JPH01131308A - Hydraulic cylinder - Google Patents

Hydraulic cylinder

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JPH01131308A
JPH01131308A JP883672A JP367288A JPH01131308A JP H01131308 A JPH01131308 A JP H01131308A JP 883672 A JP883672 A JP 883672A JP 367288 A JP367288 A JP 367288A JP H01131308 A JPH01131308 A JP H01131308A
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JP
Japan
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piston
fluid
piston rod
cylinder tube
cylinder
Prior art date
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Pending
Application number
JP883672A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yusuke Araki
裕介 荒木
Taizo Shimomura
泰造 下村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Bridgestone Corp
Shimomura Seisakusho KK
Original Assignee
Bridgestone Corp
Shimomura Seisakusho KK
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Publication date
Application filed by Bridgestone Corp, Shimomura Seisakusho KK filed Critical Bridgestone Corp
Priority to JP883672A priority Critical patent/JPH01131308A/en
Publication of JPH01131308A publication Critical patent/JPH01131308A/en
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Abstract

PURPOSE:To improve the starting property of a hydraulic cylinder and to position its parts accurately by holding and sealing a piston and a piston rod by a fluid film formed between a cylinder tube and a cover. CONSTITUTION:Housing recess portions 13, 17 are formed on a piston 2 and the piston rod holding portion in one side cover 4a and fluid film forming portions 14, 18 are arranged in the housing recess portions 13, 17. Accordingly, sliding resistance between the piston 2 and the inside face of a cylinder tube 1, and that between a piston rod 3 and a sealing member relating thereto become remarkably small so that starting becomes easy and also accurate positioning can be made even at a low speed.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、シリンダチューブおよびピストンにより画成
された空間内に加圧作動媒体を給排することにより、ピ
ストンに連結されたピストンロッドに所望の往復運動を
賦与することができる流体圧シリンダに関するものであ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention provides a desired effect on a piston rod connected to a piston by supplying and discharging a pressurized working medium into a space defined by a cylinder tube and a piston. This relates to a fluid pressure cylinder that can provide reciprocating motion.

(従来の技術とその問題点) 流体圧シリンダは、作動流体に与えられたエネルギーを
直線的な機械運動に変換するアクチュエータであり、作
動流体の圧力と流量を制御することにより出力と速度と
を容易に変更することができるので、様々な装置に適用
されている。
(Prior art and its problems) A fluid pressure cylinder is an actuator that converts the energy given to a working fluid into linear mechanical motion, and changes the output and speed by controlling the pressure and flow rate of the working fluid. Since it can be easily modified, it is applied to various devices.

このような既知の流体圧シリンダは、通常、第5図に示
すように、円柱状内面を有するシリンダチューブ1内に
ピストン2が摺動自在に配設されており、そのビス・ト
ンにはピストンロッド3が固着され、そしてシリンダチ
ューブ端部にはその開口を封止する封止部材としてのカ
バー4が一体的に固着された構成をしている。なお、そ
れぞれのカバー4a、 4bには、シリンダチューブl
とピストン2とにより画成されるそれぞれの室5(図に
は片側のみ示す)に作動媒体としてのたとえば加圧、加
圧空気などを給排する給排孔6a、 6bがそれぞれ設
けられている。
As shown in FIG. 5, such a known fluid pressure cylinder usually has a piston 2 slidably disposed in a cylinder tube 1 having a cylindrical inner surface, and a piston 2 is disposed in the cylinder tube 1. A rod 3 is fixed to the cylinder tube, and a cover 4 as a sealing member for sealing the opening of the cylinder tube is integrally fixed to the end of the cylinder tube. Note that each cover 4a, 4b has a cylinder tube l.
Each chamber 5 (only one side is shown in the figure) defined by the piston 2 and the piston 2 is provided with supply and discharge holes 6a and 6b for supplying and discharging a working medium such as pressurized air, etc. .

ここでピストンロッド3を図中矢印Aで示す方向に移動
させるには、給排孔6aを介して作動媒体を関連する室
5に導入する一方で、給排孔6bを介し関連する室5か
ら作動媒体を排出すれば良い。
Here, in order to move the piston rod 3 in the direction shown by arrow A in the figure, the working medium is introduced into the related chamber 5 through the supply/discharge hole 6a, and from the related chamber 5 through the supply/discharge hole 6b. All you have to do is drain the working medium.

なお、図ではピストン2をカバー4b側の終端位置まで
移動させた状態を示している。これに対し、ピストンロ
ッド3を矢印Aとは逆方向に移動させたい時には、給排
孔6bを介して関連する室に作動媒体を導く一方、他の
給排孔6aを介して作動媒体を排出すれば良い。
Note that the figure shows a state in which the piston 2 has been moved to the end position on the cover 4b side. On the other hand, when it is desired to move the piston rod 3 in the direction opposite to the arrow A, the working medium is guided to the relevant chamber through the supply/discharge hole 6b, while the working medium is discharged through the other supply/discharge hole 6a. Just do it.

ところで、一般に上述した構成を有する流体圧シリンダ
において、シリンダチューブ内に配設されるピストン2
には、チューブ内面を摺動するとともに、ピストンによ
り分離される室5内の作動媒体の相互の連通を遮断する
ため、その外周の周方向に形成した溝にシール部材7と
してのピストンリング、0− リング等が埋設され、若
しくは第6図に示すように、ピストン本体2aに、椀形
パツキン8がリテーナリング9を介してボルト10によ
り固着されていた。
By the way, in a fluid pressure cylinder generally having the above-mentioned configuration, the piston 2 disposed within the cylinder tube
In order to slide on the inner surface of the tube and to block mutual communication of the working medium in the chamber 5 separated by the piston, a piston ring as a sealing member 7 is installed in a groove formed in the circumferential direction on the outer periphery of the piston ring. - A ring or the like was buried, or as shown in FIG. 6, a bowl-shaped packing 8 was fixed to the piston body 2a with a bolt 10 via a retainer ring 9.

このため、第5図に示したようにピストン外周にO−リ
ングを設けた流体圧シリンダにあっては、ピストンの移
動に際しO−リングがシリンダチューブ内面と擦れるの
で摺動抵抗が大きくなり、作動媒体の圧力が低い場合に
は、ピストンおよびピストンロッドを所望位置に正しく
移動させることができないと言う問題があった。この問
題はピストンを中間位置に保持したい場合に特に顕著と
なる。このような問題に対処するため、ピストンとシリ
ンダチューブ内面との間隙を比較的大きく設定すること
が考えられるが、かえってそのことに起因して0−リン
グが変形しやすく、その間隙に0− リングの一部が喰
込み破損すると言う別の欠点がある。
For this reason, in a fluid pressure cylinder equipped with an O-ring around the outer periphery of the piston as shown in Figure 5, the O-ring rubs against the inner surface of the cylinder tube when the piston moves, resulting in increased sliding resistance. When the pressure of the medium is low, there is a problem in that the piston and piston rod cannot be correctly moved to the desired position. This problem is particularly noticeable when it is desired to maintain the piston in an intermediate position. In order to deal with this problem, it is conceivable to set a relatively large gap between the piston and the inner surface of the cylinder tube, but this tends to cause the 0-ring to deform, and the 0-ring is placed in that gap. Another drawback is that some parts of the blade can be bitten and damaged.

一方、第6図に示したようにピストンリングや椀形パツ
キンを有するピストンを用いた流体圧シリンダでは、こ
れらパツキンに基づくピストンの摺動抵抗を減するため
、シリンダチューブ内面を研削加工又はホーニング加工
する必要があり、こ゛ のため加工コストが上昇すると
言う問題があった。
On the other hand, as shown in Fig. 6, in a fluid pressure cylinder using a piston with a piston ring or a bowl-shaped packing, the inner surface of the cylinder tube is ground or honed to reduce the sliding resistance of the piston due to these packings. This caused the problem of increased processing costs.

加えて、このようなシール部材にあっては、ピストンと
シリンダチューブ内面との間隙が必然的に小さ目に設定
されることになり、作動媒体中に含まれるゴミ、さらに
は熱の影響を受けやすく、その作動が不安定になると言
う問題もある。
In addition, in such a sealing member, the gap between the piston and the inner surface of the cylinder tube is inevitably set small, making it susceptible to dust contained in the working medium and even heat. , there is also the problem that its operation becomes unstable.

本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、
ピストン摺動部における抵抗を減少させ、比較的低速の
作動状態にあっても正確にピストンを、ひいてはピスト
ンロッドを位置決めすることができる流体圧作動シリン
ダを提供することをその目的とする。
The present invention has been made in view of such problems,
It is an object of the present invention to provide a hydraulically operated cylinder that can reduce resistance in a piston sliding part and accurately position a piston and, by extension, a piston rod, even in relatively low-speed operating conditions.

(発明の開示) この目的を達成するため、本発明流体圧シリンダにおい
ては、シリンダチューブと、シリンダチューブ内に摺動
自在に配設されたピストンと、ピストンに固着されたピ
ストンロッドと、シリンダチューブの開口端を封止する
封止部材とを具え、ピストン外周部に流体透過性材料よ
りなる流体膜形成部を設け、シリンダチューブを案内す
るとともにそれを支持する少なくとも一方の封止部材に
流体透過性材料よりなる他の流体膜形成部を設け、さら
にそれら流体膜形成部に加圧流体を導く供給孔をピスト
ンロッドおよび該封止部材にそれぞれ設けてなる。
(Disclosure of the Invention) In order to achieve this object, the fluid pressure cylinder of the present invention includes a cylinder tube, a piston slidably disposed within the cylinder tube, a piston rod fixed to the piston, and a cylinder tube. a sealing member for sealing the open end of the piston, and a fluid film forming portion made of a fluid-permeable material is provided on the outer periphery of the piston, and at least one sealing member that guides and supports the cylinder tube is provided with a fluid permeable member. Further, the piston rod and the sealing member are provided with supply holes for introducing pressurized fluid to the fluid film forming parts.

(作 用) この流体圧シリンダによれば、それぞれの供給孔を介し
て関連する各流体膜形成部に加圧流体を供給すると、加
圧流体は流体透過性材料を透過して外方に噴出し、ピス
トンとシリンダチューブ内面との間、そしてピストンロ
ッドとこのピストンロッドが関連する封止部材との間に
それぞれ加圧流体の薄膜を形成してピストンおよびピス
トンロッドを支持する。それゆえ、ピストンとシリンダ
チューブ内面との間、およびピストンロッドと関連する
封止部材との間の摺動抵抗が極めて小さくなり、起動が
容易にあるばかりでなく、低速にあっても正確に位置決
めすることができる。
(Function) According to this fluid pressure cylinder, when pressurized fluid is supplied to each related fluid film forming part through each supply hole, the pressurized fluid passes through the fluid permeable material and is ejected outward. A thin film of pressurized fluid is formed between the piston and the inner surface of the cylinder tube, and between the piston rod and the sealing member with which the piston rod is associated, to support the piston and the piston rod. Therefore, the sliding resistance between the piston and the inner surface of the cylinder tube, as well as between the piston rod and the associated sealing member, is extremely low, making starting not only easy but also accurate positioning even at low speeds. can do.

(実施例) 以下図面を参照して本発明実施例について詳述する。(Example) Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

第1図は本発明流体圧シリンダの好適な一実施例を一部
省略して示す断面図であり、図中第5図に示す部分と同
等の部分はそれと同一符号で示す。
FIG. 1 is a partially omitted cross-sectional view of a preferred embodiment of the hydraulic cylinder of the present invention, and portions in the figure that are equivalent to those shown in FIG. 5 are designated by the same reference numerals.

1はシリンダチューブを、2はピストンを、3はピスト
ンロッドを、そして4a、 4bは封止部材としてのカ
バーをそれぞれ示している。
1 is a cylinder tube, 2 is a piston, 3 is a piston rod, and 4a and 4b are covers as sealing members, respectively.

ピストン2には、それに貫通して設けられた貫通孔11
が形成されており、ピストン2はそれら貫通孔11を貫
通して延在するピストンロッド3の一端部に形成したお
ねじ部にナツトを締結することによりピストンロッド3
に一体的に固着される。
The piston 2 has a through hole 11 provided therethrough.
are formed, and the piston 2 is connected to the piston rod 3 by fastening a nut to a male thread formed at one end of the piston rod 3 that extends through the through holes 11.
is integrally fixed to.

また、ピストン2は、その中間部に貫通孔11より大径
としたポケット12が、さらにその外周にはポケット1
2に連通ずる収容凹部13が形成されている。
Further, the piston 2 has a pocket 12 with a larger diameter than the through hole 11 in the middle part, and a pocket 12 on the outer periphery of the pocket 12.
A housing recess 13 communicating with the housing 2 is formed.

この収容凹部は、ピストン12の全周に亘って延在させ
でも良く、周方向に適宜に間隔を置いて設けても良い。
The accommodation recesses may extend over the entire circumference of the piston 12, or may be provided at appropriate intervals in the circumferential direction.

収容凹部13には、空気・水・油・ガスなどの流体を自
由に透過することができる流体透過性材料、たとえば特
殊処理を施した三次元網目構造を有するセラミックス多
孔体を鋳込んだもの(プレスナイト:商品名)よりなり
、収容凹部13に適合する形状に形成された流体膜形成
部14を取付ける。
The accommodation recess 13 is made of a fluid-permeable material that can freely pass through fluids such as air, water, oil, and gas, such as a ceramic porous body with a three-dimensional network structure that has been specially treated ( A fluid film forming portion 14 made of Press Knight (trade name) and formed into a shape that fits the accommodation recess 13 is attached.

ピストンに連結されたピストンロッド3には、一端がポ
ケット12に開口し他端がピストンロッドの外方に開口
しほぼその軸線方向に延在する供給孔15が設けられて
いる。それゆえ、外方側開口部から加圧流体を供給する
と、ポケット側開口部から噴出した加圧流体は、ポケッ
ト12内で圧力降下して流体膜形成部14から外方に流
出し、その静圧にほぼ等しい圧力の流体膜をピストンと
シリンダチューブとの間の間隙に形成してピストンを支
持するとともにシールする。
The piston rod 3 connected to the piston is provided with a supply hole 15 that opens into the pocket 12 at one end, opens outward from the piston rod at the other end, and extends substantially in the axial direction of the piston rod. Therefore, when pressurized fluid is supplied from the outer opening, the pressure of the pressurized fluid ejected from the pocket opening decreases in pressure within the pocket 12, flows outward from the fluid film forming part 14, and its static A fluid film of approximately equal pressure is formed in the gap between the piston and the cylinder tube to support and seal the piston.

ピストンロッド3を摺動自在に支持する本実施例では片
側のカバー48のピストンロッド支持部にも、ポケット
16およびポケット16に連通された収容凹部17が形
成されている。この収容凹部には、流体透過性材料より
なり収容凹部に適合する形状に形成された他の流体膜形
成部18が配設されており、シリンダチューブlに共軸
に形成しためねじ部19に、そのめねし部に螺合するね
じ部を有し内径がピストンロッド3より大きな内径を有
する環状の係止部材20をねじ込むことにより、その流
体膜形成部が固定される。
In this embodiment, which supports the piston rod 3 in a slidable manner, a pocket 16 and an accommodation recess 17 communicating with the pocket 16 are also formed in the piston rod support portion of the cover 48 on one side. This housing recess is provided with another fluid film forming part 18 made of a fluid-permeable material and formed in a shape that fits the housing recess. The fluid film forming portion is fixed by screwing in an annular locking member 20 having a threaded portion that engages with the female thread portion and having an inner diameter larger than that of the piston rod 3.

さらにカバー48には、ポケット16に加圧流体を供給
すべ(他の供給孔21がそのポケットに連通して形成さ
れている。それゆえ、供給孔21を介してボケッl−2
1内に流入した加圧流体は、流体膜形成部18からピス
トンロッド周面に向かって流出し、加圧流体の有する静
圧にほぼ等しい圧力の流体膜をピストンロッドとカバー
との間の隙間に形成してピストンロッドを支持するとと
もにシールする。
Furthermore, the cover 48 is provided with a means for supplying pressurized fluid to the pocket 16 (another supply hole 21 is formed in communication with the pocket.
The pressurized fluid that has flowed into 1 flows out from the fluid film forming portion 18 toward the circumferential surface of the piston rod, and forms a fluid film with a pressure approximately equal to the static pressure of the pressurized fluid in the gap between the piston rod and the cover. The piston rod is formed to support the piston rod and to seal it.

次に、第2図を参照しながら本発明流体圧シリンダの作
動について説明する。第2図は本発明流体圧シリンダを
用いた位置決め装置を模式的に示したものであり、シリ
ンダ25の各給排口6a、 6bには、一対の電磁式流
量制御弁を互いに逆作動させることにより加圧流体の流
入量および排出量を調整して所望圧力とした加圧流体を
供給することができるサーボ弁26a、 26bを介し
て適当な操作圧力源、たとえばエアーコンプレッサ27
に接続された管路28が接続されている。また、それぞ
れの供給孔には、同じくエアーコンプレッサ27が管路
29を介して接続されている。なお、符号30は、エア
ーコンプレッサ27から送られる圧縮空気の脈動を吸収
し一定圧力に保持するレギュレータである。
Next, the operation of the fluid pressure cylinder of the present invention will be explained with reference to FIG. FIG. 2 schematically shows a positioning device using a fluid pressure cylinder of the present invention, and each supply/discharge port 6a, 6b of the cylinder 25 has a pair of electromagnetic flow control valves that operate in opposite directions. A suitable operating pressure source, such as an air compressor 27, is connected via servo valves 26a and 26b, which can supply pressurized fluid at a desired pressure by adjusting the inflow and outflow of pressurized fluid.
A conduit 28 connected to is connected. Further, an air compressor 27 is similarly connected to each supply hole via a conduit 29. Note that the reference numeral 30 is a regulator that absorbs the pulsation of the compressed air sent from the air compressor 27 and maintains it at a constant pressure.

シリンダ25のピストンロッド3にはテーブル31が連
結されている。このテーブル31には位置検出手段とし
ての、たとえばリニアエンコーダ32が関連して配設さ
れており、エンコーダ32からの検出信号は、演算処理
手段33により図示しない位置設定手段からの位置設定
信号と比較演算処理されて制御信号となり、各サーボ弁
を制御する。
A table 31 is connected to the piston rod 3 of the cylinder 25. For example, a linear encoder 32 as a position detecting means is arranged in association with this table 31, and a detection signal from the encoder 32 is compared with a position setting signal from a position setting means (not shown) by an arithmetic processing means 33. It is processed and becomes a control signal, which controls each servo valve.

それゆえ、位置設定手段からの位置設定信号に基づいて
演算処理手段が各サーボ弁の開度を調整し、エアーコン
プレッサ27から作動媒体としての圧縮空気を流体圧シ
リンダ25の一方の室5に供給すると、テーブル31は
所設位置に移動することになる。この際、ピストンおよ
びピストンロッドは、操作圧力源としてエアーコンプレ
ッサから供給された圧縮空気による流体膜により支持さ
れシールされるので、それらの移動は低速にあっても極
めて円滑に行なわれることになり、ひいてはテーブルの
移動も円滑に行なわれることになる。なお、圧縮空気の
供給は、位置設定信号とリニアエンコーダからの検出信
号との差がなくなるまで行なわれる。なお本実施例では
、レギュレータ30および管路29を介してエアーコン
プレッサ27からの圧縮空気を、供給孔21を介して流
体膜形成部18に導く構成としたが、サーボ弁26aを
介して給徘口6aに導かれる圧縮空気の一部を供給孔2
1に導く構成としても良く、この場合には、室5と流体
膜形成部18との圧力差が実質的にな(なるか極めて小
さくなると言う利点がある。
Therefore, the arithmetic processing means adjusts the opening degree of each servo valve based on the position setting signal from the position setting means, and supplies compressed air as a working medium from the air compressor 27 to one chamber 5 of the fluid pressure cylinder 25. Then, the table 31 will be moved to the installed position. At this time, the piston and piston rod are supported and sealed by a fluid film of compressed air supplied from the air compressor as the operating pressure source, so their movement is extremely smooth even at low speeds. As a result, the table can be moved smoothly. Note that the supply of compressed air is continued until there is no difference between the position setting signal and the detection signal from the linear encoder. In this embodiment, the compressed air from the air compressor 27 is guided through the regulator 30 and the conduit 29 to the fluid film forming section 18 through the supply hole 21, but the compressed air is introduced through the servo valve 26a. A portion of the compressed air guided to the port 6a is supplied to the supply hole 2.
In this case, there is an advantage that the pressure difference between the chamber 5 and the fluid film forming portion 18 becomes substantially (or even extremely small).

この際、流体膜形成部から流出してピストン両側に位置
する室と室との管をシールする圧縮空気が流体圧シリン
ダのそれぞれの室5に流入してピストンを移動させ、ひ
いてはテーブル31を移動させることが考えられるが、
テーブル31に関連させて設けたリニアエンコーダ32
からの検出信号および位置設定信号に基づいて演算処理
手段33がサーボ弁26a、 26bを調整するので、
テーブル31が所定位置からずれる虞はなく、正確に位
置決めすることができる。
At this time, compressed air flows out from the fluid film forming part and seals the pipes between the chambers located on both sides of the piston, flows into each chamber 5 of the fluid pressure cylinder, moves the piston, and in turn moves the table 31. It is possible to do so, but
Linear encoder 32 provided in association with table 31
Since the arithmetic processing means 33 adjusts the servo valves 26a and 26b based on the detection signal and position setting signal from the
There is no risk that the table 31 will shift from the predetermined position, and it can be positioned accurately.

次いで第3図に本発明流体圧シリンダの他の実施例を一
部破断して示す。本実施例はピストン2の部分を除いて
第1図に示した複動形のシリンダと同等の構造をしてい
る。第1図に示した流体圧シリンダでは、その流体膜形
成部14からシリンダチューブ1の内壁に向けて噴出さ
れる加圧流体、例えば圧縮空気が流体膜形成部14及び
シリンダチューブ1の内壁の隙間を経て室5に流入する
ことになり、継続して流体圧シリンダを使用する場合に
、余分に圧縮空気が消費されることとなる。そこで、第
3図に示した実施例では、シリンダチューブ1の内壁に
沿うピストン2の摺動運動を損なうことなく圧縮空気の
該隙間からの流出に伴う損失を阻止すべく、ピストン2
の両端部にその軸線方向に延在させてシール部2aがそ
れぞれ設けられている。
Next, FIG. 3 shows another embodiment of the fluid pressure cylinder of the present invention, partially cut away. This embodiment has the same structure as the double-acting cylinder shown in FIG. 1, except for the piston 2. In the fluid pressure cylinder shown in FIG. 1, pressurized fluid, such as compressed air, ejected from the fluid film forming portion 14 toward the inner wall of the cylinder tube 1 is ejected from the gap between the fluid film forming portion 14 and the inner wall of the cylinder tube 1. The compressed air flows into the chamber 5 through the compressed air, and when the fluid pressure cylinder is continuously used, extra compressed air is consumed. Therefore, in the embodiment shown in FIG. 3, in order to prevent the loss caused by the outflow of compressed air from the gap without impairing the sliding movement of the piston 2 along the inner wall of the cylinder tube 1, the piston 2 is
Seal portions 2a are provided at both ends of the shaft, extending in the axial direction thereof.

このシール部2aは、本実施例では、シリンダチューブ
の内壁1aとの間に、僅かな隙間を形成するフィンとと
れに隣接する拡大室とが交互に設けられたラビリンスシ
ールを用いた。
In this embodiment, the seal portion 2a is a labyrinth seal in which fins forming a small gap and enlarged chambers adjacent to the groove are alternately provided between the seal portion 2a and the inner wall 1a of the cylinder tube.

このようなシール部をピストンの両端部に設けることに
より、シリンダチューブlの内壁とピストン2との隙間
からの圧縮空気の噴出を、それらシール部を設けない場
合に比べて約1/10以下とすることができるばかりで
なく、ピストン2をそこに形成される空気膜により安定
させて保持することができ、ピストンの運動を一層円滑
なものとすることができる。
By providing such seals at both ends of the piston, the blowout of compressed air from the gap between the inner wall of the cylinder tube l and the piston 2 can be reduced to about 1/10 or less compared to the case where these seals are not provided. Not only this, but also the piston 2 can be stably held by the air film formed there, and the movement of the piston can be made even smoother.

勿論シール部としては、このラビリンスシールに限定さ
れるものではなく、シリンダとピストンとの相対運動を
許容し、それらの間の隙間からの加圧流体の流出を実質
的に低減し又は阻止することができるものであれば良い
Of course, the seal portion is not limited to this labyrinth seal, and may be any seal that allows relative movement between the cylinder and piston and substantially reduces or prevents the flow of pressurized fluid from the gap between them. It is fine as long as it can be done.

第4図は本発明流体圧シリンダの別の実施例を一部破断
して示す図である。本実施例は第1図に示した複動形の
ものと異なり単動形の流体圧シリンダを示すが、給排孔
6aおよびそれに関連する室5がない点を除いて第1図
に示した実施例とほぼ同様な構成をしている。
FIG. 4 is a partially cutaway view showing another embodiment of the fluid pressure cylinder of the present invention. This embodiment shows a single-acting fluid pressure cylinder, unlike the double-acting type shown in FIG. 1, except that there is no supply/discharge hole 6a and the associated chamber 5. It has almost the same configuration as the embodiment.

その作動を示せば、作動媒体と同じ加圧流体を供給孔1
5.21を介してそれぞれの流体膜形成部14゜18に
導く一方、給排口6bを介して作動媒体を室に供給すれ
ば、ピストンとしても機能するピストンロッド2を、図
中矢印3で示す方向に円滑に移動させることができる。
If its operation is indicated, the same pressurized fluid as the working medium is supplied to the supply hole 1.
5.21 to the respective fluid film forming portions 14 and 18, while supplying the working medium to the chambers through the supply/discharge port 6b, the piston rod 2, which also functions as a piston, can be moved as indicated by the arrow 3 in the figure. It can be moved smoothly in the direction shown.

以上本発明を上述した実施例に基づいて説明したが、本
発明はこれら実施例に限定されるものでなく、作動媒体
として油、水などを用いることができ、またダブルロッ
ド式のシリンダとしても良く、特許請求の範囲内で種々
の変更が可能である。
Although the present invention has been described above based on the above-mentioned embodiments, the present invention is not limited to these embodiments. Oil, water, etc. can be used as the working medium, and the present invention can also be used as a double rod type cylinder. However, various modifications may be made within the scope of the claims.

(発明の効果) それゆえ、本発明流体圧シリンダによれば、摺動運動を
行なうピストンおよびピストンロッドを、シリンダチュ
ーブおよびカバーの間に形成した流体膜により支持する
とともにシールする構成としたので、それらに起因する
摺動抵抗は、従来のシリンダに比べて極めて小さく、従
がって起動特性に優れ、精度良く位置決めすることがで
きる。しかも流体膜により支持する構成としたので、シ
リンダチューブ内面の表面あらさの影響を受けることが
なく、その加工が容易となる。しかもピストンの両端部
にシール部を設けることにより、ピストンの流体膜形成
部を介して噴出される加圧流体の流出量を低減させ、ま
たピストンを該流体膜にて確実に支持することができ、
その作動を円滑なものとし併せてランニングコストを減
少させるなど多くの利点を有している。
(Effects of the Invention) Therefore, according to the fluid pressure cylinder of the present invention, since the piston and piston rod that perform sliding movement are supported and sealed by the fluid film formed between the cylinder tube and the cover, The sliding resistance caused by these is extremely small compared to conventional cylinders, so the starting characteristics are excellent and positioning can be performed with high precision. Moreover, since it is supported by a fluid film, it is not affected by the surface roughness of the inner surface of the cylinder tube, and its processing becomes easy. Moreover, by providing the seal portions at both ends of the piston, the amount of pressurized fluid ejected through the fluid film forming portion of the piston can be reduced, and the piston can be reliably supported by the fluid film. ,
It has many advantages such as smooth operation and reduced running costs.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明流体圧シリンダの一実施例を示す断面
図、 第2図は第1図に示す流体圧シリンダを用いた位置決め
装置を模式的に示す図、 第3図は、本発明流体圧シリンダの他の実施例の一部を
示す断面図、 第4図は、本発明流体圧シリンダの別の実施例を示す断
面図、 第5図は、従来の流体圧シリンダを示す断面図、第6図
は、従来の流体圧シリンダに適用されたピストン部を示
す図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the fluid pressure cylinder of the present invention, FIG. 2 is a diagram schematically showing a positioning device using the fluid pressure cylinder shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a diagram showing an example of the present invention. FIG. 4 is a cross-sectional view showing another example of the fluid pressure cylinder of the present invention; FIG. 5 is a cross-sectional view showing a conventional hydraulic cylinder. , FIG. 6 is a diagram showing a piston part applied to a conventional fluid pressure cylinder.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、シリンダチューブと、シリンダチューブ内に摺動自
在に配設され外周部に流体透過性材料よりなる流体膜形
成部を有するピストンと、ピストンに固着されその流体
膜形成部に加圧流体を供給する供給孔を有するピストン
ロッドと、シリンダチューブの各端部に設けられ少なく
とも片側にてピストンロッドを支持する流体透過性材料
よりなる他の流体膜形成部を有する封止部材と、その封
止部材に設けられ他の流体膜形成部に加圧流体を供給す
る他の供給孔とを具えてなることを特徴とする流体圧シ
リンダ。 2、前記ピストンは、その両端部にそれぞれシール部を
具えてなることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の流体圧シリンダ。
[Scope of Claims] 1. A cylinder tube, a piston that is slidably disposed within the cylinder tube and has a fluid film forming portion made of a fluid permeable material on its outer periphery, and the fluid film forming portion is fixed to the piston. A sealing member having a piston rod having a supply hole for supplying pressurized fluid to the cylinder tube, and another fluid film forming part made of a fluid permeable material provided at each end of the cylinder tube and supporting the piston rod on at least one side. and another supply hole provided in the sealing member for supplying pressurized fluid to another fluid film forming portion. 2. The fluid pressure cylinder according to claim 1, wherein the piston is provided with a seal portion at each end thereof.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11264404A (en) * 1998-03-18 1999-09-28 Ckd Corp Air bearing cylinder, rod for air bearing cylinder and manifold cylinder
JP2011237328A (en) * 2010-05-12 2011-11-24 A & D Co Ltd Method and apparatus for driving engine

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