JPH01180513A - Light beam recorder - Google Patents

Light beam recorder

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Publication number
JPH01180513A
JPH01180513A JP437788A JP437788A JPH01180513A JP H01180513 A JPH01180513 A JP H01180513A JP 437788 A JP437788 A JP 437788A JP 437788 A JP437788 A JP 437788A JP H01180513 A JPH01180513 A JP H01180513A
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JP
Japan
Prior art keywords
light beam
piezoelectric element
angle
rotating body
mirror
Prior art date
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Pending
Application number
JP437788A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kouji Wada
和田 光示
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP437788A priority Critical patent/JPH01180513A/en
Publication of JPH01180513A publication Critical patent/JPH01180513A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To equalize a main scanning line pitch to a recording material by detecting a relative angle of a rotating body and a reflecting mirror, correcting the quantity of electricity to a piezoelectric element, based on said angle and correcting an angle error against a hysteresis of the piezoelectric element. CONSTITUTION:When a polygon mirror 22 becomes immediately before a start of a main scan, a reference light beam is radiated from a light source 60. The reference light beam is reflected by a reflection mirror 46, reaches a photodetecting sensor 62, and by a light receiving position of its sensor part 62A, a different correcting signal is supplied to a control part 16. In the control part 16, an inclination quantity of the reflection mirror 46 is calculated, based on said correcting signal, and in accordance with a resut of this calculation, a prescribed voltage is applied to the corresponding piezoelectric element 48. The piezoelectric element 48 to which the prescribed voltage has been applied inclines the reflection mirror 46, and by executing it at every reflection mirror 46, a deflection of a light beam caused by eccentricity of a rotation axis 52, etc., can be obviated. In such a way, a main scanning line pitch can be held uniformly.

Description

【発明の詳細な説明】 し産業上の利用分野] 本発明は光ビーム記録装置に係り、特に回転体とこの回
転体の回転軸に平行な複数の反射面とを備えた回転多面
鏡によって反射される光ビームによって記録媒体へ画像
を記録する光ビーム記録装置に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a light beam recording device, and in particular, the present invention relates to a light beam recording device that records light beams by a rotating polygon mirror including a rotating body and a plurality of reflecting surfaces parallel to the rotation axis of the rotating body. The present invention relates to a light beam recording device that records an image on a recording medium using a light beam.

[従来技術] 一般に光ビーム記録装置では、レーザからの記録用光ビ
ームは回転多面鏡(ポリゴンミラー)等で構成される走
査光学系により、照射方向が連続的に偏向されるように
なっている。すなわち、記録用光ビームのポリゴンミラ
ーへの入射角がポリゴンミラーの回転により変更され反
射方向を偏向している。ポリゴンミラーによって反射さ
れた光ビームは固定された記録ステージ上へ配置されて
いる記録媒体へと照射され、画像が記録される。
[Prior Art] Generally, in a light beam recording device, the direction of irradiation of the recording light beam from a laser is continuously deflected by a scanning optical system composed of a rotating polygon mirror, etc. . That is, the angle of incidence of the recording light beam on the polygon mirror is changed by the rotation of the polygon mirror, thereby deflecting the direction of reflection. The light beam reflected by the polygon mirror is irradiated onto a recording medium placed on a fixed recording stage, and an image is recorded.

この記録媒体としては被照射部の記録層が例えば融解又
は蒸発してその透過率が変化するものが適用されてふり
、従来のハロゲン化銀感光材料等のように、画像を記録
した後現像処理等をしなくても、書込み(光ビームの照
射)と同時に記録されている状態を確認することができ
る(特開昭54−153025号公報参照)。
This recording medium is one in which the recording layer of the irradiated area changes, for example, by melting or evaporating, and its transmittance changes.Like conventional silver halide photosensitive materials, an image is recorded and then developed. It is possible to confirm the recorded state at the same time as writing (light beam irradiation) without doing the above (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 153025/1983).

ところが、このような構造ではポリゴンミラーの反射面
の精度が主走査ラインピッチに大きく影響され、所謂面
倒れが生じていると、記録材料に記録される主走査ライ
ンのピッチが不均一となり、画像に乱れが生じることに
なる。また、ポリゴンミラーは機械的に回転させている
ため、回転駆動系の寸法誤差や経時的な摩耗により反射
面が傾くごとも面倒れの要因となっている。
However, in such a structure, the accuracy of the reflective surface of the polygon mirror is greatly affected by the main scanning line pitch, and if so-called surface tilt occurs, the pitch of the main scanning lines recorded on the recording material becomes uneven, and the image This will cause a disturbance. Furthermore, since the polygon mirror is mechanically rotated, the tilting of the reflecting surface due to dimensional errors in the rotation drive system or wear over time also causes the surface to tilt.

これを解消するため、反射面によって反射される光ビー
ムを光学系により補正してポリゴンミラーの各反射面に
よる走査線の軌跡を一致させる(面倒れ補正)ことが提
案されている(特公昭52−28666号、実開昭53
−91845号公報参照)。なお、上記公報に記載され
た技術を実施する場合、高品質が要求され製作が困難な
短焦点レンズが必ず必要とされるため、本出願人は特公
昭60−52409号公報において、比較的安価である
長い焦点距離の円柱レンズを用いることができることを
開示している。これらの公報によれば、ポリゴンミラー
と記録材料との間に光学系を介在させて前記面倒れを解
消している。
In order to solve this problem, it has been proposed to correct the light beam reflected by the reflecting surfaces using an optical system so that the trajectories of the scanning lines from each reflecting surface of the polygon mirror match (face tilt correction) -28666, Utility Model 53
(Refer to Publication No.-91845). In addition, when implementing the technology described in the above-mentioned publication, a short focal length lens that requires high quality and is difficult to manufacture is necessarily required. It is disclosed that a long focal length cylindrical lens can be used. According to these publications, an optical system is interposed between the polygon mirror and the recording material to eliminate the surface tilt.

[発明が解決しようとする問題点] しかしながら、上記面倒れ補正にはポリゴンミラーと記
録材料との間に光学系が介在され、この光学系の取り付
けに際しては高精度が要求されるため、組み付けがめん
どうであると共に部品点数が多く装置自体が大型となる
という問題点があった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, for the above-mentioned surface tilt correction, an optical system is interposed between the polygon mirror and the recording material, and high precision is required when installing this optical system. There are problems in that it is troublesome and requires a large number of parts, making the device itself large.

本発明は上記事実を考慮し、面倒れ補正のための光学系
を必要とせず、ポリゴンミラーの各反射面による光ビー
ムの走査軌跡を互いに一致させることができ、記録材料
への主走査ラインピッチを均一とすることができる光ビ
ーム記録装置を得ることが目的である。
In consideration of the above facts, the present invention does not require an optical system for surface tilt correction, and can make the scanning trajectories of the light beams by each reflecting surface of the polygon mirror coincide with each other, thereby adjusting the main scanning line pitch to the recording material. It is an object of the present invention to obtain a light beam recording device that can make the light beam uniform.

[問題点を解決するための手段] 本発明に係る光ビーム記録装置は、回転体とこの回転体
の周面に取り付けられた複数の反射鏡との間にそれぞれ
圧電素子を配設し、圧電素子へ供給する電気量を制御し
て回転体と反射鏡との相対角度を変更し回転体の回転に
応じて各反射鏡から順次反射される画像記録用光ビーム
の主走査軌跡を一致させる制御手段を備えた光ビーム記
録装置であって、前記回転体と反射鏡との相対角度を検
出する角度検出手段と、角度検出手段により検出された
角度に基づいて圧電素子への電気量を補正して圧電素子
のヒステリシスに対する角度誤差を補正する補正手段と
、を有している。
[Means for Solving the Problems] A light beam recording device according to the present invention includes a piezoelectric element disposed between a rotating body and a plurality of reflecting mirrors attached to the circumferential surface of the rotating body, and Control that controls the amount of electricity supplied to the element, changes the relative angle between the rotating body and the reflecting mirror, and matches the main scanning trajectory of the image recording light beam sequentially reflected from each reflecting mirror according to the rotation of the rotating body. A light beam recording device comprising: an angle detection means for detecting a relative angle between the rotating body and the reflecting mirror; and an angle detection means for correcting the amount of electricity applied to the piezoelectric element based on the angle detected by the angle detection means. and a correction means for correcting an angular error due to hysteresis of the piezoelectric element.

[作用コ 制御手段では、圧電素子へ供給する電気量を制御して回
転体と反射鏡との相対角度を変更し回転体の回転に応じ
て各反射鏡から順次反射される画像記録用光ビームの主
走査軌跡を一致させる。
[The action control means controls the amount of electricity supplied to the piezoelectric element to change the relative angle between the rotating body and the reflecting mirror, so that the image recording light beam is sequentially reflected from each reflecting mirror according to the rotation of the rotating body. Match the main scanning trajectories.

これにより、反射鏡は所定の位置へ位置決めされ、この
状態で主走査がなされる。この反射鏡の所定位着への位
置決めを各反射鏡の走査開始直前時毎に行なうことによ
り、複数の反射鏡による走査軌跡が全て一致され、例え
ば記録媒体を副走査方向へ等速度移動させて、この光ビ
ームで画像を記録する場合、その主走査ラインピッチが
均一となり、画像にむらが生じることがない。また、反
射鏡と記録媒体との間に走査ラインピッチずれ補正のた
めの光学系が必要なくなり、部品点数が減少する。
As a result, the reflecting mirror is positioned at a predetermined position, and main scanning is performed in this state. By positioning this reflecting mirror to a predetermined position every time immediately before the scanning of each reflecting mirror starts, the scanning trajectories of the plurality of reflecting mirrors are all matched, and for example, when the recording medium is moved at a constant speed in the sub-scanning direction, When an image is recorded using this light beam, the main scanning line pitch is uniform and no unevenness occurs in the image. Further, an optical system for correcting scanning line pitch deviation between the reflecting mirror and the recording medium is not required, and the number of parts is reduced.

ところで、圧電素子の材質として、チタン酸バリウムや
その同類であるPZT (チタンジルコン酸鉛)等の機
械的動作に対してじょうぶな一群の圧電物質が適用可能
であるが、これらの圧電素子の特性として、少なからず
ヒステリシスを持っている。
By the way, as the material for the piezoelectric element, a group of piezoelectric substances that are resistant to mechanical operation, such as barium titanate and its similar PZT (lead titanium zirconate), can be applied, but the characteristics of these piezoelectric elements As such, it has quite a bit of hysteresis.

本発明では、圧電素子による反射鏡の位置決めに際して
、各圧電素子の近傍に角度検出手段を設置しこの角度検
出手段によって回転体と反射鏡との相対角度を検出して
いる。補正手段ではこの検小角度に基づいて圧電素子の
ヒステリシス分を補正している。すなわち、圧電素子へ
同量の電気量を加えた場合に反射鏡が下から上へ向きを
変えるときに位置決めされる位置と、上から下へ向きを
変えるときに位置決めされる位置とを一致させるように
している。これにより、前記制御手段による反射鏡の位
置決めを精度よく行うことができる。
In the present invention, when positioning a reflecting mirror using piezoelectric elements, an angle detecting means is installed near each piezoelectric element, and the relative angle between the rotating body and the reflecting mirror is detected by this angle detecting means. The correction means corrects the hysteresis of the piezoelectric element based on this measurement angle. In other words, when the same amount of electricity is applied to the piezoelectric element, the position where the reflector is positioned when it changes direction from bottom to top is made to match the position where it is positioned when it changes direction from top to bottom. That's what I do. Thereby, the positioning of the reflecting mirror by the control means can be performed with high precision.

[実施例コ 第1図には本実施例に係る光ビーム記録装置10の概略
図が示されている。本実施例では光ビーム照射用レーザ
が2個設けられ、一方は書込み用レーザ12、他方は読
み取り用レーザ14として適用されている。これらのレ
ーザ12.14は並設され、制御部16からの信号に応
じて光ビーム(第1図1点鎖線)が照射されるようにな
っている。書込み用レーザ12から照射される書込み用
光ビームは光変調器18へ供給されグイクロイックミラ
ー20を通過してポリゴンミラー22へと照射されるよ
うになっている。一方、読み取り用光ビームはミラー2
4によって前記グイクロイックミラー20方向へ反射さ
れ、このグイクロイックミラー20により前記書込み用
光ビームと光軸が一致されるようになっている。従って
、ポリゴンミラー22へは書込み用光ビームと読み取り
用光ビームとが合成された合成光ビーノ、が照射される
ことになる。
Embodiment FIG. 1 shows a schematic diagram of a light beam recording apparatus 10 according to this embodiment. In this embodiment, two lasers for light beam irradiation are provided, one of which is used as the writing laser 12 and the other as the reading laser 14. These lasers 12 and 14 are arranged in parallel, and are irradiated with a light beam (indicated by a dashed line in FIG. 1) in response to a signal from the control section 16. The writing light beam irradiated from the writing laser 12 is supplied to the optical modulator 18, passes through the gicroic mirror 20, and is irradiated onto the polygon mirror 22. On the other hand, the light beam for reading is mirror 2.
4, the light beam is reflected in the direction of the guichroic mirror 20, and the optical axis is made to coincide with the writing light beam by the guichroic mirror 20. Therefore, the polygon mirror 22 is irradiated with a composite light beam in which the writing light beam and the reading light beam are combined.

ポリゴンミラー22は回転多面鏡で構成されており、こ
のポリゴンミラー22の回転によって、所定の角度範囲
で入射される合成光ビームの入射角を連続的に変更させ
る役目を有している。このポリゴンミラー22は制御部
16からの制御信号によって制御され、回転されるよう
になっている。
The polygon mirror 22 is composed of a rotating polygon mirror, and has the function of continuously changing the incident angle of the combined light beam incident within a predetermined angle range by rotating the polygon mirror 22. This polygon mirror 22 is controlled and rotated by a control signal from the control section 16.

ポリゴンミラー22から反射された合成光ビームは、こ
のポリゴンミラー22と共に走査光学系の一部を構成す
る収束光学系26.28によって収束され、前記読み取
り用光ビームを後述する記録媒体36の上流に配置され
た光検出センサ30によって検出して、このパルス信号
を制御部16へ供給するようにしている。光検出センサ
30は書込み用光ビームによる主走査開始直前の位置に
対応して配置されており、書込み用光ビームの照射開始
時期を得るようになっている。
The combined light beam reflected from the polygon mirror 22 is converged by a converging optical system 26.28, which together with the polygon mirror 22 constitutes a part of the scanning optical system, and the reading light beam is directed upstream of a recording medium 36, which will be described later. The pulse signal is detected by the arranged photodetection sensor 30 and supplied to the control section 16. The photodetection sensor 30 is disposed corresponding to a position immediately before the start of main scanning by the writing light beam, and is configured to obtain the timing at which irradiation of the writing light beam starts.

制御部16は図示しないマイクロコンピュータを含んで
構成されおり、光検出センサ30からのパルス信号の人
力から所定時間後に書込み用光ビームの照射を開始させ
、記録媒体36への画像記録を制御するようにしている
The control unit 16 includes a microcomputer (not shown), and starts irradiation of the writing light beam after a predetermined period of time in response to a pulse signal from the photodetection sensor 30, and controls image recording on the recording medium 36. I have to.

書込み用光ビームは前記読み取り用光ビームと同軸で、
記録ステージ40に配置されたロール状の記録媒体36
の記録面上へ照射して主走査を行なうようになっている
。記録ステージ40は制御部16からの信号により、そ
の支持台42に対して第1図紙面奥側へ移動されるよう
になっており、これにより、記録媒体36上に照射され
る書込み用光ビームが副走査されるようになっている。
the writing light beam is coaxial with the reading light beam;
A roll-shaped recording medium 36 placed on the recording stage 40
Main scanning is performed by irradiating the recording surface onto the recording surface. The recording stage 40 is moved toward the back of the paper in FIG. is now sub-scanned.

なお、本実施例では記録媒体36をロール状のフィルム
としたが、シート状の記録媒体36に複数の画像を記録
する所謂マイクロフィッシュであってもよい。
In this embodiment, the recording medium 36 is a roll-shaped film, but it may be a so-called microfiche in which a plurality of images are recorded on the sheet-shaped recording medium 36.

第2図には、本発明の特徴であるポリゴンミラー22と
その関連部品の斜視図が示されている。
FIG. 2 shows a perspective view of the polygon mirror 22, which is a feature of the present invention, and its related parts.

ポリゴンミラー22は多角形の回転体44と、その角面
に配設された複数の反射鏡46とで構成されており、回
転体440回転で前記書込み用光ビーム及び読み取り用
光ビームの反射鏡46への入射角度を変更して、主走査
を行なうようにしている。このポリゴンミラー22は、
モータ(図示省略)の駆動力で回転されるようになって
いる。
The polygon mirror 22 is composed of a polygonal rotating body 44 and a plurality of reflecting mirrors 46 arranged on the corner surfaces of the polygonal rotating body 44, and when the rotating body 440 rotates, the writing light beam and the reading light beam are reflected. Main scanning is performed by changing the incident angle to 46. This polygon mirror 22 is
It is rotated by the driving force of a motor (not shown).

ところで、本実施例に係るポリゴンミラー22では、第
3図にも示される如く、回転体44と各反射鏡46との
間にそれぞれ圧電素子48が介在されている。これらの
圧電素子48はそれぞれリード線50A、50B・・・
により回転軸52の周面に沿って取り付けられた回転端
子54A、54B・・・と電気的に接続されている。回
転軸52にはキャップ56が軸着され、このキャップ5
6の外周から内周へ貫通されている固定端子(ブラシ)
58A、58B・・・と前記回転端子(回転リング’>
54A、54B・・・とがそれぞれ対応配置されている
。キャップ56のそれぞれの固室端子58A、58B・
・・には制御部16から圧電素子作動信号が供給される
ようになっており、これにより、複数の圧電素子48は
別個に電圧が付与され、所定の微動をすることができる
ようになっている。
By the way, in the polygon mirror 22 according to this embodiment, as shown in FIG. 3, piezoelectric elements 48 are interposed between the rotating body 44 and each reflecting mirror 46. These piezoelectric elements 48 are connected to lead wires 50A, 50B, respectively.
are electrically connected to rotation terminals 54A, 54B, . . . attached along the circumferential surface of the rotation shaft 52. A cap 56 is pivotally attached to the rotating shaft 52, and this cap 5
Fixed terminal (brush) penetrated from the outer circumference to the inner circumference of 6
58A, 58B... and the rotating terminals (rotating ring'>
54A, 54B, etc. are arranged in correspondence with each other. Each fixed chamber terminal 58A, 58B of the cap 56
A piezoelectric element activation signal is supplied from the control unit 16 to the piezoelectric elements 48, whereby a voltage is separately applied to the plurality of piezoelectric elements 48, and it is possible to make a predetermined slight movement. There is.

ポリゴンミラー22の近傍には、書込み用光ビームと読
み取り用光ビームとの反射鏡46への入射点に基準光線
(第2図2点鎖線)を入射する光源60が配置されてい
る。また、この光源60に対応して、光源60から照射
される基準光線をポリゴンミラー22が前記主走査開始
直前の位置へ来た場合に受光する光検出センサ62が配
置されている。この光検出センサ62のセンサ部62A
は4分割されており、それぞれのセンサ部での受光で異
なる補正信号を制御部16へ供給するようになっている
。制御部16ではこの補正信号に基づいて基準光線がセ
ンサ部62Aの中心点へ照射させるべく、前記圧電素子
48を制御して、反射鏡46を回転体44の回転による
主走査方向に対して垂直な方向へ傾動させるようになっ
ている。
In the vicinity of the polygon mirror 22, a light source 60 is arranged which makes a reference light beam (two-dot chain line in FIG. 2) incident on the point of incidence of the writing light beam and the reading light beam on the reflecting mirror 46. Further, a photodetection sensor 62 is disposed corresponding to the light source 60, which receives the reference light beam irradiated from the light source 60 when the polygon mirror 22 comes to the position immediately before the start of the main scanning. Sensor section 62A of this light detection sensor 62
is divided into four parts, and a different correction signal is supplied to the control part 16 depending on the light received by each sensor part. Based on this correction signal, the control unit 16 controls the piezoelectric element 48 to direct the reflecting mirror 46 perpendicularly to the main scanning direction caused by the rotation of the rotating body 44 so that the reference beam irradiates the center point of the sensor unit 62A. It is designed so that it can be tilted in a certain direction.

すなわち、回転体44の回転軸52の偏心等で回転にぶ
れがあっても各反射鏡46で反射されて走査される光ビ
ームの走査軌跡を一致させるようにしている。ところで
、圧電素子48はヒステリシスを持っており、圧電素子
48による反射鏡46の移動方向に応じて印加される電
圧が一定でも反射鏡46が異なる位置に位置決めされる
ことがある。本実施例では、後述の磁気センサ64を用
いてこのヒステリシス分を補正している。
That is, even if there is a wobble in the rotation due to eccentricity of the rotating shaft 52 of the rotating body 44, the scanning trajectories of the light beams reflected and scanned by each reflecting mirror 46 are made to match. Incidentally, the piezoelectric element 48 has hysteresis, and the reflecting mirror 46 may be positioned at different positions even if the voltage applied is constant depending on the moving direction of the reflecting mirror 46 by the piezoelectric element 48. In this embodiment, this hysteresis is corrected using a magnetic sensor 64, which will be described later.

以下に本発明の特徴である圧電素子48のヒステリシス
分の補正をする構成について詳細に説明する。
The configuration for correcting the hysteresis of the piezoelectric element 48, which is a feature of the present invention, will be described in detail below.

第3図に示される如く、回転体44と反射鏡46との間
隙部(ごはその回転体44側に磁気センサ64の一部を
構成する磁気抵抗素子66が圧電素子48に対応してそ
れぞれ取り付けられている。
As shown in FIG. 3, a magnetoresistive element 66 constituting a part of the magnetic sensor 64 is located in the gap between the rotating body 44 and the reflecting mirror 46 (on the side of the rotating body 44), corresponding to the piezoelectric element 48. installed.

また、反射鏡46側には磁気抵抗素子66と共に磁気セ
ンサ64を構成する磁性体68が取り付けられている。
Furthermore, a magnetic body 68 that constitutes a magnetic sensor 64 together with a magnetoresistive element 66 is attached to the reflecting mirror 46 side.

この磁気抵抗素子66と磁性体68とはそれぞれ対向配
置されている。磁気抵抗素子66の出力側には角度検出
器70が接続され、磁気抵抗素子66によって検出され
る抵抗値に応じて回転体44と反射鏡46との相対角度
が検出されるようになっている。また、この角度検出器
70の出力側には圧電電圧補正回路72が接続されてい
る。この圧電電圧補正回路72には、圧電電圧とこれに
対応する角度との特性が記憶されており、角度検出器7
0によって検出される実際の角度に基づいて圧電素子4
8へ印加される電圧値を変更させる役目を有している。
The magnetoresistive element 66 and the magnetic body 68 are arranged to face each other. An angle detector 70 is connected to the output side of the magnetoresistive element 66, and the relative angle between the rotating body 44 and the reflecting mirror 46 is detected according to the resistance value detected by the magnetoresistive element 66. . Further, a piezoelectric voltage correction circuit 72 is connected to the output side of the angle detector 70. The piezoelectric voltage correction circuit 72 stores the characteristics of the piezoelectric voltage and the angle corresponding thereto, and the angle detector 7
piezoelectric element 4 based on the actual angle detected by 0
It has the role of changing the voltage value applied to 8.

ここで、第3図(A)に示される如く、ポリゴンミラー
22に偏心がなく回転されている場合は、磁性体68と
磁気抵抗素子66との間隙寸法G1は全て一定とされ、
磁気抵抗素子66の抵抗値は変化されない。ここで、第
3図(B)に示される如く、ポリゴンミラー22の偏心
等があると、圧電素子48により回転体44と反射鏡4
6との相対角度に変化が生じ、このときの間隙寸法G2
及びG、が前記寸法Glに対して異なることがある。
Here, as shown in FIG. 3(A), when the polygon mirror 22 is rotated without eccentricity, the gap size G1 between the magnetic body 68 and the magnetoresistive element 66 is all constant;
The resistance value of the magnetoresistive element 66 is not changed. Here, as shown in FIG. 3(B), if there is eccentricity of the polygon mirror 22, the piezoelectric element 48 causes the rotating body 44 and the reflecting mirror 4 to
A change occurs in the relative angle with 6, and the gap dimension G2 at this time
and G may be different from the dimension Gl.

これにより磁界に変化が生じ、磁気抵抗素子66ではこ
の間隙寸法の変化に応じて抵抗値が変化され、回転体4
4と反射鏡46との相対角度が検出されるようになって
いる。圧電電圧補正回路72では、この検出された角度
に基づいて圧電素子48への印加電圧を変化させ、前記
ヒステリシス分の補正している。なお、制御部16から
供給される圧電素子48への電流は常に一定に保持され
るようになっている。
This causes a change in the magnetic field, and the resistance value of the magnetoresistive element 66 is changed in accordance with this change in gap size, and the rotating body 4
4 and the reflecting mirror 46 are detected. The piezoelectric voltage correction circuit 72 changes the voltage applied to the piezoelectric element 48 based on the detected angle to correct for the hysteresis. Note that the current supplied from the control section 16 to the piezoelectric element 48 is always kept constant.

以下に本実施例の作用を説明する。The operation of this embodiment will be explained below.

読み取り用レーザ14から読み取り用光ビームの照射が
開始されると、この読み取り用光ビームはミラー24、
グイクロイックミラー20を介してポリゴンミラー22
へ入射される。ポリゴンミラー22は制御部16からの
信号によって等速度回転しており、これにより読み取り
用光ビームは所定の範囲内で入射角が変更され、これに
応じて反射光の方向が変更される。この反射光は収束光
学系26.28を介して光検出センサ30へと至る。光
検出センサ30でこの読み取り用光ビームを検出すると
、ポリゴンミラー22が主走査開始直前の位置に来たこ
とになり、制御部16ヘパルス信号を供給する。制御部
16では、このパルス信号の入力から所定時間経過後が
画像記録タイミングであると判断する。
When irradiation of the reading light beam from the reading laser 14 is started, this reading light beam is transmitted to the mirror 24,
A polygon mirror 22 via a guichroic mirror 20
is incident on the The polygon mirror 22 is rotated at a constant speed by a signal from the control unit 16, so that the angle of incidence of the reading light beam is changed within a predetermined range, and the direction of the reflected light is changed accordingly. This reflected light reaches the light detection sensor 30 via the converging optical system 26,28. When the optical detection sensor 30 detects this reading light beam, it means that the polygon mirror 22 has come to the position immediately before starting main scanning, and a pulse signal is supplied to the control section 16. The control unit 16 determines that the image recording timing is after a predetermined period of time has elapsed since the input of this pulse signal.

ここで、画像記録タイミングとなると(ポリゴンミラー
22の位置が主走査開始位置となる)・、書込み用レー
ザ12から書込み用光ビームの照射が開始される。書込
み用光ビームは光変調器18によって変調された後、グ
イクロイックミラー20を通過してポリゴンミラー22
へ入射され、それ反射光が記録媒体36上へ照射される
Here, when the image recording timing comes (the position of the polygon mirror 22 becomes the main scanning start position), irradiation of the writing light beam from the writing laser 12 is started. After the writing light beam is modulated by the optical modulator 18, it passes through the guichroic mirror 20 and reaches the polygon mirror 22.
The reflected light is irradiated onto the recording medium 36.

書込み用光ビームの照射開始時と同時に制御部16の制
御で記録ステージ40を移動させて副走査が行なわれ、
記録媒体36上に画像が記録される。
Simultaneously with the start of irradiation with the writing light beam, the recording stage 40 is moved under the control of the control unit 16 to perform sub-scanning.
An image is recorded on the recording medium 36.

ここで、ポリゴンミラー22は機械的な駆動系により回
転駆動させている。従って、回転軸52の偏心や組み付
は精度の問題から光ビームの反射方向が各反射鏡46に
よって異なることが考えられる。すなわち、主走査ライ
ンピッチが均一とならず、画像にむらが生じることにな
るが、本実施例では、光源60から基準光線(第2図2
点鎖線)を照射し、この基準光線の反射方向に基づいて
各反射、鏡46の傾きを補正するようにしている。
Here, the polygon mirror 22 is rotationally driven by a mechanical drive system. Therefore, it is conceivable that the direction in which the light beam is reflected differs depending on each reflecting mirror 46 due to problems with the eccentricity of the rotating shaft 52 and the accuracy of assembly. In other words, the main scanning line pitch is not uniform, causing unevenness in the image. However, in this embodiment, the reference light beam (see FIG.
A dot-dashed line) is irradiated, and each reflection and the inclination of the mirror 46 are corrected based on the direction of reflection of this reference light beam.

これを詳細に説明すると以下の如くなる。This will be explained in detail as follows.

ポリゴンミラー22が主走査開始直前のとなると、光源
60から基準光線が照射される(なお、この基準光線は
常時照射されていてもよい)。基準光線は反射鏡46に
より反射され、光検出センサ62へと至る。光検出セン
サ62はそのセンサ部62Aの受光位置により、異なる
補正信号を制御部16へ供給する。制御部16ではこの
補正信号に基づいて反射鏡46の傾き量を演算し、この
演算結果に応じて対応する圧電素子48へ所定の電圧を
付与する。ここで、例えば走査ラインピッチが小さくな
る方向へずれている場合(今回の光ビームの反射方向が
前回の光ビームの反射方向よりも第3図上側にずれてい
る場合)、第3図に示される如く、所定の電圧が付与さ
れた圧電素子48は、第3図(A)の状態から第3図(
B)の状態となり、反射鏡466を第3図下方へ傾ける
ことができる。これを各反射鏡46毎に行なうことによ
り、前記回転軸52の偏心等による光ビームの偏向が解
消されて主走査ラインピッチを均一に保つことができる
When the polygon mirror 22 is about to start main scanning, a reference light beam is irradiated from the light source 60 (this reference light beam may be irradiated all the time). The reference light beam is reflected by the reflecting mirror 46 and reaches the photodetection sensor 62 . The light detection sensor 62 supplies different correction signals to the control section 16 depending on the light receiving position of the sensor section 62A. The control unit 16 calculates the amount of inclination of the reflecting mirror 46 based on this correction signal, and applies a predetermined voltage to the corresponding piezoelectric element 48 according to the calculation result. Here, for example, if the scanning line pitch deviates in the direction of decreasing (if the direction of reflection of the current light beam is deviated to the upper side of Figure 3 than the direction of reflection of the previous light beam), as shown in Figure 3. As shown, the piezoelectric element 48 to which a predetermined voltage is applied changes from the state shown in FIG.
In the state shown in B), the reflecting mirror 466 can be tilted downward in FIG. By performing this for each reflecting mirror 46, deflection of the light beam due to eccentricity of the rotating shaft 52, etc. is eliminated, and the main scanning line pitch can be kept uniform.

ここで、本実施例に適用される圧電素子48は、ヒステ
リシスを持っており、反射鏡46の移動方向、すなわち
、反射鏡46が第3図下方へ向いている状態から上方へ
向く方向へ移動した場合と、上方へ向いている状態から
下方へ向く方向へ移動した場合とで、同じ電圧を印加し
ても位置決めされる位置が異なることがある。これを補
正するため、本実施例に適用される磁気センサ64では
反射鏡46と回転体44との相対角度を検出し、圧電素
子48に印加される電圧値を補正して前記角度を常に一
定とするようにしている。
Here, the piezoelectric element 48 applied to this embodiment has hysteresis, and moves in the moving direction of the reflecting mirror 46, that is, from the downward direction in FIG. 3 to the upward direction. Even if the same voltage is applied, the position determined may differ depending on whether the object is moved from an upward direction to a downward direction. To correct this, the magnetic sensor 64 applied to this embodiment detects the relative angle between the reflecting mirror 46 and the rotating body 44, and corrects the voltage value applied to the piezoelectric element 48 to keep the angle constant. I try to do this.

すなわち、反射鏡46と回転体44とが相対移動すると
、この移動量に応じて、磁気抵抗素子66と磁性体68
との間隙寸法が変化する(第3図(B)の寸法G2及び
G、参照)。この間隙寸法が変化すると磁気抵抗素子6
6では磁界の変化に応じて抵抗値が変化し、この抵抗値
は角度検出器70へ供給される。角度検出器70では、
この抵抗値に基づいて回転体44と反射鏡46との相対
角度を検出し、この検出値を圧電電圧補正回路72へ供
給する。圧電電圧補正回路72では予め圧電電圧と前記
角度との特性が記憶されており、圧電電圧に対する正規
の角度と検出された角度との間に差が生じている場合は
、最初に供給された圧電電圧に応じた角度となるように
圧電電圧を補正する。これにより、圧電電圧に応じた反
射鏡46と回転体44との相対角度は常に一致され、正
確な光ビームの照射方向の変更が行なえる。
That is, when the reflecting mirror 46 and the rotating body 44 move relative to each other, the magnetoresistive element 66 and the magnetic body 68 move according to the amount of movement.
(See dimensions G2 and G in FIG. 3(B)). When this gap dimension changes, the magnetoresistive element 6
6, the resistance value changes in response to changes in the magnetic field, and this resistance value is supplied to the angle detector 70. In the angle detector 70,
The relative angle between the rotating body 44 and the reflecting mirror 46 is detected based on this resistance value, and this detected value is supplied to the piezoelectric voltage correction circuit 72. The piezoelectric voltage correction circuit 72 stores the characteristics of the piezoelectric voltage and the angle in advance, and if there is a difference between the normal angle for the piezoelectric voltage and the detected angle, the initially supplied piezoelectric The piezoelectric voltage is corrected so that the angle corresponds to the voltage. Thereby, the relative angle between the reflecting mirror 46 and the rotating body 44 according to the piezoelectric voltage is always matched, and the direction of irradiation of the light beam can be changed accurately.

なお、本実施例では角度検出手段の一部を構成する回転
体44と反射鏡46との偏位を検出する手段として磁気
センサ64を用いたが、回転体44と反射鏡46との間
隔を検出するギャップセンサ等の他の偏位検出手段を用
いてもよい。
In this embodiment, the magnetic sensor 64 is used as means for detecting the deviation between the rotating body 44 and the reflecting mirror 46, which constitute a part of the angle detecting means, but the distance between the rotating body 44 and the reflecting mirror 46 is Other deviation detection means such as a gap sensor may also be used.

また、本実施例では、基準光線を照射する光源60を新
たに追加したが、読み取り用光ビームを受光して主走査
開始時期を得る光検出センサ30のセンサ部を上記のよ
うに4分割すれば、読み取り用光ビームを基準光線とし
て適用することができる。
In addition, in this embodiment, a new light source 60 for emitting a reference light beam is added, but the sensor section of the photodetection sensor 30 that receives the reading light beam and obtains the main scanning start time may be divided into four parts as described above. For example, a reading light beam can be used as a reference light beam.

さらに、本実施例では、角度検出器70及び圧電電圧補
正回路72を回転体44に埋設したが、これらを制御部
16へ内蔵し、磁気抵抗素子66からのセンサ信号を回
転体44の外部へ取出してもよい。
Furthermore, in this embodiment, the angle detector 70 and the piezoelectric voltage correction circuit 72 are embedded in the rotating body 44, but they are built into the control unit 16 and the sensor signal from the magnetoresistive element 66 is sent to the outside of the rotating body 44. You may take it out.

[発明の効果] 以上説明した如く本発明に係る光ビーム記録装置は、面
倒れ補正のための光学系を必要とせず、ポリゴンミラー
の各反射面による光ビームの走査軌跡を互いに一致させ
ることができ、記録材料への主走査ラインピッチを均一
とすることができるという優れた効果を有する。
[Effects of the Invention] As explained above, the light beam recording device according to the present invention does not require an optical system for surface tilt correction, and it is possible to make the scanning trajectories of the light beams on the respective reflecting surfaces of the polygon mirror coincide with each other. This has the excellent effect of making the main scanning line pitch on the recording material uniform.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本実施例に係る光ビーム記録装置の概略図、第
2図はポリゴンミラーの斜視図、第3図(A)及び(B
)は回転体と反射鏡との取り付は状態を示す断面図であ
る。 10・・・光ビーム記録装置、 12・・・書込み用レーザ、 14・・・読み取り用レーザ、 16・・・制御部、 36・・・記録媒体、 44・・・回転体、 46・・・反射鏡、 48・・・圧電素子、 60・・・光源、 62・・・光検出センサ、 62A・・・センサ部、 64・・・磁気センサ、 66・・・磁気抵抗素子、 68・・・磁性体、 70・・・角度検出器、 72・・・圧電電圧補正回路。
Fig. 1 is a schematic diagram of a light beam recording device according to this embodiment, Fig. 2 is a perspective view of a polygon mirror, and Fig. 3 (A) and (B).
) is a sectional view showing how the rotating body and the reflecting mirror are attached. DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Light beam recording device, 12... Writing laser, 14... Reading laser, 16... Control unit, 36... Recording medium, 44... Rotating body, 46... Reflector, 48... Piezoelectric element, 60... Light source, 62... Light detection sensor, 62A... Sensor section, 64... Magnetic sensor, 66... Magnetoresistive element, 68... Magnetic material, 70...Angle detector, 72...Piezoelectric voltage correction circuit.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)回転体とこの回転体の周面に取り付けられた複数
の反射鏡との間にそれぞれ圧電素子を配設し、圧電素子
へ供給する電気量を制御して回転体と反射鏡との相対角
度を変更し回転体の回転に応じて各反射鏡から順次反射
される画像記録用光ビームの主走査軌跡を一致させる制
御手段を備えた光ビーム記録装置であって、前記回転体
と反射鏡との相対角度を検出する角度検出手段と、角度
検出手段により検出された角度に基づいて圧電素子への
電気量を補正して圧電素子のヒステリシスに対する角度
誤差を補正する補正手段と、を有する光ビーム記録装置
(1) A piezoelectric element is disposed between the rotating body and a plurality of reflecting mirrors attached to the circumferential surface of the rotating body, and the amount of electricity supplied to the piezoelectric element is controlled. A light beam recording device comprising a control means for changing the relative angle and matching the main scanning trajectory of an image recording light beam sequentially reflected from each reflecting mirror according to the rotation of a rotating body, the light beam recording device comprising: It has an angle detection means for detecting a relative angle with the mirror, and a correction means for correcting an angular error due to hysteresis of the piezoelectric element by correcting the amount of electricity to the piezoelectric element based on the angle detected by the angle detection means. Light beam recording device.
(2)前記角度検出手段は前記圧電素子の近傍にそれぞ
れ配置され磁界の変化に応じて抵抗値が変化する磁気セ
ンサと、前記磁気センサによって得られた抵抗値から回
転体と反射鏡との相対角度を検出する角度検出手段と、
で構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第(
1)項記載の光ビーム記録装置。
(2) The angle detecting means includes a magnetic sensor which is arranged near the piezoelectric element and whose resistance value changes according to a change in the magnetic field, and a relative relationship between the rotating body and the reflecting mirror based on the resistance value obtained by the magnetic sensor. An angle detection means for detecting an angle;
Claim No. 1 is characterized in that it consists of (
1) The optical beam recording device described in item 1).
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06175055A (en) * 1992-07-31 1994-06-24 E I Du Pont De Nemours & Co Scanning system and error correction for scanning system
JP2018105903A (en) * 2016-12-22 2018-07-05 川崎重工業株式会社 Mirror swing device
KR102601439B1 (en) * 2023-06-15 2023-11-13 한화시스템(주) Hysteresis compensator of high-speed adjusting mirror and its method

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