JPH01162792U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01162792U JPH01162792U JP5949588U JP5949588U JPH01162792U JP H01162792 U JPH01162792 U JP H01162792U JP 5949588 U JP5949588 U JP 5949588U JP 5949588 U JP5949588 U JP 5949588U JP H01162792 U JPH01162792 U JP H01162792U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- basic part
- insulating material
- negative electrode
- positive electrode
- layered structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Description
第1図は本考案の第1実施例の静電アクチユエ
ータの概略構造図、第2図は静電アクチユエータ
の動作図、第3図は簡易型静電アクチユエータの
概略構造図、第4図は第2実施例の静電アクチユ
エータの概略構造図、第5図は第3実施例の静電
アクチユエータの概略構造図、第6図は生産工程
の概略図。 10……静電アクチユエータ、11……絶縁体
、12……コ字状の絶縁体、13……L字状の絶
縁体、14……第1の基本部、16……正電極、
17……負電極、18……第2の基本部、20…
…間隙。
ータの概略構造図、第2図は静電アクチユエータ
の動作図、第3図は簡易型静電アクチユエータの
概略構造図、第4図は第2実施例の静電アクチユ
エータの概略構造図、第5図は第3実施例の静電
アクチユエータの概略構造図、第6図は生産工程
の概略図。 10……静電アクチユエータ、11……絶縁体
、12……コ字状の絶縁体、13……L字状の絶
縁体、14……第1の基本部、16……正電極、
17……負電極、18……第2の基本部、20…
…間隙。
Claims (1)
- 絶縁材料と正電極とが層構造となつた第1の基
本部と、絶縁材料と負電極とが層構造となつた第
2の基本部と、前記第1の基本部と第2の基本部
とを前記正電極と前記負電極との間に前記絶縁材
料が介在するように所定幅の間隙を隔てて複数個
ジグザグ状に接続する弾性変形可能な絶縁部と、
を備えた静電アクチユエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5949588U JPH01162792U (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5949588U JPH01162792U (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01162792U true JPH01162792U (ja) | 1989-11-13 |
Family
ID=31285251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5949588U Pending JPH01162792U (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01162792U (ja) |
-
1988
- 1988-05-02 JP JP5949588U patent/JPH01162792U/ja active Pending