JPH01142575A

JPH01142575A - Developing device

Info

Publication number: JPH01142575A
Application number: JP62299666A
Authority: JP
Inventors: Toshimasa Takano; 高野　敏正; Kaoru Oshima; 大島　薫; Mutsuki Yamazaki; 六月山崎
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1987-11-30
Filing date: 1987-11-30
Publication date: 1989-06-05

Abstract

PURPOSE:To decrease driving torque and to obtain sufficient electrostatic charge even with various toners without generating the wear of a coating blade by covering a developing roller and the coating blade with specific ceramics. CONSTITUTION:The coating blade constituted by coating the ceramics 53b contg. atoms of at least one of aluminum, boron and carbon on the surface thereof is used as the coating blade 53. The developing roller constituted by coating the ceramics 47b contg. atoms of at least one of silicon and germanium on the surface thereof is used as the developing roller 47. The wear of the coating blade and the developing roller is thereby prevented and the deterioration in images such as fogging and thinning by the deficiency of the electrostatic charge of the toner is prevented even after long-period use. In addition, the stain in the body by the splashing toner is prevented and the driving torque of the developing roller is decreased. The optimum electric charge is applied to the toner according to the characteristics of the toner to be used. The image quality is thus improved.

Description

[Detailed description of the invention]

〔発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明は複写機やレーザービームプリンタ等画像形成装
置において、−成分現像剤を保持する現像剤保持体によ
り像担持体上の静電潜像の現像を行なう現像装置の・改
良に関する。（従来の技術）一般に、電子複写装置等の画像形成装置における現像装
置には、像担持体である感光体上に形成された静電潜像
を可視化するための現像処理手段として１例えば二成分
あるいは磁性−成分現像剤を用いるものが知られている
。ところが、上記した二成分の現像処理手段では、現像剤
であるトナーとキャリアとの濃度比の正確なコントロー
ルが必要であり、一方、磁性−成分の現像処理手段では
、トナーが磁性体を含んでいることから、カラー化が困
難であるなどの不都合を有するばかりでなく、いずれの
現像処理手段にあっても、現像剤保持体である現像ロー
ラとしてマグネットローラを必要とするため、コスト的
に非常に高価なものとなっている。そこで、上記のような不具合を解消するものとして、最
近、非磁性の一成分現像剤を用いた現像処理手段が提案
されている。即ちこの装置は、第８図に示す様に非磁性−成分のトナ
ー（２０）を収容する現像容器本体であるホッパー（２
１）内に、現像剤搬送部材であるミキサー（２３）及び
、トナー供給ローラ（２４）を設け、ミキサー（２３）
及びトナー供給ローラ（２４）の回転作用により、現像
剤保持体でありアルミニウムローラ上に無電解ニッケル
（Ｎｉ）メツキが成される現像ローラ（２６）にトナー
（２０）を供給すると共に、この現像ローラ（２６）の
外周に薄層化規制部材であり、厚さ約０．５〔■〕のス
テンレス製（ＳＯ３３０４）のコーティングブレード（
２７）を当接させるものである。そしてこれによりコー
ティングブレード（２７）及び現像ローラ（２６）の接
触部を通り抜けたトナー（２０）は、現像ローラ（２６
）上に厚さ約３０〔μｍ〕の薄膜層状にコーティングさ
れ、現像ローラ（２６）に間隙［Ｇ］で近接対向される
像担持体である感光体（２８）上の静電潜像を現像する
ようになっている。しかしながら、このような装置にあっては、トナー（２
０）が、現像ローラ（２６）及びコーティングブレード
（２７）との間の摩擦帯電により帯電され、更に、トナ
ー（２０）と現像ローラ（２６）相互の静電引力により
、現像ローラ（２６）の回転に連れて回転搬送される事
から、非常に簡単な構造でしかもマグネットローラを必
要とする事無く、コスト面でも有利でカラー化にも適し
てはいるものの、長時間使用する間にトナー（２０）及
び現像ローラ（２６）との摩擦により、コーティングブ
レード（２７）が摩耗してしまい、現像ローラ（２６）
への押圧が不充分となり、トナー（２０）は充分な摩擦
帯電を得られず、現像濃度が低下し、地かぶりや文字の
かすれ、あるいは画像濃度の不均一により画質の劣下を
生じたり。更には未帯電トナーが現像ローラ（２６）上から飛散し
１本体内部を汚損するという問題を有すると共に、その
材質上、コーティングブレード（２７）とトナー（２０
）及び現像ローラ（２６）との摩擦係数が大きく、現像
装置の疑動トルクが増大されるという問題も有している
。しかも、この様な装置において、感光体（２８）として
、一般に良く使用される負帯電用オーガニックフォトコ
ンダクタ−（以下ＯＰＣと称す。）を用いた場合、トナ
ー（２０）は正極性に帯電するものが要求されるが、通
常樹脂やカーボンあるいはシリカ等の、トナー（２０）
を構成する物質は、金属との摩擦帯電時にあっては正極
性に帯電しにくいという特性を有している。このため二
成分現像剤にあってはキャリアをテフロンコートする等
によりトナーの正極性の帯電を助長するという手段が取
られることもあるが、−成分トナーにあってはこの様な
手段を取る事が出来ず、均一かつ充分に正帯電されたト
ナー層を得にくいという問題も有している。即ち、この様な装置において、カラー化等装置の多様化
に伴い、種々特性の異る感光体（２８）が使用されると
、トナー（２０）もこれに適したものが使用される事と
なるが、これに対し、現像ローラ（２６）及びコーティ
ングブレード（２７）は通常同じものが使用され、トナ
ー（２０）によっては充分な帯電々荷を得られず、帯電
不足になったり、あるいは逆に異常に帯電し過ぎたりし
て、画質の劣下を招いている。（発明が解決しようとする問題点）従来は、現像ローラとの摩擦によるコーティングブレー
ドの摩耗によりトナーの帯電不足を生じたり、あるいは
現像ローラやコーティングブレードがトナーの特性に適
しておらず、トナーの帯電不足あるいは帯電のし過ぎを
招き、ひいては画質の劣下を生じたり、周囲を汚損する
と共に、摩擦係数が大きい事から現像装置の駆動トルク
が増大されるという欠点を有している。そこで本発明は
上記欠点を除去するもので、駆動トルクの縮小を図ると
共に、コーティングブレードの摩耗を生じる事無く、し
かも種々のトナーにあっても充分な帯電を得る事が出来
、長時間の使用にかかわらず、地かぶりや画質濃度の不
均一による画質の劣下を防止し、更にはトナー飛散によ
る本体内部の汚損を防止する事が出来る現像装置を提供
する事を目的とする。〔発明の構成〕（問題点を解決するための手段）本発明は上記問題点を解決するためにコーティングブレ
ードとして、その表面に、アルミニウム〔Ａｌ〕、硼素
〔Ｂ〕、炭素〔Ｃ〕のうち少なくとも１つの原子を含有
する第１のセラミックスをコーティングしたものを用い
、更に現像ローラとして、その表面にシリコン〔Ｓｉ〕
、ゲルマニウム（Ｇｅ）の少なくとも１つの原子を含有
する第２のセラミックスをコーティングしたものを用い
るものである。（作　用）本発明は上記手段によりコーティングブレード更には現
像ローラの摩耗を防止し、長時間の使用によっても、ト
ナーの帯電不足による地かぶりやかすれ等の画像の劣下
を防止すると共に、飛散トナーによる本体内の汚損防止
を図る一方、現像ローラの駆動トルクを軽減し、更には
、使用するトナーの特性に応じて最適な電荷付与を行な
い画質の向上を図るものである。（実施例）以下本発明の一実施例を第１図ないし第６図を参照しな
がら説明する。画像形成装置本体（２９）内の負極性Ｏ
ＰＣからなる像担持体である感光体（３０）周囲には感
光体（３０）表面を約−６００（Ｖ）に帯電する帯電装
置（３１）、画像情報を照射する露光位置（３２）、現
像袋ａ　（３３）、転写チャージャ（３４）、クリーニ
ング装置（３６）、除電ランプ（３７）が設けられてい
る。また、画像形成装置本体（２９）内の上部側には原稿を
露光する光学系（３８）が設けられるとともに、下部側
には給紙カセット（４０）が装着されている。更に給紙
カセット（４０）より排紙トレイ（４１）に至る搬送路
（４２）中には、レジストローラ（４３）、定着器（４
４）、および排紙ローラ（４６）が設けられている。次に上記現像装置（３３）について詳述する。現像装置
（３３）にあっては、アルミニウム〔Ａ１〕のローラ（
４７ａ）表面を、サンドブラストで表面粗さ約３．０〔
μｍＲｚ）となるように表面処理し、更に後述するプラ
ズマＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｖａｐｏｒ　Ｄｅｐｏ
ｓｉｔｉｏｎの略）装置（８０）により、第２のセラミ
ックスである非晶質シリコン（以下（ａ−Ｓｉ）と称す
。）の被膜を約２〔μｍ〕コーティングした第２の表面
ＮＪ（４７ｂ）を有する現像剤保持体である現像ローラ
（４７）が、感光体（３０）と約２５０〔μｍ〕の間隙
を介するよう設けられている。この現像ローラ（４７）には、周波数２　（ｋ）Ｉｚ）
、実効値が６７０　（Ｖ）のＡＣ電圧と、−２００（Ｖ
）　（７）　ＤＣ電圧との重ね合わせ、電圧が印加され
ており、図示しない駆動手段により、感光体（３０）の
１〜３倍の周速で回転可能とされている。又、現像装置（３３）の筐体（３３ａ）内には、磁性粉
を１０（重量％〕金含有る、現像剤である正帯電非磁性
−成分のトナー（４８）が収容されると共に、ミキサー
（ＳＯ）、　トナー供給ローラ（５１）が配設されてい
る。更に現像装置（３３）内には、上端部がホルダ（５
２）により保持され、下端部が現像ローラ（４７）に当
接され、トナー（４８）を薄層化し、現像ローラ（４７
）にコーティングするための薄層化規制部材であり、ス
テンレス［ＳＵＳ　３０４］製の厚さ約０．５［ｍ＋＋
＋］のブレード（５３ａ）表面に、後述するプラズマＣ
ＶＤ装置（５６）により、第１のセラミックスである酸
化アルミニウム（Ａ１２０．）の被膜を約２〔μｍ〕コ
ーティングした第１の表面層（５３ｂ）を有するコーテ
ィングブレード（５３）　、及び現像後にトナー（４８
）を回収するよう現像ローラ（４７）に当接される回収
ブレード（５４）が設けられている。尚１次にコーティングブレード（５３）への酸化アルミ
ニウム（ｏｚｏａ）のコーティング、及び現像ローラ（
４７）への（ａ−５ｉ）のコーティングについて詳述す
る。先ず、コーティングブレード（５３）にあっては第
４図に示すようにプラズマＣＶＤ装置（５６）の真空チ
ャンバー（５７）内にはヒータ（５８）を内蔵する平板
状の接地電極（６０）と、マツチングボックス（６１）
を介し、周波数１３．５６（Ｍｌｌｚ）の高周波電源（
６２）より電圧が印加される高周波電極（６３）が対向
して設置されている。又、真空チャンバー（５７）には
１図示しないガス供給系よりトリメチルアルミニウム（
Ａｔ（ｃｏｗ）ａ）やオゾン〔０３〕等の必要とするガ
スを導入するガス導入管（６５）及び排気を行なう排気
管（６４）が設けられている。そして先ずブレード（５
３ａ）を機械的に加工製造した後、真空チャンバー（５
７）内の接地電極（６０）上にセットし、真空チャンバ
ー（５７）内を一担約１０−’　（Ｔｏｒｒ）に排気す
ると共に、膜の密着性を良くするよう、ヒータ（５８）
によりブレード（５３ａ）を約３００〜５ｏｏ（”ｃ）
に加熱する。そしてガス導入管（６５）を介しガス供給
系（図示せず）により、トリメチルアルミニウム（Ａｌ
（ＣＨ３）３）　　を３０（ＳＣＣＭ）、オゾン〔０，
〕　を１００（ＳＣＣＩ’り、水素〔Ｈ２〕を１０１０
００（ＳＣＣの流量で真空チャンバー（５７）に導入し
、真空チャンバー（５７）内を約１　（Ｔｏｒｒ）に保
持する。次いで高周波電源（６２）により高周波電極（６３）に
４００（Ｉｔ）の高周波電力を約３０〔分〕印加し、ブ
レード（５３ａ）上に厚さ約２〔μ■〕の酸化アルミニ
ウム（Ａ１２０３）の第１の表面層（５３ｂ）をコーテ
ィングし、コーティングブレード（５３）の形成を終了
する。次に現像ローラ（４７）にあっては、第５図及び第６図
に示すように、プラズマＣＶＤ装置（８０）の反応室（
８１）には、その下端に複数個の排気口（８２）が設け
られた底部部材（８３）が絶縁体（８４）を介して取付
けられている。反応室（８１）は、メカニカルブースタ
ポンプ及び油回転ポンプ（図示せず）等により排気口（
８２）を介して排気され、約ｌ０−３トルの真空度に保
持されるようになっている。反応室（８１）内には、ガ
ス導入口（８５）を介して種々の原料ガスが導入される
。反応室（８１）の上方には、絶縁体（８６）を介して収
納室（８７）が設置されており、収納室（８７）は絶縁
体（８６）により反応室（８１）と電気的に絶縁されて
いる。また、収納室（８７）は反応室（８１）と仕切板（８８
）により仕切られている。仕切板（８８）には、複数個
の支持ロッド（８９）がその長手方向を鉛直にして挿通
されている。各ロッド（８９）には、カラー（９０）が
嵌合されてロッド（８９）に固定されており、カラー（
９０）が仕切板（８８）に係止されることにより、ロッ
ド（８９）が抜は落ちないようになっている。ロッド（
８９）の上端部には、駆動手段のギア（９２）が嵌合さ
れており、その下方にてロッド（８９）に嵌合して固定
された押え（９１）により、ギア（９２）がロッド（８
９）に支持されている。各ギア（９２）は隣接するもの
同士が相互に噛合しており、駆動装置により中央のギア
が回転駆動されると、全てのギア（９２）が回転し、支
持ロッド（８９）が回転するようになっている。各支持ロッド（８９）の下端部には、雌ネジ（図示せず
）が形成されており、ローラ（４７ａ）の上端部には、
雄ネジ（図示せず）が形成されている。成膜すべきロー
ラ（４７ａ）の上端部には、雄ネジ（図示せず）が形成
されていて、ローラ（４７ａ）と支持ロッド（８９）と
を螺合することにより、ローラ（４７ａ）がロッド（８
９）に取り付けられる。駆動装置（９４）が収納室（８
７）の上方に設けられており、この駆動装置（９４）の
駆動によりギア（９２）が回転すると、ローラ（４７ａ
）はその軸を回転中心として回転する。第６図に示すように、ローラ（４７ａ）は、反応室（８
１）内にその実質的に中央にて一列に配列するように配
設されている。そして、この支持体列を挟むようにして
、その両側に、一対の平板状の電極（９５）　、　（９
６）が対設されている。電極（９５）　、　（９６）に
は、多数の孔が開設されており、ガス導入口（８５）を
介して反応室（８１）に導入されたガスはこの孔を介し
て反応室（８１）の中心部に供給される。電極（９５）
。（９６）は反応室（８１）と同一の電位になるように反
応室（８１）に取り付けられている。そして、この電極
（９５）　、　（９６）は、マツチングボックス（９７
）を介して高周波電源（９８）に接続されている。そして反応室（８１）内の支持ロッド（８９）に複数個
のローラ（４７ａ）を取り付けた後、駆動装置（９４）
によりローラ（４７ａ）を適宜の速度で自転させると共
に１反応室（８１）内を約ＩＰ”　（Ｔｏｒｒ）に排気
し、更に排気を継続しつつ、ガス導入口（８５）を介し
てシランガス〔ＳｉＨ４〕　を１０１００ＥＳＣＣ導入
し、反応室（８１）内を約１　［Ｔｏｒｒ］に保持する
０次いでマツチングボックス（９７）を介して高周波電
源（９８）から１ｏｏ（ｗ）の高周波電力を電極（９５
）　、　（９６）に印加する。これにより、電極（９５
）、　（９６）間に生起されるプラズマにより、ローラ
（４７ａ）上に１ｏ１０（Ωｃ鳳）　ｉ型の（ａ−３Ｌ
）の第２の表面層（４７ｂ）が約２〔μｍ〕の厚さで均
一にコーティングされ現像ローラ（４７）の形成を終了
する。次に上記現像ローラ（４７）及びコーティングブレード
（５３）を有する本発明の現像装置！（３３）による作
用について述べる。コピーが開始されると、感光体（３
０）が矢印Ｘ方向に回転されると共に各画像形成手段が
作動され、感光体（３０）表面は帯電装置（３１）によ
り一様に−６００（Ｖ）に帯電される０次いで光学系（
３８）により露光位置（３２）で露光され、感光体（３
０）上には静電潜像が形成され現像装置（３３）に達す
る。一方この時現像装置（３３）にあってはＡＣ６７０
（Ｖ）とＤＣ−２００（Ｖ）ノ重ね合わせ電圧が印加さ
れる現像ローラ（４７）が、感光体（３０）の周速とほ
ぼ等速となるよう矢印ｙ方向の回転されており、トナー
（４８）は、感光体（３０）及びコーティングブレード
（５３）との摩擦により正帯電され、現像ローラ（４７
）表面に静電的に吸着し、感光体（３０）に対向する位
置に搬送され静電潜像の現像を行なう事となる。そして
現像ローラ（４７）上に残留したトナー（４８）は回収
ブレード（５４）を介して現像装置（３３）内に回収さ
れる。一方転写位置にあっては、感光体（３０）上のト
ナー像と同期して給紙カセット（４０）から用紙（図示
せず）が供給されており、転写チャージャにより、トナ
ー像が用紙に転写される。この後、用紙は搬送路（４２
）に沿って定着器（４４）へと搬送され、ここで定着さ
れた後、排紙ローラ（４６）を介して排紙トレイ（４１
）に排出される。又、転写後。感光体（３０）はクリーニング装置（３６）、除電ラン
プ（３７）を経て次のコピー可能とされる。そして以上
のようなコピーサイクルを繰り返えす事により。必要な枚数のコピーを得る事となる６尚この様にしてコ
ーティングブレード（５３）に２．０（ｋｇ）の線荷重
をかけて１０（方杖〕のテストコピーを行なったところ
、ステンレス（ＳＵＳ　３０４）のみからなる従来のコ
ーチインブレード及びサンドブラストで粗したアルミニ
ウムローラ上に無電解ニッケル（Ｎｉ）メツキが施され
る従来の現像ローラを用いた装置にあっては、現像ロー
ラとの接触部においてコーティングブレードが約２〔μ
簡〕削れ、線荷重の減少により現像ローラ上のトナー搬
送量が低下し、充分な画像濃度が得られなかったのに対
し、本実施例のコーティングブレード（５３）の現像ロ
ーラ（４７）との接触部分は削られる事態＜、１０［方
杖］以後のコピーにおいても画像濃度が低下されずに、
良好な画像が得られた。又、このテストコピーにおいて
、コーティングブレードに２．０（ｋｇ）の線荷重をか
けた時、従来のステンレス製コーティングブレード及び
アルミニウムローラ上に無電解ニッケルメッキが施され
る現像ローラを使用した場合、現像ローラの駆動トルク
が２　、５　（ｋｇ　ａｍ　）であったのに対し１本実
施例の酸化アルミニウム（Ａ１２０ｍ）の第１の表面層
（５３ｂ）をコーティングしたコーティングブレード（
５３）及び（ａ−５ｉ）の第２の表面層（４７ｂ　）を
コーティングした現像ローラ（４７）を使用した場合は
、現像ローラ（４７）の駆動トルクは１．８（ｋｇｃｎ
）となり、コーティングブレード（５３）に酸化アルミ
ニウム（Ａｌ□Ｏ３〕の第１の表面層（５３ｂ）をコー
ティングし、ＴＲ像ローラ（４７）に（ａ−５ｉ）の第
２の表面層（４７ｂ）をコーティングする事により、現
像ローラの駆動トルクはかなり軽減される事が判明した
。更にこの実施例において、現像装置（３３）内の現像剤
のみを、スチレン−アクリル樹脂にカーボン〔Ｃ〕を４
〔重量％〕、その他添加剤を４〔重量％〕混入してなる
正帯電非磁性−成分のトナーと交換して、その摩擦帯電
を行なったところ、従来のステンレス製のコーティング
ブレード及びアルミニウムローラに無電解ニッケルメッ
キを施した現像ローラを使用した場合、帯電量は＋１０
〔μＣ／ｇ）でありコビー像に地かぶりが見られたのに
対して、トナーの帯電量は＋１２（μＣ／ｇ）まで増加
され、コピー像も地かぶりを生じる事無く良好であった
。この様に構成すれば、コーティングブレード（５３）は
、耐摩耗性にすぐれた酸化アルミニウム（Ａ１２０３）
の第１の表面層（５３ｂ）を有する事から、その長時間
の使用によっても、現像ローラ（４７）との摩擦により
削られ変形する事が無く、常に現像ローラ（４７）に対
して一定の線荷重をかける事が出来、トナー（４８）に
充分な帯電々荷を付与出来、現像時。地かぶりや濃度の不均一を生じる事無く良好な画像を得
られ、しかも飛散トナーを生じる事も無く、本体内のト
ナーによる汚損も防止される。又、従来のコーティング
ブレード及び現像ローラに比し、コーティングブレード
（５３）及び現像ローラ（４７）の摩擦係数が小さく、
ひいては現像ローラ（４７）の闘動トルクを軽減出来、
その駆動源の小型軽量化の促進を図れる。更にコーティングブレード（５３）の第１の表面層（５
３ｂ）を形成する酸化アルミニウム（Ａｌ□０３〕が絶
縁性を有すると共に現像ローラ（４７）表面の（ａ−Ｓ
ｉ）も高抵抗である事から、従来のステンレス製のコー
ティングブレード及び無電解ニッケルメッキを施した現
像ローラに比し、トナーの帯電量を向上する事が出来、
ひいては帯電しにくいトナーを用いた場合にも充分な帯
電を得られ、地かぶりや、かすれ等を生じる事無く画質
の向上が図られる。尚１本発明は上記実施例と限定されず種々設計変更可能
であり、例えば薄層化規制部材の表面にコーティングさ
れる第１のセラミックスは、アルミニウム（Ａｌ〕、硼
素（Ｂ）、炭素〔Ｃ〕原子のうち少なくても１つを含有
するものであれば、その材質は限定されないし、又、現
像剤保持体の表面にコーティングされる第２のセラミッ
クスも、シリコン（Ｓｉ）あるいはゲルマニウム〔Ｇｅ
〕のうち少なくとも１゛つの原子を含有するものであれ
ば、材質は限定されず、第１のセラミックスの代表的な
もの及びその成膜条件を〔表・１〕に示すと共に、第２
のセラミックスの代表的なもの及びその成膜条件〔表・
２〕■ないし〔表・２〕■に示す、但し、第２のセラミ
ックスのうちゲルマニウム（Ｇｅ）を含有するものはシ
リコン（Ｓｉ〕を含有するものに比し、機械的強度が少
し劣ると共に、光学的バンドギャップ及び比抵抗は小さ
くなる。（以下余白）但しセラミックスは他の物でも良いし、使用ガスも、ア
ルミニウム原子を含有するセラミックスを成形するため
、トリエチルアルミニウム（Ａｘ（ｃ、ｕｓ）３）　、
炭素原子を含有するセラミックス形成のため、エチレン
（ｃｚ　Ｈ，）、アセチ１：”　（ｃｚ　Ｂ２　）、硼
素原子を含有するセラミックス形成のため、３７フ化硼
素（ＢＦ、）　、３塩化硼素（ＢＣＩ、　）等であって
も良く、シリコン（Ｓｉ）あるいはゲルマニウム（Ｇｅ
）含有ガスも任意であり、その他圧力や温度等、成膜条
件も任意である。更に第２のセラミックスは、非晶質の
もののみで無く、シリコン（Ｓｉ）あるいはゲルマニウ
ム〔Ｇｅ〕を含有する多結晶あるいは微結晶のセラミッ
クス等であっても良い。又、実施例のプラズマＣＶＤ装置（５６）　、　（８０
）により形成される第１及び第２のセラミックスにあっ
ては、使用ガスに応じて、例えばジボランガス（Ｂ２　
Ｈ，）を用いた場合は水素（Ｈ）元素が、又３フツ化硼
素（ＢＦ、　）を用いた場合はフッ素（Ｆ）元素という
ように水素あるいはフッ素等のハロゲン元素が０．１〜
４０〔ａｔｏｍｉｃ％〕含有され、その含有量は基板温
度及び高周波電力を高めにすると減少され、逆に低くす
ると増加される。そして一般に、水素あるいはハロゲン
元素の含有量が少ない程、セラミックスはその硬度が高
くなり、逆に含有量が多いと硬度が低減される事から、
水素あるいはハロゲン元素の含有量を調節する事により
所望の硬度のセラミックスを容易に得られる事となる。更には炭素〔Ｃ〕、窒素〔Ｎ〕、酸素[Purpose of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention is an image forming apparatus such as a copying machine or a laser beam printer, in which an electrostatic latent image on an image carrier is developed by a developer holder holding a -component developer. This invention relates to improvement of a developing device that performs. (Prior Art) In general, a developing device in an image forming apparatus such as an electronic copying machine has one, for example, a two-component developing processing means for visualizing an electrostatic latent image formed on a photoreceptor, which is an image bearing member. Alternatively, a method using a magnetic component developer is known. However, in the two-component development processing means described above, it is necessary to accurately control the concentration ratio of the toner, which is the developer, and the carrier.On the other hand, in the magnetic-component development processing means, the toner contains a magnetic material. Because of this, it not only has disadvantages such as difficulty in colorization, but also requires a magnetic roller as a developing roller, which is a developer holder, regardless of the development processing method, which is extremely costly. It is expensive. Therefore, in order to solve the above-mentioned problems, a development processing means using a non-magnetic one-component developer has recently been proposed. Specifically, as shown in FIG.
1), a mixer (23), which is a developer conveying member, and a toner supply roller (24) are provided in the mixer (23).
By the rotating action of the toner supply roller (24), the toner (20) is supplied to the developing roller (26), which is a developer holding member and has an aluminum roller plated with electroless nickel (Ni), and this development is also carried out. A coating blade (SO3304) made of stainless steel (SO3304) with a thickness of about 0.5 [■] is attached to the outer periphery of the roller (26) as a thinning regulating member.
27) are brought into contact with each other. As a result, the toner (20) that has passed through the contact area between the coating blade (27) and the developing roller (26) is transferred to the developing roller (26).
) to develop an electrostatic latent image on the photoreceptor (28), which is an image carrier and is closely opposed to the developing roller (26) with a gap [G]. It is supposed to be done. However, in such a device, toner (2
0) is charged by frictional charging between the developing roller (26) and the coating blade (27), and furthermore, due to the electrostatic attraction between the toner (20) and the developing roller (26), the developing roller (26) is charged. Since the toner is conveyed by rotation as it rotates, it has a very simple structure and does not require a magnetic roller.Although it is advantageous in terms of cost and is suitable for color printing, the toner ( 20) and the developing roller (26), the coating blade (27) is worn out and the developing roller (26)
The pressure on the toner (20) is insufficient, and the toner (20) cannot obtain sufficient triboelectrification, resulting in a decrease in development density, resulting in deterioration in image quality due to background fog, blurred characters, or uneven image density. Furthermore, there is a problem that uncharged toner scatters from above the developing roller (26) and stains the inside of the main body.
) and the developing roller (26) are large, and there is also the problem that the pseudo torque of the developing device is increased. Moreover, in such an apparatus, when a commonly used negatively charged organic photoconductor (hereinafter referred to as OPC) is used as the photoreceptor (28), the toner (20) is charged to a positive polarity. toner (20), usually made of resin, carbon or silica, etc.
The material constituting the material has a characteristic that it is difficult to be positively charged when charged by friction with a metal. For this reason, in the case of two-component developers, measures such as coating the carrier with Teflon to promote positive charging of the toner are sometimes taken, but in the case of -component toners, such measures are not taken. There is also the problem that it is difficult to obtain a uniform and sufficiently positively charged toner layer. That is, in such devices, as photoreceptors (28) with various characteristics are used as the devices become more diverse, such as colorization, toners (20) suitable for these devices are used. However, on the other hand, the same developing roller (26) and coating blade (27) are usually used, and depending on the toner (20), sufficient electrical charges may not be obtained, resulting in insufficient charging, or vice versa. The camera may become abnormally charged, resulting in a decline in image quality. (Problems to be Solved by the Invention) Conventionally, toner charging may be insufficient due to abrasion of the coating blade due to friction with the developing roller, or the developing roller or coating blade may not be suitable for the characteristics of the toner, resulting in toner charging. This leads to undercharging or overcharging, resulting in deterioration of image quality and contamination of the surrounding area, and has the disadvantage that the driving torque of the developing device is increased due to the large coefficient of friction. Therefore, the present invention aims to eliminate the above-mentioned drawbacks.It aims at reducing the driving torque, does not cause wear of the coating blade, and can obtain sufficient charge even with various toners, so that it can be used for a long time. Regardless of the situation, it is an object of the present invention to provide a developing device that can prevent deterioration in image quality due to background fog or non-uniform image density, and can also prevent staining of the inside of the main body due to toner scattering. [Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a coated blade with a coating blade containing one of aluminum [Al], boron [B], and carbon [C] on its surface. A developing roller coated with a first ceramic containing at least one atom is used, and silicon [Si] is further coated on the surface of the developing roller.
, which is coated with a second ceramic containing at least one germanium (Ge) atom. (Function) The present invention prevents abrasion of the coating blade and the developing roller by the above-mentioned means, prevents image deterioration such as background fogging and blurring due to insufficient toner charging even after long-term use, and prevents toner from scattering. This aims to prevent the interior of the main body from being contaminated by toner, reduce the driving torque of the developing roller, and further improve image quality by applying an optimal charge according to the characteristics of the toner used. (Embodiment) An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 6. Negative polarity O inside the image forming apparatus main body (29)
Around the photoreceptor (30), which is an image carrier made of PC, are a charging device (31) that charges the surface of the photoreceptor (30) to about -600 (V), an exposure position (32) that irradiates image information, and a developing device. A bag a (33), a transfer charger (34), a cleaning device (36), and a static elimination lamp (37) are provided. Further, an optical system (38) for exposing a document is provided on the upper side of the main body (29) of the image forming apparatus, and a paper feed cassette (40) is installed on the lower side. Furthermore, in the conveyance path (42) from the paper feed cassette (40) to the paper output tray (41), there are registration rollers (43) and a fixing device (4).
4) and a paper ejection roller (46). Next, the developing device (33) will be described in detail. In the developing device (33), an aluminum [A1] roller (
47a) Sandblast the surface to a surface roughness of approximately 3.0 [
μmRz), and then plasma CVD (Chemical Vapor Depo
The second surface NJ (47b) coated with a film of about 2 μm of amorphous silicon (hereinafter referred to as (a-Si)), which is a second ceramic, is coated with a film of amorphous silicon (hereinafter referred to as (a-Si)) using a device (80). A developing roller (47), which is a developer holding member, is provided with a gap of about 250 [μm] between the photoreceptor (30) and the photoreceptor (30). This developing roller (47) has a frequency of 2 (k)Iz)
, an AC voltage with an effective value of 670 (V) and -200 (V)
) (7) A voltage is applied in combination with a DC voltage, and it is possible to rotate at a circumferential speed 1 to 3 times that of the photoreceptor (30) by a driving means (not shown). Further, in the housing (33a) of the developing device (33), a positively charged non-magnetic component toner (48) containing magnetic powder and 10 (wt%) gold as a developer is housed. A mixer (SO) and a toner supply roller (51) are arranged.Furthermore, inside the developing device (33), the upper end is connected to a holder (51).
2), and the lower end is brought into contact with the developing roller (47) to thin the toner (48), and the developing roller (47)
) is a thin layer regulating member for coating on 304 stainless steel [SUS 304] with a thickness of approximately 0.5 [m++
+] Plasma C, which will be described later, is applied to the surface of the blade (53a).
A coating blade (53) having a first surface layer (53b) coated with a film of aluminum oxide (A120.), which is a first ceramic, to a thickness of about 2 [μm] is coated with a VD device (56), and a toner ( 48
) is provided with a collection blade (54) that comes into contact with the developing roller (47). First, the coating blade (53) is coated with aluminum oxide (ozoa), and the developing roller (53) is coated with aluminum oxide (ozoa).
The coating of (a-5i) on 47) will be explained in detail. First, in the coating blade (53), as shown in FIG. 4, a flat ground electrode (60) with a built-in heater (58) is provided in the vacuum chamber (57) of the plasma CVD apparatus (56). Matching box (61)
A high frequency power supply (with a frequency of 13.56 (Mllz)
High frequency electrodes (63) to which a voltage is applied from 62) are placed facing each other. In addition, trimethylaluminum (1) is supplied to the vacuum chamber (57) from a gas supply system (not shown).
A gas introduction pipe (65) for introducing necessary gases such as At(cow)a) and ozone [03] and an exhaust pipe (64) for exhausting the gas are provided. And first, the blade (5
After mechanically processing and manufacturing 3a), a vacuum chamber (5
7) on the ground electrode (60) in the vacuum chamber (57) to evacuate the inside of the vacuum chamber (57) to about 10-' (Torr) and to improve the adhesion of the film.
The blade (53a) is approximately 300~5oo ("c)
Heat to. Then, trimethylaluminum (Al
(CH3)3) to 30 (SCCM), ozone [0,
] to 100 (SCCI', hydrogen [H2] to 1010
00 (SCC) into the vacuum chamber (57), and the inside of the vacuum chamber (57) is maintained at approximately 1 (Torr). Then, the high frequency power supply (62) applies a high frequency of 400 (It) to the high frequency electrode (63). Electric power is applied for about 30 [minutes] to coat the first surface layer (53b) of aluminum oxide (A1203) with a thickness of about 2 [μ■] on the blade (53a), forming a coated blade (53). Next, as shown in FIGS. 5 and 6, the developing roller (47) is connected to the reaction chamber (80) of the plasma CVD apparatus (80).
A bottom member (83) having a plurality of exhaust ports (82) provided at its lower end is attached to the bottom member (81) via an insulator (84). The reaction chamber (81) has an exhaust port (
82) and maintained at a vacuum level of approximately 10-3 torr. Various raw material gases are introduced into the reaction chamber (81) through the gas inlet (85). A storage chamber (87) is installed above the reaction chamber (81) via an insulator (86), and the storage chamber (87) is electrically connected to the reaction chamber (81) by the insulator (86). Insulated. In addition, the storage chamber (87) is separated from the reaction chamber (81) by a partition plate (88).
). A plurality of support rods (89) are inserted through the partition plate (88) with their longitudinal direction being vertical. A collar (90) is fitted onto each rod (89) and fixed to the rod (89).
90) is locked to the partition plate (88), thereby preventing the rod (89) from falling out. rod(
A gear (92) of the driving means is fitted to the upper end of the drive means (89), and a presser foot (91) fitted and fixed to the rod (89) below the gear (92) allows the gear (92) to press against the rod. (8
9) is supported. Adjacent gears (92) are in mesh with each other, and when the central gear is rotationally driven by the drive device, all the gears (92) rotate and the support rod (89) rotates. It has become. A female thread (not shown) is formed at the lower end of each support rod (89), and a female thread (not shown) is formed at the upper end of the roller (47a).
A male thread (not shown) is formed. A male thread (not shown) is formed at the upper end of the roller (47a) to be deposited, and by screwing the roller (47a) and the support rod (89) together, the roller (47a) Rod (8
9). The drive device (94) is connected to the storage chamber (8
7), and when the gear (92) is rotated by the drive of this drive device (94), the roller (47a
) rotates around its axis. As shown in FIG. 6, the roller (47a) is connected to the reaction chamber (8
1) arranged in a line substantially at the center thereof. Then, a pair of flat electrodes (95), (9
6) is provided. The electrodes (95) and (96) are provided with a large number of holes, and the gas introduced into the reaction chamber (81) through the gas inlet (85) is passed through the holes into the reaction chamber (81). is supplied to the center of the Electrode (95)
. (96) is attached to the reaction chamber (81) so that it has the same potential as the reaction chamber (81). These electrodes (95) and (96) are connected to a matching box (97).
) is connected to a high frequency power source (98). After attaching a plurality of rollers (47a) to the support rod (89) in the reaction chamber (81), the drive device (94)
The roller (47a) is rotated at an appropriate speed, and the inside of the reaction chamber (81) is evacuated to approximately IP'' (Torr).While continuing the evacuation, silane gas [SiH4 ] was introduced into the reaction chamber (81) at approximately 1 [Torr].Then, 10100 ESCC of high frequency power was applied to the electrode (95) from the high frequency power source (98) via the matching box (97).
), (96). As a result, the electrode (95
), (96) Due to the plasma generated between
) is uniformly coated with a thickness of about 2 [μm] to complete the formation of the developing roller (47). Next, a developing device of the present invention having the above-mentioned developing roller (47) and coating blade (53)! The effect of (33) will be described. When copying starts, the photoconductor (3
0) is rotated in the direction of arrow X, each image forming means is operated, and the surface of the photoreceptor (30) is uniformly charged to -600 (V) by the charging device (31).
38) at the exposure position (32), and the photoreceptor (3
0), an electrostatic latent image is formed thereon and reaches the developing device (33). On the other hand, in the developing device (33) at this time, AC670
The developing roller (47) to which a superimposed voltage of (V) and DC-200 (V) is applied is rotated in the direction of the arrow y so that the circumferential speed of the photoreceptor (30) is approximately constant, and the toner (48) is positively charged by friction with the photoreceptor (30) and coating blade (53), and the developing roller (47) is positively charged.
) The electrostatic latent image is electrostatically attracted to the surface and transported to a position facing the photoreceptor (30), where the electrostatic latent image is developed. The toner (48) remaining on the developing roller (47) is collected into the developing device (33) via the collecting blade (54). On the other hand, at the transfer position, paper (not shown) is supplied from the paper feed cassette (40) in synchronization with the toner image on the photoreceptor (30), and the toner image is transferred to the paper by the transfer charger. be done. After this, the paper is transferred to the transport path (42
) to the fixing device (44), where it is fixed, and then transferred to the output tray (41) via the output roller (46).
) is discharged. Also, after transcription. The photoreceptor (30) passes through a cleaning device (36) and a static elimination lamp (37) before being made ready for the next copy. By repeating the above copy cycle. In this way, a line load of 2.0 (kg) was applied to the coating blade (53) to make 10 test copies, and it was found that the coating blade (53) was made of stainless steel (SUS). 304) and a conventional developing roller in which electroless nickel (Ni) plating is applied on an aluminum roller roughened by sandblasting, at the contact part with the developing roller, The coating blade is approximately 2 [μ
However, the amount of toner conveyed on the developing roller decreased due to the abrasion and the decrease in line load, and sufficient image density could not be obtained. The contact area is scraped, even after copying after 10 [Method], the image density does not decrease,
A good image was obtained. In addition, in this test copy, when a line load of 2.0 (kg) was applied to the coating blade, when a conventional stainless steel coating blade and a developing roller with electroless nickel plating on an aluminum roller were used, While the driving torque of the developing roller was 2.5 (kg am), the coating blade (53b) coated with the first surface layer (53b) of aluminum oxide (A120m) of this example was used.
53) and (a-5i), the driving torque of the developing roller (47) is 1.8 (kgcn).
), the coating blade (53) is coated with a first surface layer (53b) of aluminum oxide (Al□O3), and the TR image roller (47) is coated with a second surface layer (47b) of (a-5i). It has been found that the driving torque of the developing roller can be considerably reduced by coating the developing roller with a styrene-acrylic resin containing 4 carbon [C].
[wt%] and other additives by 4 [wt%]. When the toner was replaced with a positively charged non-magnetic component toner and tribo-electrified, the conventional stainless steel coating blade and aluminum roller were replaced. When using a developing roller with electroless nickel plating, the amount of charge is +10
[μC/g], and background fog was observed in the cobby image, whereas the toner charge amount was increased to +12 (μC/g), and the copy image was also good without causing background fog. With this configuration, the coating blade (53) is made of aluminum oxide (A1203), which has excellent wear resistance.
Since the first surface layer (53b) has a first surface layer (53b) of It is possible to apply a line load and give sufficient electrical charge to the toner (48) during development. A good image can be obtained without causing background fog or non-uniform density, and furthermore, there is no scattered toner, and staining by toner inside the main body is prevented. Moreover, the coefficient of friction of the coating blade (53) and the developing roller (47) is smaller than that of the conventional coating blade and developing roller.
In turn, the fighting torque of the developing roller (47) can be reduced,
The drive source can be made smaller and lighter. Furthermore, the first surface layer (5) of the coating blade (53)
Aluminum oxide (Al□03) forming 3b) has insulating properties, and the (a-S) on the surface of the developing roller (47)
Since i) also has high resistance, it is possible to improve the amount of toner charge compared to conventional stainless steel coated blades and electroless nickel plated developing rollers.
Furthermore, even when toner that is difficult to charge is used, a sufficient charge can be obtained, and image quality can be improved without causing background fogging or blurring. Note that the present invention is not limited to the above embodiments and can be modified in various ways. For example, the first ceramic coated on the surface of the thinning regulating member may be aluminum (Al), boron (B), carbon [C ] The material is not limited as long as it contains at least one atom, and the second ceramic coated on the surface of the developer holder may also be silicon (Si) or germanium (Ge).
The material is not limited as long as it contains at least one atom of
Typical ceramics and their film-forming conditions [Table/
2] ■ to [Table 2] ■ However, among the second ceramics, those containing germanium (Ge) are slightly inferior in mechanical strength to those containing silicon (Si), and The optical bandgap and specific resistance become smaller. (See the margins below.) However, other ceramics may be used, and the gas used may be triethylaluminum (Ax (c, us) 3 to form ceramics containing aluminum atoms. ),
For the formation of ceramics containing carbon atoms, ethylene (cz H,), acetate 1:'' (cz B2 ), boron fluoride (BF, ), boron trichloride (BCI) for the formation of ceramics containing boron atoms. , ), silicon (Si) or germanium (Ge).
) The contained gas is also arbitrary, and other film forming conditions such as pressure and temperature are also arbitrary. Further, the second ceramic is not limited to an amorphous one, but may also be a polycrystalline or microcrystalline ceramic containing silicon (Si) or germanium [Ge]. Moreover, the plasma CVD apparatus (56), (80
), depending on the gas used, for example, diborane gas (B2
When hydrogen (H, ) is used, the hydrogen (H) element is used, and when boron trifluoride (BF, ) is used, the fluorine (F) element is used.
It is contained in an amount of 40 [atomic%], and its content decreases when the substrate temperature and high frequency power are increased, and conversely increases when the substrate temperature and high frequency power are decreased. In general, the lower the content of hydrogen or halogen elements, the higher the hardness of the ceramic, and conversely, the higher the content, the lower the hardness.
By adjusting the content of hydrogen or halogen elements, ceramics with desired hardness can be easily obtained. Furthermore, carbon [C], nitrogen [N], oxygen

〔０〕のうちどの
元素を含有するかによっても、セラミックスは比抵抗及
び機械的強度が変動され、例えば、（ａ−３ｉ）にあっ
ては、水素あるいはハロゲン元素の含有量が同一である
場合には、非晶質シリコン（ａ−３ｉ）が最も光学的バ
ンドギャップ及び比抵抗が小さく１次いで炭素〔Ｃ〕を
含有する非晶質炭化シリコン［：ａ−５ｉＣ）、窒素（
Ｎ）を含有する非晶質窒素シリコン（ａ−５ｉＮ）、酸
素（０）を含有する非晶質酸化シリコン（ａ−５ｉＯ）
の順に大きくなる。又、機械的強度についても同様であ
り、ビッカース硬度で言うと（ａ−３ｉＣ）が（２５０
０）といちばん大きく、次いで（ａ−５ｉＮ）が（２０
００）　。［ａ−５ｉＯ］が（１５００）、　（ａ−５ｉ）が（ｉ
ｏｏｏ）というように順に小さくされる。この他、使用ガスの選択及び混合比のコントロールによ
り種々の特性を有するセラミックスを得る事が出来１例
えば硼素［Ｂ］、アルミニウム（Ａｌ）等の周期律表第
■族の元素をドーピングする事により導電型をｐ型にし
たり、あるいは窒素〔Ｎ〕、リンＣＰ）等の周期律表第
■族の元素をドーピングして導電型をｎ型にする等の価
電子制御を行なえ、更には電気抵抗を１０３〔Ω備〕程
度から１０１３〔Ωｌ〕程度迄変動出来、使用する現像
剤の特性に適したセラミックスを容易に得る事が出来る
。尚周期律表第■族及び第■族のドーピング量は、−般
にＩ　Ｘ　ＩＰ”　〜１　〔ａｔｏｍｉｃ％］程度とさ
れ、例えば〔表・２〕に示すようにモノシランガス（Ｓ
ｉＨ４）やゲルマンガス（ＧｅＨｌ）に対する流量比が
１×１０−”程度であれば０．０１〜０．１〔ａｔｏｍ
ｉｃ％〕となる一方、流量比が１×１０−’程度であれ
ばＩ　Ｘ　１０−’　〜Ｉ　Ｘ　１０−”（ａｔｏ＋ｌ
ｉｃ％〕となる。そして例えばコーティングブレードは
同じものとして、このようにして得られた第２のセラミ
ックスをコーティングした現像ローラを用い、各種現像
剤との適性を判明するためのテスト現像を行なったとこ
ろ〔表・３〕に示すような結果が得られた。但し非晶質
酸化シリコン（ａ−５ｉＯ）、非晶質窒化シリコン（ａ
−５ｉＮ）については非晶質炭化シリコン（ａ−３ｉＣ
）とほぼ同様の結果が得られた。又、〔表・３〕のセラ
ミックスより、より低抵抗のセラミックスを必要とする
場合は、ゲルマニウム（Ｇｏ）を含有するセラミックス
を用いると、より良好な結果が得られる事がテストによ
り確認された°　　　　　　　　　　　　　　（以下余
白）〔表・３〕尚セラミックスのコーティングの方法もＣＶＤ方法に限
定されずスパッタリング方法、イオンブレーティング方
法、真空蒸着方法等任意であり、使用ガスも限定されな
い、そして例えばスパッタリング方法を行なうには、第
７図に示す変形例のスパッタリング装置（６５）のよう
に、真空チャンバー（６６）内にヒータ（６７）を内蔵
する平板状の接地電極と、支持体（７０）に支持されマ
ツチングボックス（７１）を介し高周波電源（７２）よ
り電圧を印加される固体原料からなるターゲット（７３
）を対向させ、更にガス導入管（７４）及び排気管（７
６）を設けるようにすれば良い、そして前述の実施例と
同様にステンレス製のブレード（）７）に酸化アルミニ
ウム〔轟１．０３〕の表面層を形成する場合、ターゲッ
ト（７３）として焼結酸化アルミニウム（Ａｔｉｏａ）
を設け、接地電極（６８）にブレード（７７）をセット
し、排気管（７６）より排気を行ない、真空チャンバー
（６６）内を１．０×１０′″”　［Ｔｏｒｒ］を保持
し、更にヒータ（６７）によりブレード（７７）を約３
００〜５ｏｏ（’ｃ）に加熱する。そしてガス導入管（
７４）よりアルゴン（Ａｒ）を１０（ＳＣＣＭ）導入し
ながら、高周波電源（７２）により、焼結酸化アルミニ
ウム（Ａ１．０３）からなるターゲット（７３）に周波
数１３．５６（ＭＨｚ）の高周波電力８００（ｖ）を約
３０（分〕印加し、ブレ〒ド（７７）上に厚さ約２〔μ
■〕の酸化アルミニウム（Ａｌｓｏｉ）の被膜のコーテ
ィングを行なうものである。尚、このスパッタリング族
！　（６５）によりコーティングされる代表的なセラミ
ックス及びその成膜条件を〔表・４〕に示す。（以下余白）又、現像剤の帯電特性や帯電極性あるいは添加物の材質
や添加量等も全く任意である。〔発明の効果〕以上説明したように本発明によれば、長時間の使用によ
っても薄層化規制部材及び現像剤保持体は摩耗される事
が無く、現像剤に充分な電荷を付与出来、地かぶりや画
像濃度低下を来たす事無く良好な画像を得られると共に
、飛散トナーによる汚損も防止出来る。しかも、セラミ
ックス中に含有される元素及びその含有量を変える事に
よりセラミックスの導電型、電気抵抗、硬度を容易に調
整出来、現像剤の特性に適したセラミックスを容易に得
る事が出来、種々の像担持体、及び現像剤の使用が可能
となり１機能も図られる。又、従来に比し薄層化規制部
材及び現像剤保持体の摩擦係数が小さく、現像剤保持体
への負荷が軽減される事から、現像剤保持体の駆動トル
クを減少出来、ひいては駆動源の小型軽量化が可能とな
る。The specific resistance and mechanical strength of ceramics vary depending on which element [0] is contained. For example, in (a-3i), when the content of hydrogen or halogen elements is the same Among these, amorphous silicon (a-3i) has the smallest optical band gap and resistivity, and is ranked first with amorphous silicon carbide [:a-5iC], which contains carbon [C], and nitrogen (a-5iC).
Amorphous nitrogen silicon (a-5iN) containing N), amorphous silicon oxide (a-5iO) containing oxygen (0)
increases in the order of The same applies to mechanical strength; in terms of Vickers hardness, (a-3iC) is (250
0) is the largest, followed by (a-5iN), which is (20
00). [a-5iO] is (1500), (a-5i) is (i
ooo). In addition, ceramics with various properties can be obtained by selecting the gases used and controlling the mixing ratio.1 For example, by doping with elements from group Ⅰ of the periodic table such as boron [B] and aluminum (Al). It is possible to control valence electrons by changing the conductivity type to p-type, or by doping with elements from group Ⅰ of the periodic table such as nitrogen [N], phosphorus CP) to change the conductivity type to n-type. can be varied from about 103 [Ω] to about 1013 [Ωl], making it possible to easily obtain ceramics suitable for the characteristics of the developer used. The doping amount of Groups 1 and 2 of the periodic table is generally about I
iH4) or germane gas (GeHl) is 0.01 to 0.1 [atom
ic%], while if the flow rate ratio is about 1 x 10-', I
ic%]. For example, using the same coating blade and using a developing roller coated with the second ceramic obtained in this way, test development was conducted to determine compatibility with various developers [Table 3] The results shown are obtained. However, amorphous silicon oxide (a-5iO), amorphous silicon nitride (a-5iO)
-5iN), amorphous silicon carbide (a-3iC
) almost the same results were obtained. Additionally, tests have confirmed that when ceramics with lower resistance than the ceramics in [Table 3] are required, better results can be obtained by using ceramics containing germanium (Go). (Margins below) [Table 3] The method of coating ceramics is not limited to the CVD method, but may be any method such as sputtering, ion blasting, or vacuum evaporation, and the gas used is also not limited. For example, sputtering may be used. As in the sputtering apparatus (65) of the modified example shown in FIG. A target (73) made of a solid raw material is applied with voltage from a high frequency power source (72) via a charging box (71).
) facing each other, and furthermore, a gas inlet pipe (74) and an exhaust pipe (74).
6), and when forming a surface layer of aluminum oxide [Todoroki 1.03] on the stainless steel blade (7) as in the previous example, use a sintered target (73). Aluminum oxide (Atioa)
, set the blade (77) on the ground electrode (68), exhaust the air from the exhaust pipe (76), maintain the inside of the vacuum chamber (66) at 1.0 x 10''' [Torr], and further The blade (77) is heated approximately 3 times by the heater (67).
Heat to 00-5oo('c). And the gas inlet pipe (
While introducing 10 (SCCM) of argon (Ar) from 74), a high frequency power of 800 Hz at a frequency of 13.56 (MHz) is applied to a target (73) made of sintered aluminum oxide (A1.03) using a high frequency power source (72). (v) for about 30 (minutes) to a thickness of about 2 [μ] on the blade (77).
(2)] is coated with an aluminum oxide (Alsoi) film. By the way, this sputtering group! Typical ceramics coated with (65) and their film forming conditions are shown in [Table 4]. (The following is a blank space) Furthermore, the charging characteristics and charging polarity of the developer, the material and amount of additives, etc. are completely arbitrary. [Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, the layer thinning regulating member and the developer holder are not worn out even after long-term use, and sufficient charge can be imparted to the developer. Good images can be obtained without causing background fog or reduction in image density, and staining caused by scattered toner can also be prevented. Moreover, by changing the elements contained in the ceramic and their contents, the conductivity type, electrical resistance, and hardness of the ceramic can be easily adjusted, making it possible to easily obtain a ceramic suitable for the characteristics of the developer. It becomes possible to use an image carrier and a developer, and one function is also achieved. In addition, the coefficient of friction between the thin layer regulating member and the developer holder is smaller than in the past, and the load on the developer holder is reduced, so the driving torque of the developer holder can be reduced, which in turn reduces the drive source. The size and weight of the device can be reduced.

[Brief explanation of the drawing]

第１図ないし第６図は本発明の一実施例を示し、第１図
はその本体の概略説明図、第２図はその現像装置の断面
図、第３図はその現像ローラ及びコーティングブレード
の一部断面図、第４図はその第１のセラミックスをコー
ティングするプラズマＣＶＤ装置の概略説明図、第５図
はその第２のセラミックスをコーティングするプラズマ
ＣＶＤ装置の概略縦断面図、第６図はその第５図におけ
る概略横断面図、第７図は他の変形例のスパッタリング
装置を示す概略説明図、第８図は従来の現像装置を示す
断面図である。２９・・・画像形成装置本体、　　　３０・・・感光体
。３３・・・現像装置、　　　　　　　４７・・・現像ロ
ーラ、４７ｂ・・・第２の表面層、　　　　　５３・・
・コーティングブレード。５３ｂ・・・第１の表面層。Figures 1 to 6 show an embodiment of the present invention, with Figure 1 being a schematic illustration of its main body, Figure 2 being a sectional view of its developing device, and Figure 3 showing its developing roller and coating blade. A partial cross-sectional view, FIG. 4 is a schematic illustration of a plasma CVD apparatus for coating the first ceramic, FIG. 5 is a schematic vertical cross-sectional view of a plasma CVD apparatus for coating the second ceramic, and FIG. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of FIG. 5, FIG. 7 is a schematic explanatory view showing another modification of the sputtering device, and FIG. 8 is a cross-sectional view showing a conventional developing device. 29... Image forming apparatus main body, 30... Photoreceptor. 33... Developing device, 47... Developing roller, 47b... Second surface layer, 53...
・Coated blade. 53b...first surface layer.

Claims

[Claims] 1. An electrostatic latent image on an image carrier is developed by a developer holder having a developer thinned by a thinning regulating member, wherein the thinning regulating member is , aluminum [A
1], boron [B], and carbon [C], and the developer holder includes silicon [Si],
A developing device comprising a second surface layer made of a second ceramic containing at least one germanium (Ge) atom. 2. The first ceramic contains nitrogen [N], carbon [C],
At least one of oxygen [O], hydrogen [H], and halogen
Claim 1 characterized in that it contains two elements.
Developing device as described in section. 3. The developing device according to claim 2, wherein the first ceramic contains 1 to 40 [atomic%] of hydrogen [H] or halogen. 4. Claims 1 to 4, characterized in that the second ceramic contains at least one element among nitrogen [N], carbon [C], oxygen [O], hydrogen [H], and halogen. Developing device according to any one of Item 3. 5. The second ceramic contains hydrogen [H] or halogen.
5. The developing device according to claim 4, wherein the developing device contains up to 40 [atomic%]. 6. The developing device according to any one of claims 1 to 5, wherein the second ceramic contains an element from Group III of the Periodic Table or Group V of the Periodic Table. . 7. The second ceramic contains either an element from Group III of the Periodic Table or Group V of the Periodic Table at 1×10^-^6~1
The developing device according to claim 6, characterized in that it contains [atomic%].