JPH01153869A - Flat diaphragm - Google Patents
Flat diaphragmInfo
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 6
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract 1
- 229910000792 Monel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
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- Diaphragms And Bellows (AREA)
Abstract
Description
及皿五里力 Goriki Oihara
本発明は、パルプやレギュレーターなどのガスチェンバ
ーを形成するための平面ダイアフラム、とくに金属製の
それの改良に関する。
(従来の技術]
ガスの流量や圧力を調節するバルブやレギュレーターな
どのガスチェンバーに、金属製の平面ダイアフラムが使
用されている。 たとえばパルプのガス室は、第4図に
示すように、金属製の平面ダイアフラム1を精密加工し
たリップ2および7でバックアップリング3および8に
押しつけてシールすることによって形成する。 リップ
もバックアップリングも通常は金属製であって、メタル
タッチのシールである。 このシールは、多くの場合、
ダイアフラムの周辺だけでなく中央においても行なわれ
る。
リップで押しつけられバックアップリングに沈み込んだ
ダイアフラムは、シール部分の変形の彰響が全体に及び
、リップの当る面を凹側とする方向のコーン状に変形す
る傾向がある。 この変形は、第4図の場合、弁体4を
上へ移動させ、弁5と弁座6のクリアランスが製品ごと
にばらつく結果を招く。 変形したダイアフラムには、
応力が働いているため、バルブのスムーズな作動が妨げ
られ、微妙なバルブ調整が難しくなって、微小な流量や
圧力を調整するという目的を達成できない。
こうした不都合をなくすためには、ダイアフラムを変形
から防ぎ、平面に保つことが重要である。The present invention relates to improvements in planar diaphragms, especially those made of metal, for forming gas chambers in pulps, regulators, etc. (Prior art) A metal flat diaphragm is used in gas chambers such as valves and regulators that adjust the flow rate and pressure of gas. For example, the gas chamber for pulp uses a metal flat diaphragm, as shown in Figure 4. It is formed by pressing a flat diaphragm 1 with precision-machined lips 2 and 7 against backup rings 3 and 8 to form a seal. Both the lips and the backup ring are usually made of metal and are metal-touch seals. is often,
This is done not only around the periphery of the diaphragm but also in the center. When the diaphragm is pressed by the lip and sunk into the backup ring, the deformation of the seal portion affects the entire diaphragm, and the diaphragm tends to deform into a cone shape with the surface in contact with the lip concave. In the case of FIG. 4, this deformation causes the valve body 4 to move upward, causing the clearance between the valve 5 and the valve seat 6 to vary from product to product. The deformed diaphragm has
This stress prevents the valve from operating smoothly and makes delicate valve adjustments difficult, making it impossible to achieve the goal of adjusting minute flow rates and pressures. In order to eliminate these disadvantages, it is important to prevent the diaphragm from deforming and keep it flat.
本発明の目的は、ダイアフラムをバルブなどに組み込ん
だときに、そのガス圧が働く部分が平面を保てるような
ダイアフラムを提供することにある。
1皿り1虞
[問題点を解決するための手段]
本発明のダイアフラムは、第1図および第2図に示した
ように、リップとバックアップリングとでダイアフラム
をはさんでシールしガスチェンバーを形成するためのダ
イアフラムにおいて、シールする部分11A、11Bと
ガス圧の作用する部分12との間に段差13および14
を設けたことを特徴とする。
本発明のダイアフラムは、ステンレスやモネルメタルな
ど、従来の金属製ダイアフラムと同様な材料で製作する
ことができる。An object of the present invention is to provide a diaphragm whose portion on which gas pressure acts can maintain a flat surface when the diaphragm is incorporated into a valve or the like. [Means for solving the problems] The diaphragm of the present invention, as shown in FIGS. 1 and 2, seals the diaphragm by sandwiching the diaphragm between a lip and a backup ring, thereby sealing the gas chamber. In the diaphragm for forming, there are steps 13 and 14 between the parts 11A, 11B to be sealed and the part 12 on which gas pressure acts.
It is characterized by having the following. The diaphragm of the present invention can be made of materials similar to conventional metal diaphragms, such as stainless steel and Monel metal.
前記したように、従来の平面ダイアフラムは、バルブな
どに組み込んだときに、リップにおしつけられバックア
ップリングに沈み込んだ部分の変形が、そのままダイア
フラム全体に波及してコーン形に変形することが多い。
コーンはリップの当る凹側とする方向に形成される傾
向にあり、周縁シールと中央のシールのリップの方向を
同一に設定することにより、変形量を小ざくすることが
できるが、ダイアフラム内部の応力は複雑であって、作
動がスムーズにならない。
これに対して本発明のダイアフラムは、それを使用して
バルブを組み立てると、第3図に示すように、リップ2
および7でダイアフラム1をバックアップリング3およ
び8におしつけたときシール部分に生じるダイアフラム
の変形は、シール部分だけに局限され、段差13および
14をこえてガス圧の作用する部分12には及ばない。
このようにして、ガス圧の作用する部分を平面に保つ
ことができ、バルブの弁体4が上下にずれて、弁5と弁
座6のクリアランスがばらついたり、バルブの動作が固
くなったりすることがない。As mentioned above, when a conventional planar diaphragm is assembled into a valve or the like, the deformation of the portion that is forced onto the lip and sunk into the backup ring often spreads to the entire diaphragm and deforms into a cone shape. The cone tends to be formed in the direction of the concave side where the lip touches, and by setting the lip directions of the peripheral seal and the center seal to be the same, the amount of deformation can be reduced, but the amount of deformation inside the diaphragm The stress is complex and does not allow for smooth operation. In contrast, when the diaphragm of the present invention is used to assemble a valve, the lip 2
The deformation of the diaphragm that occurs in the seal portion when the diaphragm 1 is pressed onto the backup rings 3 and 8 in steps 1 and 7 is localized only to the seal portion and does not extend beyond the steps 13 and 14 to the portion 12 where gas pressure acts. In this way, the part on which the gas pressure acts can be kept flat, and the valve body 4 of the valve will shift up and down, the clearance between the valve 5 and the valve seat 6 will vary, and the operation of the valve will become stiff. Never.
超高真空ダイナミック微小流量調整バルブ(日本ファイ
ンセラミックス■製)を、第1図および第2図に示す形
状の本発明のダイアフラムを使用して組み立てた。 ダ
イアフラムは厚さ0.1mのモネルメタル製で、外径3
071111.段差高さ0゜2anである。
バルブの弁と弁座のクリアランスのばらつきは、従来の
ダイアフラムを用いた場合には±0.2Mであったが、
本発明のダイアフラムを用いたものでは±0.1711
111の範囲内に入っていた。
バルブの動作を調べたところ、本発明のダイアフラムを
使用したものはすべてスムーズに作動した。
発明の効果
本発明のダイアフラムは、バルブなどに組み込んだとき
、ガス圧の作用する部分を平面に保つことができるため
、製品のばらつきが小さく、動作のスムーズな製品が得
られ、良品の歩留りを高めることができる。
従って本発明のダイアフラムは、例に示した微少流量調
節バルブのほか、レギュレーター、圧力スイッチ、圧力
センサーなど、メタルタッチのガスシールを行なってい
る種々の機器に使用できる。An ultra-high vacuum dynamic minute flow control valve (manufactured by Nippon Fine Ceramics ■) was assembled using the diaphragm of the present invention having the shape shown in FIGS. 1 and 2. The diaphragm is made of Monel metal with a thickness of 0.1 m and an outer diameter of 3
071111. The step height is 0°2an. The variation in the clearance between the valve and the valve seat was ±0.2M when using a conventional diaphragm, but
±0.1711 using the diaphragm of the present invention
It was within the range of 111. When the operation of the valves was examined, all valves using the diaphragm of the present invention operated smoothly. Effects of the Invention When the diaphragm of the present invention is incorporated into a valve, etc., the part on which gas pressure acts can be kept flat, resulting in products with less variation, smooth operation, and a higher yield of good products. can be increased. Therefore, the diaphragm of the present invention can be used not only in the minute flow control valve shown in the example, but also in various devices that provide metal-touch gas sealing, such as regulators, pressure switches, and pressure sensors.
第1図および第2図は、本発明のダイアフラムの一例を
示すものであって、第1図は平面図、第2図は中心を通
る断面図である。
第3図は、本発明のダイアフラムを使用した微少流量調
節バルブの縦断面図である。
第4図は、従来のダイアフラムを使用した場合に起りが
ちなダイアフラムの変形を概念的に示す、バルブのガス
室の縦断面図である。
1・・・ダイアフラム
11A、11B・・・シール部分
12・・・ガス圧の作用する部分
13・・・段差
2・・・リップ 3・・・バックアップリン
グ4・・・弁 体 5・・・弁6・・・弁
座
特許出願人 西 沢 潤 −
同 日揮株式会社
代理人 弁理士 須 賀 総 夫
第1図
第3図
第4図1 and 2 show an example of the diaphragm of the present invention, with FIG. 1 being a plan view and FIG. 2 being a sectional view passing through the center. FIG. 3 is a longitudinal cross-sectional view of a minute flow control valve using the diaphragm of the present invention. FIG. 4 is a longitudinal sectional view of the gas chamber of the valve, conceptually showing the deformation of the diaphragm that tends to occur when a conventional diaphragm is used. 1...Diaphragm 11A, 11B...Seal part 12...Part where gas pressure acts 13...Step 2...Lip 3...Backup ring 4...Valve body 5...Valve 6... Valve
Patent Applicant Jun Nishizawa - JGC Corporation Representative Patent Attorney Souo Suga Figure 1 Figure 3 Figure 4
Claims (2)
はさんでシールしガスチェンバーを形成するためのダイ
アフラムにおいて、シールする部分とガス圧の作用する
部分との間に段差を設けたことを特徴とする平面ダイア
フラム。(1) In a diaphragm for forming a gas chamber by sandwiching and sealing the diaphragm between a lip and a backup ring, a flat surface characterized by providing a step between the sealing part and the part on which gas pressure acts. diaphragm.
用する特許請求の範囲第1項の平面ダイアフラム。(2) The planar diaphragm according to claim 1, which is used to form a gas chamber of a minute flow control valve.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62311435A JPH0830536B2 (en) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | Flat diaphragm |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62311435A JPH0830536B2 (en) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | Flat diaphragm |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01153869A true JPH01153869A (en) | 1989-06-16 |
JPH0830536B2 JPH0830536B2 (en) | 1996-03-27 |
Family
ID=18017178
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62311435A Expired - Fee Related JPH0830536B2 (en) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | Flat diaphragm |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0830536B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015203486A (en) * | 2014-04-16 | 2015-11-16 | 株式会社 幸田 | Diaphragm type valve |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5294963A (en) * | 1976-02-03 | 1977-08-10 | Smiths Industries Ltd | Pressure sensitive diaphragm |
JPS63102137U (en) * | 1986-12-23 | 1988-07-02 |
-
1987
- 1987-12-09 JP JP62311435A patent/JPH0830536B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5294963A (en) * | 1976-02-03 | 1977-08-10 | Smiths Industries Ltd | Pressure sensitive diaphragm |
JPS63102137U (en) * | 1986-12-23 | 1988-07-02 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015203486A (en) * | 2014-04-16 | 2015-11-16 | 株式会社 幸田 | Diaphragm type valve |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0830536B2 (en) | 1996-03-27 |
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