JPH01127235U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01127235U JPH01127235U JP2256488U JP2256488U JPH01127235U JP H01127235 U JPH01127235 U JP H01127235U JP 2256488 U JP2256488 U JP 2256488U JP 2256488 U JP2256488 U JP 2256488U JP H01127235 U JPH01127235 U JP H01127235U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz boat
- boat
- quartz
- core tube
- furnace core
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第１図ａ，ｂは本考案の一実施例を説明するた
めのウエーハ支持用ボートの正面図及び側面図、
第２図は本考案のウエーハ支持用ボートの一使用
例を示す切欠正面図である。 １…石英ボート、２…石英板、３…石英棒、４
′…半導体ウエーハ、５…炉芯管。
めのウエーハ支持用ボートの正面図及び側面図、
第２図は本考案のウエーハ支持用ボートの一使用
例を示す切欠正面図である。 １…石英ボート、２…石英板、３…石英棒、４
′…半導体ウエーハ、５…炉芯管。
Claims (1)
- 半導体ウエーハを支持するための石英ボートと
、前記石英ボートを炉芯管に挿入したときの前記
炉芯管の軸に対して垂直な面を有し且つ前記石英
ボートの上下方向に動かし得るように前記石英ボ
ート上に設けた石英板とを有することを特徴とす
るウエーハ支持用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2256488U JPH01127235U (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2256488U JPH01127235U (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01127235U true JPH01127235U (ja) | 1989-08-31 |
Family
ID=31240795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2256488U Pending JPH01127235U (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01127235U (ja) |
-
1988
- 1988-02-22 JP JP2256488U patent/JPH01127235U/ja active Pending