JPH01131008A - Production of ceramics - Google Patents

Production of ceramics

Info

Publication number
JPH01131008A
JPH01131008A JP62287556A JP28755687A JPH01131008A JP H01131008 A JPH01131008 A JP H01131008A JP 62287556 A JP62287556 A JP 62287556A JP 28755687 A JP28755687 A JP 28755687A JP H01131008 A JPH01131008 A JP H01131008A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
guanidine
silicate
silicon
silicon nitride
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62287556A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Ono
博司 小野
Mutsuo Nakajima
睦男 中島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui Toatsu Chemicals Inc
Original Assignee
Mitsui Toatsu Chemicals Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsui Toatsu Chemicals Inc filed Critical Mitsui Toatsu Chemicals Inc
Priority to JP62287556A priority Critical patent/JPH01131008A/en
Publication of JPH01131008A publication Critical patent/JPH01131008A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain in high efficiency a high-quality ceramic consisting of Si3N4 and/or SiC by heating at specified temperature, in an inert or reducible gas, a silicate of guanidine compound. CONSTITUTION:First, a silicate of guanidine compound is prepared by reaction, at 20 to 200 deg.C, between (A) a guanidine compound such as (1-methyl)guanidine, 1-phenylguanidine or 1-methylolguanidine and (B) a silicon oxide such as colloidal silica or a precursor capable of forming a silicon oxide (e.g., (di)silane) in the molar ratio A/B=10-1/1-10. Thence, this compound is heated at >=1200 deg.C for 1 to 6hrs in an inert or reducible gas (e.g., N2, H2, NH3) to be converted into the objective ceramic.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はセラミックスの製造方法に関する。特に本発明
は、窒化珪素及び炭化珪素のいずれか、または双方より
なるセラミックスの製造方法に関する。窒化珪素および
炭化珪素は、高い熱安定性と優れた耐摩耗性を有し、将
来その特性を生かして更に多方面にわたる用途の見込ま
れている新材料である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a method for manufacturing ceramics. In particular, the present invention relates to a method for manufacturing ceramics made of silicon nitride, silicon carbide, or both. Silicon nitride and silicon carbide are new materials that have high thermal stability and excellent wear resistance, and are expected to be used in a wide range of fields in the future by taking advantage of these properties.

(従来の技術および発明が解決しようとする問題点) 窒化珪素および炭化珪素の工業的製法としては、従来か
らいくつかの方法が知られている。例えば、窒化珪素の
製造方法については次の二つの方法が主流となっている
。即ち、一つは、気相窒化剤の存在下で金属珪素粉末を
高温に加熱する方法であり、他の一つは気相窒化剤の存
在下で酸化珪素粉末とカーボン粉末の分散混合物を高温
に加熱する方法である。しかし、これらの従来からの方
法では得られる窒化珪素粉末は、前者の方法においては
反応中にしばしば生ずる異常昇温のため、また、後者の
方法においては酸化珪素粉末とカーボン粉末との均一分
散混合が充分できないために、いずれの方法でも粒度分
布が広く、平均粒径の大きなものになりやすいという問
題点を存している。また更には、これらの従来からの方
法ではいずれも粉砕工程を含む上に、特に後者の方法で
は製品の窒化珪素の純度を高(するに充分な純度の高純
度カーボンを安価に入手することが難しい等の問題点も
あって、これまで高純度の窒化珪素粉末を工業的な規模
で経済的に作るのはかなり難しいのが現状であった。一
方、炭化珪素の製造方法としては、やはり、次に記す二
つの方法がよく知られている。即ち、一つは、シリカと
カーボンを不活性ガス雰囲気中で1600℃以上の温度
に加熱する方法であり、他の一つは、シリコンとカーボ
ンを1400℃以上の温度で直接反応させる方法である
(Prior Art and Problems to be Solved by the Invention) Several methods are conventionally known as industrial methods for producing silicon nitride and silicon carbide. For example, the following two methods are mainstream for manufacturing silicon nitride. That is, one method is to heat a metal silicon powder to a high temperature in the presence of a vapor phase nitriding agent, and the other method is to heat a dispersed mixture of silicon oxide powder and carbon powder to a high temperature in the presence of a vapor phase nitriding agent. This is a method of heating to. However, the silicon nitride powder obtained by these conventional methods is difficult to obtain due to the abnormal temperature rise that often occurs during the reaction in the former method, and the uniform dispersion of silicon oxide powder and carbon powder in the latter method. Both methods have the problem that the particle size distribution tends to be wide and the average particle size tends to be large because of the inability to obtain a sufficient amount of particles. Furthermore, all of these conventional methods involve a pulverization step, and in the latter method in particular, it is difficult to obtain high-purity carbon of sufficient purity at a low cost to increase the purity of silicon nitride in the product. Up until now, it has been quite difficult to economically produce high-purity silicon nitride powder on an industrial scale due to problems such as difficulty in producing silicon carbide. The following two methods are well known: one is to heat silica and carbon to a temperature of 1,600°C or higher in an inert gas atmosphere, and the other is to heat silicon and carbon to a temperature of 1,600°C or higher. This is a method of directly reacting at a temperature of 1400°C or higher.

しかし、これらの方法はいずれも固体間の反応であるた
めに、反応を充分に行わせるためには原料となるシリカ
、シリコンあるいはカーボンを長時間かけて微細に粉砕
することを必要とし、且つ、−旦得られた炭化珪素を再
び粉砕した後に、純度を向上させる為に脱鉄、脱シリカ
等の長い工程を経て精製することを必要とする等、労力
あるいは所要エネルギーのいずれの点からも工業的な規
模で経済的に製造するのはかなり難しいのが現状である
However, since all of these methods involve reactions between solids, it is necessary to finely pulverize the raw materials silica, silicon, or carbon over a long period of time in order to carry out the reaction sufficiently. - After re-pulverizing the previously obtained silicon carbide, it is necessary to refine it through long steps such as iron removal and silica removal in order to improve the purity, which makes it difficult to manufacture in terms of both labor and energy requirements. At present, it is quite difficult to manufacture it economically on a large scale.

(問題点を解決するための手段および作用)本発明者等
はこれらの問題点を解決するための詳細な研究を行って
きた。その結果、従来がら行われてきている前記の方法
に代わり、グアニジン化合物の珪酸塩を原料として用い
、これを適切な条件下において加熱すれば効率良く窒化
珪素および/または炭化珪素よりなるセラミックスを製
造できることを見い出し本発明を完成させるに至った。
(Means and effects for solving the problems) The present inventors have conducted detailed research to solve these problems. As a result, instead of the conventional method described above, ceramics made of silicon nitride and/or silicon carbide can be efficiently produced by using silicate of a guanidine compound as a raw material and heating it under appropriate conditions. They discovered what they could do and completed the present invention.

即ち、本発明は、グアニジン化合物の珪酸塩を、不活性
ガスまたは還元性ガス中において温度1200 ”C以
上に加熱することを特徴とするセラミックスの製造方法
である。
That is, the present invention is a method for producing ceramics, which is characterized by heating a silicate of a guanidine compound to a temperature of 1200''C or higher in an inert gas or a reducing gas.

ここに述べるセラミックスとは、窒化珪素、炭化珪素又
はこれらの混合物を意味する。本発明の方法においては
、原料とするグアニジン化合物の珪酸塩を不活性ガスま
たは還元性ガス中において加熱する温度を変えることに
よって生成物の窒化珪素及び炭化珪素の生成比率を変え
ることができる。これらの生成比率は、反応時間にもよ
るが、概ね、反応温度は1200℃以上とする。特に1
200〜1450℃とすることによって、窒化珪素を主
に含有するセラミックスが得られ、又、温度を1450
〜2000℃とすることにより、炭化珪素を主に含有す
るセラミックスが得られる。
Ceramics mentioned herein means silicon nitride, silicon carbide, or a mixture thereof. In the method of the present invention, the production ratio of silicon nitride and silicon carbide as products can be changed by changing the temperature at which the silicate of the guanidine compound used as a raw material is heated in an inert gas or a reducing gas. Although the production ratio of these depends on the reaction time, the reaction temperature is generally 1200° C. or higher. Especially 1
By setting the temperature to 200 to 1450°C, ceramics containing mainly silicon nitride can be obtained;
By setting the temperature to 2000°C, ceramics containing mainly silicon carbide can be obtained.

なかんずく、温度が1400〜1500 ℃の間では、
窒化珪素と炭化珪素の混合物よりなるセラミックスを得
ることができる。
Above all, when the temperature is between 1400 and 1500℃,
Ceramics made of a mixture of silicon nitride and silicon carbide can be obtained.

本発明の方法において用いるグアニジン化合物の珪酸塩
とは、次に示すグアニジン化合物と珪酸からなる化合物
または混合物を意味する。即ち、グアニジン化合物とは
、次に示す一般式、■H R’ R” N−(、−NR3R’ (式中、Nは窒素原子、Cは炭素原子、Hは水素原子を
示し、又、R1、R2、R3およびR4はそれぞれ水素
、アルキル基、アリール基、シクロアルキル基、アルキ
ルアリール基あるいはヒドロキシアルキル基を示す。ま
た、R1はアミノ基であってもよい。)で示されるグア
ニジン化合物を意味する。具体的な例としては、R1な
いしR4が全て水素であるグアニジンのほかに、1−メ
チルグアニジン、1,1−ジメチルグアニジン、1.3
−ジメチルグアニジン、I、L3− トリメチルグアニ
ジン、1、L3,3−テトラメチルグアニジン、1−エ
チルグアニジン、■−フェニルグアニジン、1−シクロ
へキシルグアニジン、■−ベンジルグアニジン、1−メ
チロールグアニジン、1−アミノグアニジン、1,1−
ジメチロールグアニジン、1.3−エチルグアニジン、
■。
The silicate of a guanidine compound used in the method of the present invention means the following compound or mixture consisting of a guanidine compound and silicic acid. That is, a guanidine compound has the following general formula: ■H R'R'' N-(, -NR3R' (where N is a nitrogen atom, C is a carbon atom, H is a hydrogen atom, and R , R2, R3 and R4 each represent hydrogen, an alkyl group, an aryl group, a cycloalkyl group, an alkylaryl group or a hydroxyalkyl group. Also, R1 may be an amino group. Specific examples include guanidine in which R1 to R4 are all hydrogen, 1-methylguanidine, 1,1-dimethylguanidine, 1.3
-dimethylguanidine, I, L3- trimethylguanidine, 1, L3,3-tetramethylguanidine, 1-ethylguanidine, ■-phenylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, ■-benzylguanidine, 1-methylolguanidine, 1- Aminoguanidine, 1,1-
dimethylolguanidine, 1,3-ethylguanidine,
■.

3−ジフェニルグアニジン、1.3−ジシクロへキシル
グアニジン、1,3−ジベンジルグアニジン、1,3−
ジメチロールグアニジン、トリメチロールグアニジン等
が挙げられる。こ、れらの各種のグアニジン化合物の中
でも、特に、グアニジン、1−メチルグアニジン、1.
1−ジメチルグアニジン、1,3−ジメチルグアニジン
、1−エチルグアニジン、1−メチロールグアニジン、
1,1−ジメチロールグアニジン、1,3−ジメチロー
ルグアニジン、トリメチロールグアニジン、1−フェニ
ルグアニジン又は1.3−ジフェニルグアニジン等が好
ましく用いられる。
3-diphenylguanidine, 1,3-dicyclohexylguanidine, 1,3-dibenzylguanidine, 1,3-
Examples include dimethylolguanidine and trimethylolguanidine. Among these various guanidine compounds, guanidine, 1-methylguanidine, 1.
1-dimethylguanidine, 1,3-dimethylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-methylolguanidine,
1,1-dimethylolguanidine, 1,3-dimethylolguanidine, trimethylolguanidine, 1-phenylguanidine, 1,3-diphenylguanidine, etc. are preferably used.

本発明の方法におけるこれらのグアニジン化合物の珪酸
塩は、前記のグアニジン化合物と、酸化珪素または酸化
珪素を生成し得る前駆体とから合成される。酸化珪素の
例としては、シリカの他にコロイダルシリカが好適な例
として挙げられる。
These silicates of guanidine compounds in the method of the invention are synthesized from the guanidine compounds described above and silicon oxide or a precursor capable of producing silicon oxide. In addition to silica, colloidal silica is a suitable example of silicon oxide.

特に、得られるセラミックスの品質の面からは、アルカ
リ金属あるいはアルカリ土類金属の含有量の極めて少な
いコロイダルシリカが好ましい。また、酸化珪素を生成
し得る前駆体の例としては、シラン、ジシラン、四塩化
珪素、メチルトリクロロシラン、珪酸エチル、珪酸イソ
プロピル等が例として挙げられる。これらの酸化珪素ま
たは酸化珪素を生成し得る前駆体と前記グアニジン化合
物とを、10:1〜1:10のモル比で混合し、温度2
0〜200 ℃2好ましくは、40〜100 ”Cで数
分〜数時間、場合によっては数日間撹拌することにより
グアニジン化合物の珪酸塩を得ることができる。例えば
、グアニジンの珪酸塩の場合では、遊離グアニジンの水
溶液にコロイダルシリカの水溶液を添加し、常圧下、6
0℃において2時間撹拌下で充分混合した後に若干の減
圧下で水分を蒸発させることによりグアニジンの珪酸塩
を無色透明の粘稠な液として得ることができる。また、
遊離グアニジンが入手しにくい場合には、各種のグアニ
ジン塩、例えば、炭酸グアニジン、塩酸グアニジン、ス
ルファミン酸グアニジンまたは硝酸グアニジン等の水溶
液を、水酸基型に再生した強塩基性陰イオン交換樹脂を
充填したカラムに通すこと等によって遊離グアニジンを
水溶液の形で得ることができる。他のグアニジン化合物
の珪酸塩の場合にも同様の操作を応用することにより得
ることが可能である。この場合、該グアニジン化合物が
水に不溶性の場合には、水のかわりに他の溶媒、例えば
、メタノールやエタノール等のアルコール類等を用いる
ことにより合成が可能となる。
In particular, from the viewpoint of the quality of the ceramics obtained, colloidal silica having an extremely low content of alkali metals or alkaline earth metals is preferred. Further, examples of precursors capable of producing silicon oxide include silane, disilane, silicon tetrachloride, methyltrichlorosilane, ethyl silicate, isopropyl silicate, and the like. These silicon oxides or precursors capable of producing silicon oxides and the guanidine compound are mixed at a molar ratio of 10:1 to 1:10, and the mixture is heated at a temperature of 2.
A silicate of a guanidine compound can be obtained by stirring at a temperature of 0 to 200 °C, preferably 40 to 100"C, for several minutes to several hours, and in some cases for several days. For example, in the case of a silicate of guanidine, An aqueous solution of colloidal silica was added to an aqueous solution of free guanidine, and the mixture was heated under normal pressure for 6 hours.
The silicate of guanidine can be obtained as a colorless and transparent viscous liquid by thoroughly mixing the mixture under stirring at 0° C. for 2 hours and then evaporating the water under slightly reduced pressure. Also,
If free guanidine is difficult to obtain, use a column filled with a strongly basic anion exchange resin in which an aqueous solution of various guanidine salts, such as guanidine carbonate, guanidine hydrochloride, guanidine sulfamate, or guanidine nitrate, is regenerated into the hydroxyl form. Free guanidine can be obtained in the form of an aqueous solution, such as by passing through the solution. Silicates of other guanidine compounds can also be obtained by applying similar operations. In this case, if the guanidine compound is insoluble in water, it can be synthesized by using other solvents, such as alcohols such as methanol and ethanol, in place of water.

かくして得られたこれらのグアニジン化合物の珪酸塩は
、不活性ガスまたは還元性ガス雰囲気中で1200℃以
上の温度に加熱することによってセラミックスに転化さ
れる。この加熱温度は、先に述べたように、反応時間に
もよるが、概ね、窒化珪素を主に含有するセラミックス
を得る場合には1200〜1450℃の範囲が好ましく
、また、炭化珪素を主に含有するセラミックスを得る場
合には、1450〜2000℃の温度範囲が好ましい。
The silicates of these guanidine compounds thus obtained are converted into ceramics by heating to a temperature of 1200° C. or higher in an inert gas or reducing gas atmosphere. As mentioned above, this heating temperature depends on the reaction time, but is preferably in the range of 1200 to 1450°C when obtaining ceramics mainly containing silicon nitride; In order to obtain ceramics containing the above, a temperature range of 1450 to 2000°C is preferable.

なかんずく、1400〜1500℃の温度範囲において
は、窒化珪素と炭化珪素との混合物を主体とするセラミ
ックスが得られる。加熱時間は、反応温度にもよるが、
通常1〜6時間が好ましい。
Above all, in the temperature range of 1400 to 1500°C, ceramics mainly composed of a mixture of silicon nitride and silicon carbide can be obtained. The heating time depends on the reaction temperature, but
Usually 1 to 6 hours is preferred.

雰囲気として用いるガスは、不活性ガスとしては窒素、
ヘリウム、ネオンまたはアルゴンが例示され、還元性ガ
スとしては、アンモニア、水素、−酸化炭素又はこれら
の混合ガスが例示される。
The gas used as the atmosphere is nitrogen as an inert gas,
Examples include helium, neon, or argon, and examples of the reducing gas include ammonia, hydrogen, carbon oxide, or a mixed gas thereof.

窒化珪素または窒化珪素を含有するセラミックスを得る
ことを目的とする場合には、これらのガスの中でも、窒
化の効率や経済性の面からは、窒素またはアンモニアを
用いることが特に好ましい。
When the purpose is to obtain silicon nitride or ceramics containing silicon nitride, it is particularly preferable to use nitrogen or ammonia among these gases from the viewpoint of nitriding efficiency and economy.

本発明の方法において用いるグアニジン化合物の珪酸塩
は、その原料であるグアニジン化合物や酸化珪素または
酸化珪素前駆体の段階で精製しておけば不純物の非常に
少ないものを合成できる。
The silicate of the guanidine compound used in the method of the present invention can be synthesized with very few impurities if the guanidine compound, silicon oxide, or silicon oxide precursor used as its raw material is purified at the stage.

また、該グアニジン化合物の珪酸塩は900℃以上の高
温に加熱すると有機質は完全に分解・消失し、固体とし
て残るものは実質的に生成物である窒化珪素および/ま
たは炭化珪素と少量の酸化珪素のみとなり、その他の不
純物含有量は通常極めて少ない。この不純物として含ま
れる酸化珪素の量はグアニジン化合物の珪酸塩を合成す
る際にグアニジン化合物を酸化珪素又は酸化珪素前駆体
に対して過剰に用いることによって減少させることがで
きる。グアニジン化合物の酸化珪素又は酸化珪素前駆体
に対する好ましい過剰率は化学量論の5%以上、特に好
ましくは、10〜100%である。この方法を採用する
ことにより、本発明の方法では極めて異物の少ない窒化
珪素及び/又は炭化珪素の製造が可能となる。
In addition, when the silicate of the guanidine compound is heated to a high temperature of 900°C or higher, the organic matter completely decomposes and disappears, and what remains as a solid is essentially the product silicon nitride and/or silicon carbide and a small amount of silicon oxide. The content of other impurities is usually extremely small. The amount of silicon oxide contained as an impurity can be reduced by using the guanidine compound in excess of the silicon oxide or silicon oxide precursor when synthesizing the silicate of the guanidine compound. The preferred excess of the guanidine compound to the silicon oxide or silicon oxide precursor is 5% or more of the stoichiometry, particularly preferably 10 to 100%. By employing this method, the method of the present invention enables the production of silicon nitride and/or silicon carbide with extremely few foreign substances.

(実施例) 以下、実施例によって本発明の方法をさらに具体的に説
明する。
(Example) Hereinafter, the method of the present invention will be explained in more detail with reference to Examples.

参考例1(遊離グアニジン水溶液の調製)炭酸グアニジ
ン(三井東圧化学製)を水で3回再結晶して900 ℃
における強熱残渣10ppm以下の高純度炭酸グアニジ
ンを調製した。この高純度炭酸グアニジン200グラム
を2リツトルの蒸溜水に溶解し、あらかじめ水酸基型に
再生しである強塩基性陰イオン交換樹脂(商品名、レバ
チットM−600)3リツトルを充填したガラスカラム
を通して炭酸根を除去した。カラムに通液する際に、濃
度の低い初期の通過液の一部を分け、比較的濃度の高い
部分のみを集めて1リツトルあたり58.3グラムの遊
離グアニジンを含有する水溶液1.6リツトルを得た。
Reference Example 1 (Preparation of free guanidine aqueous solution) Guanidine carbonate (manufactured by Mitsui Toatsu Chemical Co., Ltd.) was recrystallized with water three times at 900°C.
High purity guanidine carbonate with an ignition residue of 10 ppm or less was prepared. Dissolve 200 grams of this high-purity guanidine carbonate in 2 liters of distilled water and pass through a glass column filled with 3 liters of a strong basic anion exchange resin (trade name, Revachit M-600), which has been regenerated into hydroxyl group form, to dissolve the carbonate. Roots removed. When passing through the column, a portion of the initially low concentration flowthrough was separated and only the relatively concentrated portion was collected to form 1.6 liters of an aqueous solution containing 58.3 grams of free guanidine per liter. Obtained.

この遊離グアニジン水溶液を冷暗所に保存し、必要に応
じて分取してグアニジン化合物の珪酸塩、の製造原料に
供した。
This free guanidine aqueous solution was stored in a cool and dark place, and was fractionated as needed and used as a raw material for producing a silicate of a guanidine compound.

実施例1 試薬のコロイダルシリカ(口座化学製、商品名スノーテ
ックス−N1シリカを20.2重量%含有する)5’5
.2gを参考例1の方法で調製したグアニジン水溶液0
.5リツトルの中に滴下後、撹拌下で60℃13時間放
置した後に、減圧下(約20mmHg) 、約30℃に
おいて水を蒸発させ、若干の過剰グアニジン及び水分を
含むグアニジンの珪酸塩(無色透明の粘稠性液体)約4
4gを得た。
Example 1 Reagent colloidal silica (manufactured by Kaguchi Kagaku, trade name Snowtex-N1 containing 20.2% by weight of silica) 5'5
.. 2g of guanidine aqueous solution prepared by the method of Reference Example 1
.. After dropping it into 5 liters of water, it was left at 60°C for 13 hours under stirring, and water was evaporated at about 30°C under reduced pressure (about 20 mmHg) to form a guanidine silicate (colorless and transparent) containing some excess guanidine and water. (viscous liquid) approx.
4g was obtained.

かくして得られたグアニジンの珪酸塩を10g秤取し、
これを窒素雰囲気下において1350 ℃で2時間加熱
した。冷却後、得られた結晶のX線回折および赤外線吸
収スペクトルによる分析の結果、少量のシリカ以外の不
純物の殆ど含まれない窒化珪素が生成していることが確
認された。
Weighed out 10g of the guanidine silicate obtained in this way,
This was heated at 1350° C. for 2 hours under a nitrogen atmosphere. After cooling, the resulting crystal was analyzed by X-ray diffraction and infrared absorption spectrum, and it was confirmed that silicon nitride containing almost no impurities other than a small amount of silica was produced.

実施例2 実施例1の方法において、グアニジンの珪酸塩を135
0℃で2時間加熱する代わりに1700℃で4時間加熱
した。
Example 2 In the method of Example 1, the silicate of guanidine was added to 135
Instead of heating at 0°C for 2 hours, it was heated at 1700°C for 4 hours.

冷却後、得られた結晶のX線回折および赤外線吸収スペ
クトルによる分析の結果、炭化珪素が生成していること
が確認された。この結晶中には、シリカ以外の不純物は
殆ど検出されなかった。
After cooling, analysis of the obtained crystals by X-ray diffraction and infrared absorption spectrum confirmed that silicon carbide was produced. Almost no impurities other than silica were detected in this crystal.

実施例3 実施例1の方法において、グアニジンの珪酸塩を135
0℃で2時間加熱する代わりに1450℃で3時間加熱
した。
Example 3 In the method of Example 1, the silicate of guanidine was added to 135
Instead of heating at 0°C for 2 hours, it was heated at 1450°C for 3 hours.

冷却後、得られた結晶のX線回折および赤外線吸収スペ
クトルによる分析の結果、少量の炭化珪素を含む窒化珪
素が生成していることが確認された。
After cooling, the resulting crystal was analyzed by X-ray diffraction and infrared absorption spectrum, and it was confirmed that silicon nitride containing a small amount of silicon carbide was produced.

実施例4 参考例1の方法において、グアニジンの代わりに1−メ
チルグアニジン塩酸塩(東京化成製、GR)を用い、1
リツトルあたり遊離1−メチルグアニジン34.8gを
含む水溶液を調製した。
Example 4 In the method of Reference Example 1, 1-methylguanidine hydrochloride (manufactured by Tokyo Kasei, GR) was used instead of guanidine, and 1
An aqueous solution containing 34.8 g of free 1-methylguanidine per liter was prepared.

次に、実施例1の方法において、参考例1の方法で調製
した遊離グアニジン水溶液0.5リツトルを用いる代わ
りに、この遊離1−メチルグアニジン水溶液1リツトル
を用いた以外は同様の方法でグアニジン化合物珪酸塩の
調合を行い、若干の1−メチルグアニジンと水分を含有
する1−メチルグアニジンの珪酸塩約49gを得た。
Next, in the method of Example 1, a guanidine compound was prepared in the same manner except that 1 liter of this free 1-methylguanidine aqueous solution was used instead of 0.5 liter of the free guanidine aqueous solution prepared by the method of Reference Example 1. The silicate was prepared to obtain about 49 g of 1-methylguanidine silicate containing some 1-methylguanidine and water.

次いで、該1−メチルグアニジンの珪酸塩10gを窒素
雰囲気下において1600℃で5時間加熱した。冷却後
、得られた結晶のX線回折および赤外線吸収スペクトル
による分析の結果、少量のシリカ以外の不純物の殆ど含
まれない高純度の炭化珪素が生成していることが確認さ
れた。
Next, 10 g of the 1-methylguanidine silicate was heated at 1600° C. for 5 hours under a nitrogen atmosphere. After cooling, the resulting crystals were analyzed by X-ray diffraction and infrared absorption spectroscopy, and it was confirmed that highly pure silicon carbide containing almost no impurities other than a small amount of silica was produced.

(発明の効果) 本発明の方法により新規な製造ルートによる窒化珪素お
よび/または炭化珪素の製造方法が提供される。特に、
本発明の方法により従来法よりも高品質の窒化珪素及び
/又は炭化珪素の製造が可能となる。又、本発明の方法
により、同一原料・同一装置を使用して、窒化珪素及び
炭化珪素を製造することが可能となる。
(Effects of the Invention) The method of the present invention provides a method for producing silicon nitride and/or silicon carbide using a new production route. especially,
The method of the present invention makes it possible to produce silicon nitride and/or silicon carbide of higher quality than conventional methods. Further, the method of the present invention makes it possible to produce silicon nitride and silicon carbide using the same raw materials and the same equipment.

特許出願人  三井東圧化学株式会社Patent applicant: Mitsui Toatsu Chemical Co., Ltd.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)グアニジン化合物の珪酸塩を、不活性ガスまたは
還元性ガス中において温度1200℃以上に加熱するこ
とを特徴とするセラミックスの製造方法。
(1) A method for producing ceramics, which comprises heating a silicate of a guanidine compound to a temperature of 1200° C. or higher in an inert gas or reducing gas.
(2)温度が1200〜1450℃である特許請求の範
囲第1項記載の方法。
(2) The method according to claim 1, wherein the temperature is 1200 to 1450°C.
(3)温度が1450〜2000℃である特許請求の範
囲第1項記載の方法。
(3) The method according to claim 1, wherein the temperature is 1450 to 2000°C.
JP62287556A 1987-11-16 1987-11-16 Production of ceramics Pending JPH01131008A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62287556A JPH01131008A (en) 1987-11-16 1987-11-16 Production of ceramics

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62287556A JPH01131008A (en) 1987-11-16 1987-11-16 Production of ceramics

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01131008A true JPH01131008A (en) 1989-05-23

Family

ID=17718873

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62287556A Pending JPH01131008A (en) 1987-11-16 1987-11-16 Production of ceramics

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01131008A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7284481B2 (en) 2001-01-16 2007-10-23 Furetsu Kasuya Device and method for tensioning a screen on a screen printing frame
JP2008291475A (en) * 2007-05-23 2008-12-04 Sekisui Jushi Co Ltd Fixing structure of heat shield sheet

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7284481B2 (en) 2001-01-16 2007-10-23 Furetsu Kasuya Device and method for tensioning a screen on a screen printing frame
US7497159B2 (en) 2001-01-16 2009-03-03 Furetsu Kasuya Device and method for tensioning a screen on a screen printing frame
JP2008291475A (en) * 2007-05-23 2008-12-04 Sekisui Jushi Co Ltd Fixing structure of heat shield sheet

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0082343B1 (en) Process for preparing silicon nitride powder
JPS6112844B2 (en)
JPS63222011A (en) Production of polycrystal silicon
JPH01131008A (en) Production of ceramics
JP3322308B2 (en) Synthetic method of zeolite
JP3624244B2 (en) Rare earth borosilicate and method for producing the same
JPS6047205B2 (en) Method for producing silicon nitride powder
US4913887A (en) Production of boron nitride
JP3412005B2 (en) Rare earth polyborides containing carbon and nitrogen and method for producing the same
JPH0244018A (en) Aluminum nitride powder and production thereof
JPS61295211A (en) Production of fine powder of high-purity amorphous boron nitride
JPH0151443B2 (en)
JPS6311505A (en) Production of boron nitride
Yamada et al. Commercial Production of High Purity Silicon Nitride Powder
JPS6047204B2 (en) Method for manufacturing silicon nitride powder
JPS59169911A (en) Production of fine powder of silicon nitride of high purity
JP2639687B2 (en) Method for producing acicular silicon nitride
JPH01226706A (en) Production of silicon nitride powder
JPS60155509A (en) Preparation of fine powder of high-purity silicon nitride of isometric system
JPS638206A (en) Production of aluminum nitride
JPS5874511A (en) Manufacture of rhombic boron nitride
JPH01100013A (en) Manufacture of ammine salt of aluminum iodide
JPS61201608A (en) Manufacture of high purity aluminum nitride powder
JPS60122706A (en) Manufacture of silicon nitride powder
JPS638363A (en) Novel aluminic acid salt of guanidine compound and production thereof