JPH01143788A - 真空容器の製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ステンレス鋼およびガラスを用いて形成され
る高真空容器（または真空管）をアルミニウム材をもっ
て閉塞して製造する方法に関する。

［従来の技術］ 従来から、ステンレス鋼をもって形成される容器体にア
ルミニウム材を接合して閉塞する場合には、通常の溶接
操作が採用できないので、例えば、ステンレス鋼とアル
ミニウム材との間にＳｌ系コンパウンドを介在させて加
熱、加圧して結合する方法が採られている。ところが、
この方法では結合状態が弱く、耐久性に劣る問題がある
。

そこで、本出願人はさきに、■ステンレス鋼を純ＡＩも
しくはＡｌ−３１合金溶湯に浸漬後あるいはＡｇメツキ
かＳｎメツキを施した後、真空ろう併用アルミニウムブ
レージング材と真空ロウ付する方法、■ステンレス鋼を
純Ａ１がＡｌ−５＋合金溶湯に浸漬後あるいはＡｇメツ
キかＳｎメツキ後、不活性ガス（非酸化性）雰囲気ろう
併用アルミニウムブレージング材と不活性ガス雰囲気ろ
う付する方法、■ステンレス鋼にＮｉメツキ後、アルミ
ニウムブレージング材を介在させてアルミニウム材とろ
う付接合する方法（特開昭６１−２５３１６０号）、を
開発した。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記■の方法の場合、Ａｇメツキ品はＡ
ｇ層が多孔質であり、ガスを吸収し易いので、真空引き
（シーズニング）に長時間を要し、又、品質上からも好
ましくない。又、■の方法の場合、Ｓｎメッキ品は、ろ
う何時Ｓｎが溶けて外観を損なう欠点がある。又、ｌｏ
−６〜１Ｏ−ＩＴｏｒｒ程度の高真空度に耐える容器を
得ることはむずかしい。さらに■の方法はメツキ条件の
設定に格別の配慮をする必要がある。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので
、ステンレス鋼をもって形成される容器体の開口部をア
ルミニウム材で閉塞する方法において、容器体の少なく
とも開口端にＴＩまたはＴｉＮのイオンプレーティング
層を設けるとともに、容器体とアルミニウム材との間に
アルミニウムブレージング材を介在させて、両者をろう
付接合することを特徴とする真空容器の製造法である。

本発明に用いる容器はステンレス鋼製のものか、アルミ
ニウム材で閉塞する側はステンレス鋼で他の側はガラス
で形成し、中間部で両者を結合したものでもよい。かか
る容器体の開口部をアルミニウム材で閉塞する理由は、
ガラス材を用いると板厚が不均一になり、Ｘ線の透過に
ムラができるため、大型のものができないが、アルミニ
ウム材を用いると板厚が均一で、かつＸ線の透過率が大
きいため、Ｘ線源の出力を小さくできる。また、同一線
源ならば、アルミニウム材の方がガラス材よりも解像力
が上がる。

例えば、ガラス材の場合の解像度５０〜７０％に対して
、アルミニウム材の場合は８０〜９０％となる。

ＴＩまたはＴｉＮのイオンプレーティングを施すことに
より、膜厚のばらつきが少なく、ろう付は後信頼性の高
い高強度の接合部分が得られる。−例を挙げると本発明
によって得られた開口部の引張剪断力は３５１〜３７７
ｋｇであり、アルミニウム材の方が破断した。なお、こ
のイオンプレーティング層の厚さは０．５〜１０μの範
囲が望ましい。

又、アルミニウム材としてはアルミニウム合金材をも含
む。

ろう付方法は真空または不活性雰囲気ろう付が用いられ
る。

ブレージング材におけるクラツド材（ろう材）は、上記
ろう付は雰囲気が真空か不活性ガスかによって、それぞ
れの雰囲気に適したろう材として従来から知られている
ものが、ステンレス鋼との接合面に少なくとも位置せし
められるように用いられる。真空ろう併用ろう材として
は、ＡＩ　−３ｌ　−０，２〜３％Ｍｇ系（必要に応じ
てＢｉ添加）のものがあり、例えばＢ　Ａ　４００３．
４００４．４００５、ＢＡ４ＮＯ４等がこれに含まれ、
又、不活性ガス雰囲気ろう併用ろう材としては、ＡＩ　
−Ｓｌ　−Ｂｅ　、Ｂｉ系（場合によりＭｇが添加され
る）のもの等が用いられることとなる。

そしてこれらのろう材は、通常の方法にしたがって、Ａ
Ｉ材料にクラッドせしめられ、プレージングシートの形
態にて、ステンレス鋼に対して適用される。

［実施例］ 以下、実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は、本発明で製造された真空容器の断面図で、■
は半球板状のアルミニウム材で、２はブレージング材、
３はＴＩ又はＴｉＮのイオンフレーティング層の設けら
れたステンレス鋼のフランジ、４はステンレス鋼の胴体
で、３と４とでステンレス鋼の容器体を形成する。５は
真空排気弁である。第２図は他の実施例で製造されたも
ので、第１図と相違する点は容器体の下半分がガラス６
でつくられ、これをステンレス鋼の胴体４と接合したも
のである。

第３図は主要部のろう付前の拡大断面図を示し、２１は
ブレージング材の心材、２２は同じくクラツド材、３１
はＴｉ又はＴｉＮイオンプレーティング層である。

材質としては、ステンレス鋼（３，４）が５ＵＳ３０４
、アルミニウム材ｌがＡ　３００３、ブレージング材２
に心材２１はＡ　３００３、又同じくクラツド材２２は
、真空ろう付の場合はＡｌ−１０９６Ｓｌ−１，５％Ｍ
ｇ１又、不活性ガスろう付の場合は、Ａｌ−１０％５ｌ
−Ｂｅ、Ｂｉ系を用いた。

ステンレス鋼のフランジ８の表面にはイオンプレーティ
ングして２μのＴＩ又はＴｉＮ層３１が形成しである。

この時、容器内部側にはマスキングにより、Ｔｌ又はＴ
ｉＮ層を形成させない方がガス放出の少ない容器ができ
る。

又、ステンレス鋼材の板厚は１．５１１１％ア／Ｉ＜ミ
ニラム材の板厚は１ｍｓである。

第４図はろう付時の状態を示し、７は上治具、８は下治
具、９は締付用ボルト、ｌＯは同ナツト、１１は締付力
調整用バネをそれぞれ示し、ステンレス鋼のフランジ３
とアルミニウム材ｌとをブレージング材２を介挿して挾
持してなる。かかる組立体を真空雰囲気あるいは不活性
ガス雰囲気中で加熱し、ろう付接合する。

第５図はろう付後の断面を示し、２３はろう付フィレッ
トである。

その後、フランジ３と胴体４とをＴＩＧ溶接し、胴体４
と真空排気弁５とはコバル等で結合、加熱真空引きをし
て真空容器を得る。

［発明の効果］ 本発明は、ステンレス鋼とアルミニウム材とをプレージ
ングシートを介してろう付接合するに当り、ステンレス
鋼にＴＩまたはＴＩ　Ｎのイオンプレーティング層を施
すが、かかるイオンプレーティング層は膜厚のばらつき
が少なく、ろう材と均一で強固な接合が得られるので、
強度的にすぐれたものとなる。囚に、ＴＩまたはＴｉＮ
のイオンプレーティング層を施さないでろう付けしたも
のの接合部の引張剪断力は５０〜１７０ｋｇで、破断部
はろう付は部であったが、本発明で得た容器の接合部の
引張剪断力は８５１〜３７７ｋｇで破断部はアルミニウ
ム材部であった。

さらに、本発明で得た容器は１Ｏ−７〜ｔＯ−ａＴ　ｏ
ｒｒの高真空度に耐えるものであった。

本発明製品はこのような特性をもつため、Ｘ線受信管な
どの電子管等に応用し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明で得られる真空容器の断面図、第２図は
同じく他の例の断面図、第３図は主要部のろう付前の状
態の断面図、第４図はろう付時の状態を説明する断面図
、第５図はろう付後の状態を示す断面図をそれぞれ示す
。 １・・・アルミニウム材、２・・・ブレージング材、３
・・・フランジ、４・・・胴体、５・・・真空排気弁、
６・・・ガラス、７・・・・・・上治具、８・・・下治
具、９・・・締付用ボルト、１０・・・同ナツト、１１
・・・締付カニｉＪ！！Ａ用バネ、２１・・・心材（ブ
レージング材の）、２２・・・クラツド材（〃）、 ２３・・・ろう付はフィレット、 ３１・・・ＴＩ　　（またはＴＩ　Ｎ）イオンプレーテ
ィング層。 特許出願人　住友軽金属工業株式会社 代理人　弁理士　小　松　秀　岳 代理人　弁理士　旭　　　　　宏

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ステンレス鋼をもって形成される容器体の開■部をアル
   ミニウム材で閉塞する方法において、容器体の少なくと
   も開口端にＴｉまたはＴｉＮのイオンプレーティング層
   を設けるとともに、容器体とアルミニウム材との間にア
   ルミニウムブレージング材を介在させて、両者をろう付
   接合することを特徴とする真空容器の製造法。