JPH01163950A - 電流供給機構 - Google Patents
電流供給機構Info
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- JPH01163950A JPH01163950A JP62321219A JP32121987A JPH01163950A JP H01163950 A JPH01163950 A JP H01163950A JP 62321219 A JP62321219 A JP 62321219A JP 32121987 A JP32121987 A JP 32121987A JP H01163950 A JPH01163950 A JP H01163950A
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- Japan
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- coil
- current
- coils
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Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は除振装置における電流供給機構に係り、特に比
較的大きな電流を伝えるのに好適な電流供給機構に関す
る。
較的大きな電流を伝えるのに好適な電流供給機構に関す
る。
従来は本発明のような除振と電流供給を両立したものは
なく、必要な容易の導線を用いて直接結線していた。
なく、必要な容易の導線を用いて直接結線していた。
特に走査型トンネル顕微鏡においては、振動を防ぐとい
う点からティップの加熱のための電流供給機構を備えて
いなかった。
う点からティップの加熱のための電流供給機構を備えて
いなかった。
上記従来技術は振動の伝達を遮るという点は考慮されて
おらず、導線を通して振動が伝すり除振機構を損うとい
う問題があった。
おらず、導線を通して振動が伝すり除振機構を損うとい
う問題があった。
特に走査型トンネル顕微鏡においては、従来はティップ
の加熱機構を持たなかったので大気に汚染されたティッ
プで観測をしており、真の表面を見ているとは言えなか
った。
の加熱機構を持たなかったので大気に汚染されたティッ
プで観測をしており、真の表面を見ているとは言えなか
った。
本発明の目的は、比較的大きな電流の供給と除振を両立
することにある。
することにある。
上記目的は、除振機構内への電流供給部に、互いに機械
的接触部位を持たない複数のコイルにより構成される変
圧器を用いることにより、達成さ −れる。
的接触部位を持たない複数のコイルにより構成される変
圧器を用いることにより、達成さ −れる。
本発明に用いられるコイルは互いに機械的に接触してい
ないので、１つのコイルから他へ振動を伝えることはな
い。しかし、これらのコイルは磁気的には結合している
ので変圧器と同じであり、所要の周波数の交流電流を伝
えることができる。
ないので、１つのコイルから他へ振動を伝えることはな
い。しかし、これらのコイルは磁気的には結合している
ので変圧器と同じであり、所要の周波数の交流電流を伝
えることができる。
本発明によれば、比較的大きな電源を供給することがで
きるうえに、この電流の供給源から伝わってくる機械的
振動を遮断することができる。したがって、除振の機能
を損うことなく電流を供給することができる。
きるうえに、この電流の供給源から伝わってくる機械的
振動を遮断することができる。したがって、除振の機能
を損うことなく電流を供給することができる。
以下、本発明の一実施例を第１図を用いて説明する。こ
の図は走査型トンネル顕微鏡のティップへの電圧および
加熱用フィラメントへの電流供給部を示す、１はバネと
ゴムにより構成さけている除振機構である。２は電界研
摩により先端を細くしたタングステンティップでありタ
ングステン線でできたフィラメント３の直接溶接しであ
る。このフィラメントは直径約６閣のニッケル捧４のま
わりに内径約８閣としてニッケル捧に接触しないように
巻いたコイル５につながっており、このコイルは台座７
に固定されている。コイル６はコイル５と磁気的に結合
するようにやはりニッケル捧４のまわりに巻いてあり、
両端は外部からの入力端子へとつながっている。？１１
定時にはティップに電圧をかけて試料１０との間に微弱
なトンネル電流を流すので、そのためにコイル５，６の
間は０．１ｍの細いポリイミド線で直接つながっている
。同様に、ティップの走査や試料移動のための圧電素子
９へ電圧を供給するためにも直接０．１閣のポリイミド
線で結線した。しかし、これらの線は細いために振動の
伝達にはほとんど関与していない。二次側コイル６と二
次側コイル６の巻数比が１０＝１になるようにＩＩＩｆ
ｉ径のフッ素膨脂被覆の導線を巻いた。これにより、加
熱時には一次側コイルにＩＯＶ、０．４ Ａの交流を入
力すると二次側には約４Ａの電流が流れ、ティップを約
１８００℃まで容易に加熱することができた。試料にも
ティップと同様にコイルを用いて通電加熱ができるよう
にし、測定のために一次側と二次側のコイルを約０．１
ｗｎのポリイミド線でつないだ。
の図は走査型トンネル顕微鏡のティップへの電圧および
加熱用フィラメントへの電流供給部を示す、１はバネと
ゴムにより構成さけている除振機構である。２は電界研
摩により先端を細くしたタングステンティップでありタ
ングステン線でできたフィラメント３の直接溶接しであ
る。このフィラメントは直径約６閣のニッケル捧４のま
わりに内径約８閣としてニッケル捧に接触しないように
巻いたコイル５につながっており、このコイルは台座７
に固定されている。コイル６はコイル５と磁気的に結合
するようにやはりニッケル捧４のまわりに巻いてあり、
両端は外部からの入力端子へとつながっている。？１１
定時にはティップに電圧をかけて試料１０との間に微弱
なトンネル電流を流すので、そのためにコイル５，６の
間は０．１ｍの細いポリイミド線で直接つながっている
。同様に、ティップの走査や試料移動のための圧電素子
９へ電圧を供給するためにも直接０．１閣のポリイミド
線で結線した。しかし、これらの線は細いために振動の
伝達にはほとんど関与していない。二次側コイル６と二
次側コイル６の巻数比が１０＝１になるようにＩＩＩｆ
ｉ径のフッ素膨脂被覆の導線を巻いた。これにより、加
熱時には一次側コイルにＩＯＶ、０．４ Ａの交流を入
力すると二次側には約４Ａの電流が流れ、ティップを約
１８００℃まで容易に加熱することができた。試料にも
ティップと同様にコイルを用いて通電加熱ができるよう
にし、測定のために一次側と二次側のコイルを約０．１
ｗｎのポリイミド線でつないだ。
これらの電流供給機構を用いてティップおよび試料の加
熱を行なってから観測を行なった結果、振動によるノイ
ズは従来と比較しても増加することはなく、より鮮明な
表面の像を［測することができた。
熱を行なってから観測を行なった結果、振動によるノイ
ズは従来と比較しても増加することはなく、より鮮明な
表面の像を［測することができた。
本発明によれば、非接触で数Ａの電流を除振機構の内外
間で伝えることができるので、除振の能力を全く損うこ
となく大電流を除振台上へ供給することができる。
間で伝えることができるので、除振の能力を全く損うこ
となく大電流を除振台上へ供給することができる。
第１図は本発明の一実施例の走査型トンネル顕微鏡にお
けるティップへの電流供給部の概略側面図である。
けるティップへの電流供給部の概略側面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、除振装置において、除振機構内部への電流供給手段
として、互いに機械的な接触部分を持たない複数のコイ
ルによつて構成される変圧器を用いたことを特徴とする
電流供給機構。 ２、除振機構を備えた走査型トンネル顕微鏡において、
除振機構内部に置かれた走査型トンネル顕微鏡機構部の
ティップおよび試料を加熱するのに必要な電流の供給手
段として、互いに機械的接触部分を持たない複数のコイ
ルによつて構成される変圧器を用いたことを特徴とする
電流供給機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62321219A JPH01163950A (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 | 電流供給機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62321219A JPH01163950A (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 | 電流供給機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01163950A true JPH01163950A (ja) | 1989-06-28 |
Family
ID=18130135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62321219A Pending JPH01163950A (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 | 電流供給機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01163950A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996038898A1 (en) * | 1995-05-29 | 1996-12-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Power source apparatus |
-
1987
- 1987-12-21 JP JP62321219A patent/JPH01163950A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996038898A1 (en) * | 1995-05-29 | 1996-12-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Power source apparatus |
| US6075433A (en) * | 1995-05-29 | 2000-06-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Power supply unit |
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