JPH0644079B2 - Phase zone plate for biological observation X-ray microscope - Google Patents

Phase zone plate for biological observation X-ray microscope

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JPH0644079B2
JPH0644079B2 JP28588387A JP28588387A JPH0644079B2 JP H0644079 B2 JPH0644079 B2 JP H0644079B2 JP 28588387 A JP28588387 A JP 28588387A JP 28588387 A JP28588387 A JP 28588387A JP H0644079 B2 JPH0644079 B2 JP H0644079B2
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ray
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久雄 藤崎
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Shingijutsu Kaihatsu Jigyodan
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Research Development Corp of Japan
Shingijutsu Kaihatsu Jigyodan
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  • Radiography Using Non-Light Waves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) この発明は、生物観察X線顕微鏡用の位相ゾーンプレー
トに関するものである。さらに詳しくは、この発明は、
生物試料の高解像度観察が可能な、24〜44Åの波長
域で使用することのできるX線顕微鏡用の位相ゾーンプ
レートに関するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a phase zone plate for a biological observation X-ray microscope. More specifically, the present invention is
The present invention relates to a phase zone plate for an X-ray microscope, which can be used in a wavelength range of 24 to 44Å, which enables high resolution observation of biological samples.

(背景技術) 生物学、生化学、生物物理学などの学問研究において、
また、近年長足の進歩をとげている産業技術としてのバ
イオテクノロジーの開発においても、生きている生物試
料、たとえば、細胞試料の構造や細胞内の運動を分子レ
ベルで、高分解能にて観察したいとの要望が高まってき
ている。
(Background Art) In academic research such as biology, biochemistry, and biophysics,
Also, in the development of biotechnology as an industrial technology, which has made great strides in recent years, we would like to observe the structure and intracellular movement of living biological samples, such as cell samples, at the molecular level with high resolution. Are increasing in demand.

従来、生物試料の観察法としては、光学レンズによって
光を集束する光学顕微鏡による方法と、電磁レンズによ
って電子線を集束する電子顕微鏡による方法とが知られ
ているが、光学顕微鏡の場合には、液体中で生きている
生物試料を見ることはできるが、可視光の波長が長いた
めに分解能が低く(約0.3μm)、電子顕微鏡の場合に
は分解能は良い(Åオーダー)が試料を真空中に置かね
ばならないために液体を含む試料には使えないという問
題があった。
Conventionally, as a method of observing a biological sample, a method using an optical microscope that focuses light with an optical lens and a method using an electron microscope that focuses an electron beam with an electromagnetic lens are known, but in the case of an optical microscope, You can see a living biological sample in a liquid, but the resolution is low (about 0.3 μm) due to the long wavelength of visible light, and the resolution is good (Å order) in the case of an electron microscope, but the sample is in vacuum. There is a problem that it cannot be used for samples containing liquid because it must be placed in

また、最近になって開発が進んでいる冷凍電子顕微鏡の
場合には、生物試料を急速に冷凍して凍らせたままのス
トップモーションは見ることができるものの、生体内の
運動については観察できないという問題があった。
In addition, in the case of a cryo-electron microscope, which has been recently developed, it is possible to observe the stop motion while the biological sample is rapidly frozen and frozen, but it is not possible to observe the in-vivo movement. There was a problem.

一方、X線は、ある物質には吸収され、他の物質には吸
収されないという波長域が物質の種類に応じて存在する
ために、いわゆるX線透視の方法として古くから用いら
れてきている。
On the other hand, X-rays have been used for a long time as a so-called X-ray fluoroscopic method because there exists a wavelength range in which X-rays are absorbed by a certain substance and not absorbed by another substance, depending on the type of the substance.

このX線の持つ特徴から、生きたままの生物試料の観察
にこのX線を利用することが考えられてきている。実
際、たとえば24〜44Åの波長域のX線は、タンパク
質には吸収されるが水には吸収されないので、水中の生
物試料を生きたままで観察するのに使用できる可能性が
ある。
Due to the characteristics of this X-ray, it has been considered to utilize this X-ray for observing a living biological sample. In fact, for example, X-rays in the wavelength range of 24 to 44 Å are absorbed by proteins but not by water, and thus may be used for observing biological samples in water alive.

しかしながら、現状においては、このことはいまだに実
現されてきていない。克服すべきいくつかの問題点が残
されているからである。
However, at present, this has not been realized yet. This is because there are some problems to be overcome.

X線は、光学レンズや電磁レンズでは集束できないこと
から独自の集束系が必要となるが、この集束系が開発さ
れていないのである。
Since X-rays cannot be focused by an optical lens or an electromagnetic lens, a unique focusing system is required, but this focusing system has not been developed.

近年、X線顕微鏡用の集束系としては凹面反射鏡(ウォ
ルター型)やフレネルゾーンプレートの使用が提案され
てはいるが、十分な分解能を持つた顕微鏡は実現されて
いない。
Recently, it has been proposed to use a concave mirror (Walter type) or a Fresnel zone plate as a focusing system for an X-ray microscope, but a microscope having sufficient resolution has not been realized.

フレネルゾーンプレートはその独自の方式が注目される
ものであり、今後のX線顕微鏡の開発のための手がかり
となるものである。すなわち、添付した図面の第6図に
示したように、このフレネルゾーンプレートは、X線を
遮蔽する輪帯(ア)とX線を通過する輪帯(イ)とが同
心に交互に並べ、輪帯(イ)を通過したX線が一点にお
いて同位相で集まるように周辺に行くに従ってその幅が
狭くなっている。輪帯(ア)(イ)の半径を第6図に示
したようにr,r,r,…r,…,rとする
と、X線の波長λと焦点距離fとの間には、たとえば、 r=m・f・λ の関係が成立するようにフレネルゾーンプレートを設計
することができる。
The Fresnel zone plate is attracting attention for its unique method, and is a clue for future development of an X-ray microscope. That is, as shown in FIG. 6 of the accompanying drawings, in this Fresnel zone plate, an annular zone (a) that shields X-rays and an annular zone (a) that passes X-rays are concentrically arranged alternately. The width of the X-rays passing through the ring zone (a) becomes narrower toward the periphery so that the X-rays gather at one point in the same phase. Assuming that the radii of the annular zones (a) and (b) are r 1 , r 2 , r 3 , ... R m , ..., R n as shown in FIG. 6, the X-ray wavelength λ and the focal length f In between, for example, the Fresnel zone plate can be designed so that the relationship of r m = m · f · λ is established.

このフレネルゾーンプレートは、後方fの距離(主焦
点)にX線を集め、前方fの距離を中心としてX線を発
散する作用を合わせ持つため凸レンズ的にも、凹レンズ
的にも使用することができる。
This Fresnel zone plate has a function of collecting X-rays at a distance f (principal focus) in the rear f and diverging X-rays around the distance in the front f, so that it can be used as a convex lens or a concave lens. it can.

さらにこのフレネルゾーンプレートは、後方、前方にそ
れぞれ距離f/3,f/5,…(f/奇数)に副焦点を
持つ。
Further, this Fresnel zone plate has sub-focal points at distances f / 3, f / 5, ... (f / odd number) on the rear side and the front side, respectively.

このような従来のフレネルゾーンプレートにおいては、
その断面を示した第7図からも明らかなように、入射し
たX線の約50%は遮蔽され、25%は回折されないで
真直ぐに通過し、10%が主焦点に、5%が多数の副焦
点に分散され、残りの15%は発散する。このため、光
学レンズの集光率が100%に近いのに対して、フレネ
ルゾーンプレートの場合にはX線を主焦点に10%しか
集束しないというのは、大きな欠点になっている。この
欠点のために、強いX線源および高感度の撮像媒体が必
要となり、その制限のためにX線顕微鏡の開発が遅れて
いる。
In such a conventional Fresnel zone plate,
As is clear from FIG. 7 showing the cross section, about 50% of the incident X-rays are shielded, 25% pass straight without being diffracted, 10% is the main focus, and 5% is many. Dispersed in the subfocal, the remaining 15% diverge. For this reason, the condensing ratio of the optical lens is close to 100%, whereas in the case of the Fresnel zone plate, focusing the X-rays only 10% on the principal focal point is a major drawback. This drawback requires a strong X-ray source and a highly sensitive imaging medium, which delays the development of X-ray microscopes.

フレネルゾーンプレートのX線集束能が低いという欠点
を克服するために、位相ゾーンプレートという新しい方
式が提案されてきている。
In order to overcome the drawback of the Fresnel zone plate having a low X-ray focusing ability, a new method called a phase zone plate has been proposed.

第7図において、従来のフレネルゾーンプレートにおい
て遮蔽部(ウ)が必要なのは、仮りにこの遮蔽部(ウ)
を通過して焦点に行くような経路を考えると、そのX線
は、透過部(エ)を通って集ったX線と位相がπラジア
ンずれていて干渉作用によって焦点での強度を弱めるこ
とになるので、それを防ぐことを目的としている。
In FIG. 7, the reason why the shielding part (c) is necessary in the conventional Fresnel zone plate is that this shielding part (c) is temporarily used.
Considering a path that passes through to the focal point, the X-ray is out of phase with π radians from the X-ray collected through the transmission part (d), and the intensity at the focal point is weakened by the interference action. So it aims to prevent it.

これを、第8図に示すように、フレネルゾーンプレート
の遮蔽部に相当する部分を、透明でかつ位相をπラジア
ンずらすような作用を持つ位相輪帯(オ)に替える場合
には、X線の経路差によって生じるπラジアンの位相の
ずれが相殺され、焦点において透過部(エ)を通ったX
線と位相が整合し、強め合う干渉が起こる。このような
構成のゾーンプレートを位相ゾーンプレートと呼んでい
る。
As shown in FIG. 8, when the portion corresponding to the shielding portion of the Fresnel zone plate is replaced with a phase annular zone (e) which is transparent and has a function of shifting the phase by π radians, an X-ray is used. The phase shift of π radians caused by the path difference of the
The lines are in phase with each other and constructive interference occurs. The zone plate having such a configuration is called a phase zone plate.

このような位相ゾーンプレートの考え方によれば、位相
輪帯(オ)が完全透明であるならば、X線の集光率は4
0%に改善されることになる。
According to such a concept of the phase zone plate, if the phase annular zone (e) is completely transparent, the X-ray focusing rate is 4
It will be improved to 0%.

しかしながら、現実にはこれらはアイデアの域を出るこ
とがなく、生物試料の観察に適した24〜44Åの波長
域のX線に対して完全透明な物質は見出されていなかっ
た。これまでに位相ゾーンプレートとして提案されてい
るものは、金,銀,銅,炭素,シリコン,ベリリウム,
アルミニウム,フッ化リチウム,ポリスチレンなどから
なるものであり、実際には、銀を用いて8Å用の位相ゾ
ーンプレートに作製したという報告がなされるのに留ま
っている。
However, in reality, these do not go beyond the scope of the idea, and no substances that are completely transparent to X-rays in the wavelength range of 24 to 44 Å suitable for observing biological samples have not been found. So far, the proposed phase zone plates include gold, silver, copper, carbon, silicon, beryllium,
It is made of aluminum, lithium fluoride, polystyrene, etc. In fact, it is only reported that silver was used to make a phase zone plate for 8Å.

このため、位相ゾーンプレートの特徴を生かした具体的
なものの開発が、特に、24〜44Åの波長のX線に対
して有効な生物観察用位相ゾーンプレートの実現が強く
望まれていた。
For this reason, there has been a strong demand for development of a concrete one that makes use of the characteristics of the phase zone plate, and in particular for realization of a biological observation phase zone plate effective for X-rays having a wavelength of 24 to 44 Å.

(発明の目的) この発明は、以上の通りの事情に鑑みてなされものであ
り、従来の生物観察用顕微鏡システムの欠点を克服し、
光源の強度および撮像媒体の感度の制約が緩和され、高
精度、高感度の生物観察用X線顕微鏡として用いること
のできる新しい位相ゾーンプレートを提供することを目
的としている。
(Object of the Invention) The present invention has been made in view of the above circumstances, and overcomes the drawbacks of the conventional microscope system for biological observation,
It is an object of the present invention to provide a new phase zone plate that can be used as an X-ray microscope for observing a living body with high accuracy and high sensitivity, because restrictions on the intensity of a light source and the sensitivity of an imaging medium are alleviated.

(発明の開示) この発明の生物観察X線顕微鏡用の位相ゾーンプレート
は、上記の目的を実現するために、チタン、バナジウム
もしくはクロムのいずれか1種によって位相輪帯を形成
してなることを特徴としている。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The phase zone plate for a biological observation X-ray microscope of the present invention has a phase ring zone formed of any one of titanium, vanadium, and chromium in order to achieve the above object. It has a feature.

この位相輪帯は、その半径の大きさを、従来のフレネル
ゾーンプレートと同様に、 r=m・f・λ (r:中心からm番目の輪帯の半径、 f:焦点距離 λ:X線の波長) の式によって決定することができる。また、その厚さに
ついては、次のような関係が成立する。すなわち、X線
の屈折率nは1より小さく、波長λによって異なる。n
は、各波長ごとの原子散乱因子f=f+ifの実部
および虚部fの値を用いて算出することができ
る。X線が厚さdの物質を通過すると、同じ厚さの真空
を通過する時よりも位相がd・(1−n)・2π/λだ
け進むため、この進みをπにするための位相輪帯は、π
=d(1−n)・2π/λから導いて、 d=λ/2/(1−n) によって決めることができる。
The phase annular is the size of the radius, as in the conventional Fresnel zone plate, r m = m · f · λ (r m: radius of the m-th ring zone from the center, f: focal length lambda: X-ray wavelength). Further, regarding the thickness, the following relationship is established. That is, the refractive index n of X-rays is smaller than 1 and depends on the wavelength λ. n
Can be calculated using the values of the real part f 1 and the imaginary part f 2 of the atomic scattering factor f = f 1 + if 2 for each wavelength. When an X-ray passes through a substance of thickness d, the phase advances by d · (1-n) · 2π / λ compared to when it passes through a vacuum of the same thickness. The band is π
= D (1−n) · 2π / λ, and can be determined by d = λ / 2 / (1−n).

この発明においては、X線に対する特性および物理化学
的安定性から、位相輪帯を形成するものとして、チタ
ン、バナジウムまたはクロムを使用するが、この各々に
ついて、X線波長に対する位相輪帯の厚さを示したもの
が第1図である。チタン(1)、バナジウム(2)およ
びクロム(3)について、その相関性を示している。た
とえば、チタン(1)を用いる場合には、24〜44Å
のX線波長に対しては約1.2μmの厚さを基準として、
集光率とのかね合いから実際の厚さを決めることができ
る。
In the present invention, titanium, vanadium or chromium is used as a material for forming the phase zone due to the characteristics and physicochemical stability with respect to X-rays. For each of these, the thickness of the phase zone with respect to the X-ray wavelength is used. Is shown in FIG. The correlation is shown for titanium (1), vanadium (2) and chromium (3). For example, when titanium (1) is used, it is 24-44Å
With respect to the X-ray wavelength of
The actual thickness can be determined from the balance with the light collection rate.

第2図は、このようなこの発明の位相ゾーンプレートと
従来のフレネルゾーンプレートとの集光率の比Rを示し
たものである。
FIG. 2 shows the ratio R of the light collection rates of the phase zone plate of the present invention and the conventional Fresnel zone plate.

このRは、理論的には、次のように表わすこともでき
る。
This R can theoretically be expressed as follows.

R=(1+T) T=exp(−ρ・μ・d/2) (ρ:物質密度、 μ:物質線吸収係数 T:振幅透過率) このようなこの発明の位相ゾーンプレートについては、
使用するX線の波長、欲しい焦点距離、製造上の限界等
を考慮して上記した厚さdや集光率比R、および輪帯半
径(r)を選択すればよい。
R = (1 + T) 2 T = exp (−ρ · μ · d / 2) (ρ: material density, μ: material line absorption coefficient T: amplitude transmittance)
X-ray wavelength to be used, they want the focal length may be selected thickness d and condenser ratio described above in view of the limitations or the like in manufacturing R, and annular radius (r m).

たとえば、X線波長λ=36Å、焦点距離f=10mm、
ゾーン数n=8、最小ゾーン半径r=6μm、最外ゾ
ーン半径r=16.97μmとすると、上記のR(集光率
比)が1(T=0、従来のフレネルゾーンプレートの場
合)、4(理論的位相ゾーンプレート、T=1)、およ
びR=2.25(T=0.5、位相ゾーンプレートの一例)の
三つの場合について、焦点面上の半径方向のX線強度分
布を示したものが第3図である。
For example, X-ray wavelength λ = 36Å, focal length f = 10 mm,
When the number of zones n = 8, the minimum zone radius r 1 = 6 μm, and the outermost zone radius r 8 = 16.97 μm, the above R (concentration ratio) is 1 (T = 0, in the case of the conventional Fresnel zone plate). Radial X-ray intensity distributions on the focal plane for three cases, 4 (theoretical phase zone plate, T = 1) and R = 2.25 (T = 0.5, an example of the phase zone plate) Is FIG. 3.

また、光軸上でのX線強度分布を示したものが第4図で
ある。原点がゾーンプレートの位置で、10mmの所に主
焦点がある。他のピークは副焦点である。
Further, FIG. 4 shows an X-ray intensity distribution on the optical axis. The origin is the position of the zone plate and the main focus is at 10 mm. The other peaks are the subfocal points.

このような理論的、実際的考察をベースとして、この発
明のX線顕微鏡用の位相ゾーンプレートを構成する。
Based on such theoretical and practical considerations, the phase zone plate for the X-ray microscope of the present invention is constructed.

第5図は、この位相ゾーンプレートを用いたX線顕微鏡
の構成例を示したものである。
FIG. 5 shows an example of the construction of an X-ray microscope using this phase zone plate.

X線源(4)、集光位相ゾーンプレート(5)、試料ホ
ルダー(6)、対物位相ゾーンプレート(7)、撮像器
(8)および真空チャンバー(9)によってこの第5図
の例は構成されている。
The example of FIG. 5 is constituted by an X-ray source (4), a focusing phase zone plate (5), a sample holder (6), an objective phase zone plate (7), an imager (8) and a vacuum chamber (9). Has been done.

目的とする波長域のX線は空気によって吸収されるの
で、全体の真空チャンバーの中へ入れなければならな
い。
X-rays in the desired wavelength range are absorbed by air and must be put into the entire vacuum chamber.

このため、液体中に生きている生物試料を観察する時に
は、試料ホルダー(6)は密閉され、かつ使用するX線
を通す窓を持っているようにする。また、必要に応じて
真空チャンバー(9)の外の大気に開く通路を設ける。
For this reason, when observing a living biological sample in a liquid, the sample holder (6) should be hermetically sealed and should have a window through which the X-rays used are passed. Further, if necessary, a passage that opens to the atmosphere outside the vacuum chamber (9) is provided.

集光位相ゾーンプレート(5)、さらには対物位相ゾー
ンプレート(7)を、チタン、バナジウムまたはクロム
からなる輪帯によって形成する。
The collecting phase zone plate (5) and also the objective phase zone plate (7) are formed by a ring of titanium, vanadium or chromium.

(発明の効果) この発明により、以上詳しく説明した通り、高精度、高
感度の生物観察X線顕微鏡に用いる位相ゾーンプレート
が実現される。
(Effect of the Invention) According to the present invention, as described in detail above, a phase zone plate used for a highly accurate and highly sensitive biological observation X-ray microscope is realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、この発明の位相ゾーンプレートについてのX
線波長と位相輪帯の厚みの関係を示したX線波長・厚み
相関図である。第2図は、集光率比と波長との関係を示
した集光率比・波長相関図である。 第3図および第4図は、各々、X線強度と主焦点面内光
軸からの半径および光軸上ゾーンプレートからの距離と
の関係を示した強度相関図である。 第5図は、この発明のX線顕微鏡の構成例を示した断面
図である。 第6図は、従来のフレネルゾーンプレートの正面図であ
る。第7図はその断面図を示している。第8図は、位相
ゾーンプレートの断面図である。 1…チタン、2…バナジウム、 3…クロム、4…X線源、 5…集光位相ゾーンプレート、 6…試料ホルダー、 7…対物位相ゾーンプレート、 8…撮像器、9…真空チャンバー。
FIG. 1 shows X for the phase zone plate of the present invention.
FIG. 6 is an X-ray wavelength / thickness correlation diagram showing the relationship between the line wavelength and the thickness of the phase zone. FIG. 2 is a light-collection ratio / wavelength correlation diagram showing the relationship between the light-collection ratio and the wavelength. 3 and 4 are intensity correlation diagrams showing the relationship between the X-ray intensity, the radius from the optical axis in the main focal plane, and the distance from the zone plate on the optical axis, respectively. FIG. 5 is a sectional view showing a configuration example of the X-ray microscope of the present invention. FIG. 6 is a front view of a conventional Fresnel zone plate. FIG. 7 shows a sectional view thereof. FIG. 8 is a sectional view of the phase zone plate. 1 ... Titanium, 2 ... Vanadium, 3 ... Chrome, 4 ... X-ray source, 5 ... Focusing phase zone plate, 6 ... Sample holder, 7 ... Objective phase zone plate, 8 ... Imaging device, 9 ... Vacuum chamber.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】チタン、バナジウムもしくはクロムのいず
れか1種によって位相輪帯を形成してなることを特徴と
する生物観察X線顕微鏡用の位相ゾーンプレート。
1. A phase zone plate for a biological observation X-ray microscope, which comprises a phase ring formed of any one of titanium, vanadium and chromium.
JP28588387A 1987-11-12 1987-11-12 Phase zone plate for biological observation X-ray microscope Expired - Lifetime JPH0644079B2 (en)

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