係数器9aによつて
微分器13からの負荷圧力Pmの時間微分値
(dPm/dt)信号に係数(C/K・ki)を乗算し、この 係数器9aからの出力信号(C/K・ki・dPm/dt) と加算器7からの偏差信号eとを加算器9bによ
つて加算し、この加算信号(e+C/K・Ki・ dPm/dt)を出力信号e′として静的補償要素10に 印加する。この出力信号e′は前述した式(9)の右辺
の括弧内の項に該当しており、偏差信号eに対し
て作動油の圧縮性補償を行なう信号に補正されて
いることになる。 静的補償要素10は、第2図に示すように、そ
の平方根関数器10aによつて負荷圧力検出器1
2からの負荷圧力信号Pmにもとづいて
[Industrial Application Field] The present invention relates to an electrohydraulic servo system that operates stably without being affected by the characteristics of a load to be controlled. Electro-hydraulic servo systems are used in the drive parts of general industrial machinery, including vibration testing machines, various testing machines such as material testing machines, various simulators, rolling mills, and robots. [Prior Art] The following types of conventional electro-hydraulic servo systems are known. In other words, an adder calculates the deviation between the target value for the amount of load to be controlled (for example, the displacement of a shaking table) and the amount of feedback from the actual controlled object, and this deviation is sent to the servo amplifier as a control deviation, and the servo Amplify the current with an amplifier,
Drive the servo valve. In the servo valve, the direction and flow rate of pressure oil supplied to the hydraulic cylinder are controlled by this input current, and the actuator (for example, a vibration table) is moved in a direction that reduces the control deviation. Thus, if the response of the servo system is sufficiently fast and this deviation can be kept small at all times, the actuator will be moved as instructed. This type of technology is disclosed on pages 135 to 145 of Proceedings of the Japan Society of Mechanical Engineers, Vol. 42, No. 353 (January 1976). [Problem to be solved by the invention] However, in reality, the transmission characteristics of the electro-hydraulic servo system are affected by changes or fluctuations in the load, making it difficult to stably control a machine equipped with the electro-hydraulic servo system. The reality is that it is not possible. That is,
If the characteristics of the load change, e.g. the mass of the load changes.
If the mass of the load is changed significantly while the transmission characteristics of the electro-hydraulic servo system are set to be optimal at Mo, the displacement of the load will become extremely oscillatory. As a result, the electrohydraulic servo system is unable to faithfully follow the control amount to the target value. The present invention has been made based on the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a load-unresponsive electro-hydraulic servo system that is unaffected by changes or fluctuations in the load to be controlled. [Means for solving the problem] The first configuration for achieving the above object is an electro-hydraulic servo system with a closed loop configuration that controls a servo valve so that a feedback signal from a controlled object or an actuator matches a target value. In,
A load pressure detector outputs a load pressure signal acting on the actuator, and a calculation process is performed to indicate the inverse function characteristic of the load pressure flow rate characteristic of the servo valve based on the load pressure signal with respect to the deviation between the target value and the feedback signal. A static compensation element is provided, the output of the static compensation element is input to a servo amplifier, and the output of the servo amplifier drives a servo valve. In addition, a second configuration for achieving the above object is an electro-hydraulic servo system with a closed loop configuration that controls a servo valve so that a feedback signal from a controlled object or an actuator matches a target value. A load pressure detector that outputs a pressure signal, a compressibility compensation element that outputs a value obtained by adding a signal proportional to the differential value of the load pressure signal to the deviation between the target value and the feedback signal, and an output of this compressibility compensation element. In addition, a static compensation element is provided which performs arithmetic processing that indicates the inverse function characteristic of the load pressure flow rate characteristic of the servo valve based on the load pressure signal, and the output of this static compensation element is input to the servo amplifier. The output of the servo amplifier drives the servo valve. [Operation] In the first configuration in the section of means for solving the above problems, the load pressure acting on the actuator is detected by the load pressure detector, and this detection signal is used to adjust the servo control to the input deviation. The static compensation element performs arithmetic processing that indicates the inverse function characteristic of the load pressure flow rate characteristic of the valve. That is, the flow rate characteristics vary greatly depending on the load pressure of the servo valve. Therefore, in the static compensation element, while looking at the load state, a function characteristic for canceling the influence on the flow rate due to load fluctuations, that is, a calculation process that indicates the inverse function characteristic of the load pressure flow characteristic, is input to the deviation. going against This makes it possible to obtain extremely stable control operations that are not dependent on large fluctuations or changes in load. In addition, in the second configuration in the section of means for solving the above problems, in addition to the load pressure detector and static compensation element similar to the first configuration, a load pressure A compressible compensation element is provided that outputs a value obtained by subtracting a signal proportional to the differential value of the signal. As a result, as in the case of the first configuration, the influence on the flow rate due to fluctuations or changes in the load pressure of the servo valve can be reduced, and stable control operations can be performed. Furthermore, considering the compressibility of the oil in the oil chamber of the actuator, the amount of compression is influenced by the temporal change (differential value) of fluctuations in the load pressure, but in the second configuration, this influence is suppressed by the compressibility compensation element. As a result, the characteristics of the system are made independent of the load. That is, in the second configuration, by determining the differential value of the load pressure and adding a signal proportional to this differential value to the deviation,
The effects of oil compression are removed. For this reason,
It is possible to realize a load-unresponsive electro-hydraulic servo system that is not affected by load fluctuations or changes. [Examples] Examples of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows the configuration of an embodiment of the electro-hydraulic servo system of the present invention. In the figure, 1 is a load to be controlled, 2 is a hydraulic actuator that drives the load 1, and 3 is a pressure applied to the actuator 2. a servo valve that controls the flow rate and direction of oil; 4 is a hydraulic pressure source; 5 is a signal generator that generates a target value v of displacement of load 1;
6 is a feedback circuit, and this feedback circuit 6 is composed of a displacement meter 6a for detecting displacement of the load 1 and a displacement detection circuit 6b. 7 is an adder for calculating the deviation e between the target value v from the signal generator 5 and the displacement signal from the feedback circuit 6; and 8 is a servo amplifier for amplifying the power of the input signal to the servo valve 3. In the preceding stage of the servo amplifier 8, a compressible compensation element 9, a static compensation element 10, and a dynamic compensation element 11 are provided in order from the adder 7 side. The compressibility compensation element 9 is supplied with a value obtained by differentiating a signal of the load pressure Pm acting on the actuator 3 with a differentiator 13 together with a deviation e. The static compensation element 10 is supplied with the load pressure Pm and the output e' of the compressible compensation element 9. This load pressure Pm is detected by the load pressure detector 12. Next, the operation of the electro-hydraulic servo system which is an embodiment of the present invention described above will be explained. First, before explaining the specific operation, the characteristics and operating principle of each component of the electrohydraulic servo system will be explained. The characteristics of the servo amplifier 8 are generally expressed by the characteristics of a first-order delay element, but since its corner frequency can be designed to be sufficiently higher than the operating frequency of the electro-hydraulic servo system, it is expressed by the characteristics of a proportional element as follows. . In other words, the deviation voltage e is as follows: e=K r・v−K y・y (1) where v: Target value y: Displacement of load 1 K r : Input conversion coefficient K y : Displacement feedback gain, Further, the input current i of the servo valve 3 is given by i=K·e (2) where K=the gain of the servo amplifier 8. In many cases, the pressure flow characteristics and frequency characteristics of the servo valve 3 are approximately expressed by the following equation. In other words, if the output flow rate of the servo valve 3 is qm, the output flow rate of the servo valve 3 at no load is qmo, the load pressure is Pm, and the hydraulic oil supply pressure is Ps, then the servo valve 3
The output flow rate qm is The frequency characteristic at no load is given by Qmo(s)= Gs (s)・I(s)...(5). In this equation (5), Qmo(s) and I
(s) is the Laplace transform of the output flow rate qmo of the servo valve 3 and the input current i of the servo valve 3 at no load, respectively. Furthermore, G s (s) in equation (5) is a transfer function that represents the delay of the servo valve 3, and in most cases, G s (s) = ki・ωn 2 /s 2 +2ζωns+ωn 2 ...(6) However, ki: Flow rate gain ωn of the servo valve 3: Natural frequency ζ of the servo valve 3: Approximate by the characteristic of a second-order lag element, which is the damping ratio of the servo valve 3. Considering the compressibility of the oil in the actuator 2 and the piping, and the expansion of the actuator 2 and the piping in response to changes in internal pressure, the equation of continuity regarding the oil flowing into the actuator 2 is: qm=Ap・dy/dt+C・dPm/dt...(7 ) However, Ap: Cross-sectional area of the piston of actuator 2 C: Constant representing the rigidity of the drive system y: Displacement of load 1 t: Expressed as time. The equation of motion for load 1 is the frictional force acting on load 1 and the piston sliding surface of actuator 2.
If Ff is the disturbance acting from outside of load 1, and Fn is the mass of load 1, then m・d 2 y/dt 2 +Ff=Ap・Pm+Fn ……(8). As described above, when the characteristics of the main components of the electrohydraulic servo system are expressed by equations (1) to (8), the operating principles of the compressible compensation element 9 and the static compensation element 10 are static Letting the deviation voltage of the compensation element 10 be e c , the following equation is obtained. Alternatively, between the current i and the deviation voltage e, the formula
Since the relationship (2) exists, it is also possible to correct the output current i as shown in the following equation. The second term in parentheses in equation (9) or equation (10) relates to compressive compensation, and the other elements relate to static compensation. Next, when the transfer function of the drive compensation element 11 of the servo valve 3 is expressed as G c (s), it becomes G c (s) = ki・G s -1 (s) ...(11), which is expressed by equation (9). The correction of the transfer function expressed by Expression (11) is added to the signal e c expressed by Expression (10) or the signal i C expressed by Expression (10). That is, when the transmission delay of the servo valve 3 is expressed by equation (5), the transfer function of the dynamic compensation element 11 of the servo valve 3 is expressed by the following equation from equation (11). G c (s)=S 2 +2・ζ・ωn・S+ωn 2 /ωn 2 ...(12) By the way, since equation (12) includes a differential operation, it is impossible to ideally realize this with the current technology. It is quite difficult. Therefore, in practice, G c (s) = α 2・s 2 +2・ζ・ωn・s
+ωn 2 /s 2 +2・ζ・α・ωn・s+(α・ωn) 2 ……
(13) It is effective to use a transfer function that can be realized within the intended frequency range of use. The numerator of this equation (13) is a secondary advance element for canceling the delay of the servo valve 3. It is necessary to select the value of α large, for example, 3 or more, to the extent that the influence of the second-order lag element in the denominator of equation (13) can be ignored. Next, the operation of the electro-hydraulic servo system in the embodiment of the present invention will be explained based on the operation principle of each compensation element described above. In the embodiment of the device of the present invention shown in FIG. 1, a case will be described in which compensation is performed at the voltage stage as shown in equation (9), taking into consideration practical feasibility. The adder 7 calculates the deviation signal e using the target value v from the signal generator 5 and the displacement signal of the load 1 from the feedback circuit 6, and supplies the calculation result e to the compressible compensation element 9. Compressibility compensation element 9
As shown in FIG. 2, the coefficient multiplier 9a multiplies the time differential value (dPm/dt) signal of the load pressure Pm from the differentiator 13 by the coefficient (C/K・ki), and The output signal from 9a (C/K・ki・dPm/dt) and the deviation signal e from adder 7 are added by adder 9b, and this added signal (e+C/K・Ki・dPm/dt) is obtained. is applied to the static compensation element 10 as an output signal e'. This output signal e' corresponds to the term in parentheses on the right side of the above-mentioned equation (9), and has been corrected to a signal that compensates for the compressibility of the hydraulic oil with respect to the deviation signal e. The static compensation element 10, as shown in FIG.
Based on the load pressure signal Pm from 2

【式】なる演算を行い、この演算信号[Formula] Performs the calculation, and this calculation signal

【式】と圧縮性補償要素9の加算器9 bからの出力信号e′とを割算器10bにより割算
して、この割算信号〔式(10)に相当する信号ec〕を
動的補償要素11に加える。なお、前述した平方
根関数器10aは出力信号ecの値が正および零の
ときに
[Equation] and the output signal e' from the adder 9b of the compressibility compensation element 9 are divided by the divider 10b, and this divided signal [signal e c corresponding to equation (10)] is activated. The target compensation element 11 is added to the target compensation element 11. Note that the square root function unit 10a described above operates when the value of the output signal e c is positive and zero.

【式】の演算を行ない、出力信号 ecの値が負のときにPerform the calculation in [Formula], and when the value of the output signal e c is negative,

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上詳述したように、本発明によれば、負荷の
変更あるいは変動によつて電気油圧サーボ弁の伝
達特性が影響を受けることがなく、目標値に対す
る制御量の追従性を忠実に実現することができる
ものである。
As detailed above, according to the present invention, the transmission characteristics of the electrohydraulic servo valve are not affected by changes or fluctuations in the load, and the followability of the control amount to the target value can be faithfully realized. It is something that can be done.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の電気油圧サーボ弁の一実施例
の構成を示す図、第2図は第1図に示される電気
油圧サーボ弁の要部の詳細な構成を示す図、第3
図は従来の電気油圧サーボ系における負荷変動の
影響の応答結果を示す線図、第4図は本発明の装
置における負荷変動の影響の応答結果を示す線
図、第5図は従来の電気油圧サーボ系における外
乱の影響の応答結果を示す線図、第6図は本発明
の装置における外乱の影響の応答結果を示す線図
である。 1……負荷、2……アクチユエータ、3……サ
ーボ弁、5……信号発生器、6……フイードバツ
ク回路、8……サーボ増幅器、9……圧縮性補償
要素、10……静的補償要素、11……動的補償
要素、12……負荷圧力検出器、13……微分
器。
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of an embodiment of the electro-hydraulic servo valve of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing the detailed configuration of the main parts of the electro-hydraulic servo valve shown in FIG. 1, and FIG.
The figure is a line diagram showing the response results of the influence of load fluctuations in a conventional electro-hydraulic servo system, Figure 4 is a line diagram showing the response results of the influence of load fluctuations in the device of the present invention, and Figure 5 is a diagram showing the response results of the influence of load fluctuations in the conventional electro-hydraulic servo system. FIG. 6 is a diagram showing a response result to the influence of disturbance in the servo system. FIG. 6 is a diagram showing a response result to the influence of disturbance in the apparatus of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Load, 2... Actuator, 3... Servo valve, 5... Signal generator, 6... Feedback circuit, 8... Servo amplifier, 9... Compressible compensation element, 10... Static compensation element , 11...dynamic compensation element, 12...load pressure detector, 13...differentiator.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 目標値である入力信号と、制御対象あるいは
制御対象を駆動するアクチユエータからのフイー
ドバツク信号との偏差を演算する加算器と、該偏
差を入力して信号を増幅するサーボ増幅器と、該
サーボ増幅器の出力によつて圧油の流量と方向と
を制御するサーボ弁と、該サーボ弁から供給され
る圧油によつて負荷を駆動するアクチユエータと
を有する電気油圧サーボ系において、 前記アクチユエータに作用する負荷圧力信号を
出力する負荷圧力検出器と、 前記偏差に対して、該負荷圧力信号にもとづい
て前記サーボ弁の負荷圧力流量特性の逆関数特性
を示す演算処理を行う静的補償要素とを設け、該
静的補償要素の出力を前記サーボ増幅器に入力せ
しめることを特徴とする電気油圧サーボ系。 2 目標値である入力信号と、制御対象あるいは
制御対象を駆動するアクチユエータからのフイー
ドバツク信号との偏差を演算する加算器と、該偏
差を入力して信号を増幅するサーボ増幅器と、該
サーボ増幅器の出力によつて圧油の流量と方向と
を制御するサーボ弁と、該サーボ弁から供給され
る圧油によつて負荷を駆動するアクチユエータと
を有する電気油圧サーボ系において、 前記アクチユエータに作用する負荷圧力信号を
出力する負荷圧力検出器と、該負荷圧力信号の微
分値に比例した信号を前記偏差に加算して出力す
るように構成した圧縮性補償要素と、該圧縮性補
償要素の出力信号に対して、該負荷圧力信号にも
とづいて前記サーボ弁の負荷圧力流量特性の逆関
数特性を示す演算処理を行う静的補償要素とを設
け、該静的補償要素の出力を前記サーボ増幅器に
入力せしめることを特徴とする電気油圧サーボ
系。
[Claims] 1. An adder that calculates the deviation between an input signal that is a target value and a feedback signal from a controlled object or an actuator that drives the controlled object, and a servo amplifier that inputs the deviation and amplifies the signal. an electro-hydraulic servo system comprising: a servo valve that controls the flow rate and direction of pressure oil according to the output of the servo amplifier; and an actuator that drives a load with the pressure oil supplied from the servo valve. a load pressure detector that outputs a load pressure signal acting on the actuator; and a static detector that performs arithmetic processing on the deviation to indicate an inverse function characteristic of the load pressure flow rate characteristic of the servo valve based on the load pressure signal. An electro-hydraulic servo system, comprising: a compensation element, and an output of the static compensation element is input to the servo amplifier. 2. An adder that calculates the deviation between an input signal that is a target value and a feedback signal from a controlled object or an actuator that drives the controlled object, a servo amplifier that inputs the deviation and amplifies the signal, and a servo amplifier that amplifies the signal by inputting the deviation. In an electro-hydraulic servo system having a servo valve that controls the flow rate and direction of pressure oil by output, and an actuator that drives a load using the pressure oil supplied from the servo valve, the load acting on the actuator a load pressure detector that outputs a pressure signal, a compressibility compensation element configured to add a signal proportional to the differential value of the load pressure signal to the deviation and output it, and an output signal of the compressibility compensation element; On the other hand, a static compensation element is provided which performs calculation processing indicating an inverse function characteristic of the load pressure flow rate characteristic of the servo valve based on the load pressure signal, and the output of the static compensation element is inputted to the servo amplifier. An electro-hydraulic servo system characterized by:
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