JPH01132976U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01132976U JPH01132976U JP2521188U JP2521188U JPH01132976U JP H01132976 U JPH01132976 U JP H01132976U JP 2521188 U JP2521188 U JP 2521188U JP 2521188 U JP2521188 U JP 2521188U JP H01132976 U JPH01132976 U JP H01132976U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- support piece
- shape memory
- memory alloy
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 22
- 229910001285 shape-memory alloy Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は、本考案の実施例を示す斜視概略図、
第２図は、本考案の他の実施例を示す要部斜視概
略図、第３図は、従来例を説明する為の側断面概
略図である。 １…基板、２，４…探針、５…探針支持片。
第２図は、本考案の他の実施例を示す要部斜視概
略図、第３図は、従来例を説明する為の側断面概
略図である。 １…基板、２，４…探針、５…探針支持片。
補正 平１．１．１３
実用新案登録請求の範囲を次のように補正する
。
。
【実用新案登録請求の範囲】
(1) 基板に、形状記憶合金より形成された探針
を設けて成るプローブカード。 (2) 基板に、形状記憶合金より形成された探針
支持片を固定し、該探針支持片に探針を添設して
成るプローブカード。 (3) 基板に、形状記憶合金より形成された探針
支持片を固定し、該探針支持片に形状記憶合金よ
り形成された探針を添設して成るプローブカード
。
を設けて成るプローブカード。 (2) 基板に、形状記憶合金より形成された探針
支持片を固定し、該探針支持片に探針を添設して
成るプローブカード。 (3) 基板に、形状記憶合金より形成された探針
支持片を固定し、該探針支持片に形状記憶合金よ
り形成された探針を添設して成るプローブカード
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Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 基板に、形状記憶合金より形成された探針
をしけて成るプローブカード。 (2) 基板に、形状記憶合金より形成された探針
支持片を固定し、該探針支持片に探針を添設して
成るプローブカード。 (3) 基板に、形状記憶合金より形成された探針
支持片を固定し、該探針支持片に形状記憶合金よ
り形成された探針を添設して成るプローブカード
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2521188U JPH0623965Y2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2521188U JPH0623965Y2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | プローブカード |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01132976U true JPH01132976U (ja) | 1989-09-11 |
| JPH0623965Y2 JPH0623965Y2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=31245747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2521188U Expired - Lifetime JPH0623965Y2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | プローブカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0623965Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP2521188U patent/JPH0623965Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0623965Y2 (ja) | 1994-06-22 |