JPH01179350U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01179350U JPH01179350U JP7633188U JP7633188U JPH01179350U JP H01179350 U JPH01179350 U JP H01179350U JP 7633188 U JP7633188 U JP 7633188U JP 7633188 U JP7633188 U JP 7633188U JP H01179350 U JPH01179350 U JP H01179350U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- image
- electron microscope
- scanning electron
- enlarged field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本案の一実施例のブロツク図である。
１……試料、２……試料引張り装置、３……Ｘ
，Ｙ偏向電源、４……電圧電流変換回路、５……
積分回路、６……パルス発生回路、７……偏向コ
イル。
，Ｙ偏向電源、４……電圧電流変換回路、５……
積分回路、６……パルス発生回路、７……偏向コ
イル。
Claims (1)
- 試料微動装置に試料引張りを備えた走査電子顕
微鏡において、試料を引張つた場合の拡大視野像
における定常的な像移動をなくすために、偏向コ
イルまたは補正コイルに補正回路より定常的な電
流を供給し拡大視野像の像移動をなくしたことを
特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7633188U JPH01179350U (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7633188U JPH01179350U (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01179350U true JPH01179350U (ja) | 1989-12-22 |
Family
ID=31301361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7633188U Pending JPH01179350U (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01179350U (ja) |
-
1988
- 1988-06-10 JP JP7633188U patent/JPH01179350U/ja active Pending