JPH01128000A - Phase zone plate for x-ray microscope for bioobservation - Google Patents

Phase zone plate for x-ray microscope for bioobservation

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JPH01128000A
JPH01128000A JP28588387A JP28588387A JPH01128000A JP H01128000 A JPH01128000 A JP H01128000A JP 28588387 A JP28588387 A JP 28588387A JP 28588387 A JP28588387 A JP 28588387A JP H01128000 A JPH01128000 A JP H01128000A
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ray
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Hisao Fujisaki
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Abstract

PURPOSE:To relieve the restriction on the intensity of a light source and the sensitivity of an image pickup medium and to enable bioobservation with high accuracy and high sensitivity by forming a phase ring band of titanium, vanadium chromium. CONSTITUTION:An X-ray microscope for which a phase zone plate is used is constituted of an X-ray source 4, a condensing phase zone plate 5, a sample holder 6, an objective position zone plate 7, an image pickup device 8 and a vacuum chamber 9. Since the X-rays of a wavelength region used for observation are absorbed by air, the entire part needs be put into the chamber 9 and, therefore, the holder 6 is hermetically closed and a window to allow transmission of X-rays is provided at the time of observing the vital samples which live in liquid. The condensing phase zone plate 5 and the objective phase zone plate 7 are formed of the ring band consisting of the titanium, vanadium or chromium. The bioobservation with the high accuracy and high sensitivity is thereby enabled.

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) この発明は、生物観察X線顕微鏡用の位相ゾーングレー
トに関するものである。さらに詳しくは、この発明は、
生物試料の高解1象度観察が可能な、24〜44 の波
長域で使用することのできるX線類IAt m用の位相
ゾーンプレートに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Technical Field) The present invention relates to a phase zone grating for a biological observation X-ray microscope. More specifically, this invention
The present invention relates to a phase zone plate for X-ray IAtm that can be used in a wavelength range of 24 to 44 nm and enables high-resolution single-quadrant observation of biological samples.

(背景技術) 生物学、生化学、生物物理学などの学問研究において、
また、近年長足の31! 歩をとげている産業技術とし
てのバイオテクノロジーの開発においても、生きている
生物試料、たとえば、細胞試料の構造や細胞内の運動を
分子レベルで、高分解能にて観察したいとの要望が高ま
ってきている。
(Background technology) In academic research such as biology, biochemistry, and biophysics,
In addition, 31 with long legs in recent years! In the development of biotechnology as an industrial technology that is making progress, there is a growing desire to observe the structure and intracellular movement of living biological samples, such as cell samples, at the molecular level and with high resolution. ing.

従来、生物試料の観察法としては、光学レンズによって
光を集束する光学顕微鏡による方法と、電磁レンズによ
って電子線を集束する電子類1紋鏡による方法とが知ら
れているが、光学!# tsl 9Mの場合には、液体
中で生きている生物試料を見ることはできるが、可視光
の波長が長いために分解能が低く(約0.3μl)、電
子顕m鏡の場合には分解能は良い(オーダー)が試料を
真空中に置かねばならないために液体を含む試料には使
えないという問題があった。
Conventionally, there are two known methods for observing biological samples: an optical microscope that focuses light using an optical lens, and an electronic mirror that focuses an electron beam using an electromagnetic lens. # In the case of tsl 9M, it is possible to see living biological samples in liquid, but the resolution is low (approximately 0.3 μl) due to the long wavelength of visible light, and in the case of an electron microscope, the resolution is low. However, the problem was that it could not be used for samples containing liquids because the sample had to be placed in a vacuum.

また、最近になって開発が進んでいる冷凍電子W!微鏡
の場合には、生物試料を急速に冷凍して凍らせたままの
ストヴプモーションは見ることができるものの、生体内
の運動については観察できないという問題があった。
In addition, refrigeration electronic W!, which has recently been under development! In the case of a microscope, the problem is that although it is possible to rapidly freeze a biological sample and see the movement of the frozen specimen, it is not possible to observe the movement within the living body.

一方、X線は、ある物質には吸収され、曲の物質には吸
収されないという波長域が物質の種類に応じて存在する
なめに、いわゆるX線透視の方法として古くから用いら
れてきている。
On the other hand, X-rays have been used for a long time as a method of so-called X-ray fluoroscopy because there are wavelength ranges depending on the type of material that are absorbed by certain materials and not absorbed by other materials.

このX線の持つ特徴から、生きたままの生物試料の観察
にこのX線を利用することが考えられてきている。実際
、たとえば24〜44 の波長域のX線は、タンパク質
には吸収されるが水には吸収されないので、水中の生物
試料を生きたままで観察するのに使用できる可能性があ
る。
Due to the characteristics of these X-rays, it has been considered that they can be used to observe living biological samples. In fact, for example, X-rays in the 24 to 44 wavelength range are absorbed by proteins but not by water, so they may be used to observe living biological samples in water.

しかしながら、現状においては、このことはいまだに実
現されてきていない。克服すべきいくつかのjm副焦点
残されているからである。
However, at present, this has not yet been realized. This is because there are several jm subfocuses left to overcome.

X線は、光学レンズや電磁レンズでは集束できないこと
から独自の集束系が必要となるが、この集束系が開発さ
れていないのである。
Since X-rays cannot be focused by optical lenses or electromagnetic lenses, a unique focusing system is required, but this focusing system has not yet been developed.

近年、X線顕微鏡用の集束系としては凹面反射鏡(ウォ
ルター型)やフレネルゾーンプレートの1!J!用が提
案されてはいるが、十分な分解能を持った顕微鏡は実現
されていない。
In recent years, concave reflectors (Walter type) and Fresnel zone plates have been used as focusing systems for X-ray microscopes. J! However, a microscope with sufficient resolution has not been realized.

フレネルゾーンプレートはその独特の方式が注目される
らのであり、今後のX線顕微鏡の開発のための手がかり
となるものである。すなわち、添トトシた図面の第6図
に示したように、このフレネルゾーンプレートは、X線
を遮蔽する輪帯(ア)とX線を通過する輪477 (イ
ンとを同心に交互に並べ、輪帯(イ)を通過したX線が
一点において同位相で集まるように周辺に行くに従って
その幅が狭くなっている0輪帯(ア)(イ)の半径を第
6図に示したようにrl、r2.r3.・・・rn 、
・・・。
The Fresnel zone plate has attracted attention for its unique method, and will serve as a clue for the development of future X-ray microscopes. That is, as shown in FIG. 6 of the attached drawings, this Fresnel zone plate consists of a ring zone (A) that blocks X-rays and a ring zone (477) that passes through the X-rays, arranged concentrically and alternately. As shown in Figure 6, the radius of the 0-ring zone (A) and (B) becomes narrower toward the periphery so that the X-rays that have passed through the zone (A) gather at one point in the same phase. rl, r2.r3...rn,
....

r nとすると、X線の波長λと焦点距Ifとの間には
、たとえば、 r=Il ・ f・λ の関係が成立するようにフレネルゾーンプレートを設計
することができる。
If r n, then the Fresnel zone plate can be designed such that, for example, the following relationship holds between the wavelength λ of the X-ray and the focal length If.

このフレネルゾーンプレートは、後方fの距離(主焦点
)にX線を集め、前方fの距離を中心としてX線を発散
する作用を合わせ持つため凸レンズ的にも、凹レンズ的
にIJ使用することかできる。
This Fresnel zone plate has the function of concentrating X-rays at the rear distance f (principal focus) and diverging X-rays around the front distance f, so it can be used as either a convex lens or a concave lens. can.

さらにこのフレネルゾーンプレー1〜は、後方、前方に
それぞれ距11if/3 、 f15 、・・・(f/
奇数)に副焦点を持つ。
Furthermore, this Fresnel zone play 1 ~ has distances of 11if/3, f15, ... (f/
(odd number) has a subfocal point.

このような従来のフレネルゾーンプレートにおいては、
その断面を示した第7図からも明らかなように、入射し
なX線の約50%は遮蔽され、25%は回折されないで
真直ぐに通過し、10%が主焦点に、5%が多数の副焦
点に分散され、残りの15%は発散する。このため、光
学レンズの集光率が100%に近いのに対して、フレネ
ルゾーンプレートの場合にはX線を主焦点に10%しか
集束しないというのは、大きな欠点になっている。この
欠点のために、強いX線源および高感度の撮(LA媒木
が必要となり、その制限のためにX線顕微鏡の開発が遅
れている。
In such a conventional Fresnel zone plate,
As is clear from Figure 7, which shows the cross section, about 50% of the incident X-rays are blocked, 25% pass straight through without being diffracted, 10% are at the main focus, and 5% are in large numbers. , and the remaining 15% diverges. For this reason, while the condensing efficiency of an optical lens is close to 100%, a Fresnel zone plate has a major drawback in that it focuses only 10% of the X-rays at the principal focus. This drawback requires a strong X-ray source and high sensitivity (LA medium), and its limitations have delayed the development of X-ray microscopy.

フレネルゾーンプレートのX線集束能が低いという欠点
を克服するために、位相ゾーンプレートという新しい方
式が提案されてきている。
In order to overcome the drawback of the Fresnel zone plate's low X-ray focusing ability, a new method called a phase zone plate has been proposed.

第7図において、従来のフレネルゾーンプレートにおい
て遮蔽部(つ)が必要なのは、仮りにこの遮蔽部(つ)
を通過して焦点に行くような経路を考えると、そのX線
は、透過部(1)を通って集ったX線と位相がπラジア
ンずれていて干渉作用によって焦点での強度を弱めるこ
とになるので、それを防ぐことを目的としている。
In Fig. 7, the reason why a conventional Fresnel zone plate requires a shielding part is if this shielding part
If we consider a path in which the X-rays pass through the transparent part (1) and go to the focal point, the phase of the X-rays is shifted by π radians from the X-rays collected through the transparent part (1), and the intensity at the focal point is weakened by interference. The purpose is to prevent this from happening.

これを、第8図に示したように、フレネルゾーンプレー
1−の遮蔽部に相当する部分を、透明でかつ位相をπラ
ジアンずらずような作用を持つ位相輪帯(オ)に替える
場合には、X線の経路差によって生じるπラジアンの位
相のずれが相殺され、焦点において透過部(1)を通っ
たX線と位相が整合し、強め合う干渉が起こる。このよ
うな構成のゾーンプレートを位相ゾーンプレートトと呼
んでいる。
As shown in Fig. 8, when the part corresponding to the shielding part of Fresnel zone play 1- is replaced with a phase ring (O) which is transparent and has the effect of shifting the phase by π radians, The phase shift of π radians caused by the path difference of the X-rays is canceled out, and the phase matches the X-rays passing through the transmission part (1) at the focal point, causing constructive interference. A zone plate with such a configuration is called a phase zone plate.

このような位相ゾーンプレートの考え方によれば、位相
輪帯(オ)が完全透明であるならば、X線の集光率は4
0%に改善されることになる。
According to this concept of the phase zone plate, if the phase zone (O) is completely transparent, the X-ray focusing rate is 4.
This will be improved to 0%.

しかしながら、現実にはこれらはアイデアの域を出るこ
とがなく、生物試料の観察に適した24〜44 の波長
域のX線に対して完全透明な物質は見出されていながっ
た。これまでに位相ゾーンプレートとして提案されてい
るものは、金、銀。
However, in reality, these ideas remain only ideas, and no material has yet been found that is completely transparent to X-rays in the 24-44 wavelength range, which is suitable for observing biological samples. Gold and silver have been proposed as phase zone plates so far.

銅、炭素、シリコン、ベリリウム、アルミニウム。Copper, carbon, silicon, beryllium, aluminum.

フヅ化リチウム、ポリスチレンなどからなるものであり
、実際には、銀を用いて8 用の位相ゾーンプレートを
作製したという報告がなされるに留まっている。
It is made of lithium fluoride, polystyrene, etc., and in fact, there are only reports of phase zone plates for 8 being made using silver.

このため、位相ゾーンプレートの特徴を生かした具体的
なものの開発が、特に、24〜44 の波長のX線に対
して有効な生物W4察用位相ゾーングレートの実現が強
く望まれていた。
For this reason, there has been a strong desire to develop a concrete product that takes advantage of the characteristics of the phase zone plate, and in particular, to realize a phase zone plate for biological W4 detection that is effective for X-rays with wavelengths of 24 to 44 degrees.

(発明の目的) この発明は、以上の通りの事債に鑑みてなされたもので
あり、従来の生物観察用顕微鏡システムの欠点を克服し
、光源の強度および撮像媒体の感度の制約が緩和され、
高精度、高感度の生物観察用xi!jfi微鏡として用
いることのできる新しい位相ゾーンプレートを提供する
ことを目的としている。
(Objective of the Invention) The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to overcome the drawbacks of conventional biological observation microscope systems, and to alleviate restrictions on the intensity of the light source and the sensitivity of the imaging medium. ,
High precision, high sensitivity biological observation xi! The purpose of this invention is to provide a new phase zone plate that can be used as a jfi microscope.

(発明の開示) この発明の生物観察X&を顕微鏡用の位相ゾーンプレー
トは、上記の目的を実現するために、チタン、バナジウ
ムまたはクロムによって位相輪帯を形成してなることを
特徴としている。
(Disclosure of the Invention) In order to achieve the above object, the phase zone plate for biological observation X& of the present invention is characterized in that a phase zone is formed of titanium, vanadium or chromium.

この位相輪帯は、その半径の大きさを、従来の7レネル
ゾーンプレートと同様に、 r=ll ・ f・λ ■ (r7:中心からm呑口の輪帯の半径、f:焦点距離 λ:X線の波長) の式によって決定することができる。また、その厚さに
ついては、次のような関係が成立する。すなわち、X線
の屈折率nは1より小さく、波長λによって異なる。n
は、各波長ごとの原子散乱因子f”fi fi f2の
実部f1および虚部f2の値を用いて算出することがで
きる。X線がJ”Jさdの物質を通過すると、同じ厚さ
の真空を通過する時よりも位相がd・(1−n)  ・
2π/λだけ進むため、この進みをπにするための位相
輪帯は、π=d・(1−n)  ・2π/λから導いて
、d=λ/ 2 / (1−n) によって決めることができる。
The radius of this phase annular zone is the same as the conventional 7-Renel zone plate, r = ll · f · λ (r7: radius of the annular zone m from the center, f: focal length λ : X-ray wavelength). Further, regarding the thickness, the following relationship holds true. That is, the refractive index n of X-rays is smaller than 1 and varies depending on the wavelength λ. n
can be calculated using the values of the real part f1 and imaginary part f2 of the atomic scattering factor f"fi f2 for each wavelength. When an X-ray passes through a material of J"J length d, the same thickness The phase is d・(1-n)・than when passing through the vacuum of
Since it advances by 2π/λ, the phase ring to make this advance π is derived from π=d・(1−n)・2π/λ and determined by d=λ/2/(1−n) be able to.

この発明においては、X線に対する特性および物理化学
的安定性から、位相輪帯を形成するものとして、チタン
、バナジウムまたはクロムを使用するが、この各々につ
いて、X線波長に対する位相輪帯の厚さを示したものが
第1図である。チタン(1)、バナジウム(2)および
クロム(3)について、その相関性を示している。たと
えば、チタン(1)を用いる場合には、24〜44 の
X線波長に対しては約1.2μmの厚さを基準として、
集光率とのかb合いから実際の厚さを決めることができ
る。
In this invention, titanium, vanadium, or chromium is used to form the phase zone due to its characteristics against X-rays and physicochemical stability. Figure 1 shows this. The correlation is shown for titanium (1), vanadium (2) and chromium (3). For example, when titanium (1) is used, a thickness of approximately 1.2 μm is used as the standard for X-ray wavelengths of 24 to 44 μm.
The actual thickness can be determined from the combination with the light collection rate.

第2図は、このようなこの発明の位相ゾーンプレートと
従来のフレネルゾーングレートとの集光率の比Rを示し
たものである。
FIG. 2 shows the ratio R of light collection efficiency between the phase zone plate of the present invention and the conventional Fresnel zone plate.

このRは、理論的には、次のように表わすこともできる
Theoretically, this R can also be expressed as follows.

R=(1+’f’)2 1”=eXp(−ρ°μmd/2) (ρ: !l!J質密度、 μ:物質線吸収係数 T:振幅透過率) このようなこの発明の位相ゾーンプレートについては、
使用するX線の波長、欲しい焦点距離、製造、Lの限界
等を考慮して上記した厚さd+集光率比R2および輪帯
半径(r 11)を選択すればよい。
R=(1+'f')2 1''=eXp(-ρ°μmd/2) (ρ: !l!J material density, μ: material ray absorption coefficient T: amplitude transmittance) Such a phase of this invention Regarding zone plates,
The above-described thickness d+concentration ratio R2 and annular radius (r11) may be selected in consideration of the wavelength of the X-rays used, the desired focal length, manufacturing, the limit of L, etc.

たとえば、X線波長λ=36 、焦点距離f=1011
I+、ゾーン数n=8、最小ゾーン半径r 1 ”Gμ
p 、 fit外ゾーン半径rs =16.97 μr
eとすると、上記のR(集光率比)が1 (T=O1従
来の7レネルゾーンプレートの場合)、4(理論的位相
ゾーンプレート、T=1)、およびR=2.25(’I
’=0.5、位相ゾーングレートの一例)の三つの場合
について、焦点面上の半径方向のX線強度分布を示した
ものが第3図である。
For example, X-ray wavelength λ=36, focal length f=1011
I+, number of zones n=8, minimum zone radius r 1 ”Gμ
p, fit outer zone radius rs = 16.97 μr
e, the above R (condensing ratio) is 1 (for T=O1 conventional 7 Renel zone plate), 4 (theoretical phase zone plate, T=1), and R=2.25 ( 'I
Fig. 3 shows the X-ray intensity distribution in the radial direction on the focal plane for three cases where the phase zone grating is 0.5 (an example of phase zone grating).

また、光軸上でのX11強度分布を示したものが第4図
である。原点がゾーンプレートの位置で、10關の所に
主焦点がある。曲のピークは副焦点である。
Furthermore, FIG. 4 shows the X11 intensity distribution on the optical axis. The origin is the zone plate position, and the principal focus is at 10 degrees. The peak of the song is the secondary focus.

このような理論的、実際的考察をベースとして、この発
明のxagm鏡用の位相ゾーンプレートを構成する。
Based on such theoretical and practical considerations, the phase zone plate for the XAGM mirror of the present invention is constructed.

第5図は、この位相ゾーンプレートを用いたX線顕m鏡
の構成例を示したものである。
FIG. 5 shows an example of the configuration of an X-ray microscope using this phase zone plate.

X線源(4)、集光位相ゾーンプレート(5)、試料ボ
ルダ−(6)、対物位相ゾーンプレート(7)、撮像器
(8)および真空チャンバー(9)によってこの第5図
の例は構成されている。
The example of FIG. It is configured.

目的とする波長域のX線は空気によって吸収されるので
、全体を真空チャンバーの中へ入れなければならない。
Since X-rays in the target wavelength range are absorbed by air, the entire device must be placed inside a vacuum chamber.

このため、液体中に生きている生物試料を観察する時に
は、試料ホルダー(6)は密閉され、かつ使用するX線
を通ず窓を持っているようにする。
For this reason, when observing a biological sample living in a liquid, the sample holder (6) is sealed and has a window that does not allow the X-rays used to pass through.

また、必要に応じて真空チャンバー(9)の外の大気に
開く通路を設ける。
Further, a passageway that opens to the atmosphere outside the vacuum chamber (9) is provided as necessary.

集光位相ゾーンプレート(5)、さらには対物位相ゾー
ンプレート(7)を、チタン、バナジウムまたはクロム
からなる輪帯によって形成する。
The focusing phase zone plate (5) and also the objective phase zone plate (7) are formed by rings made of titanium, vanadium or chromium.

(発明の効果) この発明により、以上詳しく説明した通り、高精度、高
感度の生物観察用X線顕微鏡に用いる位相ゾーンプレー
トが実現される。
(Effects of the Invention) As explained in detail above, the present invention realizes a phase zone plate for use in an X-ray microscope for biological observation with high precision and high sensitivity.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、この発明の位相ゾーンプレートについてのX
線波長と位相輪帯の厚みの関係を示したX線波長・厚み
相関図である。第2図は、集光率比と波長との関係を示
した集光率比・波長相関図である。 第3図および第4図は、各々、X線強度と主焦点面内光
軸からの半径および光軸上ゾーンプレートからの距離と
の関係を示した強度相関図である。 第5図は、この発明のX4を顕laGMの構成例を示し
た断面図である。 第6図は、従来のフレネルゾーンプレートの圧面図であ
る。第7図はその断面図を示している。 第8図は、位相ゾーンプレートの1tli面図である。 1・・・チタン、2・・・バナジウム、3・・・クロム
、4・・・X線源、 5・・・集光位相ゾーングレート、 6・・・試料ホルダー、 7・・・対物位相ゾーンプレート、 8・・・撮像器、9・・・真空チャンバー。 代理人 弁理士  西  澤  利  夫第  6  
図 手続補正書(自発) 理事長  赤羽信久 明細書の「発明の詳細な説明」の欄
FIG. 1 shows the phase zone plate of the present invention.
It is an X-ray wavelength/thickness correlation diagram showing the relationship between the line wavelength and the thickness of the phase ring. FIG. 2 is a light collection ratio/wavelength correlation diagram showing the relationship between the collection ratio and wavelength. FIGS. 3 and 4 are intensity correlation diagrams showing the relationship between X-ray intensity, radius from the optical axis in the principal focal plane, and distance from the on-axis zone plate, respectively. FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of the configuration of the X4-enabled GM of the present invention. FIG. 6 is a pressure surface view of a conventional Fresnel zone plate. FIG. 7 shows its sectional view. FIG. 8 is a 1tli plane view of the phase zone plate. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Titanium, 2... Vanadium, 3... Chromium, 4... X-ray source, 5... Focusing phase zone grating, 6... Sample holder, 7... Objective phase zone Plate, 8... Imager, 9... Vacuum chamber. Agent Patent Attorney Toshio Nishizawa No. 6
Drawing procedure amendment (voluntary) Chairman Nobuhisa Akabane “Detailed description of the invention” section of the specification

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)チタン、バナジウムまたはクロムによって位相輪
帯を形成してなることを特徴とする生物観察X線顕微鏡
用の位相ゾーンプレート。
(1) A phase zone plate for a biological observation X-ray microscope, characterized in that a phase ring is formed using titanium, vanadium, or chromium.
JP28588387A 1987-11-12 1987-11-12 Phase zone plate for biological observation X-ray microscope Expired - Lifetime JPH0644079B2 (en)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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