JPH01158334A - Ｉｃｐ発光分析装置 - Google Patents
Ｉｃｐ発光分析装置Info
- Publication number
- JPH01158334A JPH01158334A JP31838887A JP31838887A JPH01158334A JP H01158334 A JPH01158334 A JP H01158334A JP 31838887 A JP31838887 A JP 31838887A JP 31838887 A JP31838887 A JP 31838887A JP H01158334 A JPH01158334 A JP H01158334A
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Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明はＩＣＰ（高周波誘導結合プラズマ）発光分析装
置に関する。
置に関する。
（ロ）従来の技術
ＩＣＰ発光分析装置においては、試料を溶液にし、霧化
器で霧化し、キャリヤガスの流れに乗せてプラズマ炎に
導入して発光させ、この光を分光し測光して試料成分を
分析している。
器で霧化し、キャリヤガスの流れに乗せてプラズマ炎に
導入して発光させ、この光を分光し測光して試料成分を
分析している。
このような従来のＩＣＰ分析装置では測光量から試料成
分を定量するために内標準法が一最に用いられている。
分を定量するために内標準法が一最に用いられている。
即ち、被検試料溶液に標準試料を一定量添加し、この標
準試料を定量する被検試料と同時に発光させてスペクト
ルのピークを求め、濃度既知の標準試料のピークとの比
から試料成分の濃度を定量する。
準試料を定量する被検試料と同時に発光させてスペクト
ルのピークを求め、濃度既知の標準試料のピークとの比
から試料成分の濃度を定量する。
（ハ）解決すべき問題点
上述の内標準法では例えば１０ｐｐｍの濃度の標準試料
を作り、測定する試料溶液にピペットで計量して添加す
る。従って作業能率が悪い上に、ピペッティングエラー
が発生して測定精度を低下させる問題があった。
を作り、測定する試料溶液にピペットで計量して添加す
る。従って作業能率が悪い上に、ピペッティングエラー
が発生して測定精度を低下させる問題があった。
（ニ）問題点を解決するための手段
本発明においては、試料溶液を霧化する複数の霧化器を
設け、これら複数の霧化器からの試料ガスを共にプラズ
マトーチの試料供給管に供給するようにした。
設け、これら複数の霧化器からの試料ガスを共にプラズ
マトーチの試料供給管に供給するようにした。
（ホ）作用
標準試料溶液と被検試料溶液を別々の霧化器によって霧
化し、これら霧化した試料を同時に、または順次にプラ
ズマトーチに供給して発光させることができる。
化し、これら霧化した試料を同時に、または順次にプラ
ズマトーチに供給して発光させることができる。
（へ）実施例
第１図は本発明の一実施例を示すＩＣＰ発光分析装置の
構成を示す０本図でプラズマトーチ１は三重管で、２は
試料供給管（中心管）、３は中間管、４は外套管である
。中間管３には入口１３からプラズマ炎を構成するプラ
ズマガスが導入され、外套管４には入口１４から冷却ガ
スが導入される。これらのガスは全てアルゴンガスであ
る。５はプラズマ炎、６はプラズマ炎５にエネルギーを
供給する高周波コイル、７はプラズマトーチ１の下部に
配置した気化チェンバ、８，９はネプライザ（霧化器）
、１０．１１は夫々標準試料溶液。
構成を示す０本図でプラズマトーチ１は三重管で、２は
試料供給管（中心管）、３は中間管、４は外套管である
。中間管３には入口１３からプラズマ炎を構成するプラ
ズマガスが導入され、外套管４には入口１４から冷却ガ
スが導入される。これらのガスは全てアルゴンガスであ
る。５はプラズマ炎、６はプラズマ炎５にエネルギーを
供給する高周波コイル、７はプラズマトーチ１の下部に
配置した気化チェンバ、８，９はネプライザ（霧化器）
、１０．１１は夫々標準試料溶液。
被検試料溶液を入れる試料容器である。ネプライザ８．
９は結合部１２を貫通してチェンバ７に取付けられてい
る。
９は結合部１２を貫通してチェンバ７に取付けられてい
る。
容器１０の標準試料は例えば濃度１０ｐｐｍの溶液で、
配管２０からネプライザ８に供給され、入口２１から供
給されるキャリヤガス（アルゴンガス）と共にチェンバ
７中へ霧となって噴出される。他方、容器１１の被検試
料溶液は配管２２を介してネプライザ９に供給され、入
口２３から供給されるキャリヤガスと共にチェンバ７中
へ噴射される。これら標準試料と被検試料の噴射供給量
は同一であり、チェンバ７で混合されて気化し、試料供
給管２からプラズマトーチ１へ供給され、プラズマ炎５
に達して発光し、図示しない分光測定装置によりスペク
トルが求められる。
配管２０からネプライザ８に供給され、入口２１から供
給されるキャリヤガス（アルゴンガス）と共にチェンバ
７中へ霧となって噴出される。他方、容器１１の被検試
料溶液は配管２２を介してネプライザ９に供給され、入
口２３から供給されるキャリヤガスと共にチェンバ７中
へ噴射される。これら標準試料と被検試料の噴射供給量
は同一であり、チェンバ７で混合されて気化し、試料供
給管２からプラズマトーチ１へ供給され、プラズマ炎５
に達して発光し、図示しない分光測定装置によりスペク
トルが求められる。
本実施例では容器１０に標準試料溶液を、容器１１に被
検試料溶液を入れたが、容器１０に標準試料と第１の被
検試料の混合溶液を、容器１１に第２の被検試料溶液を
入れ、これらを順次霧化してプラズマトーチへ供給する
方法等、種々の利用方法が可能である。
検試料溶液を入れたが、容器１０に標準試料と第１の被
検試料の混合溶液を、容器１１に第２の被検試料溶液を
入れ、これらを順次霧化してプラズマトーチへ供給する
方法等、種々の利用方法が可能である。
（ト）効果
本発明によると、ＩＣＰ発光分析における内標準法の操
作が簡単になり、能率と共に精度が向上するという優れ
た効果を奏する。
作が簡単になり、能率と共に精度が向上するという優れ
た効果を奏する。
第１図は本発明のＩＣＰ発光分析装置の一実施例を示す
構成図である。 １・・・・・・プラズマトーチ ２・・・・・・試料供
給管５・・・・・・プラズマ炎 ６・・・・・・高
周波コイル７・・・・・・気化チェンバ ８，９・・
・・・・霧化器１０．１１・・・・・・試料容器
構成図である。 １・・・・・・プラズマトーチ ２・・・・・・試料供
給管５・・・・・・プラズマ炎 ６・・・・・・高
周波コイル７・・・・・・気化チェンバ ８，９・・
・・・・霧化器１０．１１・・・・・・試料容器
Claims (1)
- （１）試料溶液を霧化する複数の霧化器を備え、これら
複数の霧化器からの試料ガスを共にプラズマトーチの試
料供給管に供給するようにしたことを特徴とするＩＣＰ
発光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62318388A JPH0789102B2 (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 | Ｉｃｐ発光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62318388A JPH0789102B2 (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 | Ｉｃｐ発光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01158334A true JPH01158334A (ja) | 1989-06-21 |
| JPH0789102B2 JPH0789102B2 (ja) | 1995-09-27 |
Family
ID=18098593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62318388A Expired - Lifetime JPH0789102B2 (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 | Ｉｃｐ発光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0789102B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108732234A (zh) * | 2017-04-24 | 2018-11-02 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 等离子体发生装置 |
| GB2582948A (en) * | 2019-04-10 | 2020-10-14 | Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh | Plasma source chamber for a spectrometer |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60262045A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-25 | Hitachi Ltd | 誘導結合高周波プラズマ発光分析装置用試料導入装置 |
| JPS6184550U (ja) * | 1984-11-07 | 1986-06-04 |
-
1987
- 1987-12-16 JP JP62318388A patent/JPH0789102B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60262045A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-25 | Hitachi Ltd | 誘導結合高周波プラズマ発光分析装置用試料導入装置 |
| JPS6184550U (ja) * | 1984-11-07 | 1986-06-04 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108732234A (zh) * | 2017-04-24 | 2018-11-02 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 等离子体发生装置 |
| GB2582948A (en) * | 2019-04-10 | 2020-10-14 | Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh | Plasma source chamber for a spectrometer |
| GB2582948B (en) * | 2019-04-10 | 2021-12-08 | Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh | Plasma source chamber for a spectrometer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0789102B2 (ja) | 1995-09-27 |
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